)Tolekularpumpe. Die Molekularpumpe eignet sich überall dort, wo bestes, dampffreies Hochvakuum erzeugt werden soll. In der bekannten Aus führung nach Holweck besteht sie im we sentlichen aus einem glatten, horizontal ge lagerten Zylinder, welcher von einem in der Verlängerung der Zylinderachse angeordne ten Antriebsmotor innerhalb eines konzentri schen Gehäuses in rasche Umdrehungen ver setzt wird. Der Ansaugstutzen befindet sich am Gehäuse gegenüber der Mitte der Zylin derwand. Von dort strömt das geförderte Gas entlang der infolge Reibung als Pump fläche wirkenden Zylinderfläche innerhalb zweier gegenläufig spiraliger Kanäle des Gehäuses nach aussen.
Das angesaugte Gas wird längs der spiraligen Kanäle von abneh mendem Querschnitt allmählich verdichtet und an den Lagerschilden von einer Vor vakuumpumpe abgesaugt. Der Antriebsmotor selbst befindet sich dabei unter Vorvakuum- druck.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Molekularpumpe ähnlicher Wirkungsweise, bei welcher jedoch sowohl die Aussen- als auch die Innenwand des im wesentlichen aus einem Hohlzylinder bestehenden Rotors als Pumpenflächen dienen, die bezüglich der schraubenförmig in axialer Richtung erfol genden Strömung hintereinander geschaltet sind. Der Antriebsmotor befindet sich bei einer besonders vorteilhaften Ausführungs form im Innern des Rotors.
Aus dieser Anordnung folgen eine Reihe von Vorteilen, deren wichtigster die wesent liche Verkürzung der gesamten Baulänge der Pumpe darstellt. Dadurch wird der An wendungsbereich der Molekularpumpe erwei tert, indem sie nun beispielsweise an Orten verwendet und eingebaut werden kann, wo dies mit den bekannten Ausführungen aus Platzgründen nicht ohne weiteres möglich ist. Es ergibt sich beispielsweise die be trieblich sehr erwünschte Möglichkeit, das abzusaugende Gas im wesentlichen in Achs richtung durch die Pumpe strömen zu las sen. Dadurch wird eine bessere Linienfüh rung der Vakuumleitungen der Pumpein- riehtung erzielt.
Das Gas tritt dabei über eine grosse, axial gerichtete Ansaugöffnung in die Pumpe und durchströmt sie völlig konzentrisch in einheitlichem Musse.
Der Betrieb mit vertikal gestellter Achse erweist sich als besonders günstig, wobei der Ansaugstutzen auf der Oberseite der Pumpe sich befindet. In dieser Ausführungsforen kann die llolelLularpumpe gleichzeitig als Tragsockel für mindestens einen zu eva kuierenden Vakuumapparat dienen, bildet also mit demselben einen einheitlichen Ap parat.
Dies ist ein grosser Vorteil bei zerleg baren Hochvakuumröhren, welche stets an einer Pumpe laufen müssen, beispielsweise bei Röhren grosser Leistung für Hochfre- quenz-Sendeeinrichtungen. Es kann jede die ser Röhren ihre eigene Hochvakuumpumpe aufweisen, oder es können auch mehrere, bei spielsweise zwei in Gegentakt arbeitende Senderöhren an derselben als gemeinsamer Sockel ausgebildeten Pumpe arbeiten. Die Vakuumleitungen zwischen Apparat und Pumpe werden kurz, und die Saugleistung wird damit erheblich verbessert, ohne dass der Aufbau des elektrischen Teils durch die Abmessungen der in unmittelbarer Nähe be findlichen Pumpe gehindert würde.
In der Figur wird ein Ausführungsbei spiel des Erfindungsgegenstandes näher er läutert. Mit 1 ist der rotierende Pumpen zylinder bezeichnet, dessen Aussen- und In nenwand ' bezw. 3 als Pumpfläche wirken. Das Gas strömt vom Pumpstutzen 4 durch s den spiralig im Gehäuse 5 angeordneten und sich verengenden Kanal 6 in das unter Vor vakuumdruck stehende Zylinderinnere 7.
Von dort wird es durch Öffnungen 8 von einer Vorvakuumpumpe abgesaugt und auf o Atmosphärendruck verdichtet. Im Zylinder innern sind der Stator 9 und Rotor 1.0 des Antriebsmotors angeordnet, wobei die dein Zylinder und Motor gemeinsame Achse 11 zweckmässigerweise in Kugellagern 12 ge- 5führt ist.
