JPH03199699A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH03199699A JPH03199699A JP34015589A JP34015589A JPH03199699A JP H03199699 A JPH03199699 A JP H03199699A JP 34015589 A JP34015589 A JP 34015589A JP 34015589 A JP34015589 A JP 34015589A JP H03199699 A JPH03199699 A JP H03199699A
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- resin
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- fins
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ターボ分子ポンプ、特に半導体製造設備の
如く反応ガスを用いる機器に適したターボ分子ポンプに
関する。
如く反応ガスを用いる機器に適したターボ分子ポンプに
関する。
真空ポンプの一種であるターボ分子ポンプは、オイルフ
リーの超高真空が容易に得られる等の特長を有しており
、多くの真空機器の真空ポンプとして使用されている。
リーの超高真空が容易に得られる等の特長を有しており
、多くの真空機器の真空ポンプとして使用されている。
ターボ分子ポンプは、第１図に示すように、高速回転す
るロータ１の周囲に設けた多数のフィン２とケーシング
３の内周に設けた多数のフィン４を交互に多段に重ねて
配置し、ロータ１のフィン２を高速回転させることによ
り排気作用を得て超真空を作る構造になっている。
るロータ１の周囲に設けた多数のフィン２とケーシング
３の内周に設けた多数のフィン４を交互に多段に重ねて
配置し、ロータ１のフィン２を高速回転させることによ
り排気作用を得て超真空を作る構造になっている。
ところで、上記のような従来のター°ポ分子ポンプは、
ケーシング３の内周面及びケーシング内に位置する構成
部品の表面が金属仕上面になっており、これらの表面は
気体に対して表面エネルギーが大きいという性質を有し
ている。
ケーシング３の内周面及びケーシング内に位置する構成
部品の表面が金属仕上面になっており、これらの表面は
気体に対して表面エネルギーが大きいという性質を有し
ている。
このため、従来のターボ分子ポンプは、高真空を得るの
みで導入ガスを使用しない場合、排気性能の低下は殆ん
どないが、半導体製造設備の如く、反応性ガスを用いた
り、大気への開放が頻繁にある場合は、気体がフィン２
．４の表面及びケーシング３の内面に吸着し、排気速度
が使用するにつれて遅くなり、排気特性に著しく影響を
及ぼすという問題がある。
みで導入ガスを使用しない場合、排気性能の低下は殆ん
どないが、半導体製造設備の如く、反応性ガスを用いた
り、大気への開放が頻繁にある場合は、気体がフィン２
．４の表面及びケーシング３の内面に吸着し、排気速度
が使用するにつれて遅くなり、排気特性に著しく影響を
及ぼすという問題がある。
また、反応性ガスを使用する場合には、反応性ガスによ
るポンプ部品の腐食が発生するという問題もある。
るポンプ部品の腐食が発生するという問題もある。
そこで、この発明の課題はポンプ内表面の気体吸着力を
低下させ初期排気特性を持続させることができると共に
、ポンプ内表面の腐食発生を防ぐことができるターボ分
子ポンプを提供することにある。
低下させ初期排気特性を持続させることができると共に
、ポンプ内表面の腐食発生を防ぐことができるターボ分
子ポンプを提供することにある。
上記のような課題を解決するため、この発明は、ターボ
分子ポンプの内表面に、表面エネルギーの小さい４ｉＡ
脂をコーティングした構成を採用したものである。
分子ポンプの内表面に、表面エネルギーの小さい４ｉＡ
脂をコーティングした構成を採用したものである。
〔作用］
ターボ分子ポンプの内表面に、表面エネルギーの小さい
樹脂をコーティングしたので、ポンプ内表面の気体吸着
力が弱まり、気体前れが良くなり、排気性能の低下を抑
制することによって初期排気特性を持続することが可能
となる。
樹脂をコーティングしたので、ポンプ内表面の気体吸着
力が弱まり、気体前れが良くなり、排気性能の低下を抑
制することによって初期排気特性を持続することが可能
となる。
また、樹脂コーティングによって、反応性ガスによるポ
ンプ内表面の腐食を防ぐことができる。
ンプ内表面の腐食を防ぐことができる。
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
ターボ分子ポンプの基本的な構造は第１図に示した如く
、ロータ１の周囲に設けたフィン２とケーシング３の内
周に設けたフィン４が交互に多段に重ねて配置されてい
る。
、ロータ１の周囲に設けたフィン２とケーシング３の内
周に設けたフィン４が交互に多段に重ねて配置されてい
る。
上記ターボ分子ポンプにおけるケーシング３の内周面と
