EP0943807A1 - Pompe turbomoléculaire - Google Patents

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EP0943807A1
EP0943807A1 EP99400484A EP99400484A EP0943807A1 EP 0943807 A1 EP0943807 A1 EP 0943807A1 EP 99400484 A EP99400484 A EP 99400484A EP 99400484 A EP99400484 A EP 99400484A EP 0943807 A1 EP0943807 A1 EP 0943807A1
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EP
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pump
casing
turbomolecular pump
inlet
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André Bouille
Jean-François Guilbert
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Alcatel CIT SA
Alcatel Lucent SAS
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Alcatel CIT SA
Alcatel SA
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves

Definitions

  • the present invention relates to a turbomolecular pump.
  • turbomolecular pump any secondary vacuum pump mechanical type with rotating rotor, whether finned or drum-type, or mixed.
  • the pumping group includes in particular a turbomolecular pump connected to the enclosure to be emptied via a valve.
  • the present invention aims to reduce the size of such assembly, and reduce the number of seals.
  • the subject of the invention is therefore a turbomolecular pump comprising a rotor housed inside a housing comprising an inlet for suction and a outlet for discharge, said pump being associated with its inlet to a valve comprising a valve mechanism inside an enclosure, characterized in that said valve cover is in one piece with said pump housing.
  • FIG. 1 shows a turbomolecular pump according to the invention connected to an enclosure to empty.
  • Figure 2 is an enlarged view of the valve.
  • turbomolecular pump 1 comprising a rotor 2 housed inside a casing 3.
  • the rotor 2 comprises a plurality of stages 4 of movable fins and the casing 3 supports a plurality of stages of stator fins 5.
  • the casing 3 of the pump has a discharge outlet 8 comprising a connecting flange 9 for its assembly with a pump primary.
  • the pump 1 is associated, at its suction inlet 10, with a valve 11 comprising a valve mechanism 12 located inside an envelope 13.
  • the casing 13 of the valve 11 is in one piece with the casing 3 of the pump 1.
  • the casing 13 and the casing 3 therefore constitute a one and the same piece without assembly.
  • the assembly is connected to an enclosure to be emptied 14 by means of flanges 15A-15B with a seal 16 between the two flanges 15A and 15B.
  • the arrangement according to the invention makes it possible to avoid assembly by flanges between the pump 1 and the valve 11, and therefore to reduce the space requirement and remove a seal between the pump and the valve. Deleting a joint is beneficial, because it reduces pollution of enclosure 14.
  • the valve shown is a slide valve, the mechanism of which comprises two movable valves 17 and 18 subjected to a force of approach one towards the other by a return spring 19. Between the two valves, is located a carriage 20 linked to a control axis 21.
  • the carriage comprises balls 22 which, in position valve open ( Figure 2), are partly housed in grooves 22 arranged in the valves, and allowing mutual reconciliation of the valves by the force of the return spring 19.
  • valve In Figure 1, the valve is in the closed position, the valves are in abutment against the bottom of the casing 13 allowing, by pushing the axis 21, to bring out the balls of the grooves 12, and therefore of spreading the valves 17 and 18.
  • This slide valve is an all-or-nothing valve.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
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Abstract

Pompe turbomoléculaire (1) comprenant un rotor (2) logé à l'intérieur d'un carter (3) comportant une entrée (10) pour l'aspiration, et une sortie (8) pour le refoulement, ladite pompe étant associée, à son entrée, à une vanne (11) comportant un mécanisme de vanne (12) à l'intérieur d'une enveloppe (13), caractérisée en ce que ladite enveloppe (13) de la vanne est monobloc avec ledit carter (3) de la pompe. <IMAGE>

