DE2225327B2 - VACUUM PUMP WITH SPIRAL ROTATION LIST - Google Patents
VACUUM PUMP WITH SPIRAL ROTATION LISTInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem aus einem Flansch und wenigstens einer axial davon abstehenden Spiralrippe gebildeten Rotationskolben in einem mit entsprechend geformten Spiralrippenwänden versehenen Förderraum, wobei der Rotationskolben, durch um 120° zueinander versetzte Kurbeltriebe gleicher Exzentrizität gegenüber den Förderraumwänden allseits beriihrungsfrei geführt, im Förderraum eine translatorische Kreisbewegung ausführt und der Förderraum durch einen zwischen dem Rotationskolben und hinein festen Gehäuseteil angeordneten Dichtungsbalg abgedichtet ist. The invention relates to a vacuum pump having one of a flange and at least one axially thereof protruding spiral rib formed rotary piston in a with appropriately shaped spiral rib walls provided delivery space, the rotary piston by crank mechanisms offset from one another by 120 ° with the same eccentricity in relation to the walls of the conveying chamber, guided on all sides without contact, one in the conveying chamber translational circular movement executes and the delivery chamber by one between the rotary piston and sealing bellows arranged in a fixed housing part is sealed.
Eine derartige Vakuumpumpe (siehe die FR-Zusatz-PS 93 048, Fig. 8 und 9) zeichnet sich durch hohe Saugleistungeen aus, so lange gewährleistet ist, daß die Spiralrippen des Rotationskolbens einerseits und die Spiralrippenwände des Gehäuses andererseits sich stets entlang von wandernden Tangenten abstützend fast berühren können. Dies wird bei der bekannten Vakuumpumpe durch die Führung der Kurbeltriebe, von denen nur einer von außen angetrieben wird, sowie durch die Abdichtung des Förderraums erreicht. Damit ist die Anordnung kinematisch bestimmt und erfährt eine genaue Bewegungssteuerung. Das ist unverzichtbare Voraussetzung für ein hohes Vakuum. Weil derartige Vakuumpumpen trocken arbeiten, ist keine Schmierung erforderlich. Immer erfordert die mechanische Anordnung des Antriebes der beweglichen Spiralrippen einer solchen Vakuumpumpe ein Funktionsspiel, das nicht vernachlässigt werden darf, das aber die Saugleistung beeinträchtigt.Such a vacuum pump (see FR additional PS 93 048, Fig. 8 and 9) is characterized by high Saugleistungeen from, as long as it is guaranteed that the spiral ribs of the rotary piston on the one hand and the On the other hand, spiral rib walls of the housing are almost always supported along moving tangents can touch. In the known vacuum pump, this is achieved by guiding the crank drives, only one of which is driven from the outside and is achieved by sealing the pumping chamber. In order to the arrangement is kinematically determined and the movement is precisely controlled. That is indispensable Requirement for a high vacuum. Because such vacuum pumps work dry, there is no lubrication necessary. The mechanical arrangement of the drive of the movable spiral ribs always requires one such a vacuum pump a functional game that must not be neglected, but the suction power impaired.
