DE2412624A1

DE2412624A1 - Molekularvakuumpumpe

Info

Publication number: DE2412624A1
Application number: DE2412624A
Authority: DE
Inventors: Louis Maurice
Original assignee: Alcatel CIT SA
Current assignee: Alcatel CIT SA
Priority date: 1973-03-30
Filing date: 1974-03-15
Publication date: 1974-10-17
Also published as: JPS5048512A; IT1014559B; BE812290A; CH581268A5; GB1464901A; US3947193A; FR2224009A5; NL7404350A; DE2412624C2

Description

Neue/New Ad(d]rc.ss{c):

DIPL. ING. DIETHEOI LlZWALI)

PATB NTAN WA Ι.Γ

"740 _{8 M}Ü_NCHEN 40

BIBNAUEU STHASSE 6

COMPAGTTIE INDUSTRIELLE DES TELECOMMUNICATIONS CIT-ALOATEL 12, rue de la Baume, 75008 PARIS (Prankreich)

MOLEKULARVAKTUUMPlJlLPE

Die Erfindung "betrifft eine Molekularvakuumpumpe, die auf einfache Weise dem zu pumpenden Gastyp anzupassen ist.

Es sind seit langem Turbo-Molekularpumpen "bekannt, die aufgrund ihrer Bauweise Turbinen ähnlich sind, jedoch aufgrund ihres Arbeitsprinzips der von Gaede entwickelten Molekularpumpe nahekommen, d.h. dass ihre Vakuumwirkung aus dem Auftreffen von Molekülen auf in Bewegung befindliche Wandungen gewonnen wird.

Diese Pumpen werden vielfach als Sekundärpumpen eingesetzt wegen ihrer Fähigkeit, auf wirksame Weise öldämpfe abzuhalten, die vom Primärvakuum rückgestreut werden können»

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Es ist weiterhin bekannt, dass die Verdichtung einer Turbo-Molekularpumpe pro Stufe nach einer mathematischen Formel errechnet werden kann, bei der der Logarithmus der Verdichtung pro Stufe proportional zur Quadratwurzel der Molekülmasse des gepumpten Gases ist. Daraus ergibt sich, dass diese Pumpen einen hohen Wirkungsgrad aufweisen, wenn es sich um die Ausscheidung von schweren Gasen, insbesondere von öldämpfen, handelt, dass jedoch andererseits ihre Leistung bei Vorhandensein eines leichten Gases, wie beispielsweise Wasserstoff, sehr schwach istj Wasserstoff findet sich nun aber in beträchtlichen Anteilen stets in der Re st atmosphäre von geschlossenen Räumen, in denen ein Vakuum hergestellt werden soll.

So würde beispielsweise eine Turbo-Molekularpumpe mit

16 Stufen und einer Verdichtung von 10 für Stickstoff eine vollkommen ausreichende Ausscheidung von schweren Dämpfen wie beispielsweise öldämpfen herbeiführen, jedoch ist leicht auszu-

2 rechnen, dass die Verdichtung für Wasserstoff nur bei etwa 10 läge, was in zahlreichen Fällen ungenügend ist.

Es ist leicht einzusehen, dass zur Erzielung derselben Verdichtung, wie sie für Stickstoff gilt, es notwendig wäre, 3,7-mal soviele Stufen zur Verfügung zu haben, d.h. eine Pumpe mit 59 oder 60 Stufen, was untragbar wäre.

Selbst wenn manche Verwender eine so gross ausgelegte Pumpe akzeptieren würden, wäre der Preis so hoch, dass derjenige Bautzer, der lediglich Stickstoff ausscheiden müsste,

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eine Turbo-Molekularpumpe mit 16 Stufen vorziehen würde. Der Hersteller der Molekularpumpen müsste sehr kleine Serien von Pumpen auflegen, die in ihrer Stufenzahl nach dem jeweiligen Verwender variieren. Schliesslich können Turbo-Molekularpumpen nicht leicht an das zu pumpende Gas angepasst werden, und ihr Selbstkostenpreis bleibt hoch.