Description

La présente invention concerne une pompe turbomoléculaire.
Par pompe turbomoléculaire, on entend toute pompe à vide secondaire d'un type mécanique à rotor tournant, qu'elle soit à ailettes ou à tambour, ou mixte.
Dans les procédés industriels où une enceinte doit être mise sous vide, le groupe de pompage comporte notamment une pompe turbomoléculaire reliée à l'enceinte à vider par l'intermédiaire d'une vanne.
La présente invention a pour but de diminuer l'encombrement d'un tel assemblage, et de réduire le nombre de joints d'étanchéité.
L'invention a ainsi pour objet une pompe turbomoléculaire comprenant un rotor logé à l'intérieur d'un carter comportant une entrée pour l'aspiration et une sortie pour le refoulement, ladite pompe étant associée à son entrée à une vanne comportant un mécanisme de vanne à l'intérieur d'une enveloppe, caractérisée en ce que ladite enveloppe de la vanne est monobloc avec ledit carter de la pompe.
On va maintenant donner la description d'un exemple particulier de mise en oeuvre de l'invention en se référant au dessin annexé dans lequel :
La figure 1 montre une pompe turbomoléculaire selon l'invention reliée à une enceinte à vider.
La figure 2 est une vue agrandie de la vanne.
En se référant aux figures, on voit une pompe turbomoléculaire 1 comportant un rotor 2 logé à l'intérieur d'un carter 3.
Le rotor 2 comprend une pluralité d'étages 4 d'ailettes mobiles et le carter 3 supporte une pluralité d'étages d'ailettes statoriques 5.
En 6 a été figuré le rotor du moteur électrique d'entraínement, et en 7 le stator de ce même moteur.
Le carter 3 de la pompe comporte une sortie 8 de refoulement comprenant une bride de liaison 9 pour son assemblage avec une pompe primaire.
La pompe 1 est associée, à son entrée d'aspiration 10, à une vanne 11 comportant un mécanisme de vanne 12 situé à l'intérieur d'une enveloppe 13.
Conformément à l'invention, l'enveloppe 13 de la vanne 11 est monobloc avec le carter 3 de la pompe 1. L'enveloppe 13 et le carter 3 constituent donc une seule et même pièce sans assemblage.
L'ensemble est relié à une enceinte à vider 14 par le moyen de brides d'assemblage 15A-15B avec un joint d'étanchéité 16 entre les deux brides 15A et 15B.
Ainsi, la disposition selon l'invention permet d'éviter un assemblage par brides entre la pompe 1 et la vanne 11, et donc de diminuer l'encombrement et de supprimer un joint d'étanchéité entre la pompe et la vanne. La suppression d'un joint est bénéfique, car cela permet de diminuer la pollution de l'enceinte 14.
En effet, dans le cas où l'on pompe des gaz condensables, ceux-ci se condensent notamment sur les joints d'étanchéité difficiles à réchauffer.
La réduction de l'encombrement résultant de la suppression d'un assemblage permet en outre d'augmenter légèrement la conductance.
La vanne représentée est une vanne tiroir dont le mécanisme comprend deux clapets mobiles 17 et 18 soumis à un effort de rapprochement l'un vers l'autre par un ressort de rappel 19. Entre les deux clapets, est situé un chariot 20 lié à un axe de commande 21. Le chariot comprend des billes 22 qui, en position ouverte de la vanne (figure 2), sont en partie logées dans des gorges 22 aménagées dans les clapets, et permettant le rapprochement mutuel des clapets par l'effort du ressort de rappel 19.
Sur la figure 1, la vanne est en position fermée, les clapets sont en butée contre le fond de l'enveloppe 13 permettant, en poussant l'axe 21, de faire sortir les billes des gorges 12, et donc d'écarter les clapets 17 et 18.
Cette vanne tiroir est une vanne à fonctionnement en tout ou rien.
Il est cependant bien évident que l'invention s'applique à n'importe quel type de vanne, et en particulier au cas d'une vanne de régulation de débit, l'invention consistant dans le fait que l'enveloppe de la vanne et le carter de la pompe sont en une seule et même pièce sans assemblage.

Claims (1)

  1. Pompe turbomoléculaire (1) comprenant un rotor (2) logé à l'intérieur d'un carter (3) comportant une entrée (10) pour l'aspiration, et une sortie (8) pour le refoulement, ladite pompe étant associée, à son entrée, à une vanne (11) comportant un mécanisme de vanne (12) à l'intérieur d'une enveloppe (13), caractérisée en ce que ladite enveloppe (13) de la vanne est monobloc avec ledit carter (3) de la pompe.
EP99400484A 1998-03-16 1999-03-01 Pompe turbomoléculaire Expired - Lifetime EP0943807B1 (fr)

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