CH222288A - Molekularpumpe. - Google Patents

Description

      )Tolekularpumpe.       Die     Molekularpumpe    eignet sich überall  dort, wo bestes, dampffreies Hochvakuum  erzeugt werden soll. In der bekannten Aus  führung nach     Holweck    besteht sie im we  sentlichen aus einem glatten, horizontal ge  lagerten Zylinder, welcher von einem in der  Verlängerung der Zylinderachse angeordne  ten Antriebsmotor innerhalb eines konzentri  schen Gehäuses in rasche Umdrehungen ver  setzt wird. Der Ansaugstutzen befindet sich  am Gehäuse gegenüber der Mitte der Zylin  derwand. Von dort strömt das geförderte  Gas entlang der infolge Reibung als Pump  fläche wirkenden Zylinderfläche innerhalb  zweier gegenläufig spiraliger Kanäle des  Gehäuses nach aussen.

   Das angesaugte Gas  wird längs der spiraligen Kanäle von abneh  mendem Querschnitt allmählich verdichtet  und an den Lagerschilden von einer Vor  vakuumpumpe abgesaugt. Der Antriebsmotor  selbst befindet sich dabei unter     Vorvakuum-          druck.     



  Die Erfindung bezieht sich auf eine       Molekularpumpe    ähnlicher Wirkungsweise,    bei welcher jedoch sowohl die     Aussen-    als  auch die     Innenwand    des im wesentlichen     aus     einem Hohlzylinder bestehenden Rotors als  Pumpenflächen dienen, die bezüglich der  schraubenförmig in axialer     Richtung    erfol  genden Strömung hintereinander geschaltet  sind. Der Antriebsmotor befindet sich bei  einer besonders vorteilhaften Ausführungs  form im Innern des Rotors.  



  Aus dieser Anordnung folgen eine Reihe  von Vorteilen, deren wichtigster die wesent  liche Verkürzung der gesamten Baulänge  der Pumpe darstellt.     Dadurch        wird    der An  wendungsbereich der     Molekularpumpe    erwei  tert, indem sie nun beispielsweise an Orten  verwendet und     eingebaut    werden kann, wo  dies mit den bekannten     Ausführungen    aus  Platzgründen nicht ohne weiteres möglich  ist. Es ergibt sich beispielsweise die be  trieblich sehr erwünschte Möglichkeit, das  abzusaugende Gas im wesentlichen in Achs  richtung durch die Pumpe strömen zu las  sen. Dadurch wird eine bessere Linienfüh  rung der Vakuumleitungen der Pumpein-           riehtung    erzielt.

   Das Gas tritt dabei über  eine grosse, axial gerichtete     Ansaugöffnung     in die Pumpe und durchströmt sie völlig  konzentrisch in einheitlichem     Musse.     



  Der Betrieb mit vertikal gestellter Achse  erweist sich als besonders günstig, wobei der  Ansaugstutzen auf der Oberseite der Pumpe  sich befindet. In dieser     Ausführungsforen     kann die     llolelLularpumpe    gleichzeitig als  Tragsockel für mindestens einen zu eva  kuierenden Vakuumapparat dienen, bildet  also mit demselben einen einheitlichen Ap  parat.

   Dies ist ein grosser Vorteil bei zerleg  baren     Hochvakuumröhren,    welche stets an  einer Pumpe laufen müssen,     beispielsweise     bei Röhren grosser Leistung für     Hochfre-          quenz-Sendeeinrichtungen.    Es kann jede die  ser Röhren ihre eigene     Hochvakuumpumpe     aufweisen, oder es können auch mehrere, bei  spielsweise zwei in Gegentakt arbeitende  Senderöhren an derselben als gemeinsamer  Sockel ausgebildeten Pumpe arbeiten. Die  Vakuumleitungen zwischen Apparat und  Pumpe werden kurz, und die Saugleistung  wird damit erheblich verbessert, ohne dass  der Aufbau des     elektrischen    Teils durch die  Abmessungen der in unmittelbarer Nähe be  findlichen Pumpe gehindert würde.  



  In der Figur wird ein Ausführungsbei  spiel des Erfindungsgegenstandes näher er  läutert. Mit 1 ist der rotierende Pumpen  zylinder     bezeichnet,    dessen Aussen- und In  nenwand '     bezw.    3 als     Pumpfläche        wirken.     Das Gas strömt vom     Pumpstutzen    4 durch  s den spiralig im Gehäuse 5 angeordneten und  sich verengenden Kanal 6 in das unter Vor  vakuumdruck stehende     Zylinderinnere    7.

    Von dort wird es durch Öffnungen 8 von  einer     Vorvakuumpumpe    abgesaugt und auf  o Atmosphärendruck     verdichtet.    Im Zylinder  innern sind der     Stator    9 und Rotor 1.0 des  Antriebsmotors angeordnet,     wobei    die dein  Zylinder und Motor gemeinsame Achse 11       zweckmässigerweise    in Kugellagern 12     ge-          5führt    ist.

   Bei dieser     Vertikalanordnung    lau  fen solche oder ähnliche Lager praktisch    ohne Spiel und nützen sich gleichmässig ab,  so dass eine stets genaue Nahrung des nur  einige     Hunderstelmillimeter    weiten Spaltes  zwischen Zylinderwandungen und Gehäuse  gewährleistet ist.  



  Zylinder und Motor werden bei der Mon  tage     finit    ihrem Lagerbock 13 zusammen als  Ganzes von unten her in das Gehäuse 5 ein  geführt. Die einzige Trennungsstelle 14, ge  genüber mindestens zwei solchen bei der be  kannten Ausführung, steht unter einem  schon erheblich über dem besten Hoch  vakuum liegenden Druck, kann also durch  verhältnismässig einfache Mittel, beispiels  weise Gummi, leicht gedichtet werden. Die       weitere,    aus baulichen Gründen zweckmässige  Trennfuge 15 zwischen Gehäuse 5 und An  saugstutzen 4 wird verschweisst oder ver  lötet, bildet somit für die Dichthaltung der  Apparatur ebenfalls keine Schwierigkeiten.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Molekularpumpe, dadurch gekennzeich net, dass sowohl die Aussen- als auch die Innenwand des im wesentlichen aus einem Hohlzylinder bestehenden Rotors als Pum penflächen dienen, die bezüglich der schrau benförmig in axialer Richtung erfolgenden Strömung hintereinander geschaltet sind. UNTERANSPRüCHE 1. Molekularpumpe nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebs motor im Innern des zylinderförmigen Ro tors untergebracht ist.

   2. Molekularpumpe nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotorachse vertikal gelagert ist, wobei der axialsym- metrische Ansaugstutzen auf der Oberseite der Pumpe sich befindet, zum Zwecke, die Pumpe zugleich als Tragsockel für minde stens einen zu evakuierenden Vakuumappa rat verwenden zu können.