Andererseits ist bekannt, dass diese Turbo-Molekularpumpen den grossen Vorteil bieten, eine praktisch konstante Pumpleistung zu erbringen, unabhängig von der Molekülmasse der gepumpten Gase.

Es schien daher vorteilhaft zu sein, die Eigenschaften der Turbo-Molekularpumpen, die Gase unterschiedlicher Molekülmasse bei gleicher Pumpleistung, aber mit verschiedenen Verdichtungen pumpen können, mit den Eigenschaften von Trommel-Molekularpumpen zu verbinden, bei denen durch die Konstruktion der Verdichtungsgrad beliebig erhöht werden kann, indem lediglich die Tiefe der Nuten verändert wird.

Bekanntlich umfassen Trommel-Molekularpumpen eine zylindrische Trommel, die mit grosser Geschwindigkeit und geringem Spiel im Innern eines Stators läuft, dessen Innenwandung ebenfalls zylindrisch ist. Auf der Innenwandung des Stators, auf der Aussenseite der Trommel oder auf beiden werden mehrere parallel verlaufende schraubenförmige Nuten eingeschnitten, deren Tiefe in Eichtung auf die Druckseite der Pumpe abnimmt, die für ein gegebenes Gas die Verdichtung bestimmen und deren Quer-

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schnitt die Durchflussmenge festlegt.

Bekanntlich ist diese Durchflussmenge in der Regel kleiner als die wünschenswerte PumpIeistung. Indem die Ansaug-Ö"ffnung einer solchen Trommel-Molekularpumpe mit der Austritts'dffnung einer Turbo-Molekularpumpe, deren Pumpleistung ausreichend ist, verbunden wird, lässt sich die Massenpumpleistung der Trommel-Molekularpumpe verbessern, da diese auf ein Gas einwirkt, dessen Volumen proportional zum Verdichtungsgrad der Turbo-Molekularpumpe verringert worden ist. Der so erzielte Vorteil ist deutlich, kann jedoch immer noch als unzureichend oder zu kostspielig betrachtet werden, wenn diese beiden Pumpen nicht vollkommen aufeinander abgestimmt sind und bestimmte Anforderungen erfüllen. So ist es bei dem vorhergehenden Beispiel, bei dem die Molekularpumpe mit 16 Stufen und einer

Verdichtung von 10 für Stickstoff und etwa 100 für Wasserstoff einer Trommel-Molekularpumpe zugeordnet wird, deren Tiefe speziell für Wasserstoff berechnet wurde, möglich, eine Gesamtverdichtung

für Wasserstoff von 10 zu erreichen, jedoch ist der Preis für eine solche Ausrüstung zu hoch, da zusätzlich zur kompletten Turbo-Molekularpumpe eine Trommel-Molekularpumpe angeschafft werden muss.

Daraus ergibt sich, wenn man die beiden Pumpentypen auf vorteilhafte Weise kombinieren will, die Notwendigkeit, die beiden Pumpentypen aufeinander abzustimmen, indem die herzustellende Verdichtung harmonisch auf die beiden Bestandteile so

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verteilt wird, dass der Massendurchfluss des Teils, der die Funktion der Trommel-Molekularpumpe erfüllt, verbessert wird.

