JP2000283085A

JP2000283085A - インバーテッドモータ付き真空ポンプ

Info

Publication number: JP2000283085A
Application number: JP11300084A
Authority: JP
Inventors: Marsbed Hablanian; ハブラニアンマースベッド
Original assignee: Varian Inc
Current assignee: Varian Inc
Priority date: 1999-03-24
Filing date: 1999-10-21
Publication date: 2000-10-10
Also published as: US6179573B1; EP1039138A2; EP1039138A3

Abstract

(57)【要約】【解決手段】真空ポンプは、インレットポート１１４
と排気ポート１１６を有するハウジング１１０と、ハウ
ジング１１０内に配設されたモータ１５０と、ハウジン
グ１１０内に配設され、インレットポート１１４から排
気ポート１１６へとガスを圧送するためにモータ１５０
に動作可能に連結された１以上の真空ポンプステージ１
３０，１３２，１３４とを備えている。モータ１５０
は、中心軸上に配置されたステータ１５２と、ステータ
１５２の周囲に配置されたロータ１５６とを備えてい
る。モータ１５２に通電すると、ロータ１５６は中心軸
回りに回転する。モータ１５０は、ハウジング１１０の
中央に配置されていてもよく、真空ポンプステージ１３
０，１３２，１３４は、環状構成でモータ１５０の周囲
に配設されていてもよい。【効果】インバーテッドモータ構造によって、小型真
空ポンプ構造が容易になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、密閉真空チャンバ
の脱気に利用される高真空ポンプに関し、特に、小型真
空ポンプ構造体に関する。また、本発明は、例えば、タ
ーボ分子ポンプ、分子吸引ポンプ、ハイブリッドポンプ
など、電気モータを組み込んだタイプの真空ポンプに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のターボ分子真空ポンプは、インレ
ットポートを有するハウジングと、複数の軸方向ポンプ
ステージを収容した内部チャンバと、排気ポートとを備
えている。通常、排気ポートは、粗引き真空ポンプに取
り付けられている。各軸方向ポンプステージは、傾斜ブ
レードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロー
タとを備えている。ロータブレードおよびステータブレ
ードは、互いに逆方向に傾斜している。ロータブレード
は、モータにより高速で回転し、インレットポートと排
気ポートとの間でガスを圧送する。典型的なターボ分子
真空ポンプは、９〜１２の軸方向ポンプステージを備え
ている。

【０００３】当業において、様々な従来型ターボ分子真
空ポンプが公知となっている。ある従来の構成において
は、軸方向ポンプステージのうち１以上の軸方向ポンプ
ステージが、高速で回転し分子吸引ステージとして機能
するディスクに置き換えられている。この構成は、１９
９３年８月２４日にＣａｓａｒｏらに付与された米国特
許Ｎｏ．５，２３８，３６２に開示されている。軸方向
ターボ分子コンプレッサと分子吸引コンプレッサを共通
のハウジング内に備えたターボ分子真空ポンプは、Ｖａ
ｒｉａｎＡｓｓｏｃｉａｔｅｓ，Ｉｎｃ．からモデル
Ｎｏ．９６９−９００７として市販されている。分子吸
引ディスクと再生式インペラを利用したターボ分子真空
ポンプが、１９９０年１月１８日発行のドイツ特許Ｎ
ｏ．３，９１９，５２９に開示されている。

【０００４】分子吸引コンプレッサは、回転ディスクと
ステータを備えている。ステータは、正接流路と、正接
流路のインレットとアウトレットを形成している。正接
流路内に配設されたストリッパとしばしば称される固定
バッフルによって、インレットとアウトレットが隔離さ
れている。当業で公知のように、回転ディスクのモーメ
ントは、正接流路内においてガス分子に伝えられ、分子
をアウトレットに導く。

