EP0626516A1 - Zweifach-Verdrängerpumpe - Google Patents

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EP0626516A1
EP0626516A1 EP94103685A EP94103685A EP0626516A1 EP 0626516 A1 EP0626516 A1 EP 0626516A1 EP 94103685 A EP94103685 A EP 94103685A EP 94103685 A EP94103685 A EP 94103685A EP 0626516 A1 EP0626516 A1 EP 0626516A1
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EP
European Patent Office
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pump
piston
hybrid
diaphragm
double
Prior art date
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EP94103685A
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English (en)
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EP0626516B1 (de
Inventor
Erich Becker
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KNF Neuberger GmbH
Original Assignee
KNF Neuberger GmbH
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Publication date
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Application filed by KNF Neuberger GmbH filed Critical KNF Neuberger GmbH
Publication of EP0626516A1 publication Critical patent/EP0626516A1/de
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Publication of EP0626516B1 publication Critical patent/EP0626516B1/de
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B23/00—Pumping installations or systems
    • F04B23/04—Combinations of two or more pumps
    • F04B23/06—Combinations of two or more pumps the pumps being all of reciprocating positive-displacement type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B25/00—Multi-stage pumps
    • F04B25/005—Multi-stage pumps with two cylinders
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/04—Measures to avoid lubricant contaminating the pumped fluid
    • F04B39/041—Measures to avoid lubricant contaminating the pumped fluid sealing for a reciprocating rod
    • F04B39/048—Sealing between piston and carter being provided by a diaphragm
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows

Definitions

  • the invention relates to a double positive displacement pump, in particular with a turbo molecular pump which can be connected upstream.
  • Double piston pumps are already known, in which the two pistons are connected to each other via a piston rod and are driven by a linear drive (see brochure "LABOVAC linear diaphragm pumps and piston pumps” from SASKIA, Hochvakuum- und Labortechnik GmbH, O-6300 Ilmenau). It is also mentioned there that hermetic sealing of the pistons can be achieved in special models by installing a separating membrane. Piston pumps of this type with or without a separating membrane still have several disadvantages: In the case of the piston causing the extension, for example in the open, condensate formation can occur if the fluid handled is suitably humid. This leads to increased wear and leaks in the piston seals. This means a drop in the performance of the entire pump unit.
  • a piston pump is already known, in which the piston-cylinder chamber faces the crank chamber with a sealing membrane is closed. This prevents, for example, atmospheric air from getting past the piston rings or a lip seal of the piston and the vacuum generated in the piston pump thereby deteriorating somewhat.
  • the disadvantage is also prevented that the actual delivery medium itself is contaminated by air which may or may not be contaminated, coming from the crank chamber. It should also be noted that you cannot achieve tightness in the long run when the crankshaft passes and that lubrication is necessary in the crankcase due to the mechanical movements. This also contributes to undesirable contamination of the actual delivery medium if the piston-cylinder chamber is not sealed off from the crank chamber.
  • turbomolecular pumps of a type known per se have speeds of, for example, 30,000 rpm, but also much higher speeds.
  • the rotors of such turbo-molecular pumps are therefore usually also stored in magnetic bearings and are accordingly sensitive to shocks.
  • the dual displacement pump should be used as a pre-pump in front of a turbo-molecular pump, whereby on the one hand the turbomolecular pump should not be impaired by impurities coming from the dual-displacement pump on the one hand, but on the other hand should not be impaired in its running properties by vibrations .
  • the dual displacement pump should also have a relatively high pumping speed, which is desirable for economical operation of the turbomolecular pump.
  • the solution according to the invention consists in a double positive displacement pump in accordance with the preamble of claim 1 in particular in that it is designed as a hybrid pump which has a piston pump with a comparatively large displacement on the medium inlet side and its piston-cylinder chamber with respect to the crank chamber of this hybrid pump is closed by means of a sealing diaphragm, and that in the hybrid pump the piston pump is followed by a diaphragm pump whose displacement is noticeably smaller than that of the piston pump.
  • the diaphragm pump directly connected to the turbo-molecular pump must have relatively large dimensions because of the aforementioned different suction volumes of the two pumps connected in series, which leads to large masses to be moved and also certain disadvantages with regard to the diaphragm design in the diaphragm pump adjacent to the turbo-molecular pump pulls itself.
  • optimal conditions are achieved with the hybrid pump according to the innovation, that is to say a combination of a piston pump and a membrane pump connected downstream of this piston pump.
  • backing pumps with two diaphragms - as I said - are no longer optimally efficient.
  • tests have shown that backing pumps that are supposed to work together with turbomolecular pumps are on the order of magnitude where two diaphragm pumps connected in series can no longer be optimally designed.
  • the dual displacement pump according to the invention therefore allows absolute freedom from lubricants and the like.
  • the turbo-molecular pump is added to the entire unit and this entire unit is used, for example, in the field of electronics component production.
  • absolute cleanliness is important, for example when vapor-depositing chips.
  • the production process which is to be kept under vacuum here by an overall unit according to claim 3, usually takes place under the influence of protective gas. Even very minor impurities have considerable disadvantages. These can be largely avoided by the double positive displacement pump according to claim 3 and possibly 4.
  • the measures of claim 6 have the advantage that a minimal dead space is achieved.
  • the measures of claim 7 make mass balancing of the parts moving back and forth possible, which leads to a smooth running of the double displacement pump. This applies in particular in connection with the features of claim 8.
  • the measures of claim 9 contribute significantly to the fact that the space between the pendulum piston or its associated sealing sleeve on the one hand and the one with the sealing membrane on the other hand, especially when the hybrid pump starts up, is evacuated to such an extent that an undesirable overflow from the piston pump's displacement into the Gap is omitted or is largely avoided.
  • the double displacement pump and, if applicable, the connected turbomolecular pump are then ready for operation faster when starting up.
  • the double positive displacement pump 1 shows a double positive displacement pump 1 below a turbo-molecular pump 2 connected to it.
  • the double positive displacement pump 1 is designed as a hybrid pump 3, the piston 4 on the medium inlet side being a relatively large piston pump 5 Has displacement 6, the piston-cylinder chamber 7 is sealed off from the crank chamber 8 of the hybrid pump 3 by means of a sealing membrane 9.