Bei dieser Vertikalanordnung lau fen solche oder ähnliche Lager praktisch ohne Spiel und nützen sich gleichmässig ab, so dass eine stets genaue Nahrung des nur einige Hunderstelmillimeter weiten Spaltes zwischen Zylinderwandungen und Gehäuse gewährleistet ist.
Zylinder und Motor werden bei der Mon tage finit ihrem Lagerbock 13 zusammen als Ganzes von unten her in das Gehäuse 5 ein geführt. Die einzige Trennungsstelle 14, ge genüber mindestens zwei solchen bei der be kannten Ausführung, steht unter einem schon erheblich über dem besten Hoch vakuum liegenden Druck, kann also durch verhältnismässig einfache Mittel, beispiels weise Gummi, leicht gedichtet werden. Die weitere, aus baulichen Gründen zweckmässige Trennfuge 15 zwischen Gehäuse 5 und An saugstutzen 4 wird verschweisst oder ver lötet, bildet somit für die Dichthaltung der Apparatur ebenfalls keine Schwierigkeiten.
) Molecular pump. The molecular pump is suitable wherever the best, steam-free high vacuum is to be generated. In the known execution from Holweck, it consists essentially of a smooth, horizontally ge superimposed cylinder, which is ver from an in the extension of the cylinder axis angeordne th drive motor within a concentric housing in rapid revolutions. The intake manifold is located on the housing opposite the center of the cylinder wall. From there, the pumped gas flows outward along the cylinder surface, which acts as a pumping surface due to friction, within two counter-rotating channels of the housing.
The sucked gas is gradually compressed along the spiral channels of decreasing cross-section and sucked off at the end shields by a vacuum pump. The drive motor itself is under fore-vacuum pressure.
The invention relates to a molecular pump of a similar mode of operation, in which, however, both the outer and the inner wall of the rotor consisting essentially of a hollow cylinder serve as pump surfaces which are connected in series with respect to the helical flow in the axial direction. In a particularly advantageous embodiment, the drive motor is located inside the rotor.
This arrangement has a number of advantages, the most important of which is the shortening of the overall length of the pump. As a result, the range of application of the molecular pump is expanded by using and installing it, for example, in places where this is not easily possible with the known designs for reasons of space. There is, for example, the operationally very desirable possibility to let the gas to be extracted flow through the pump essentially in the axial direction. As a result, a better line routing of the vacuum lines of the pumping device is achieved.
The gas enters the pump via a large, axially directed suction opening and flows through it in a completely concentric manner.
Operation with the axis in a vertical position has proven to be particularly favorable, with the suction nozzle being on the top of the pump. In this embodiment, the central pump can simultaneously serve as a support base for at least one vacuum apparatus to be evacuated, thus forming a uniform apparatus with the same.
This is a great advantage in the case of high-vacuum tubes which can be dismantled and which always have to run on a pump, for example in the case of high-power tubes for high-frequency transmission devices. Each of these tubes can have its own high vacuum pump, or several, for example two transmission tubes working in push-pull operation can work on the same pump designed as a common base. The vacuum lines between the apparatus and the pump are short, and the suction power is thus considerably improved without the construction of the electrical part being hindered by the dimensions of the pump in the immediate vicinity.
In the figure, an Ausführungsbei is playing the subject invention in more detail he explains. With 1 of the rotating pump cylinder is designated, the outer and inner wall 'respectively. 3 act as a pumping surface. The gas flows from the pump nozzle 4 through the narrowing channel 6 arranged spirally in the housing 5 into the cylinder interior 7 which is under vacuum pressure.
From there it is sucked off by a backing pump through openings 8 and compressed to atmospheric pressure. Inside the cylinder, the stator 9 and rotor 1.0 of the drive motor are arranged, the axis 11 common to the cylinder and motor being expediently guided in ball bearings 12.
With this vertical arrangement, such or similar bearings run practically without play and wear evenly, so that the gap between the cylinder walls and the housing, which is only a few hundredths of a millimeter wide, is always guaranteed.
Cylinder and motor are finitely their bearing block 13 together as a whole from below in the housing 5 out at the Mon days. The only separation point 14, ge compared to at least two such in the known design, is under a pressure already significantly above the best high vacuum, so it can be easily sealed by relatively simple means, for example rubber. The further, for structural reasons expedient parting line 15 between the housing 5 and the suction nozzle 4 is welded or soldered ver, thus also forms no difficulties for the tightness of the apparatus.