【０００５】別のタイプの分子吸引コンプレッサは、ハ
ウジング内で回転する円筒ドラムを備えており、ハウジ
ングはこの回転ドラムに近接する円筒状の内壁を有す
る。円筒ドラムの外面には螺旋溝が設けられている。ド
ラムの回転に伴って、ガスは溝を介して分子吸引によっ
て圧送される。従来の高真空ポンプを図４に示す。ハウ
ジング１０は、インレットポート１４と排気ポート１６
を有する内部チャンバ１２を形成している。ハウジング
１０は、脱気対象の真空チャンバ（図示せず）へのイン
レットポートを密封するための真空フランジ１８を備え
ている。通常、排気ポート１６は、粗引き真空ポンプ
（図示せず）に接続されている。真空ポンプが大気圧に
対して排気できるものである場合、粗引きポンプは必要
ない。ハウジング１０内には、通常、幾つかの軸方向タ
ーボ分子ステージを備えた軸方向ターボ分子コンプレッ
サ２０と、通常、幾つかの分子吸引ステージを備えた分
子吸引コンプレッサ２２が配置されている。軸方向ター
ボ分子コンプレッサ２０の各ステージは、ロータ２４と
ステータ２６を備えている。ロータとステータは、それ
ぞれ、当業において公知のように傾斜ブレードを有す
る。分子吸引コンプレッサ２２の各ステージは、ロータ
ディスク３０とステータ３２を備えている。各ターボ分
子ステージのロータ２４および各分子吸引ステージのロ
ータ３０は、駆動シャフト３４に取り付けられている。
駆動シャフト３４は、モータハウジング３８内に配置さ
れたモータによって高速で回転する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ターボ分子真空ポンプ
および関連タイプの真空ポンプは、広範な用途に用いら
れる。多数の用途において、真空ポンプの物理的サイズ
は、システム設計上の重要な考慮事項である。例えば、
真空ポンプは、クリーンルーム施設の内部あるいは近隣
に配置される半導体処理装置に頻繁に使用される。この
様な用途においては、装置サイズに対して厳しい制約が
課される。小型化が要求される別の用途として携帯装置
がある。再び図４を参照すると、モータハウジング３８
が、真空ポンプの全長の大半を占めていることが分か
る。

【０００７】したがって、小型で製造が簡単な真空ポン
プ構造が必要である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様によ
れば、真空ポンプが提供される。この真空ポンプは、イ
ンレットポートと排気ポートを有するハウジングと、ハ
ウジング内に配設されたモータと、ハウジング内に配設
され、インレットポートから排気ポートへとガスを圧送
するためにモータに動作可能に連結された１以上の真空
ポンプステージとを備えている。モータは反転構造を有
し、ステータは中心軸上に配置され、ロータはステータ
の周囲に配置される。モータに通電すると、ロータは中
心軸回りに回転する。

【０００９】モータの少なくとも一部は、真空ポンプス
テージの中央部に配置されていてもよく、真空ポンプス
テージは、モータの周囲に配置された環状構造である。
真空ポンプステージは、ロータとハウジングとの間に配
置されていてもよく、これによって小型の真空ポンプ構
造が達成される。各真空ポンプステージは、ハウジング
に取り付けられた固定部材と、モータのロータに取り付
けられた回転部材とで構成されていてもよい。第１の実
施形態においては、真空ポンプステージのうち１以上の
真空ポンプステージが、軸方向ターボ分子ポンプステー
ジで構成され、それぞれ、傾斜ブレードを有する固定部
材と傾斜ブレードを有する回転部材とを備えている。第
２の実施形態においては、真空ポンプステージのうち１
以上の真空ポンプステージが、分子吸引ステージで構成
され、それぞれ、正接流路を有する固定部材とディスク
形状の回転部材とを備えている。第３の実施形態におい
ては、真空ポンプステージのうち１以上の真空ポンプス
テージが、近接配置された回転部材と固定部材とを備
え、これらの部材の一方は、回転部材が固定部材に対し
て相対回転した時にガスを圧送するための分子吸引溝を
有する。