  • the piston pump 5 is followed by a diaphragm pump 10, the Displacement 11 in comparison to that of the piston pump 5 is noticeably smaller.
  • the displacements 6 and 11 of the hybrid pump 3 are at least approximately matched to one another in such a way that the extension volume of the piston pump 5 is equal to the suction volume of the diaphragm pump 10 at a certain operating vacuum. If necessary, intake and extension volumes can also be coordinated for an operating area in the sense of optimization.
  • the double displacement pump 1 cooperates with a turbo-molecular pump 2 in such a way that the double displacement pump 1 is connected at least in the flow path of the turbo-molecular pump 2 in such a way that the intake port 12 of the piston pump 5 communicates with the outlet 15 of the turbomolecular pump 2.
  • the turbomolecular pump 2 and the double displacement pump 1 are connected to one another with respect to their housings 16 and 17, for example by means of a frame 31 only indicated schematically in FIG.
  • the turbo molecular pump 2 and the double displacement pump 1 can of course also be accommodated in a common housing (not shown).
  • both pumps 5 and 10 of the double displacement pump 1 are provided with pendulum pistons 18 and 19, and in the piston pump 5 of the double displacement pump 1, a disk-like sealing sleeve 20 is attached to the piston head 21 thereof.
  • This sealing sleeve 20 seals the piston head 21 against the piston-cylinder space 7 of the piston pump 5. Since the double displacement pump 1 has a piston pump 5 on the one hand and a diaphragm pump 10 on the other hand, one speaks of a “hybrid pump 3”.
  • the diaphragm pump 10 of this hybrid pump 3 has a shaped membrane 22, the upper side 24 of the adjacent pump chamber wall 23 which is adapted to it, so that there is only a practically minimal dead space in the dead center position (lower in FIG. 1).
  • the piston pump 5 and the diaphragm pump 10 of the hybrid pump 3 are driven via a common crankshaft 26.
  • the two pumps 5 and 10 are arranged opposite one another in the direction of the longitudinal axis L of the pump. Because of this and because of the common drive via the crankshaft 26, mass balancing with regard to the pumping movement of the piston pump 5 and the diaphragm pump 10 is readily possible. This results in a particularly smooth running of the hybrid pump if a mass balance of all moving masses is provided with respect to the piston and diaphragm pumps 5 and 10.
  • FIG. 1 one can also see a suction line 33, which extends from the connecting line 32, which leads from the turbomolecular pump 2 of the piston pump suction point 12, and from there to the intermediate space 30 which, on the one hand, extends between the piston head 21 of the piston pump 5 and the associated sealing membrane 9 is located.
  • the intermediate space 30 is also evacuated by this suction line 33, in particular when the hybrid pump 3 starts up. Leakages on the associated sealing collar 20 are not significant and do not have a long-term effect, so that the piston pump 5 brings about a corresponding reduction in pressure soon after the hybrid pump 3 starts up with the desired large suction volume. From the outlet port 34, the pumping medium indicated in FIG.
  • the mode of operation of the combined turbo-molecular and hybrid pump 2, 3 can be explained particularly well during the start-up process. This is done as follows: In the housing 16 of the turbomolecular pump 2 there is an impeller 40, which is connected to a motor M, which is only indicated schematically, and paddle wheels 41 of known construction having. In the housing 16 there are, adjacent to the impeller wheels 41, guide disks 42 or the like.
  • the impeller 40 of the turbomolecular pump runs at, for example, 30,000 revolutions per minute, but possibly also much faster, for example at around 60,000 revolutions per minute. Because of this high rotational speed, it is usually stored in magnetic bearings 43, one of which is drawn on the right side of FIG.
  • turbomolecular pump inlet 45 leads from space 44 into this turbomolecular pump 2.
  • turbomolecular pump 2 known per se, starts up, it initially does little in the start-up stage. Its pressure-side outlet 15 leads via the connecting line 32 into the displacement 6 of the piston pump 5.
  • the piston pump 5, as well as the diaphragm pump 10, on the inlet and outlet sides of the medium is equipped with known vacuum valves 27, which are only indicated schematically in FIG.
  • vacuum is generated by the movement of the pendulum piston 18 in the displacement 6.
  • the medium as described above, which is usually air, but also other gases, is then conducted via the pump line 36 to the inlet port 37 of the diaphragm pump 10. This sucks in gas, air or the like medium in the usual working cycle and pushes it out at its outlet connection 38.
  • the sealing membrane 9 attached to the rear of the pendulum piston 18 of the piston pump 5 prevents impurities from penetrating into the medium area.
  • the suction line 33 leads from the intermediate space 30 to the connecting line 32, which connects the turbomolecular pump to the piston pump 5. Any leaks on the sealing collar 20 of the pendulum piston 5 and thus the medium that has penetrated into the intermediate space 30 can be eliminated with the aid of this suction line again before the suction valve 27 of the piston pump 5 are performed. This speeds up the suction process in order to achieve an operating vacuum.
  • the turbomolecular pump 2 only begins to be practically effective when a certain minimum vacuum has been reached by the hydride pump 3, which practically represents a backing pump for the turbomolecular pump 2. Then it works in combination with the hybrid pump 3 as follows: Due to the high speed of the impeller wheels 41 of the turbomolecular pump 2, molecules in their housing 16 receive correspondingly high impulses and are moved from the turbomolecular pump inlet 45 to their outlet 15 , which leads to the desired increase in the vacuum known per se in turbomolecular pumps. To a certain extent, the molecules are mechanically transported by these impulses in the direction of the outlet 15 of the turbomolecular pump, which results in an increase in the vacuum.
  • the double positive displacement pump 1 serving as the backing pump for the turbo-molecular pump 2 is designed as a hybrid pump 3, the piston pump 5 of which, in the sense of the medium flow, adjacent to the turbo-molecular pump 2 produces a relatively large suction volume and is nevertheless protected against contamination and leaks, but works in combination with the outlet-side diaphragm pump 10, which in turn is insensitive to condensate.
  • Curve 46 shows the suction capacity, plotted against the suction pressure, for a normal, two-stage diaphragm pump.
