EP0943807B1 - Pompe turbomoléculaire - Google Patents

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EP0943807B1
EP0943807B1 EP99400484A EP99400484A EP0943807B1 EP 0943807 B1 EP0943807 B1 EP 0943807B1 EP 99400484 A EP99400484 A EP 99400484A EP 99400484 A EP99400484 A EP 99400484A EP 0943807 B1 EP0943807 B1 EP 0943807B1
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EP
European Patent Office
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valve
pump
casing
assembly
turbomolecular pump
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
EP99400484A
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German (de)
English (en)
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EP0943807A1 (fr
Inventor
André Bouille
Jean-François Guilbert
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Alcatel Lucent SAS
Original Assignee
Alcatel CIT SA
Alcatel SA
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves

Definitions

  • the present invention relates to a turbomolecular pump, see EP-A 0 397 051.
  • Turbomolecular pump means any secondary vacuum pump of a mechanical type with a rotating rotor, whether with blades or with a drum, or mixed.
  • the pumping unit comprises in particular a turbomolecular pump connected to the enclosure to be emptied via a valve.
  • the present invention aims to reduce the bulk of such a assembly, and reduce the number of seals.
  • the subject of the invention is thus a turbomolecular pump comprising a rotor housed inside a housing having an inlet for suction and a outlet for delivery, said pump being associated with its inlet to a valve having a valve mechanism inside an envelope, characterized in that that said casing of the valve is monobloc with said casing of the pump.
  • FIG. 1 shows a turbomolecular pump according to the invention connected to an enclosure to empty.
  • Figure 2 is an enlarged view of the valve.
  • turbomolecular pump 1 comprising a rotor 2 housed inside a housing 3.
  • the rotor 2 comprises a plurality of stages 4 of movable vanes and the casing 3 supports a plurality of stator vane stages 5.
  • the casing 3 of the pump comprises an outlet 8 of discharge comprising a connecting flange 9 for its assembly with a pump primary.
  • the pump 1 is associated, at its suction inlet 10, with a valve 11 having a valve mechanism 12 located inside an envelope 13.
  • the casing 13 of the valve 11 is in one piece with the casing 3 of the pump 1.
  • the casing 13 and the casing 3 therefore constitute a single and same piece without assembly.
  • the assembly is connected to a chamber to be emptied 14 by means of flanges assembly 15A-15B with a seal 16 between the two flanges 15A and 15B.
  • the arrangement according to the invention makes it possible to avoid assembly by flanges between the pump 1 and the valve 11, and thus reduce the bulk and remove a seal between the pump and the valve. Deleting a joint is beneficial because it reduces the pollution of the enclosure 14.
  • Reduced congestion resulting from the removal of a assembly also allows to slightly increase the conductance.
  • the valve shown is a slide valve whose mechanism includes two movable valves 17 and 18 subjected to an effort of approximation one towards the other by a return spring 19. Between the two flaps, is located a carriage 20 linked to a control shaft 21.
  • the carriage comprises balls 22 which, in position valve open ( Figure 2), are partially housed in grooves 22 fitted to the flaps and allowing the mutual by the force of the return spring 19.
  • valve In FIG. 1, the valve is in the closed position, the valves are in abutment against the bottom of the casing 13 allowing, by pushing the axis 21, out the balls of the grooves 12, and thus to separate the valves 17 and 18.
  • This slide valve is an all-or-nothing valve.
  • the invention applies to any type of valve, and in particular in the case of a flow control valve, the invention consisting in the fact that the casing of the valve and the housing of the pump are in one and the same piece without assembly.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