【００１０】別の実施形態において、真空ポンプステー
ジは、ロータとハウジングとの間に配置された少なくと
も１つの外部ステージと、ロータとステータとの間に配
置された少なくとも１の内部ステージとを含み、外部ス
テージと内部ステージは直列に接続されている。モータ
のステータは、モータコイルがその上に配設されている
中心ポストを備えていてもよい。ロータは、ステータの
周囲に配置された円筒部材を備えていてもよい。円筒部
材は、モータコイルと整合配置された磁石部材を有す
る。

【００１１】本発明の別の態様によれば、真空ポンプ
は、インレットポートと排気ポートを有するハウジング
と、ハウジング内に配設されたモータと、真空ポンプス
テージとを備えている。モータは、ステータと、モータ
に通電すると中心軸回りに回転するロータとを備えてい
る。ステータは、ステータ面を有し、ロータは、ステー
タ面から小さな間隙により離隔されたロータ面を有す
る。真空ポンプステージは、ステータ面またはロータ面
に分子吸引溝が設けられている。モータに通電すると、
ガスは、分子吸引溝を介してインレットポートから排気
ポートへと圧送される。モータは、反転構造を有してい
ても、非反転構造を有していてもよい。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態に係る高
真空ポンプの簡略横断面図を図１に示す。ハウジング１
１０は、インレットポート１１４と排気ポート１１６を
有する内部チャンバ１１２を形成している。ハウジング
１１０は、脱気対象の真空チャンバ（図示せず）へのイ
ンレットポート１１４を密封するための真空フランジ１
１８を備えている。排気ポート１１６は、粗引き真空ポ
ンプ（図示せず）に接続されていてもよい。真空ポンプ
が大気圧に対して排気できるものである場合、粗引きポ
ンプは必要ない。

【００１３】ハウジング１１０内には、１以上の真空ポ
ンプステージ１３０、１３２、１３４等が配置されてい
る。通常、真空ポンプは、幾つかの真空ポンプステージ
を備えている。各真空ポンプステージは、固定部材１４
０と回転部材１４２を備えている。下記の通り、真空ポ
ンプステージは、軸方向ターボ分子ステージ、分子吸引
ステージ、あるいはその組み合わせとして実施される。
図１に示す真空ポンプは、ハウジング１１０内に位置す
るモータ１５０を備えている。本発明の一態様によれ
ば、モータ１５０は、従来のモータに比較して反転構造
を有する。すなわち、モータ１５０は、中心軸１５４上
に配置されたステータ１５２と、ステータ１５２の周囲
に配置されたロータ１５６とを備えている。ロータ１５
６は、中心軸１５４回りにロータ１５６を回転させるた
めの軸受１６０、１６２を用いてステータ１５２に取り
付けられている。

【００１４】ステータ１５２は、中心ポスト１７０と、
中心ポスト１７０上に配設されたモータコイル１７２と
を備えている。中心ポスト１７０は、中心軸１５４上に
配置され、ハウジング１１０に強固に取り付けられてい
る。ロータ１５６は、円筒状壁部１８０ａと端部壁部１
８０ｂを備えた逆カップ状の形状を有していてもよい。
円筒状壁部１８０ａ内には、磁石部材１８２が、モータ
コイル１７２の周囲に整合配置されている。モータ１５
０に通電すると、電流がモータコイル１７２に供給され
る。電気モータ技術分野の当業者に公知のように、モー
タコイル１７２により生成された磁場と磁石部材１８２
により生成された磁場との相互作用によって、ロータ１
５６が中心軸１５４回りに回転する。