Um die Grö*sse und den Preis einer Vorrichtung zu verringern, in der ein Turbo-Molekularpumpenelement mit einem Trommel-Molekularpumpenelement kombiniert wird, besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Standardelement vorzusehen, bei dem die Anzahl von Stufen des Turbo-Molekularelements einen möglichst niedrigen Wert hat und trotzdem erlaubt, eine spürbare Verbesserung des Massendurehflusses des Trommel-Molekularpumpenelements zu erreichen,

Gegenstand der Erfindung ist eine Molekularvakuumpumpe mit einem Turbo-Molekularpumpenelement und einem Trommel-Mo lekularpumpenelement, die beide auf derselben Drehachse gelagert sind, wobei der Gasaustritt des Turbo-Molekularpumpeiielements direkt mit dem Eingang des Trommel-Molekularpumpenelements verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Turbo-Molekularpumpenelement eine geringe Anzahl von Stufen umfasst, durch die für ein gegebenes Gas eine Verdichtung derselben Gr'dsseiiordnung erreicht wird, wie sie durch das Verhältnis der volumenm'ässigen Pumpleistungen der beiden Pumpenelemente gegeben ist.

Wenn es sich beispielsweise bei dem ausgewählten Gas um Stickstoff handelt und das Verhältnis der Pumpleistung der beiden Pumpenelemente bei etwa 100 liegt, so muss die Verdichtung des Turbo-Molekularpumpenelemeiits bei etwa 100 liegen.

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Wird für das Turbo-Molekularpumpenelement ein Rotordurchmesser von 200 mm gewählt und beträgt bei einer üblichen Rotationsgeschwindigkeit von 24000 Umdrehungen pro Minute die Verdichtung pro Stufe für Stickstoff 3,3, d.h. praktisch Wurzel aus 10, so ergibt sich, dass ein Turbo-Molekularpumpenelement mit 4 Stufen eine ausreichende Verdichtung von

( VlO)⁴ = 100
erzeugt.

Weiter oben wurde darauf hingewiesen, dass die am Ausgang des Turbo-Molekularpurapenelements erhaltene Verdichtung sich mit der Molekülmasse des Pumpengases ändert.

Daraus folgt, dass es in vielen Fällen vorteilhaft ist, den Querschnitt und die Tiefe der schraubenförmigen Nuten des Trommel-Molekularpumpenelements, welches dem Turbo-Molekularpumpenelement nachgeschaltet ist, an das Gas anzupassen, das durch diese Pumpenanordnung am häufigsten gepumpt werden soll bzw. an das Gas, dessen Ausscheidung vom Verwender als unabdinglich betrachtet wird.

Wird ferner berücksichtigt, dass in der Industrie jede Pumpengruppe während längerer Zeit für eine einzige Funktion eingesetzt wird, wird erfindungsgemäss eine Pumpe vorgesehen, die alle Anforderungen des Verwenders in der Industrie erfüllt und einen leicht austauschbaren und an jedes besondere Problem anpassbaren Teil enthält.

Eine bevorzugte Ausführung der erfindungsgemässen 409842/0303 ./,

Pumpe enthält folglich ein Turbo-Molekularpurapenelement/ dessen Stufenzahl sehr gering ist, und ein Trommel-Molekularpumpeneleraent, das mit dem vorgenannten Element auf derselben Achse mit hoher Geschwindigkeit gedreht wird und in einem zylindrischen Stator- läuft, wobei schraubenförmig verlaufende Mehrfachnuten lediglich in eine der beiden Zylinderflächen eingeschnitten sind und wobei das Teil, das die Mehrfachnuten trägt, leicht auszubauen ist.

So ist es möglich, erfindungsgemäss eine Pumpenanordnung zu schaffen, die alle Anforderungen durch eine leicht durchzuführende Anpassung erfüllt. Der sich aus einer solchen Anordnung ergebende Vorteil zeigt sich besonders darin, dass eine solche Anordnung in grosser Serie und mit einem im Vergleich zu einer für spezielle Anforderungen sondergefertigten. Pumpe erheblich gesenkten Preis hergestellt werden kann.