  • Curve 47 shows the course of the pumping speed of a two-stage hybrid pump 3 with a piston pump on the suction side and a diaphragm pump 5 and 10 on the outlet side.

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Abstract

Eine Zweifach-Verdrängerpumpe (1) dient insbesondere dazu, mit einer ihr vorschaltbaren Turbo-Molekularpumpe (2) zusammenzuarbeiten. Dabei ist die Zweifach-Verdrängerpumpe (1) erfindungsgemäß als Hybrid-Pumpe (3) ausgebildet, die mediumeintrittsseitig eine Kolbenpumpe (5) mit vergleichsweise großem Hubraum (6) aufweist, wobei deren Kolben-Zylinderraum (7) gegenüber dem Kurbelraum (8) mittels einer Dichtmembran (9) abgeschlossen ist. Ferner gehört mit zur erfinderischen Ausgestaltung der Zweifach-Verdrängerpumpe (1), daß bei der Hybrid-Pumpe (3) der Kolbenpumpe (5) eine Membranpumpe (10) nachgeschaltet ist, deren Hubraum (11) im Vergleich zu dem der Kolbenpumpe (5) merkbar kleiner ist. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Zweifach-Verdrängerpumpe, insbesondere mit vorschaltbarer Turbo-Molekularpumpe.
  • Man kennt bereits Zweifach-Kolbenpumpen, bei denen die beiden Kolben über eine Kolbenstange miteinander verbunden sind und über einen Linearantrieb angetrieben werden (vgl. Prospekt "LABOVAC-Linear-Membranpumpen und Kolbenpumpen" der Firma SASKIA, Hochvakuum- und Labortechnik GmbH, O-6300 Ilmenau). Dort ist auch erwähnt, daß bei Sondermodellen durch Einbau einer Trennmembran hermetische Dichtigkeit bei den Kolben erreichbar ist. Kolbenpumpen dieser Art mit oder ohne Trennmembran haben jedoch noch mehrere Nachteile:
    Bei dem den Ausschub, zum Beispiel in Freie, bewirkenden Kolben kann es bei entsprechender Feuchtigkeit des Fördermediums zur Kondensatbildung kommen. Diese führt bei den Kolbendichtungen zu erhöhtem Verschleiß und zu Undichtigkeiten. Das bedeutet einen Leistungsabfall der gesamten Pumpeneinheit.
    Man kennt auch bereits eine Kolbenpumpe, bei welcher der Kolben-Zylinderraum zum Kurbelraum hin mit einer Dichtmembran verschlossen ist. Dies verhindert, daß zum Beispiel athmosphärische Luft an den Kolbenringen oder einer Lippendichtung des Kolbens vorbeigelangen kann und dadurch sich das in der Kolbenpumpe erzeugte Vakuum etwas verschlechtert. Auch wird der Nachteil verhindert, daß das eigentliche Fördermedium von vom Kurbelraum herkommender, gegebenenfalls verunreinigter Luft selbst verunreinigt wird. Zu beachten ist auch, daß man beim Kurbelwellendurchtritt auf die Dauer keine Dichtigkeit erreichen kann und im Kurbelraum wegen der mechanischen Bewegungen eine Schmierung notwendig ist. Auch dies trägt, wenn der Kolben-Zylinderraum nicht gegenüber dem Kurbelraum abgedichtet ist, zu unerwünschten Verunreinigungen des eigentlichen Fördermediums bei.
    Durch den Prospekt "LABOVAC D65 - D1600" der Fa. SASKIA Hochvakuum- und Labortechnik GmbH, O-6300 Ilmenau, ist dort bereits der Vorschlag bekanntgeworden, eine mit zwei Gleitkolben versehene, linear arbeitende Zweifach-Kolbenpumpe, wie vorbeschrieben, als Vorpumpe für eine Turbo-Molekularpumpe einzusetzen. Dies zieht jedoch auch mehrere Nachteile nach sich. Zum einen hat die vorbekannte Zweifach-Kolbenpumpe mit Linearantrieb den bereits erwähnten Nachteil der Kondensatbildung. Zum anderen hat sie bezüglich der Kolbenbewegungen keinen Massenausgleich oder es muß ein aufwendiger, zusätzlicher Massenausgleich geschaffen werden. Wenn eine solche vorbekannte Zweifach-Linear-Kolbenpumpe mit einer Turbo-Molekularpumpe zusammenarbeitet, führen die üblichen Schwingungen zu unerwünschten Bewegungen bei der Turbo-Molekularpumpe, die gewöhnlich mit der Zweifach-Kolbenpumpe in einem einzigen Gestell zusammengefaßt oder gar als gemeinsamer Pumpenblock ausgebildet ist. Die Turbo-Molekularpumpe ist jedoch gegenüber Schwingungen äußerst empfindlich. Bekanntermaßen weisen Turbo-Molekularpumpen von an sich bekannter Bauart Drehzahlen von zum Beispiel 30.000 Umdr./min, jedoch auch noch wesentlich höhere Drehzahlen auf. Die Rotoren solcher Turbo-Molekularpumpen sind deshalb gewöhnlich auch in Magnetlagern gelagert und gegen Erschütterungen entsprechend empfindlich.
  • Es besteht daher die Aufgabe, insbesondere eine Zweifach-Verdrängerpumpe zu schaffen, bei der zum einen die Schädlichkeit der unerwünschten Kondensatbildung, namentlich am Auslaß, der Zweifach-Verdrängerpumpe vermieden wird. Überdies soll die Zweifach-Verdrängerpumpe als Vorschalt-Pumpe vor eine Turbo-Molekularpumpe einsetzbar sein, wobei einerseits die Turbo-Molekularpumpe zum einen nicht durch von der Zweifach-Verdrängerpumpe kommende Verunreinigungen beeinträchtigt, zum andern aber auch nicht durch Rüttelbewegungen in ihren Laufeigenschaften beeinträchtigt werden soll. Dabei soll die Zweifach-Verdrängerpumpe auch ein verhältnismäßig hohes Saugvermögen haben, welches zu einem ökonomischen Betrieb der Turbo-Molekularpumpe erwünscht ist.