【００１５】モータ１５０は、従来のモータと比較して
反転構造を有する。すなわち、従来のモータは、ステー
タが中心軸上に配置されたロータを取り囲んでいるが、
モータ１５０は、ロータ１５６がステータ１５２を取り
囲んでいる。インバーテッドモータ構造は、小型真空ポ
ンプの構造上有利である。図１に示すように、各真空ポ
ンプステージ１３０、１３２、１３４等の回転部材１４
２は、モータ１５０のロータ１５６上に取り付けられて
いてもよい。各真空ポンプステージ１３０、１３２、１
３４等の固定部材１４０は、ハウジング１１０に取り付
けられていてもよい。特に、インバーテッドモータ構造
によって、モータ１５０を真空ポンプステージに取り囲
まれるように真空ポンプの中央部に配置することができ
る。結果的に、モータを真空ポンプの一端部に設けるこ
とによる真空ポンプの長寸化が回避され、小型の真空ポ
ンプ構造が達成される。インバーテッドモータ構造は、
従来の非反転構造モータを真空ポンプステージ内に取り
付けられないような小型の真空ポンプにおいて特に有利
である。

【００１６】各真空ポンプステージ１３０、１３２、１
３４等は、どの様なタイプのモータ駆動真空ポンプステ
ージであってもよい。第１の実施例においては、真空ポ
ンプステージは、軸方向ターボ分子ステージである。各
軸方向ターボ分子ステージは、回転部材と固定部材を備
えている。各回転部材と各固定部材は、傾斜ブレードを
有し、回転部材と固定部材のブレードは互いに逆方向に
傾斜している。回転部材のブレードは、高速で回転して
ガスを圧送する。軸方向ターボ分子ステージの構造は、
真空ポンプ技術分野の当業者に周知である。

【００１７】第２の実施例においては、各真空ポンプス
テージ１３０、１３２、１３４等は、回転ディスクと固
定部材とを備えた分子吸引ステージで構成されていても
よい。固定部材は、１以上の正接流路が設けられてい
る。各正接流路は、固定バッフルにより隔離されたイン
レットとアウトレットを有する。回転ディスクが高速で
回転すると、ガスは、回転ディスクにより生成された分
子吸引によって正接流路を介して圧送される。

【００１８】第３の実施例においては、真空ポンプは分
子吸引コンプレッサを備えており、回転部材は円筒ドラ
ムを備え、固定部材は円筒ドラムに対して近接離隔され
た円筒状の内壁を有する。回転部材は、その外面に螺旋
溝が設けられている。ドラムの回転に伴って、ガスは溝
を介して分子吸引によって圧送される。第４の実施例に
おいて、真空ポンプは、２以上のタイプの真空ポンプス
テージを組み合わせたものを備えている。例えば、真空
ポンプは、１以上の軸方向ターボ分子ステージと１以上
の分子吸引ステージを備えていてもよい。何れの場合
も、各真空ポンプステージの回転部材は、モータ１５０
のロータ１５６に取り付けられている。

【００１９】図１に示す上記の真空ポンプ構造の利点
は、真空ポンプが非常に小型であることである。ポンプ
長は、真空ポンプステージに必要な長さに限られてい
る。モータは、真空ポンプステージ内の中央に配置され
ている。インバーテッドモータ構造は、従来の非反転構
造モータを真空ポンプステージ内に取り付けられないよ
うな小型の真空ポンプにおいて特に有利である。もう一
つの利点は、圧送ガスとの接点から電磁駆動装置を隔離
するのが簡単なことである。これによって、腐食作用か
らコイルを保護することができ、さらに、コイルから発
生するガスから高真空環境を保護することができる。ポ
ンプの中央部を、より簡単に隔離し、モータコイルの冷
却のための熱伝導を向上させる圧力環境に保持すること
ができる。

【００２０】本発明の第２の実施形態に係る高真空ポン
プの簡略横断面図を図２に示す。ハウジング２１０は、
インレットポート２１４と排気ポート２１６を有する内
部チャンバ２１２を形成している。ハウジング２１０
は、脱気対象の真空チャンバ（図示せず）へのインレッ
トポート２１４を密封するための真空フランジ２１８を
備えている。排気ポート２１６は、粗引き真空ポンプ
（図示せず）に接続されていてもよいし、大気圧に対し
て排気してもよい。図２に示す真空ポンプは、ハウジン
グ２１０内に配置されたモータ２５０を備えている。モ
ータ２５０は、反転構造を有する。すなわち、モータ２
５０は、中心軸２５４上に配置されたステータ２５２
と、ステータ２５２の周囲に配置されたロータ２５６と
を備えている。ロータ２５６は、中心軸２５４回りにロ
ータ２５６を回転させるための軸受２６０、２６２を用
いてステータ２５２に取り付けられている。