Für den Fall, dass die gewindeartigen Nuten eine bestimmte Tiefe aufweisen, erweist es sich als vorteilhaft, sie auf dem Stator des Trommel-Molekularpumpenelements vorzusehen und die Trommel selbst vollkommen glatt zu lassen. Es ist dann günstig, eine hängende Bauweise vorzusehen, um das Ausbauen des Stators des Trommel-Molekularpumpenelements zu erleichtern. Zur Vereinfachung der Konstruktion ist es vorteilhaft, die beiden Rotoren fest miteinander zu verbinden und sie auf der Achse zu montieren. Der Stator des Turbo-Molekularpumpenelements trägt den Stator des Trommel~Molekularpumpenelements, der seinerseits mit einem Gehäuse verbunden ist, das die Grundplatte mit den

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Achslagern trägt. Das Auseinanderbauen des Stators geschieht dadurch, dass der Stator des Trommel-Molekularpumpenelements vom Stator des Turbo-Molekularpumpenelements getrennt wird, nachdem das Gehäuse nach unten entfernt worden ist.

Es kann vorkommen, dass der Verwender eine Mehrzweckpumpe benotigt, die recht gut alle üblichen Gase pumpt und trotzdem auch einen grossen Teil des Wasserstoffs absaugt. In diesem Fall wird vorteilhafterweise dem Turbo-Molekularpumpenelement ein Trommel-Molekularpumpenelement zugeordnet, welches mit Mehrfachnuten ausgestattet ist, bei denen jede Nut auf einem Bereich ihrer Länge in Richtung der Austrittsseite in eine zunehmende Anzahl von engeren Kanälen unterteilt ist.

Mit einem solchen Trommel-Molekularpumpenelement kann die Verdichtung gegenüber bekannten Molekularpumpen unter Beibehaltung eines hohen Durchflusses erheblich gesteigert werden. Ein solches Pumpenelement mit verbesserter Verdichtung kann sehr gut in Verbindung mit dem Turbo-Molekularpumpenelement geringerer Verdichtung kombiniert werden.

Im nachfolgenden wird die Erfindung an Hand der einzigen Figur näher beschrieben.

Die einzige Figur stellt einen schematischen Schnitt durch eine erfindungsgemässe Pumpenanordnung dar.

Ein Motor 10 versetzt eine Drehachse 1 in schnelle Umdrehung. Ein Achslager 2 mit in seinem Innern verlaufenden Kanälen umgibt die Drehachse 1. Ein Gehäuse 3 schützt das Achs-

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lager 2. Es ist mit dem ausbaubaren Statorelement 4 mit Hilfe von leicht entfernbaren Schrauben wie beispielsweise 23 verbunden.

Die Pumpwirkung wird erreicht, indem die Gase in Richtung auf ein Turbo-Molekularpumpenelement 8 bewegt werden, das einen mit der Drehachse 1 durch eine Schraube 7 verbundenen Rotor 6 umfasst, der in einem durch einen Flanschbügel 11 gehaltenen Stator 9 rotiert. Zu diesem Turbo-Molekularpumpenelement 8 gehört eine bestimmte Anzahl von Stufen 20, die mit nicht hier dargestellten Schaufeln versehen sind. Das Trommel-Pumpenelement 12 besteht aus einem zylindrischen glatten Rotor 14, der die Fortsetzung des Rotorelements 6 bildet, von dem er ein Teil ist, und aus dem ausbaubaren Stator 4, der den zylindrischen Rotor 14 umgibt. Auf der Innenwandung des Statorelements 4 gegenüber dem zylindrischen Rotor 14 sind Mehrfachnuten wie beispielsweise 16, 17, 18, 19 usw. eingearbeitet, deren Tiefe vom Ansaugende zum Ausstossende der Pumpe hin abnimmt. Im bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Stator mit sechs parallel verlaufenden schraubenförmigen Nuten abnehmender Tiefe versehen.