Bei jener bekannten Maschine ist der die Spiralrippen tragende Rotorflansch mittelbar über einen eigenen Führungsarmstern mit den drei Kurbeltriebcn verbunden. Dazu ist der Flansch mit einem zentrischen verhältnismäßig dicken Verbindungszapfen versehen, der am oberen Ende mit einem mittleren Nabenteil des Armsterns verschraubt ist. Dieser Nabenteil befindet sich in einem verhältnismäßig großen axialen Abstand vom Rotorflansch und dem darüber befindlichen Gehäusezwischenboden, da zwischen letzterem und dem Nabenteil der Dichtbalg um den Verbindungszapfen angeordnet ist, welcher, um nicht überbeansprucht zu werden, eine bestimmte axiale Länge aufweisen muß. Wenn auch die Arme des Armsterns, in denen die Lager zur drehbaren Verbindung mit jedem Kurbeltrieb untergebracht sind, wieder zum Zwischenboden hin gekröpft sind, so befindet sich doch die Querebene, in der die Kurbellager im Armstern liegen, in relativ großem axialen Abstand vom Rotorflansch. Damit ist nicht nur eine relativ große Masse der exzenterförmig gegenüber den Statorteilen kreisenden Rotorteile bedingt, wenn diese eine ausreichend große Steifigkeit aufweisen sollen, was dann die Anordnung einer relativ großen über eigene Lager an zusätzlichen Exzentern der Kurbeltriebe gelagerten Unwuchtausgleichsmasse erforderlich macht, sondern ist überdies die Gefahr desIn that known machine, the rotor flange carrying the spiral ribs is indirectly via its own Guide arm star connected to the three crank drives. For this purpose, the flange is provided with a central, relatively thick connecting pin, which is screwed at the upper end to a central hub part of the arm star. This hub part is located at a relatively large axial distance from the rotor flange and the one above it Intermediate housing floor, as the sealing bellows around the connecting pin between the latter and the hub part is arranged, which, in order not to be overstressed, must have a certain axial length. Even if the arms of the arm star, in which the bearings for rotatable connection with each crank drive are accommodated, are cranked again towards the intermediate floor, the transverse plane is in which the crank bearings are in the arm star, at a relatively large axial distance from the rotor flange. So is not only a relatively large mass of the rotor parts rotating eccentrically in relation to the stator parts conditionally, if they are to have a sufficiently high rigidity, what then is the arrangement of a relative large unbalance compensation masses mounted on additional eccentrics of the crank drives via their own bearings makes necessary, but is also the danger of
Verkiitiiens bzw. Schrägsteilens des Spiralrippenrotors gegenüber den Spiralwänden des Stators gegeben, wenn die Lagerspiele in den zahlreichen Kurbelwellenlagern sich vergrößern und noch ungleiche Biegekräfte :iuf die Nabe des Armsterns ausgeübt werden. Ein sehr jnges Spiel zwischen den Spiralrippen des Rotationskolbens und den Spiraliippenwänden des Stators kann dabei nicht eingehalten werden, vielmehr ist die Gefahr von Berührungen gegeben.Verkiitiiens or slanting of the spiral rib rotor compared to the spiral walls of the stator when the bearing clearances in the numerous crankshaft bearings enlarge and still unequal bending forces: are exerted on the hub of the arm star. A very jnges play between the spiral ribs of the rotary piston and the spiral lip walls of the stator can are not adhered to, rather there is a risk of contact.
Ferner ist es bekannt, den eine fansiatorische Kreisbewegung ausführenden, aber nicht mit einer Spiralrippe, sondern nur mit einer an einer Stelle offenen ringförmigen Rippe versehenen Rotationskolben einer Pumpe kurbelartig direkt über drei Zahnrader anzutreiben (siehe die FR-Ziisatz-PS 55 178).It is also known to perform a fanatic circular movement, but not with a Spiral rib, but only provided with a rotary piston provided with an annular rib that is open at one point a pump to be driven directly via three gears like a crank (see FR-Ziisatz-PS 55 178).
Damit ist aber wegen des Flankenspiels der Zahnräder keine exakte Steuerung der Bewegung bei exakter Einhaltung des vorgegebenen Sp.els möglich. Die Zahnrüder und die in exzentrische Bohrungen derselben eingreifenden Führungszapfen des Rotationskoibens müssen geschmiert werden. Eine Abdichtung des Förderraums vom Getrieberaum und von der Umgebungsluft mittels eines Dichtungsbalges ist bei dieser Pumpe nicht vorhanden.However, because of the backlash of the gears, there is no exact control of the movement exact compliance with the specified level is possible. The gears and those in eccentric holes the same engaging guide pins of the rotating barrel must be lubricated. A seal of the conveying chamber from the gear chamber and from the ambient air by means of a sealing bellows is at this pump does not exist.