  • Die erfindungsgemäße Lösung besteht bei einer Zweifach-Verdrängerpumpe gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 insbesondere darin, daß sie als Hybrid-Pumpe ausgebildet ist, die medium-eintrittsseitig eine Kolbenpumpe mit vergleichsweise großem Hubraum aufweist und deren Kolben-Zylinderraum gegenüber dem Kurbelraum dieser Hybrid-Pumpe mittels einer Dichtmembrane abgeschlossen ist, und daß bei der Hybrid-Pumpe der Kolbenpumpe eine Membranpumpe nachgeschaltet ist, deren Hubraum im Vergleich zu dem der Kolbenpumpe merkbar kleiner ist.
  • Durch eine solche Ausbildung der Zweifach-Verdrängerpumpe als Hybrid-Pumpe erhält man zum einen ein verhältnismäßig großes Saugvolumen, ohne daß die Nachteile von zwei miteinander verbundenen, hintereinander geschalteten Kolbenpumpen in Kauf genommen werden müssen. Insbesondere werden die schädlichen Wirkungen von einer eventuellen Kondensatbildung bei der das Fördermedium ausstoßenden Membranpumpe weitestgehend vermieden, da die Membranpumpe gegen Kondensatbildung praktisch unempfindlich ist. Zum anderen kann man mit Hilfe der im Wege des Fördermediums zwischen der Turbo-Molekularpumpe und der Membranpumpe angeordneten Kolbenpumpe ein verhältnismäßig großes Fördervolumen erreichen und dabei die Kolbenpumpe bezüglich ihres Volumens so auslegen, daß das bei ihr verdichtete Kolbenpumpen-Volumen zum Ansaugvolumen der Membranpumpe paßt. Man kann durch diese Kombination von Kolbenpumpe und Membranpumpe den Nachteil vermeiden, der bei der Verwendung von zwei Membranpumpen auftreten kann:
  • Die unmittelbar an die Turbo-Molekularpumpe angeschlossene Membranpumpe muß wegen der vorerwähnten unterschiedlichen Saugvolumen der beiden hintereinander geschalteten Pumpen verhältnismäßig große Abmessungen haben, was zu großen zu bewegenden Massen führt und auch bezüglich der Membran-Ausbildung bei der der Turbo-Molekularpumpe benachbarten Membranpumpe gewisse Nachteile nach sich zieht. Dagegen erreicht man mit der neuerungsgemäßen Hybrid-Pumpe, also einer Kombination von einer Kolbenpumpe sowie einer dieser Kolbenpumpe nachgeschalteten Membranpumpe optimale Verhältnisse. Oberhalb von bestimmten Leistungsgrenzen sind Vorpumpen mit zwei Membranen - wie gesagt - nicht mehr optimal leistungsfähig. Dagegen haben Versuche gezeigt, daß Vorpumpen, die mit Turbo-Molekularpumpen zusammenarbeiten sollen, gerade in einer Größenordnung liegen, wo zwei hintereinander geschaltete Membranpumpen nicht mehr optimal zu konstruieren sind.
  • Zusätzliche Weiterbildung der Erfindung sind in weiteren Unteransprüchen aufgeführt. Dabei erhält man durch die Merkmale des 2.Anspruches besonders günstige Verhältnisse bezüglich des Ansaugvermögens der erfindungsgemäßen Zweifach-Verdrängerpumpe. Durch die Merkmale des 3.Anspruches erhält man eine Vorrichtung, die sowohl eine Turbo-Molekularpumpe als auch eine damit zusammenarbeitende Zweifach-Verdrängerpumpe umfaßt. Durch die Kombination von Turbo-Molekularpumpe mit einer gegen den Kurbelraum abgedichteten Kolbenpumpe und mit einer dieser nachgeschalteten Membranpumpe kann man durch entsprechendes Auslegen des Kolbenpumpen- und des Membranpumpen-Volumens unter Berücksichtigung der Bedürfnisse der Turbo-Molekularpumpe optimale Verhältnisse von einer solchen Gesamtvorrichtung schaffen. Durch die Merkmale des 4.Anspruches erreicht man in Verbindung mit der zur Kolbenpumpe gehörenden Dichtmembran, daß die Förderwege für das Medium nicht mit irgend welchen geschmierten Teilen in Verbindung kommen. Beispielsweise sind im pumpnahen Bereich der Kolbenpumpe keine geschmierten Teile mehr nötig, weil beim Pendelkolben ein Kolbenbolzen vermieden wird. Die erfindungsgemäße Zweifach-Verdrängerpumpe erlaubt deshalb absolute Freiheit von Schmiermitteln und dergleichen Verunreinigungen. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn zum gesamten Aggregat die Turbo-Molekularpumpe hinzukommt und dieses gesamte Aggregat zum Beispiel im Bereich der Elektronik-Bauelemente-Herstellung eingesetzt wird. Zum Beispiel kommt es dann, beispielsweise beim Aufdampfen von Chips, auf absolute Sauberkeit an. Der Produktionsprozeß, der hier durch ein Gesamtaggregat gemäß Anspruch 3 unter Vakuum gehalten werden soll, erfolgt nämlich gewöhnlich unter Schutzgas-Einfluß. Auch sehr geringfügige Verunreinigungen haben dort erhebliche Nachteile zur Folge. Diese können durch die Zweifach-Verdrängerpumpe nach Anspruch 3 und ggf. 4 weitestgehend vermieden werden.
  • Versuche haben gezeigt, daß die Ausbildung gemaß Anspruch 5 besonders vorteilhaft und auch einfach im Aufbau ist. Die Maßnahmen des 6.Anspruches haben den Vorteil, daß man einen minimalen Totraum erreicht.
    Die Maßnahmen des 7.Anspruches machen einen Massenausgleich der hin- und herbewegten Teile gut möglich, was zu einem ruhigen Lauf der Zweifach-Verdrängerpumpe führt. Dies gilt insbesondere in Verbindung mit den Merkmalen des Anspruches 8. Man kann die Pumpe unter Berücksichtigung aller zu bewegenden Massen auslegen und erreicht einen weitestgehend ruhigen Lauf, was besonders dann wertvoll ist, wenn - wie bereits erwähnt - die Zweifach-Verdrängerpumpe mit einer gegenüber Rüttelbewegungen empfindlichen Turbo-Molekularpumpe zusammenarbeitet. Dies gilt besonders, wenn die Turbo-Molekularpumpe und die Zweifach-Verdrängerpumpe in einem gemeinsamen Gestell oder gar in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht sind.