Vorteilhafterweise wird ein Turbo-Molekularpumpenelecient mit vior Stufen verwendet, der bei einer Pumpleistung von praktisch Null einen Verdichtungsgrad für Stickstoff von etwa 100 liefert. Dieses Pumpenelement mit nur einem Viertel der Stufen der weiter oben als bekanntes Beispiel erwähnten Turbo-Molekularpumpe würde allein lediglich ein unzureichendes Vakuum erzeugen. Aber ein Verdichtungsgrad von etwa 100 für Stick-

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stoff ermöglicht es, das in Strötnungsrichtung liegende Trommel-Molekularpumpenelement unter sehr vorteilhaften Bedingungen zu speisen. Denn wenn die volumenmässige Pumpleistung eines Trommel-Molekularpumpenelement s durch den Querschnitt der beispielsweise im Stator eingeschnittenen Nuten bestimmt ist, so ist der Massendurchfluss um so höher, je grosser die Dichte des durchfliessenden Gases ist. Daraus ergibt sich, dass ein zwischen das Sekundärvakuum und das Trommel-Molekularpumpenelement geschaltetes Turbo-Molekularpumpenelement genau den weiter oben angekündigten Effekt aufweist; es verbessert in erheblichem Umfang den Massendurchfluss des Trommel-Molekularpumpenelements.

Das Trommel-Molekularpumpenelement 12 empfangt den vom Turbo-Molekularpumpenelement 8 geförderten Gasfluss, der hier noch unter Druck steht. Mit einer Ringkammer 21 kann der durch den zylindrischen Rotor 14 weitergeförderte Gasfluss aufgefangen werden, der dann durch die Leitung 22 zur hier nicht dargestellten Primarpumpe gelenkt wird.

Die Drehachse rotiert reibungslos auf Gaslagern. Das Achsenlager 2 enthält in bekannter Weise eine Druckluftzuleitung 24 und ein Leitungsnetz, das in Gaslagern wie beispielsweise 25 mündet, womit die sich drehende Achse im Verhältnis zur starren Struktur der Pumpe zentriert werden kann. Das Achsenlager 2 umfasst eine Lagervertiefung mit einer ringförmigen Krone 26, deren Querschnitt rechtwinklig ist und die zur Dreachse 1 gehört. Sie wird durch gegensinnig wirkende ausge-

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glichene Luftströme wie beispielsweise 27, 28, die aus der Druckluftleitung 24 stammen, in einer stabilen Lage gehalten. Die Ringkrone 26 übernimmt so die Rolle eines axialen Gaslagers für die Drehachse 1.

Der Stator 9 des Turbo-Molekularpumpenelements 8 wird aus zwei Halbringlagern wie beispielsweise 35 gebildet, die in einer genauen Lage zwischen dem Stator 4 des Trommel-Molekularpumpenelements und des Verbindungsbügels 11 mit Hilfe von abnehmbaren Regulierschrauben wie beispielsweise 28 gehalten werden» Die beiden Halbringlager wie beispielsweise 35 werden darüber hinaus mit Hilfe von Schrauben wie 37, 38, 39 und 41 zusammengesetzt.

Die Dichtigkeit zwischen den verschiedenen die Pumpanordnung bildenden Teilen wird durch eine bestimmte Anzahl von Dichtungen gewährleistet; diese Dichtungen werden in einer dem Fachmann bekannten Art und Weise angebracht.

Zum Pumpen von Stickstoff wird ein Stator mit sechs parallel verlaufenden schraubenförmigen Nuten verwendet, deren Tiefe von 17,5 auf 0,75 mm zur Primärstufe hin abnimmt. Die Verdichtung bei einer Förderleistung von praktisch Null beträgt so 10 , die Förderleistung der gesamten erfindungsgemässen Pumpenanordnung erreicht 350 Liter pro Sekunde.

Soll ein Gas gepumpt werden, dessen Molekülmasse sich sehr von der des Stickstoffs unterscheidet, beispielsweise Wasserstoff, so ist es notwendig, das Trommel-Molekularpumpenelement 5 mit einem anderen Stator zu versehen.