【００２１】ステータ２５２は、中心ポスト２７０と、
中心ポスト２７０上に配設されたモータコイル２７２と
を備えている。中心ポスト２７０は、中心軸２５４上に
配置され、ハウジング２１０に強固に取り付けられてい
る。ステータ２５２は、軸受２６０取付用の下側プレー
ト２６４と軸受２６２取付用の上側プレート２６６をさ
らに備えている。ロータ２５６は、円筒状壁部２８０ａ
と端部壁部２８０ｂを備えた逆カップ状の形状を有して
いてもよい。磁石部材２８２が、円筒状壁部２８０ａ内
に、モータコイル２７２の周囲に整合配置されている。
モータ２５０に通電すると、電流がモータコイル２７２
に供給される。モータコイル２７２により生成された磁
場と磁石部材２８２により生成された磁場との相互作用
によって、ロータ２５６が中心軸２５４回りに回転す
る。

【００２２】図２に示す真空ポンプは、ロータ２５６と
ハウジング２１０との間に１以上の真空ポンプステージ
を備えていてもよく、モータ２５０のロータ２５６とス
テータ２５２との間に１以上の真空ポンプステージを更
に備えていてもよい。図２の実施形態において、ロータ
２５６は略円筒形状の外壁を有し、ハウジング２１０は
ロータ２５６に近接した略円筒形状の内壁を有する。ロ
ータ２５６の外壁には、分子吸引圧送のための分子吸引
溝２８４が設けられており、この分子吸引溝は螺旋状で
あってもよい。

【００２３】ハウジング２１０内のロータ２５６の下端
部の空間は、プレート２６４の開口部２８６を介して、
ロータ２５６とステータ２５２との間の空間に連通して
いる。モータコイル２７２は、円筒状の外壁を有し、ロ
ータ２５６の円筒状の内壁に対して近接離隔されてい
る。モータコイル２７２は、ロータ２５６とステータ２
５２の間のガス圧送のための分子吸引溝２８８がその円
筒状の外壁上に設けられていてもよい。ロータ２５６と
ステータ２５２の間の空間の上端は、プレート２６６の
開口部２９０を介して、端部壁２８０ｂとプレート２６
６との間の空間２９２に連通している。そして、ガス
は、中心ポスト２７０内の通路２９４を介して真空ポン
プから排気される。通路２９４は、排気ポート２１６に
接続されている。図２に示す真空ポンプは、圧送容量増
加のために、傾斜ブレード２９６がロータ２５６の上端
部に適宜設けられていてもよい。

【００２４】これによって、図２に示す真空ポンプは、
ロータ２５６とハウジング２１０の間の空間を介した真
空圧送を提供し、さらに、ロータ２５６とステータ２５
２の間の空間を介した付加的な真空圧送を提供する。こ
の実施形態は、ロータ２５６がハウジング２１０に対し
て相対回転し、さらに、モータのステータ２５２に対し
ても相対回転するということに基づいている。ロータ２
５６とハウジング２１０の間の空間に、図１と共に上述
した真空ポンプステージのうち如何なるタイプのものを
設けてもよい。ロータ２５６とステータ２５２の間での
真空圧送は、ロータ２５６とステータ２５２との間に小
さな間隙を維持するために、分子吸引溝を利用すること
が好ましい。図２、図３に示す上記のインバーテッドモ
ータ構造と共に、様々な真空ポンプ構造を利用すること
ができると理解される。