  • Die Maßnahmen des 9.Anspruches tragen erheblich dazu bei, daß der Zwischenraum zwischen dem Pendelkolben bzw. seiner zugehörigen Dichtmanschette einerseits und der mit Dichtmembran andererseits namentlich beim Anlaufen der Hybrid-Pumpe alsbald soweit evakuiert ist, daß ein unerwünschtes Überströmen vom Hubraum der Kolbenpumpe in den Zwischenraum entfällt oder doch weitestgehend vermieden wird. Die Zweifach-Verdrängerpumpe und gegebenenfalls die angeschlossene Turbo-Molekularpumpe sind dann schneller beim Anfahren betriebsbereit.
  • Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles in Verbindung mit den Ansprüchen und der Zeichnung. Die einzelnen Merkmale können je für sich oder zu mehreren bei einer Ausführungsform der Erfindung verwirklicht sein. Es zeigen, stärker schematisiert:
    • Fig.1
    eine im wesentlichen im Schnitt gehaltene Seitenansicht einer Zweifach-Verdrängerpumpe, die mit einer Turbo-Molekularpumpe in Verbindung steht, und
    Fig.2
    ein schematisiertes Diagramm, in dem für zwei unterschiedliche Pumpentypen deren Saugvermogen über den Ansaugdruck aufgetragen ist.
  • Fig.1 zeigt eine Zweifach-Verdrängerpumpe 1 unterhalb einer damit verbundenen Turbo-Molekularpumpe 2. Es gehört mit zur Erfindung, daß die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 als Hybrid-Pumpe 3 ausgebildet ist, die medium-eintrittsseitig bei 4 eine Kolbenpumpe 5 mit vergleichsweise großem Hubraum 6 aufweist, wobei deren Kolben-Zylinderraum 7 gegenüber dem Kurbelraum 8 der Hybrid-Pumpe 3 mittels einer Dichtmembran 9 abgeschlossen ist. Ferner gehört mit zur Erfindung, daß bei der Hybrid-Pumpe 3 der Kolbenpumpe 5 eine Membranpumpe 10 nachgeschaltet ist, deren Hubraum 11 im Vergleich zu dem der Kolbenpumpe 5 merkbar kleiner ist. Dabei sind gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform die Hubräume 6 und 11 der Hybrid-Pumpe 3 wenigstens in etwa so aufeinander abgestimmt, daß das Ausschubvolumen der Kolbenpumpe 5 bei einem bestimmten Betriebsvakuum gleich dem Ansaugvolumen der Membranpumpe 10 ist. Gegebenenfalls können Ansaug- und Ausschubvolumen auch für einen Betriebsbereich im Sinne einer Optimierung aufeinander abgestimmt sein.
  • Eine besonders vorteilhafte Kombination ergibt sich bei der Erfindung, wenn die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 derart mit einer Turbo-Molekularpumpe 2 zusammenarbeitet, daß die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 zumindest im Strömungsweg der Turbo-Molekularpumpe 2 nachgeschaltet ist derart, daß der Ansaugstutzen 12 der Kolbenpumpe 5 mit dem Auslaß 15 der Turbo-Molekularpumpe 2 in Verbindung steht. Dabei ist es zweckmäßig, wenn die Turbo-Molekularpumpe 2 und die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 bezüglich ihrer Gehäuse 16 und 17 zum Beispiel durch ein in Fig.1 nur schematisch angedeutetes Gestell 31 miteinander in Verbindung stehen. Die Turbo-Molekularpumpe 2 und die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 können selbstverständlich auch in einem gemeinsamen Gehäuse (nicht dargestellt) untergebracht sein. Im Ausführungsbeispiel sind beide Pumpen 5 und 10 der Zweifach-Verdrängerpumpe 1 mit Pendelkolben 18 und 19 versehen und bei der Kolbenpumpe 5 der Zweifach-Verdrängerpumpe 1 ist eine scheibenartige Dichtmanschette 20 an deren Kolbenkopf 21 angebracht. Diese Dichtmanschette 20 dichtet den Kolbenkopf 21 gegen den Kolben-Zylinderraum 7 der Kolbenpumpe 5 ab. Da die Zweifach-Verdrängerpumpe 1 zum einen eine Kolbenpumpe 5, zum anderen eine Membranpumpe 10 aufweist, spricht man von einer "Hybrid-Pumpe 3". Die Membranpumpe 10 dieser Hybrid-Pumpe 3 weist eine Formmembran 22 auf, deren der benachbarten Pumpraumwand 23 zugewandte Oberseite 24 an diese angepaßt ist, so daß sich in der (in Fig.1 unteren) Totpunktstellung nur ein praktisch minimaler Totraum ergibt.
  • Die Kolbenpumpe 5 und die Membranpumpe 10 der Hybrid-Pumpe 3 sind über eine gemeinsame Kurbelwelle 26 angetrieben. Die beiden Pumpen 5 und 10 sind, in Richtung der Pumpenlängsachse L gegenüberliegend angeordnet. Deswegen und wegen des gemeinsamen Antriebs über die Kurbelwelle 26 ist ein Massenausgleich bezüglich der Pumpbewegung von Kolbenpumpe 5 und Membranpumpe 10 gut möglich. Dabei erhält man einen besonders ruhigen Lauf der Hybrid-Pumpe, wenn bezüglich der Kolben- und der Membran-Pumpe 5 u.10 ein Massenausgleich aller bewegten Massen vorgesehen ist.