Erwähnt sei noch ein bekannter Kältemittelverdichter (siehe die US-PS 21 00 014, Fig. 13 bis 17) bei dem über eine Antricbskurbelwelle das innere eigentliche Verdichtergehäuse in eine kreisende Bewegung um einen zentrischen zylindrischen Statorkern versetzt wird, wobei zwischen einer Stirnscheibe des beweglichen Gehäuses und einem in bestimmten axialen Abstand dazu stehenden Stirndeckel des äußeren ortsfesten Gehäuses ein Dichtungsbalg angeordnet ist. Dieser umgibt eine hohle Säule am Stirndeckcl, in welcher über einen hohlen Zapfen der Statorkern ii gehalten und ein Auslaßkanal ausgebildet ist, während ein Ansaugkanal durch den Ringraum zwischen der Säule und dem Dichtungsbalg gebildet ist. Dabei handelt es sich um einen Verdichter, bei dem alle Gleitberührungsstellen zwischen den beweglichen und ortsfesten -to Teilen im Förderraum geschmiert werden müssen.Mention should also be made of a known refrigerant compressor (see US-PS 21 00 014, Fig. 13 to 17) in which the inner actual compressor housing is set in a circular motion around a central cylindrical stator core via a drive crankshaft, with between a face plate of the movable housing and a sealing bellows is arranged on an end cover of the outer stationary housing which is at a certain axial distance therefrom. This surrounds a hollow column on the end cover, in which the stator core ii is held via a hollow pin and an outlet channel is formed, while an intake channel is formed by the annular space between the column and the sealing bellows. This is a compressor in which all sliding contact points between the moving and stationary parts in the conveying chamber have to be lubricated.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine gattungsgemäße Vakuumpump bzw. die weiter oben an erster Stelle geschilderte bekannte Vakuumpumpe so weiter auszubilden, daß ein vorgegebenes Spiel zwischen den gegeneinander bewegten Teilen exakt und konstant auf einem sehr kleinen Wert gehalten wird, der eine Erhöhung der Saugleistung zuläßt.The object of the invention is to provide a generic vacuum pump or the one above in the first place to train described known vacuum pump so that a predetermined game between the parts moving against each other is kept exactly and constantly at a very small value, the one Increases the suction power.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß der Flansch des Rotationskolbens über Lager an seinem Rand direkt mit den drei Kurbeitrieben verbunden ist und die Spiralrippenwände des Förderraumes auf einem Zwischenboden angeordnet sind, der auf einer mit dem Unterteil des Gehäuses fest verbundenen, vom Dichtungsbalg umgebenen hohlen Säule angebracht ist, in welcher ein zum Zwischenboden führender Kanal ausgebildet ist, während ein zweiter Kanal durch den Ringraum zwischen der Säule und dem Dichtungsbalg gebildet wird.To solve this problem it is proposed according to the invention that the flange of the rotary piston is directly connected to the three spa drives via bearings at its edge and the spiral rib walls of the conveying space are arranged on an intermediate floor, which is on one with the lower part of the housing firmly connected, surrounded by the sealing bellows hollow column is attached, in which a for Intermediate floor leading channel is formed, while a second channel through the annular space between the column and the sealing bellows is formed.
Dadurch kann das Spiel zwischen der Spiralrippe des Rotationskolbens und der Spiralrippenwand des Förderraumes sehr gering gehalten werden und kann infolgedessen eine wesentlich höhere Saugleistung erzielt werden. Das läßt sich darauf zurückführen, daß die Bewegung der Kurbeltriebe unmittelbar, d. h. ohne b5 zwischengeschaltete Teile, auf den Flansch des Rotationskolbens übertragen wird, so daß im Ergebnis die Genauigkeit der Bewegung des Rotationskolbens zu dessen Mitte hin zunimmt. Die Gefahr von Berührungen der gegeneinander bewegten Teile wird damit praktisch ausgeschlossen und die Pumpe zeichne! sich infolgeaessen durch eine hohe Saugleistung aus.This allows the play between the spiral rib of the rotary piston and the spiral rib wall of the pumping chamber can be kept very low and as a result can achieve a significantly higher suction power be achieved. This can be attributed to the fact that the movement of the crank mechanisms is immediate, i. H. without b5 intermediate parts, is transferred to the flange of the rotary piston, so that the result Accuracy of the movement of the rotary piston towards its center increases. The risk of contact the moving parts against each other is practically excluded and the pump draws! eat yourself as a result characterized by a high suction power.