【００２５】本発明の第３の実施形態に係る真空ポンプ
の簡略横断面図を図３に示す。図２の真空ポンプにおい
て採用した態様を、非インバーテッドモータ構造に適用
する。すなわち、モータのステータに対するロータの相
対回転を利用して、図３の実施形態における真空圧送を
提供する。ハウジング３１０は、インレットポート３１
４と排気ポート３１６を有する内部チャンバ３１２を形
成している。ハウジング３１０内には、従来の非反転構
造を有するモータ３３０が配置されている。モータ３３
０は、中心軸３３４上に配置されたロータ３３２と、ロ
ータ３３２の周囲に配置された固定モータコイル３３６
とを備えている。ロータ３３２は、シャフト３４０と、
シャフト３４０上に配設された磁石部材３４２とを備え
ている。シャフト３４０は、軸受３４４、３４８内で回
転するように取り付けられている。モータコイル３３６
に通電すると、ロータ３３２は軸３３４回りに回転す
る。

【００２６】磁石部材３４２は略円筒状の外面を有し、
モータコイル３３６は磁石部材３４２に近接した略円筒
状の内面を有する。磁石部材３４２の外面には分子吸引
溝３５０が設けられており、この分子吸引溝は螺旋状で
あってもよい。ロータ３３２が高速で回転すると、イン
レットポート３１４から分子吸引溝を介して排気ポート
３１６へとガスが圧送される。図３の実施形態において
は、モータ３３０は、非反転構造を有し、真空ポンプと
して機能する。図２の実施形態においては、モータ２５
０は、反転構造を有し、真空ポンプとして機能する。大
抵の用途において、例えばターボ分子真空ポンプなどの
別の真空ポンプを補助するために、図３に示す真空ポン
プを使用しているようである。

【００２７】現時点において本発明の好適な実施形態で
あると考えられるものを図示、説明したが、添付の請求
項により定義される本発明の範囲から逸脱することな
く、様々な変更、修正が可能であることは、当業者にと
って明白であろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る真空ポンプの簡
略横断面図である。