  • In Fig.1 erkennt man noch eine Absaugleitung 33, welche die Verbindungsleitung 32, die von der Turbo-Molekularpumpe 2 der Kolbenpumpen-Ansaugstelle 12 führt, ausgeht und von dort zu dem Zwischenraum 30 führt, der sich zwischen dem Kolbenkopf 21 der Kolbenpumpe 5 einerseits und der zugehörigen Dichtmembran 9 befindet. Durch diese Absaugleitung 33 wird, insbesondere beim Anlaufen der Hybrid-Pumpe 3, der Zwischenraum 30 mitevakuiert. Undichtigkeiten an der zugehörigen Dichtmanschette 20 kommen nicht wesentlich und nicht langzeitig zur Wirkung, so daß die Kolbenpumpe 5 bereits bald nach dem Anlaufen der Hybrid-Pumpe 3 bei gewünscht großem Ansaugvolumen die entsprechende Druckabsenkung bewirkt. Vom Auslaßstutzen 34 wird das in Fig.1 bei Pumpe 1durch Punkte 35 angedeutete Fördermedium über die Pumpleitung 36 zum Einlaß 37 der Membranpumpe 10 geleitet. Diese Membranpumpe stößt dann an ihrem Auslaßstutzen 38 das von der Hybrid-Pumpe 3 oder der kombinierten Turbo-Molekular- und Hybrid-Pumpe 2,3 geförderte Medium, zum Beispiel ins Freie aus.
  • Die Arbeitsweise der kombinierten Turbo-Molekular- und Hybrid-Pumpe 2,3 läßt sich besonders gut beim Anlauf-Vorgang erläutern. Dieser erfolgt folgendermaßen:
    Im Gehäuse 16 der Turbo-Molekularpumpe 2 befindet sich ein Laufrad 40, das mit einem nur schematisch angedeuteten Motor M in Verbindung steht und Schaufelräder 41 bekannter Bauweise aufweist. Im Gehäuse 16 befinden sich, benachbart zu den Laufschaufelrädern 41, Leitscheiben 42 oder dergleichen. Das Laufrad 40 der Turbo-Molekularpumpe läuft mit zum Beispiel 30.000 Umdr./min, ggf. aber auch noch wesentlich schneller, z.B. mit etwa 60.000 Umdr./min um. Seine Lagerung erfolgt wegen dieser hohen Umlaufgeschwindigkeit gewöhnlich in Magnetlagern 43, von denen eines auf der rechten Seite von Fig.1 gezeichnet ist. 44 ist ein Raum, Behälter oder dergleichen, der durch die Turbo-Molekular- und Hybrid-Pumpe 2,3 evakuiert werden soll. Das kann beispielsweise ein Bereich sein, bei dem es auf absolute Sauberkeit ankommt, zum Beispiel der Bereich eines Produktionsprozesses, in dem unter Vakuum und/oder Schutzgas-Einfluß empfindliche Arbeitsprozesse durchgeführt werden, beispielsweise das Aufdampfen bei Chips. Vom Raum 44 führt ein Turbo-Molekularpumpen-Einlaß 45 in diese Turbo-Molekularpumpe 2. Wenn eine solche, an sich bekannte Turbo-Molekularpumpe 2 anläuft, bewirkt sie im Anlaufstadium zunächst wenig. Ihr druckseitiger Auslaß 15 führt über die Verbindungsleitung 32 in den Hubraum 6 der Kolbenpumpe 5. Medium-eintrittsseitig und -austrittsseitig ist die Kolbenpumpe 5 ebenso wie die Membranpumpe 10 mit bekannten Vakuum-Ventilen 27 ausgerüstet, die in Fig.1 nur schematisch angedeutet sind. In üblicher Weise erhält man durch die Bewegung des Pendelkolbens 18 im Hubraum 6 eine Vakuumbildung. Über das Auslaßventil 27 des Hubraumes 6 wird dann das - wie vorstehend beschrieben - angesaugte Medium, in der Regel Luft, aber auch andere Gase, über die Pumpleitung 36 zum Einlaßstutzen 37 der Membranpumpe 10 geleitet. Diese saugt im üblichen Arbeitsspiel Gas, Luft oder dergleichen Medium an und schiebt es bei ihrem Auslaßstutzen 38 aus. Die an der Rückseite des Pendelkolbens 18 der Kolbenpumpe 5 angebrachte Dichtmembran 9 verhindert das Eindringen von Unreinlichkeiten in den Medium-Bereich. Vom Zwischenraum 30 führt die Absaugleitung 33 zu der Verbindungsleitung 32, welche die Turbo-Molekularpumpe mit der Kolbenpumpe 5 verbindet. Eventuelle Undichtigkeiten an der Dichtmanschette 20 des Pendelkolbens 5 und dadurch in den Zwischenraum 30 eingedrungenes Fördermedium kann mit Hilfe dieser Absaugleitung wieder vor des Saugventil 27 der Kolbenpumpe 5 geführt werden. Das beschleunigt den Vorgang des Ansaugens, um zu einem Betriebs-Vakuum zu kommen.
  • Die Turbo-Molekularpumpe 2 beginnt erst praktisch effektiv zu werden, wenn ein gewisses Mindestvakuum durch die Hydrid-Pumpe 3, die praktisch eine Vorpumpe für die Turbo-Molekularpumpe 2 darstellt, erreicht ist. Dann arbeitet diese in Kombination mit der Hybrid-Pumpe 3 folgendermaßen: Durch die hohe Drehzahl der Laufschaufelräder 41 der Turbo-Molekularpumpe 2 erhalten in ihrem Gehäuse 16 befindliche Moleküle entsprechend hohe Impulse und werden vom Turbo-Molekularpumpen-Einlaß 45 bis zu deren Auslaß 15 hinbewegt, was zu der erwünschten, an sich bei Turbo-Molekularpumpen bekannten Erhöhung des Vakuums führt. Die Moleküle werden gewissermaßen durch diese Impulse in Richtung des Auslasses 15 der Turbo-Molekularpumpe mechanisch tranportiert, wodurch eine Vergrößerung des Vakuums entsteht.
  • Wesentliche Vorteile der Erfindung liegen darin, daß die als Vorpumpe für die Turbo-Molekularpumpe 2 dienende Zweifach-Verdrängerpumpe 1 als Hybrid-Pumpe 3 ausgebildet ist, deren - im Sinne des Mediumflusses - der Turbo-Molekularpumpe 2 benachbarte Kolbenpumpe 5 verhältnismäßig große Saugvolumen erzeugt und dennoch vor Verunreinigungen und Undichtigkeiten geschützt ist, dabei jedoch in Kombination mit der ausgangsseitigen Membranpumpe 10 zusammenarbeitet die ihrerseits unempfindlich gegen Kondensat ist.