Infolge der Bauart mit einem feststehenden Gehäuse, dessen säulenförmiges den Zwischenboden mit den Spiralrippenwänden tragendes Micelteil von dem Dichtungsbalg umgeben ist und in dessen Wandungsteilen ferner die Antriebswellen für die Kurbeltriebe sehr stabil gelagert werden können, ergibt sich eine sehr steife Anordnung, die gegen Verformung oder Durchbiegungen infolge der Drücke im mittleren Bereich weitgehend unempfindlich ist.As a result of the design with a fixed housing, the columnar of which the intermediate floor with the Micel part carrying spiral rib walls is surrounded by the sealing bellows and in its wall parts Furthermore, the drive shafts for the crank drives can be stored very stably, resulting in a very Rigid arrangement that prevents deformation or deflection as a result of the pressures in the central area is largely insensitive.
Außerdem können bei der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe Kühleinrichtungen vorgesehen werden, die ein Kühlmedium durch bestimmte Teile der Pumpe fördern, so daß die in der Pumpe frei werdende Wärmeenergie abgeführt bzw. gleichmäßig auf das Gehäuse und die übrigen Teile der Vakuumpumpe verteilt werden kann. Da diese Wärmeenergie ohnehin wegen der nicht vorhandenen Reibung zwischen den bewegten Teilen vergleichsweise gering ist, kann die erfindungsgemäße Vakuumpumpe mit hohen Drehzahlen und mit dementsprechend hoher Saugleistung arbeiten.In addition, cooling devices can be provided in the vacuum pump according to the invention, which convey a cooling medium through certain parts of the pump, so that the one that is released in the pump Heat energy dissipated or evenly on the housing and the other parts of the vacuum pump can be distributed. Since this heat energy anyway because of the non-existent friction between the moving parts is comparatively low, the vacuum pump according to the invention can operate at high speeds and work with a correspondingly high suction power.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist so gestaltet, daß der Zwischenboden eine einzige Spiralrippenwand und der Rotationskolben auf seinem Flansch ebenfalls eine einzige Spiralrippe aufweist. Dabei kann es zweckmäßig sein, wenn die beiden Spiralrippen jeweils eine nach außen offene Kammer in einem zentralen Wulst am inneren Ende der Rippen aufweisen. Mit der Ausbildung des Wulstes kann die Verdichtung der letzten Stufe gesteuert werden, während die Anordnung von Ausnehmungen darüber hinaus den Vorteil hat, daß die in diesem Bereich besonders große Verdichtungswärme unmittelbar durch ein in die Ausnehmungen geleitetes Kühlmittel abgeführt werden kann.A preferred embodiment of the invention is designed so that the intermediate floor is a single Spiral rib wall and the rotary piston also has a single spiral rib on its flange. It can be useful if the two spiral ribs each have an outwardly open chamber have a central bead at the inner end of the ribs. With the formation of the bead, the Compaction of the last stage can be controlled while the arrangement of recesses above it also has the advantage that the compression heat, which is particularly large in this area, passes through directly a coolant directed into the recesses can be discharged.
Eine höhere Leistung läßt sich dann erzielen, wenn die Vakuumpumpe als doppeltwirkende Pumpe mit zwei einander gegenüberliegenden Rotationskolben mit von Flanschen abstehenden Spiralrippen und einem dazwischen angeordneten Zwischenboden mit beidseitiger Spiralrippenwand ausgebildet ist, wobei nur der Flansch des einen Rotatioriskolbens über die Lager mit den Kurbeltrieben direkt verbunden ist, während der andere Rotationskolben über einen Ring am ersten Rotationskolben gehalten ist. Auch dabei ist es möglich, alle aktiven Teile der Pumpe gegenüber der Umgebung mit einem einzigen Dichtungsbalg abzudichten.A higher performance can be achieved if the vacuum pump is used as a double-acting pump two opposing rotary pistons with spiral ribs protruding from flanges and one intermediate floor arranged in between is formed with a spiral rib wall on both sides, with only the The flange of a rotary piston is directly connected to the crank mechanisms via the bearings, during the other rotary piston is held by a ring on the first rotary piston. Here, too, it is possible to seal off all active parts of the pump from the environment with a single sealing bellows.
Um die beiden Teilpumpen hintereinanderschallen zu können, weisen die Spiralrippen des einen Rotationskolbens einen zentralen Ansaugbereich und die Spiralrippen des anderen Rotationskolbens einen außen liegenden Absaugbereich auf.In order to be able to sound the two sub-pumps one behind the other, the spiral ribs of one of the rotary pistons have a central suction area and the spiral ribs of the other rotary piston one outside lying suction area.