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dreht die Schrauben wie beispielsweise 23 heraus, um das Gehäuse 3 nach unten abzuklappen. Es genügt dann, die Schrauben wie beispielsweise 28 zu lösen, um den Stator 4 nach unten herauszuziehen.

Danach kann man zum Pumpen von Wasserstoff einen Stator mit sechs gewindeartigen Nuten einbauen, deren Tiefe am Pumpeneingang 4 tnm und am Ausgang zur Primärpumpe hin 0,5 mm beträgt. Der so erreichte Verdichtungsgrad bei einer Forderleistung von praktisch Null liegt bei etwa ICr und die Förderleistung der gesamten Pumpanlage bei etwa 40 Litern pro Sekunde.

Sollen Gase gepumpt werden, deren Molekülmasse grosser als die von Stickstoff ist und deren Dichte ungefähr gleich der von Argon ist (A = 40), so versieht man die erfindungsgemässe Pumpanordnung mit einem Stator mit sechs gewindeartigen Nuten, deren Tiefe von 30 mm am Pumpeneingang auf 2 mm am Pumpenausgang abnimmt. Die Pumpleistung liegt dann bei etwa 400 Litern und der Verdichtungsgrad bei einer Pumpleistung von Null bei 10 ,

Die gesamte übrige Pumpanordnung, die Drehachse 1, das Achsenlager 2, das Turbo-MoIekularpumpenelernent 8, die Rotoranordnung 6 und das Gehäuse 3 bleiben stets unverändert, ganz gleich welcher Stator 4 eingesetzt wird. Daraus ergibt sich eine erhebliche Kostensenkung für solche Pumpanordnungen, die in grossen Serien gefertigt werden können und auf Wunsch des Verwenders mit dem für das jeweils zu.pumpende Gas passenden Stator versehen werden können.

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Im Rahmen der Erfindung liegen auch Pumpanordnungen vor, bei denen die sechs parallel verlaufenden gewindeartigen Nuten in den Rotorzylinder geschnitten sind undbei denen der Stator glatt ist; die mit Nuten derselben Tiefe erzielten Ergebnisse sind in allen Punkten mit den Ergebnissen vergleichbar, die mit in den Stator geschnittenen Nuten erreicht werden. Um eine Erhöhung des Herstellungspreises zu vermeiden, wird der Rotorzylinder 14 auf die Rotoranordnung 5 geschraubt und lediglich der zylindrische Teil wird für den Austausch vorgesehen. Diese Anordnung ist günstig für Pumpen, die für relativ leichte Gase vorgesehen sind und bei denen.die eingeschnittenen Nuten nicht sehr tief sind. Die Anordnung mit dem austauschbaren Stator ist dagegen für alle Fälle anwendbar, unabhängig von der Dichte des zu pumpenden Mediums.

Sollen mit einer Pumpvorrichtung ausnahmslos alle Gase gepumpt werden können, ist es noch möglich, einen Stator mit einer Mehrfachgewindeausführung zu verwenden, bei dem die Anzahl der Gewinde von der Ansaugseite zur Druckseite durch Unterteilung jeder zwischen zwei aufeinanderfolgenden Gewindegraten liegenden Nut durch einei oder mehrere neue Gewindegrate, die zwei oder mehrere getrennte Kanäle bilden, vervielfacht wird. Diese Massnahmen sind unter geringem Kostenaufwand durchzuführen und erlauben, den Verdichtungsgrad ohne Verringerung der Pumpleistung zu erhöhen, indem ein grosser Teil der Undichtigkeitsverluste ausgeschaltet wird.