  • Aus Fig.2 erkennt man noch gut die Unterschiede bezüglich des Ansaugvermögens einer normalen zweistufigen Membranpumpe gegenüber einer zweistufigen Hybrid-Pumpe 3. Die Kurve 46 zeigt das Saugvermögen, aufgetragen über den Ansaugdruck, für eine normale, zweistufige Membranpumpe. Die Kurve 47 zeigt den Verlauf des Saugvermögens einer zweistufigen Hybrid-Pumpe 3 mit ansaugseitiger Kolben- und austrittsseitiger Membranpumpe 5 bzw. 10. Man erhält auf verhältnismäßig einfache Weise eine wesentliche Vergrößerung des Saugvermögens unter sonst gleichen Verhältnissen (Ansaugdruck), wenn man eine zweistufige Hybrid-Pumpe mit eingangsseitigen, größervolumigem Hubraum 6 in der vorbeschriebenen Art mit einer Membranpumpe 10 verbindet, wobei durch die Dichtmembran 9 eventuelle Nachteile der Kolbenpumpe 5 vermieden werden.
  • Alle vorbeschriebenen und/oder in den Ansprüchen aufgeführten Merkmale können alleine oder in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein.

Claims (9)

  1. Zweifach-Verdrängerpumpe (1), insbesondere mit vorschaltbarer Turbo-Molekularpumpe (2), dadurch gekennzeichnet, daß die Zweifach-Verdrängerpumpe (1) als Hybrid-Pumpe (3) ausgebildet ist, die medium-eintrittsseitig eine Kolbenpumpe (5) mit vergleichsweise großen Hubraum (6) aufweist, wobei deren Kolben-Zylinderraum (7) gegenüber dem Kurbelraum (8) mittels einer Dichtmembran (9) abgeschlossen ist, und daß bei der Hybrid-Pumpe (3) der Kolbenpumpe (5) eine Membranpumpe (10) nachgeschaltet ist, deren Hubraum (11) im Vergleich zu dem der Kolbenpumpe (5) merkbar kleiner ist.
  2. Zweifach-Verdrängerpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hubräume (6,11) der Hybrid-Pumpe (3) wenigstens in etwa so aufeinander abgestimmt sind, daß das Ausschubvolumen der Kolbenpumpe (5) zweckmäßig bei einem bestimmten Betriebsvolumen zumindest etwa gleich dem Ansaugvolumen der Membranpumpe (10) ist.
  3. Zweifach-Verdrängerpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie, zumindest im Strömungswege, einer Turbo-Molekularpumpe (2) nachgeschaltet ist derart, daß der Ansaugstutzen (12) der Kolbenpumpe (5) mit dem Auslaß (15) der Turbo-Molekularpumpe in Verbindung steht, ggfs. daß die Turbo-Molekularpumpe (2) und die Zweifach-Verdrängerpumpe (1) bezüglich ihrer Gehäuse (16,17) miteinander in Verbindung stehen.
  4. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Pumpe (5 oder 10) der Zweifach-Verdrängerpumpe (1), vorzugsweise beide Pumpen (5,10) einer Hybrid-Pumpe (3), Pendelkolben (18,19) aufweisen.
  5. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenpumpe (5) der Hybrid-Pumpe (3) eine scheibenartige Dichtmanschette am Kolbenkopf aufweist, die durch Einführen in den Kolben-Zylinderraum (7) einen U-förmigen Querschnitt erhält.
  6. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranpumpe (10) der Hybrid-Pumpe (3) eine Formmembran (12) aufweist, deren der benachbarten Pumpraumwand (23) zugewandte Oberseite (24) an diese angepaßt ist.
  7. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenpumpe (5) und die Membranpumpe (10) der Hybrid-Pumpe (3) über eine gemeinsame Kurbelwelle (26) angetrieben ist, vorzugsweise bei sich in Richtung ihrer Pumpenlängsachse (L) angeordneteten Pumpen (5,10).
  8. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß bezüglich der Kolben- und der Membran-Pumpe (5,10) der Hybrid-Pumpe (3) mindestens nahezu ein Massenausgleich aller bewegten Massen vorgesehen ist.
  9. Zweifach-Verdrängerpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Absaugleitung (33) zwischen der Verbindungsleitung (32), die von der Turbo-Molekularpumpe (2) und der Kolbenpumpen-Ansaugstelle (12) vorgesehen ist, zu dem Zwischenraum (30) führt, der sich zwischen dem Pendelkolbenkopf (21) und der zugehörigen Dichtmembran (9) befindet.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2281358B (en) * 1993-08-25 1997-09-03 Knf Neuberger Gmbh A pump having an auxiliary diaphragm
CN106678013A (zh) * 2017-03-13 2017-05-17 中石化石油工程机械有限公司第四机械厂 大功率模块化液力驱动往复泵系统

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5979440A (en) 1997-06-16 1999-11-09 Sequal Technologies, Inc. Methods and apparatus to generate liquid ambulatory oxygen from an oxygen concentrator
US5988165A (en) * 1997-10-01 1999-11-23 Invacare Corporation Apparatus and method for forming oxygen-enriched gas and compression thereof for high-pressure mobile storage utilization
US7204249B1 (en) 1997-10-01 2007-04-17 Invcare Corporation Oxygen conserving device utilizing a radial multi-stage compressor for high-pressure mobile storage
US6099269A (en) * 1997-10-06 2000-08-08 Fin Robur Absorption refrigeration system having a diaphragm pump and a hydraulic piston pump
DE19940498A1 (de) 1999-08-26 2001-03-22 Knf Neuberger Gmbh Membranpumpe
FR2822200B1 (fr) 2001-03-19 2003-09-26 Cit Alcatel Systeme de pompage pour gaz a faible conductivite thermique