【図２】本発明の第２の実施形態に係る真空ポンプの簡
略横断面図である。

【図３】本発明の第３の実施形態に係る真空ポンプの簡
略横断面図である。

【図４】従来の真空ポンプの部分断面立面図である。

【符号の説明】

１１０，２１０，３１０ハウジング１１４，２１４，３１４インレット１１６，２１６，３１６排気１５０，２５０，３３０モータ１３０真空ポンプステージ１３２真空ポンプステージ１３４真空ポンプステージ１５２，２５２ステータ１５６，２５６，３３２ロータ１４０固定部材１４２回転部材２８２，３４２磁石部材１７２，２７２，３３６モータコイル２８４分子吸引溝２９６，３５０傾斜ブレード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インレットポートと排気ポートを有するハ
ウジングと、前記インレットポートから前記排気ポートへとガスを圧
送するために前記ハウジング内に配設された複数の真空
ポンプステージであって、それぞれ、固定部材と回転部
材を含む真空ポンプステージと、前記各真空ポンプステージの回転部材に中心軸回りの回
転動作を与えるために前記各真空ポンプステージに連結
されたモータであって、前記中心軸上に配設されたステ
ータと前記モータのステータの周囲に配設されたロータ
とからなる反転構造を有するモータとを含む真空ポン
プ。
【請求項２】前記モータの少なくとも一部が、前記真空
ポンプステージ内に配置されている請求項１に記載の真
空ポンプ。
【請求項３】前記真空ポンプステージのうち１以上の真
空ポンプステージが、軸方向ターボ分子ポンプステージ
で構成され、各回転部材と各固定部材が、傾斜ブレード
を有する請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】前記真空ポンプステージのうち１以上の真
空ポンプステージが、固定バッフルにより隔離されたイ
ンレットとアウトレットを有する正接流路を設けた固定
部材と、ディスクからなる回転部材とを有する分子吸引
ステージで構成されている請求項１に記載の真空ポン
プ。
【請求項５】前記真空ポンプステージが、１以上の軸方
向ターボ分子ステージと、１以上の分子吸引ステージを
含む請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項６】インレットポートと排気ポートを有するハ
ウジングと、前記ハウジング内に配設され、中心軸上に配設されたス
テータと、前記ステータの周囲に配設されたロータとを
含むモータであって、前記モータに通電すると、前記ロ
ータが中心軸回りに回転するように構成されたモータ
と、前記ハウジング内に配設され、前記インレットポートか
ら前記排気ポートへとガスを圧送するために前記モータ
に動作可能に連結された１以上の真空ポンプステージと
を含む真空ポンプ。
【請求項７】前記各真空ポンプステージが、前記ハウジ
ングに取り付けられた固定部材と、前記ロータに固定さ
れた回転部材とを含む請求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項８】前記真空ポンプステージのうち１以上の真
空ポンプステージが、傾斜ブレードを有する固定部材と
傾斜ブレードを有する回転部材とを備えた軸方向ターボ
分子ポンプステージで構成された請求項６に記載の真空
ポンプ。
【請求項９】前記真空ポンプステージのうち１以上の真
空ポンプステージが、正接流路を有する固定部材とディ
スク形状の回転部材とを備えた分子吸引ステージで構成
された請求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】前記１以上の真空ポンプステージが、近
接配置された回転部材と固定部材を含み、これらの部材
の一方は、前記回転部材が前記固定部材に対して相対回
転した時にガスを圧送するための分子吸引溝を有する請
求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】前記１以上の真空ポンプステージが、前
記ロータと前記ハウジングとの間に配置されている請求
項６に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】前記１以上の真空ポンプステージが、前
記ロータと前記ハウジングとの間に配置された少なくと
も１つの外部ステージと、前記ロータと前記ステータと
の間に配置された少なくとも１の内部ステージとを含
み、前記外部ステージと前記内部ステージが、直列に接
続されている請求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】前記内部ステージが、前記ロータと連結
された回転部材と、前記ステータと連結された固定部材
とを含み、これらの部材の一方が、前記回転部材が前記
固定部材に対して相対回転した時にガスを圧送するため
の分子吸引溝を有する請求項１２に記載の真空ポンプ。
【請求項１４】前記ステータが、前記真空ポンプステー
ジによって圧送されたガスを排気するための通路を有す
る中心ポストを含む請求項１３に記載の真空ポンプ。
【請求項１５】前記モータの少なくとも一部が、前記真
空ポンプステージ内に配置され、前記真空ポンプステー
ジが、前記モータの周囲に配置された環状構造を有する
請求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項１６】前記モータのステータは、モータコイル
がその上に配設されている中心ポストを含み、前記モー
タのロータは、前記ステータの周囲に配置された円筒部
材を含み、前記円筒部材は、前記モータコイルと整合配
置された磁石部材を有する請求項６に記載の真空ポン
プ。
【請求項１７】インレットポートと排気ポートを有する
ハウジングと、前記ハウジング内に配設されモータであって、ステータ
と、前記モータに通電すると中心軸回りに回転するロー
タとを備え、前記ステータがステータ面を有し、前記ロ
ータが前記ステータ面から小さな間隙により離隔された
ロータ面を有するように構成されたモータと、前記ステータ面または前記ロータ面に設けられた分子吸
引溝を含む真空ポンプステージであって、前記モータに
通電すると前記分子吸引溝を介して前記インレットポー
トから前記排気ポートへとガスが圧送されるように構成
された真空ポンプステージとを含む真空ポンプ。
【請求項１８】前記ロータが、前記中心軸上の前記ステ
ータ内に配置されている請求項１７に記載の真空ポン
プ。
【請求項１９】前記ステータが前記中心軸上に配設さ
れ、前記ロータが前記ステータの周囲に配設されている
請求項１７に記載の真空ポンプ。