Indem so ein Stator verwendet wird, bei dem die Tiefe 409842/0303 ./

der Gewindenuten zwischen 8 und 1 mm variiert, erhalt man ein Statorelement, bei dem jede Nut nach einem Drittel der Länge jedes Gewindegangs gerechnet von der Ansaugseite an in zwei Kanäle unterteilt wird. Darauf wird jede dieser Nuten von neuem vom zweiten Drittel der Länge jedes Gewindegangs ab in 2 Kanäle unterteilt. Eine solche Vorrichtung ergibt noch für leichte Gase, deren Masse etwa der des Wasserstoffs entspricht, eine Verdichtung bei einer Leistung von Null von etwa 10 bis ICr und für die Gesamtpumpenanlage eine Pumpleistung von etwa 30 bis 40 Litern; aber diese Vorrichtung ermöglicht es auch, für ein Gas wie beispielsweise Luft, dessen Dichte ungefähr gleich der Dichte von Stickstoff ist, eine Pumpleistung von etwa 200 Litern pro Sekunde zu erreichen, wobei die Verdichtung bei einer Pumpleistung von Null deutlich über 10 liegt.

Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Im Rahmen der Erfindung kann die Pumpenanordnung besonderen technischen Bedingungen angepasst werden. Insbesondere können verschiedene Veränderungen an der Art, Zahl und Tiefe der Statorgewindenuten sowie an der Art und Anzahl der Stufen des Turbo-Molekularpumpenelements vorgenommen werden.

- Patentansprüche -

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

■1-J Molekularvakuumpumpe mit einem Turbo-Molekularpumpenelement und einem Trommel-Molekularpumpenelement, die beide auf derselben Drehachse gelagert sind, wobei der Gasaustritt des Turbo-Molekularpumpenelements direkt mit dem Eingang des Trommel-Molekularpumpenelements verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Turbo-Molekularpumpenelement (8) eine geringe Anzahl von Stufen (20) umfasst, durch die für ein gegebenes Gas eine Verdichtung derselben Grössenordnung erreicht wird, wie sie durch das Verhältnis der volumenmässigen Pumpleistungen der beiden Pumpenelemente gegeben ist.
2. Vakuum-Molekularpumpenanordnung gemäss Anspruch 1, bei der das zylindrische Trotnmel-Molekularpumpenelement mit geringem Spiel in einem Stator rotiert, dessen Innenfläche ebenfalls zylindrisch ist, und bei der mehrere parallelverlaufende schraubenförmige Gevjindenuten lediglich in eine dieser beiden zylindrischen Flächen geschnitten sind, dadurch gek e η η zeichnet, dass das Teil (4), in das die Gewinde (l6, 17, 18, 19) eingeschnitten sind, leicht austauschbar gestaltet wird.
3. Vakuum-Molekularpumpenanordnung gemäss Anspruch 2 mit einem festen Drehachsenlager, in dem eine Drechachse, die die Rot.oraixordnung trägt,mit hoher Geschwindigkeit rotiert, sowie mit dem Stator des Turbo-Molekularpumpenelements, dem Stator des

Trommel-Molekularpumpenelements, der parallel verlaufende schraubenförmige Gewindenuten aufweist, und mit einem Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (4) des Trommel-Molekularpumpenelements (12) mit Hilfe von abnehmbaren Schrauben (28) hängend am Stator (9) des Turbo-.Molekularpumpenelements (8) montiert ist.
4. Vakuum-Molekularpumpenanordnung gemäss Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (4) des Trommel-Molekularpumpenelements (12) abgebaut wird, indem er vom Stator (9) des Turbo-Molekularpumpenelements (8) gelöst wird, nachdem das Gehäuse (3) nach unten entfernt worden ist.
5. Vakuum-Molekularpumpenanordnung gemäss einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der auf eine der im Trommel-Molekularpumpenelement (12) vorhandenen zylindrischen Flächen eingeschnittenen Gewindenuten (l6, 17, 18, 19) von der Ansaugseite zur Druckseite der Pumpenanlage hin zunimmt, indem jede zwischen zwei aufeinanderfolgenden Gewindegraten (l6, 17) liegende Nut durch mehrere zusätzliche Gewindegrate unterteilt wird, wodurch in jeder der genannten Nuten mehrere getrennte Kanäle gebildet werden.

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