US6589023B2 (en) 2001-10-09 2003-07-08 Applied Materials, Inc. Device and method for reducing vacuum pump energy consumption
JP2003343469A (ja) * 2002-03-20 2003-12-03 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
US6904913B2 (en) * 2002-10-24 2005-06-14 Acoba, Llc Method and system for delivery of therapeutic gas to a patient and for filling a cylinder
JP4218756B2 (ja) * 2003-10-17 2009-02-04 株式会社荏原製作所 真空排気装置
CN100567732C (zh) * 2004-03-22 2009-12-09 信浓绢糸株式会社 电磁泵
JP2005344569A (ja) * 2004-06-01 2005-12-15 Toyota Industries Corp ポンプ
US7900627B2 (en) * 2005-01-18 2011-03-08 Respironics, Inc. Trans-fill method and system
US20070020115A1 (en) * 2005-07-01 2007-01-25 The Boc Group, Inc. Integrated pump apparatus for semiconductor processing
US8197231B2 (en) * 2005-07-13 2012-06-12 Purity Solutions Llc Diaphragm pump and related methods
US8062003B2 (en) 2005-09-21 2011-11-22 Invacare Corporation System and method for providing oxygen
JP4709016B2 (ja) * 2006-01-12 2011-06-22 アネスト岩田株式会社 複合圧縮機
US7459008B2 (en) * 2006-03-16 2008-12-02 Aylsworth Alonzo C Method and system of operating a trans-fill device
US7556670B2 (en) * 2006-03-16 2009-07-07 Aylsworth Alonzo C Method and system of coordinating an intensifier and sieve beds
WO2013116820A1 (en) 2012-02-03 2013-08-08 Invacare Corporation Pumping device
JP6616611B2 (ja) * 2015-07-23 2019-12-04 エドワーズ株式会社 排気システム
EP3299187A1 (de) * 2016-09-23 2018-03-28 The Goodyear Tire & Rubber Company Radfelgenanordnung und luftwartungssystem
CN106523333A (zh) * 2016-12-30 2017-03-22 张家港科康智能科技有限公司 一种四缸隔膜式气体压缩机
CN211009180U (zh) * 2019-07-02 2020-07-14 明达实业(厦门)有限公司 一种高低压一体充气泵和充气产品
US11873802B2 (en) * 2020-05-18 2024-01-16 Graco Minnesota Inc. Pump having multi-stage gas compression

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2211096A1 (de) * 1972-03-08 1973-09-13 Erich Becker Membranpumpe
DE3233853A1 (de) * 1982-09-11 1984-03-15 Erich 7812 Bad Krozingen Becker Pumpe mit kolben und gleitdichtung
DE3710782A1 (de) 1987-03-31 1988-10-20 Vacuubrand Gmbh & Co Verfahren und vorrichtung zum abpumpen von daempfen und/oder dampfhaltigen gemischen und/oder gas-dampf-gemischen oder dgl. medien
FR2637654A1 (fr) * 1988-10-08 1990-04-13 Toyo Engineering Corp Appareil de mise sous vide

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2142329A (en) * 1937-12-16 1939-01-03 Jr Louis Nika Alternating or varying pressureactuated pump
US2413851A (en) * 1945-07-03 1947-01-07 Malsbary Mfg Company Pump
BE464613A (de) * 1946-04-16
DE1195427B (de) * 1961-07-05 1965-06-24 Basf Ag Dreistufiger Hochdruckgaskompressor mit einer Kolbendichtung
US3145914A (en) * 1962-08-03 1964-08-25 Worthington Corp Enclosed motor compressor unit
FR1376714A (fr) * 1963-09-17 1964-10-31 Hispano Suiza Sa Perfectionnements apportés aux compresseurs volumétriques alternatifs hermétiques, notamment à ceux à pistons
US3578880A (en) * 1969-07-24 1971-05-18 Chandler Evans Inc Diaphragm operated priming device for centrifugal impeller pump
US3672791A (en) * 1970-07-17 1972-06-27 Ladish Co Pumping system with controlled liquid addition
HU168667B (de) * 1975-02-25 1976-06-28
US4505647A (en) * 1978-01-26 1985-03-19 Grumman Allied Industries, Inc. Vacuum pumping system
ES233729Y (es) * 1978-02-03 1978-08-01 Bomba de vacio perfeccionada.
DE8808819U1 (de) * 1988-07-08 1988-09-01 Hayn, Otto, 8000 München Gaspumpe oder -verdichter
US5190444A (en) * 1991-08-21 1993-03-02 Navistar International Transportation Corp. Tandem fuel pump assembly for internal combustion engine

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2211096A1 (de) * 1972-03-08 1973-09-13 Erich Becker Membranpumpe
FR2175507A5 (de) * 1972-03-08 1973-10-19 Becker Erich
DE3233853A1 (de) * 1982-09-11 1984-03-15 Erich 7812 Bad Krozingen Becker Pumpe mit kolben und gleitdichtung
GB2126665A (en) * 1982-09-11 1984-03-28 Erich Becker Pump
DE3710782A1 (de) 1987-03-31 1988-10-20 Vacuubrand Gmbh & Co Verfahren und vorrichtung zum abpumpen von daempfen und/oder dampfhaltigen gemischen und/oder gas-dampf-gemischen oder dgl. medien
FR2637654A1 (fr) * 1988-10-08 1990-04-13 Toyo Engineering Corp Appareil de mise sous vide

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
VACUUBRAND MEMBRANPUMPEN MZ8,MZ8C,MD8,MD8C,ME16,ME16C
VACUUBRAND PUMPAGGREGAT MD4 MIT 2 MEMBRANEN
VACUUBRAND VAKUUM-CHEMIE-HYBRID-PUMPE RC5

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2281358B (en) * 1993-08-25 1997-09-03 Knf Neuberger Gmbh A pump having an auxiliary diaphragm
CN106678013A (zh) * 2017-03-13 2017-05-17 中石化石油工程机械有限公司第四机械厂 大功率模块化液力驱动往复泵系统
CN106678013B (zh) * 2017-03-13 2019-07-19 中石化四机石油机械有限公司 大功率模块化液力驱动往复泵系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2882748B2 (ja) 1999-04-12
US5387090A (en) 1995-02-07
JPH06299962A (ja) 1994-10-25
US5584669A (en) 1996-12-17
EP0626516B1 (de) 1997-06-04

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