フィン２．４の表面及びロータ１の表面等に、第２図の
如く、表面エネルギーの小さい、不活性で非粘着性、耐
薬品性、低含水性の樹脂を用いた樹脂膜５がコーティン
グされている。
フィン２．４の表面及びロータ１の表面等に、第２図の
如く、表面エネルギーの小さい、不活性で非粘着性、耐
薬品性、低含水性の樹脂を用いた樹脂膜５がコーティン
グされている。
上記樹脂膜５の形成に用いる樹脂としては、フッ素樹脂
であるポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥとい
う）以外にボリイξド樹脂、芳香族ポリエーテルケトン
樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ボリア兆トイ
ミド樹脂などを用いても良い。
であるポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥとい
う）以外にボリイξド樹脂、芳香族ポリエーテルケトン
樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ボリア兆トイ
ミド樹脂などを用いても良い。
例えばＰＴＦＥの樹脂膜形成については、スプレー等に
よる作製も可能であるが、ＰＴＦＥ皮膜の膜厚を考慮し
た場合、高周波スパッタリングによる作製方法を採用し
てもよい。
よる作製も可能であるが、ＰＴＦＥ皮膜の膜厚を考慮し
た場合、高周波スパッタリングによる作製方法を採用し
てもよい。
なお、図示の場合、フィン２．４の表面に樹脂ＩＩ！５
をコーティングしたが、フィン２．４そのものを樹脂膜
５と同効の樹脂を用いて形成することもできる。
をコーティングしたが、フィン２．４そのものを樹脂膜
５と同効の樹脂を用いて形成することもできる。
上記のように、ターボ分子ポンプの内表面を樹脂膜５に
よって被覆すると、ポンプ内表面が不活性状態となり、
気体前れが良く、気体のケーシング３内周面及びフィン
２．４等への吸着が抑制され、この結果安定した排気特
性が得られる。
よって被覆すると、ポンプ内表面が不活性状態となり、
気体前れが良く、気体のケーシング３内周面及びフィン
２．４等への吸着が抑制され、この結果安定した排気特
性が得られる。
第３図はターボ分子ポンプの排気特性を測定するために
用いた真空草着装置を示している。
用いた真空草着装置を示している。
同図面において、ターボ分子ポンプ１１はその吸気口が
薫発′ｔＡ１２を有する処理室１３と、メインバルブ１
４、真空ゲージ１５を有する短管１６を介して結合され
ている。
薫発′ｔＡ１２を有する処理室１３と、メインバルブ１
４、真空ゲージ１５を有する短管１６を介して結合され
ている。
上記真空芸着装置を用い、リーク弁１７にて大気開放を
３分間実施し、その後ロータリーポンプにて０．０８Ｌ
、、、迄処理室１３内を排気した。
３分間実施し、その後ロータリーポンプにて０．０８Ｌ
、、、迄処理室１３内を排気した。
次に、メインバルブ１４を開けると同時にターボ分子ポ
ンプ１１を稼動し、真空度の変化を真空ゲージ１５を用
いて測定した。
ンプ１１を稼動し、真空度の変化を真空ゲージ１５を用
いて測定した。
第５図は従来のターボ分子ポンプによる排気特性の測定
結果である。
結果である。
また、第４図はＰＴＦＥを用いてケーシング内周面及び
フィンの表面を被覆した、この発明のターボ分子ポンプ
を使用した場合の排気特性を示す測定結果である。なお
、何れの場合も排気容積は５１である。
フィンの表面を被覆した、この発明のターボ分子ポンプ
を使用した場合の排気特性を示す測定結果である。なお
、何れの場合も排気容積は５１である。
両測定結果から明らかなように、４ Ｘ １０−’ｔ。
間の真空度を得るのに、従来のターボ分子ポンプが９０
□０であったのに対し、この発明のターボ分子ポンプで
は５５□７に短縮することができた。
□０であったのに対し、この発明のターボ分子ポンプで
は５５□７に短縮することができた。
上記のように、この発明のターボ分子ポンプの排気特性
が向上するのは、樹脂膜５によってポンプ内表面が不活
性状態となり、酸素、窒素、水分等の気体のケーシング
３内周面及びフィン２．４への吸着力が抑制され、安定
したｔＪ１気特性を持続するためである。
が向上するのは、樹脂膜５によってポンプ内表面が不活
性状態となり、酸素、窒素、水分等の気体のケーシング
３内周面及びフィン２．４への吸着力が抑制され、安定
したｔＪ１気特性を持続するためである。
以上のように、この発明によると、ターボ分子ポンプの
内表面に表面エネルギーの小さい樹脂をコーティングし
たので、ポンプ内表面が不活性状態となって気体熱れが
良くなり、反応性ガスの場合でも安定した排気特性を得
ることができる。
内表面に表面エネルギーの小さい樹脂をコーティングし
たので、ポンプ内表面が不活性状態となって気体熱れが
良くなり、反応性ガスの場合でも安定した排気特性を得
ることができる。
また、樹脂膜による被覆によってポンプ内表面が保護さ
れるので、反応性ガスを使用しても該ガスによりポンプ
内表面が侵されるということがない。