La présente invention concerne une pompe turbomoléculaire, voir EP-A - 0 397 051.
Par pompe turbomoléculaire, on entend toute pompe à vide secondaire d'un type mécanique à rotor tournant, qu'elle soit à ailettes ou à tambour, ou mixte.
Dans les procédés industriels où une enceinte doit être mise sous vide, le groupe de pompage comporte notamment une pompe turbomoléculaire reliée à l'enceinte à vider par l'intermédiaire d'une vanne.
La présente invention a pour but de diminuer l'encombrement d'un tel assemblage, et de réduire le nombre de joints d'étanchéité.
L'invention a ainsi pour objet une pompe turbomoléculaire comprenant un rotor logé à l'intérieur d'un carter comportant une entrée pour l'aspiration et une sortie pour le refoulement, ladite pompe étant associée à son entrée à une vanne comportant un mécanisme de vanne à l'intérieur d'une enveloppe, caractérisée en ce que ladite enveloppe de la vanne est monobloc avec ledit carter de la pompe.
On va maintenant donner la description d'un exemple particulier de mise en oeuvre de l'invention en se référant au dessin annexé dans lequel :
La figure 1 montre une pompe turbomoléculaire selon l'invention reliée à une enceinte à vider.
La figure 2 est une vue agrandie de la vanne.
En se référant aux figures, on voit une pompe turbomoléculaire 1 comportant un rotor 2 logé à l'intérieur d'un carter 3.
Le rotor 2 comprend une pluralité d'étages 4 d'ailettes mobiles et le carter 3 supporte une pluralité d'étages d'ailettes statoriques 5.
En 6 a été figuré le rotor du moteur électrique d'entraínement, et en 7 le stator de ce même moteur.
Le carter 3 de la pompe comporte une sortie 8 de refoulement comprenant une bride de liaison 9 pour son assemblage avec une pompe primaire.
La pompe 1 est associée, à son entrée d'aspiration 10, à une vanne 11 comportant un mécanisme de vanne 12 situé à l'intérieur d'une enveloppe 13.
Conformément à l'invention, l'enveloppe 13 de la vanne 11 est monobloc avec le carter 3 de la pompe 1. L'enveloppe 13 et le carter 3 constituent donc une seule et même pièce sans assemblage.
L'ensemble est relié à une enceinte à vider 14 par le moyen de brides d'assemblage 15A-15B avec un joint d'étanchéité 16 entre les deux brides 15A et 15B.
Ainsi, la disposition selon l'invention permet d'éviter un assemblage par brides entre la pompe 1 et la vanne 11, et donc de diminuer l'encombrement et de supprimer un joint d'étanchéité entre la pompe et la vanne. La suppression d'un joint est bénéfique, car cela permet de diminuer la pollution de l'enceinte 14.
En effet, dans le cas où l'on pompe des gaz condensables, ceux-ci se condensent notamment sur les joints d'étanchéité difficiles à réchauffer.
La réduction de l'encombrement résultant de la suppression d'un assemblage permet en outre d'augmenter légèrement la conductance.
La vanne représentée est une vanne tiroir dont le mécanisme comprend deux clapets mobiles 17 et 18 soumis à un effort de rapprochement l'un vers l'autre par un ressort de rappel 19. Entre les deux clapets, est situé un chariot 20 lié à un axe de commande 21. Le chariot comprend des billes 22 qui, en position ouverte de la vanne (figure 2), sont en partie logées dans des gorges 22 aménagées dons les clapets, et permettant le rapprochement mutuel des clapets par l'effort du ressort de rappel 19.
Sur la figure 1, la vanne est en position fermée, les clapets sont en butée contre le fond de l'enveloppe 13 permettant, en poussant l'axe 21, de faire sortir les billes des gorges 12, et donc d'écarter les clapets 17 et 18.
Cette vanne tiroir est une vanne à fonctionnement en tout ou rien.
Il est cependant bien évident que l'invention s'applique à n'importe quel type de vanne, et en particulier au cas d'une vanne de régulation de débit, l'invention consistant dans le fait que l'enveloppe de la vanne et le carter de la pompe sont en une seule et même pièce sans assemblage.

Claims (1)

  1. Ensemble d'une pompe turbomoléculaire (1) et d'une vanne (11) comprenant un rotor (2) logé à l'intérieur d'un carter (3) comportant une entrée (10) pour l'aspiration, et une sortie (8) pour le refoulement, ladite pompe étant associée, à son entrée, à une vanne (11) comportant un mécanisme de vanne (12) à l'intérieur d'une enveloppe (13), caractérisée en ce que ladite enveloppe (13) de la vanne est monobloc avec ledit carter (3) de la pompe.
EP99400484A 1998-03-16 1999-03-01 Pompe turbomoléculaire Expired - Lifetime EP0943807B1 (fr)

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FR9803191 1998-03-16

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EP0943807A1 EP0943807A1 (fr) 1999-09-22
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19951954A1 (de) * 1999-10-28 2001-05-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpe
JP4672204B2 (ja) * 2001-08-03 2011-04-20 エドワーズ株式会社 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ
DE102004047930A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-06 Leybold Vacuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
DE102012112492A1 (de) * 2012-12-18 2014-06-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumsystem
DE102016114983A1 (de) * 2016-08-12 2018-02-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumsystem
US10704715B2 (en) * 2017-05-29 2020-07-07 Shimadzu Corporation Vacuum pumping device, vacuum pump, and vacuum valve
JP6951640B2 (ja) * 2017-05-29 2021-10-20 株式会社島津製作所 真空排気装置、真空ポンプおよび真空バルブ
GB2575450B (en) * 2018-07-09 2022-01-26 Edwards Ltd A variable inlet conductance vacuum pump, vacuum pump arrangement and method
GB2591814A (en) * 2020-02-10 2021-08-11 Edwards Vacuum Llc Housing for a vacuum pump

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4926648A (en) * 1988-03-07 1990-05-22 Toshiba Corp. Turbomolecular pump and method of operating the same
JP2538796B2 (ja) * 1989-05-09 1996-10-02 株式会社東芝 真空排気装置および真空排気方法
JP3309229B2 (ja) * 1992-07-16 2002-07-29 アルバック・クライオ株式会社 ターボ分子ポンプ付クライオポンプ装置

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FR2776029B1 (fr) 2000-06-23
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FR2776029A1 (fr) 1999-09-17
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