Bezüglich der Anordnnung des Gasauslaßweges und zur Ausbildung einer einfachen und wirkungsvollen Kühleinrichtung ist vorgesehen, daß in der hohlen Säule zentrisch ein Auslaßrohr für das Fördermedium angeordnet ist und der verbleibende Hohlraum um dieses Rohr als Kühlmittelkanal für die Zufuhr eines Kühlmittels zu einem Hohlraum des Zwischenbodens dient, und daß ferner von der Kammer des zentralen Wulstes seiner Spiralrippenwand eine Kühlmittelleitung durch die Säule hindurchgeführt ist.Regarding the arrangement of the gas outlet path and the formation of a simple and effective one Cooling device is provided that an outlet pipe for the conveying medium is centered in the hollow column is arranged and the remaining cavity around this tube as a coolant channel for the supply of a Coolant is used to a cavity of the false floor, and that also from the chamber of the central Bead of its spiral rib wall a coolant line is passed through the column.
Insbesondere für eine verhältnismäßig kleine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe kannIn particular for a relatively small embodiment of the vacuum pump according to the invention
im Gehäuseunierteil ills Fortsetzung des /wischen der /entrischen Siiiilc und dem Dichtungsbalg gebiideien /weilen Kanals, der als Auslaßkanal dient, eine Auslaßbohrung vorgesehen sein, an die eine Anschlußleiiuiig zn einer Vorpumpe anschließbar ist. Diese Vorpumpe sieht dann druekscilig direkt mit der I Imgebung in Verbindung, während die .Saugseite an die zentrale Auslaßöffnung der Spiralen angeschlossen ist, deren randseiligcr Saugbereich mit dem leerzupumpenilen Raum in Verbindung steht.in the housing part ills continuation of the / wipe the / entrischen Siiiilc and the sealing bellows Because the channel, which serves as the outlet channel, an outlet hole can be provided to which a connection line can be connected to a backing pump. This backing pump then looks directly with the I connection, while the .suction side to the central outlet opening of the spirals is connected, whose randseiligcr suction area with the pumping empty Room communicates.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert; es zeigtIn the following the invention is based on in Drawing illustrated embodiments explained; it shows
Fig. ! einen senkrechten Schnitt längs der Linie 1-1 der Γ i g. 2 durch eine einfach wirkende Vakuumpumpe. !■" i g. 2 einen Schnitt durch F i g. 1 längs der Linie 11-11, wobei die Vakuumpumpe unmittelbar vor dem linde des .Saugtaktes dargestellt ist,Fig.! a vertical section along the line 1-1 the Γ i g. 2 by a single-acting vacuum pump. ! ■ "i g. 2 a section through FIG. 1 along the line 11-11, where the vacuum pump is shown immediately before the linde of the suction cycle,
F i g. 2a eine der F i g. 2 entsprechende Darstellung der Vakuumpumpe unmittelbar am Ende der Verdrängung und im Augenblick des vollen Ansaugens.F i g. 2a one of the F i g. 2 corresponding illustration the vacuum pump immediately at the end of the displacement and at the moment of full suction.
F i g. 3 eine schematische Schniudarstellung der Vakuumpumpe gemäß den F i g. 1 bis 2a mil Darstellung eines Ölkrcislaufes zur Kühlung und zum Temperaturausgleich sowie zur Schmierung.F i g. 3 is a schematic sectional view of the vacuum pump according to FIGS. 1 to 2a mil illustration an oil circuit for cooling and temperature compensation as well as for lubrication.
F i g. 4 einen Vertikalschnitt durch eine doppeltwirkende Vakuumpumpe längs einer Linie IV-IV aus F i g. 5 in anderer Winkelposition.F i g. 4 shows a vertical section through a double-acting vacuum pump along a line IV-IV from FIG. 5 in a different angular position.