れるので、反応性ガスを使用しても該ガスによりポンプ
内表面が侵されるということがない。
第１図はターボ分子ポンプの一部を切欠いた正面図、第
２図は同上要部の拡大断面図、第３図は排気特性の測定
に用いた真空蒸着装置の一部を切欠いた正面図、第４図
はこの発明のターボ分子ポンプの排気特性を測定した時
間−真空度曲線図、第５図は従来のターボ分子ポンプを
用いて排気特性を測定した時間−真空度曲線図である。 ５・・・・・・樹脂膜。
２図は同上要部の拡大断面図、第３図は排気特性の測定
に用いた真空蒸着装置の一部を切欠いた正面図、第４図
はこの発明のターボ分子ポンプの排気特性を測定した時
間−真空度曲線図、第５図は従来のターボ分子ポンプを
用いて排気特性を測定した時間−真空度曲線図である。 ５・・・・・・樹脂膜。
Claims (1)
- （１）ターボ分子ポンプの内表面に、表面エネルギーの
小さい樹脂をコーティングしたターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34015589A JPH03199699A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34015589A JPH03199699A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199699A true JPH03199699A (ja) | 1991-08-30 |
Family
ID=18334255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34015589A Pending JPH03199699A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03199699A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996032099A1 (en) * | 1995-04-14 | 1996-10-17 | Glaxo Wellcome Inc. | Metered dose inhaler for albuterol |
| JP2005325792A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Osaka Vacuum Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JP2016520717A (ja) * | 2013-04-10 | 2016-07-14 | ピコサン オーワイＰｉｃｏｓｕｎ Ｏｙ | Ａｌｄコーティングによるターゲットポンプ内部の保護 |
| JP2020070749A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP34015589A patent/JPH03199699A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996032099A1 (en) * | 1995-04-14 | 1996-10-17 | Glaxo Wellcome Inc. | Metered dose inhaler for albuterol |
| JP2005325792A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Osaka Vacuum Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JP2016520717A (ja) * | 2013-04-10 | 2016-07-14 | ピコサン オーワイＰｉｃｏｓｕｎ Ｏｙ | Ａｌｄコーティングによるターゲットポンプ内部の保護 |
| US9869020B2 (en) | 2013-04-10 | 2018-01-16 | Picosun Oy | Protecting a target pump interior with an ALD coating |
| JP2020070749A (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
| WO2020090632A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
| CN112867867A (zh) * | 2018-10-31 | 2021-05-28 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、以及真空泵构成零件 |
| CN112867867B (zh) * | 2018-10-31 | 2023-10-31 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、以及真空泵构成零件 |
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