DE69910475T2 - Turbomolekularpumpe - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe, siehe EP-A-0 397 051.
• Unter Turbomolekularpumpe werden alle Sekundär-Vakuumpumpen mechanischer Art mit einem Drehrotor mit Schaufeln und/oder Trommeln verstanden. Bei den industriellen Verfahren, bei denen ein Behälter unter Vakuum gesetzt werden soll, umfasst das Pumpaggregat insbesondere eine Turbomolekularpumpe, die mit dem zu leerenden Behälter mittels eines Ventils verbunden ist.
• Die vorliegende Erfindung will die Abmessungen einer solchen Installation und die Anzahl der Dichtungen verringern.
• So hat die Erfindung eine Turbomolekularpumpe zum Gegenstand, die einen im Inneren eines Gehäuses angeordneten Rotor umfasst, der einen Eingang zum Ansaugen und einen Ausgang für den Ausstoß umfasst, wobei die Pumpe an ihrem Eingang an ein Ventil angeschlossen ist, das einen Ventilmechanismus innerhalb eines Gehäuses umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse des Ventils einstückig mit dem Gehäuse der Pumpe verbunden ist.
• Nachfolgend wird ein besonderes Beispiel der Anwendung der Erfindung beschrieben, das sich auf die beiliegenden Zeichnungen bezieht, in denen:
• 1 eine Turbomolekularpumpe der Erfindung zeigt, die mit einem zu leerenden Behälter verbunden ist;
• 2 eine vergrößerte Ansicht des Ventils ist.
• In den Figuren ist eine Turbomolekularpumpe 1 zu sehen, die einen in einem Gehäuse 3 angeordneten Rotor 2 umfasst.
• Der Rotor 2 umfasst mehrere Stufen 4 beweglicher Schaufeln, und das Gehäuse 3 trägt mehrere Stufen feststehender Schaufeln 5.
• Mit 6 wurden der Rotor des elektrischen Antriebsmotors und mit 7 der Stator dieses Motors bezeichnet.
• Das Gehäuse 3 der Pumpe umfasst einen Ausgang 8 für den Ausstoß, der einen Verbindungsflansch 9 für ihre Verbindung mit einer Vorvakuumpumpe umfasst.
• Die Pumpe 1 ist an ihrem Ansaugeingang 10 mit einem Ventil 11 verbunden, das einen Ventilmechanismus 12 umfasst, der innerhalb eines Gehäuses 13 angeordnet ist.
• Erfindungsgemäß ist das Gehäuse 13 des Ventils einstückig mit dem Gehäuse 3 der Pumpe ausgebildet. Das Gehäuse 13 und das Gehäuse 3 bilden somit ein einziges Teil ohne Verbindung.
• Die Einheit ist mit einem unter Vakuum zu setzenden Behälter 14 verbunden, und zwar an Hand von Verbindungsflanschen 15A–15B, zwischen die eine Dichtung 16 gesetzt ist.
• Somit ermöglicht die Anordnung der Erfindung den Verzicht auf eine Flanschverbindung zwischen der Pumpe 1 und dem Ventil 11 und somit eine Verringerung der Abmessungen und den Wegfall einer Dichtung zwischen Pumpe und Ventil. Der Verzicht auf eine Dichtung ist insofern vorteilhaft, als dadurch die Verschmutzung des Behältes 14 reduziert wird.
• Im Falle des Pumpens kondensierbarer Gase kondensieren diese nämlich insbesondere an den schwer zu erwärmenden Dichtungen.
• Durch die durch den Wegfall einer Verbindung erreichte Verringerung der Abmessungen kann ferner die Konduktanz geringfügig erhöht werden.
• Das dargestellte Ventil ist ein Absperrschieber, dessen Mechanismus zwei bewegliche Klappen 17 und 18 umfasst, die durch eine Rückholfeder 19 zueinander hingezogen werden. Zwischen den beiden Klappen ist ein Schlitten 20 angeordnet, der an eine Steuerachse 21 gekoppelt ist. Der Schlitten umfasst Kugeln 22, die in offener Stellung des Ventils (2) teilweise in Ausnehmungen 22 ruhen, die in den Klappen vorgesehen sind und die Annäherung der Klappen aneinander durch die Wirkung der Rückholfeder 19 erlauben.
• In 1 befindet sich das Ventil in geschlossener Stellung, wobei die Klappen an den Boden des Gehäuses 13 anliegen, wodurch die Kugeln durch Drücken der Achse 21 aus den Ausnehmungen 12 herauskommen und so die Klappen 17 und 18 auseinanderdrücken können.
• Dieser Absperrschieber ist ein Schieber mit Alles-oder-Nichts-Funktion.
• Allerdings liegt es auf der Hand, dass die Erfindung auf jegliche Arten von Ventilen und insbesondere auf den Fall eines Durchsatzregelungsventils anwendbar ist, wobei die Erfindung darin besteht, dass das Gehäuse des Ventils und das Gehäuse der Pumpe ein einziges Teil ohne Verbindung bilden.

Claims (1)

1. Einheit einer Turbomolekularpumpe (1) eines Ventils (11) mit einem Rotor (2), der innerhalb eines Gehäuses (3) angeordnet ist, das einen Eingang (10) zum Ansaugen und einen Ausgang (8) für den Ausstoß umfasst, welche Pumpe an ihrem Eingang an ein Ventil (11) angeschlossen ist, das einen Ventilmechanismus (12) in einem Gehäuse (13) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (13) des Ventils einstückig verbunden ist mit dem Gehäuse (3) der Pumpe.