JPH11303791A - タ―ボ分子ポンプ - Google Patents

タ―ボ分子ポンプ

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Publication number
JPH11303791A
JPH11303791A JP11051084A JP5108499A JPH11303791A JP H11303791 A JPH11303791 A JP H11303791A JP 11051084 A JP11051084 A JP 11051084A JP 5108499 A JP5108499 A JP 5108499A JP H11303791 A JPH11303791 A JP H11303791A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
housing
pump
molecular pump
rotor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11051084A
Other languages
English (en)
Inventor
Andre Bouille
アンドレ・ブイユ
Jean-Francois Guilbert
ジヤン−フランソワ・ギルベール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel CIT SA filed Critical Alcatel CIT SA
Publication of JPH11303791A publication Critical patent/JPH11303791A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 組立部品の外形寸法を小さくし、パッキン数
を減らしたターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 吸入ポート（１０）および吐出ポート
（８）を含むハウジング（３）の内部にロータ（２）を
収容し、ケーシング（１３）の内部にバルブ機構（１
２）を備えるバルブ（１１）に吸入ポートで接続する。
バルブのケーシング（１３）はポンプのハウジング
（３）と一体成形されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
に関する。
【０００２】ターボ分子ポンプとは、羽根を持つもので
あれ、ドラムを持つものであれ、あるいは両方を備える
ものであれ、回転ロータ機構型のあらゆる二次真空ポン
プを意味する。
【０００３】
【従来の技術】槽を真空にすることが必要な工業的な方
法において、ポンプ群は特に、真空にする槽にバルブを
介して接続されるターボ分子ポンプを含む。
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
組立部品の外形寸法を小さくし、パッキン数を減らすこ
とを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、吸入
ポートおよび吐出ポートを含むハウジングの内部にロー
タを収容し、ケーシングの内部にバルブ機構を備えるバ
ルブに吸入ポートで接続されるターボ分子ポンプを目的
とし、このポンプは、バルブの前記ケーシングがポンプ
の前記ハウジングと一体形成されていることを特徴とす
る。
【０００５】次に、添付図を参照しながら、本発明の特
定の実施形態について説明する。
【０００６】
【発明の実施の形態】図を参照すると、ターボ分子ポン
プ１は、ハウジング３の内部に収容されたロータ２を含
むことが分かる。
【０００７】ロータ２は、複数段の可動羽根４を含み、
ハウジング３は、複数段の固定羽根５を支持している。
【０００８】また、駆動モータのロータ６と、この同じ
モータのステータ７とを示した。
【０００９】ポンプのハウジング３は、一次ポンプと組
み立てるための接続フランジ９を備えた吐出ポート８を
含む。
【００１０】ポンプ１は、ケーシング１３の内部に配置
されるバルブ機構１２を備えたバルブ１１に、吸入ポー
ト１０で接続されている。
【００１１】本発明によれば、バルブ１１のケーシング
１３は、ポンプ１のハウジング３とモノブロック化、即
ち一体形成されている。従って、ケーシング１３および
ハウジング３は、組立不要の同一部品を構成する。
【００１２】全体は、組立フランジ１５Ａ−１５Ｂによ
って、この２個のフランジ１５Ａ、１５Ｂの間のパッキ
ン１６で真空槽１４に接続される。
【００１３】かくして本発明による構成により、ポンプ
１およびバルブ１１の間のフランジによる組立が回避さ
れるので、外形寸法を小さくし、ポンプおよびバルブの
間のパッキンをなくすことができる。パッキンをなくす
と、真空槽１４の汚染を減らすことができるので有効で
ある。
【００１４】実際、凝縮性ガスを汲み出す場合、凝縮性
ガスは、再加熱が難しいパッキンに特に凝縮される。
【００１５】組立がなくなる結果として外形寸法が小さ
くなると、さらに、コンダクタンスをわずかながら増す
ことができる。
【００１６】図示されたバルブは摺動バルブであり、そ
の機構は、リターンスプリング１９により互いを近づけ
る応力に従う２個の可動弁１７、１８を含む。２個の可
動弁の間に配置されるキャリジ２０は、制御軸２１に接
続されている。キャリジは球を含み、この球は、バルブ
が開いた位置（図２）で、可動弁内に設けられた溝２２
に一部が収容され、リターンスプリング１９の応力によ
り可動弁を相互に近づけることができる。
【００１７】図１において、バルブは閉鎖位置にあり、
可動弁はケーシング１３の底に当たっているので、これ
によって軸２１を押しながら溝２２から球を出し、それ
によって可動弁１７、１８を離すことができる。
【００１８】この摺動バルブは、オールオアナッシング
作動のバルブである。
【００１９】しかしながら、本発明は、バルブのケーシ
ングとポンプのハウジングとが組立不要の同一部品から
構成されるので、勿論、如何なるタイプのバルブにも適
用され、特に流量調整バルブの場合に適用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空にする槽に接続された、本発明によるター
ボ分子ポンプを示す図である。
【図２】バルブの拡大図である。
【符号の説明】
１ ターボ分子ポンプ ２ ロータ ３ ハウジング ４ 可動羽根 ５ 固定羽根 ６ 駆動モータのロータ ７ 駆動モータのステータ ８ 吐出ポート ９ 接続フランジ １０ 吸入ポート １１ バルブ １２ バルブ機構 １３ ケーシング １４ 真空槽 １５Ａ，１５Ｂ 組立フランジ １６ パッキン １７，１８ 可動弁 １９ リターンスプリング ２０ キャリヤ ２１ 制御軸 ２２ 溝

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吸入ポート（１０）および吐出ポート
    （８）を含むハウジング（３）の内部にロータ（２）を
    収容し、ケーシング（１３）の内部にバルブ機構（１
    ２）を備えるバルブ（１１）に吸入ポートで接続される
    ターボ分子ポンプ（１）において、バルブの前記ケーシ
    ング（１３）がポンプの前記ハウジング（３）と一体形
    成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
JP11051084A 1998-03-16 1999-02-26 タ―ボ分子ポンプ Pending JPH11303791A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9803191 1998-03-16
FR9803191A FR2776029B1 (fr) 1998-03-16 1998-03-16 Pompe turbomoleculaire

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11303791A true JPH11303791A (ja) 1999-11-02

Family

ID=9524085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11051084A Pending JPH11303791A (ja) 1998-03-16 1999-02-26 タ―ボ分子ポンプ

Country Status (5)

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US (1) US6186749B1 (ja)
EP (1) EP0943807B1 (ja)
JP (1) JPH11303791A (ja)
DE (1) DE69910475T2 (ja)
FR (1) FR2776029B1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
US6186749B1 (en) 2001-02-13
FR2776029B1 (fr) 2000-06-23
EP0943807B1 (fr) 2003-08-20
DE69910475D1 (de) 2003-09-25
EP0943807A1 (fr) 1999-09-22
FR2776029A1 (fr) 1999-09-17
DE69910475T2 (de) 2004-06-17

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