F i g. 5 einen Horizontalschnitt durch I7 i g. 4 längs der Linie V-V,F i g. 5 shows a horizontal section through I 7 i g. 4 along the line VV,
I i g. 6 eine weitere Variante als Schnitt Vl-Vl durch Fi g. 7 undI i g. 6 shows a further variant as section VI-VI through Fi g. 7 and
F i g. 7 einen Schnitt VIl-VIl durch F i g. 6. Die in den Fig. 1. 2, 2a und 3 dargestellte Vakuumpumpe mit kreisförmiger Translationsbewegung der schmierungslos unter völliger Abdichtung sich bewegenden für die Förderung unmittelbar wirksamen Teile hat ein feststehendes Gehäuse 10 mit einem feststehenden Zwischenboden 13', der an einer Seite eine Spiralrippenwand 13 trägt. Dem Zwischenboden 13' liegt ein Rotationskolben mit einem Flansch 23' gegenüber, der eine Spiralrippe 23 mit der gleichen Winkclamplitudc wie die Spiralrippenwand 13 des Zwischenbodens 13' aufweist und mit diesem in Eingriff steht. Zur Verbindung des Flansches 23' mit dem Gehäuse 10 und zu seiner Abstützung ist ein Mechanismus mit wenigstens drei Kurbeltricben 19, 20 gleicher Exzentrizität E vorgesehen, die synchron miteinander gekuppelt sind, um eine kreisförmige Translationsbewegung des Rotationskolbcns um die Pumpenachsc A gegenüber dem feststehenden Gehäuse 10 während des Betriebes der Pumpe zu erzeugen.F i g. 7 shows a section VIl-VIl through FIG. 6. The vacuum pump shown in Figs. 1, 2, 2a and 3 with circular translational movement of the lubrication-free and completely sealed moving parts that are directly effective for the promotion has a fixed housing 10 with a fixed intermediate floor 13 ', which has a spiral rib wall on one side 13 carries. Opposite the intermediate base 13 'is a rotary piston with a flange 23' which has a spiral rib 23 with the same angular amplitude as the spiral rib wall 13 of the intermediate base 13 'and is in engagement with the latter. To connect the flange 23 'to the housing 10 and to support it, a mechanism with at least three crank arms 19, 20 of the same eccentricity E is provided, which are synchronously coupled to one another to allow a circular translational movement of the rotary piston about the pump axis A with respect to the stationary housing 10 to generate during the operation of the pump.
Zwischen ilen Spiralrippcn 13 bzw. 23 ist ein geringes konstantes Spiel vorhanden, welches auch unabhängig von der jeweiligen Position des Flansches 23' konstant bleibt. Hin Dichtungsbalg 11 ist mit seinem einen Ende über eine Glocke 28 am Flansch 23' und mil seinem anderen Ende bei 30 an einem Unterteil 10'" des Gehäuses 10 befestigt. Der Flansch 23' ist gleichsam direkt an seinem Rand mit den drei Kurbeltricben 19/20 verbunden, während eine feststehende buchsenartige hohle Säule 10' den Flansch 23' mit dem feststehenden Unterteil 10" des Gehäuses 10 verbinde! und vom Diehiungsbalg 11 umgeben ist.There is a slight constant play between the spiral ribs 13 and 23, which remains constant regardless of the respective position of the flange 23 '. One end of the sealing bellows 11 is attached via a bell 28 to the flange 23 'and with its other end at 30 to a lower part 10'"of the housing 10. The flange 23 'is, as it were, directly on its edge with the three crank arms 19 / 20 connected, while a fixed socket-like hollow column 10 ' the flange 23' with the fixed lower part 10 "of the housing 10 ! and is surrounded by Diehiungsbalg 11.
Dieser aus McIaII bestehende Dieh'.ungsbalg 11, welcher eine einwandfreide Abdichtung der von ihm umgebenen Teile bewirkt, isi gegen jede Möglichkeit einer Torsionsheanspnichuug durch ti ic Kinematik des Antriebssystems mit drei synchronisierten Kurbeltrieben 19/20 geschützt. This Dieh'.ungsbalg 11 consisting of McIaII, which effects a perfect sealing of the parts surrounded by it, is protected against any possibility of torsional tension by the kinematics of the drive system with three synchronized crank drives 19/20 .
Bei den dargestellten Ausführungen ist das tragende Gehäuse 10 einteilig und setzt sich aus der Hohlsäule 10', dem Unterteil 10" und einer Topfwand 10" zusammen. Letztere umgibt den Dichtungsbalg 11. welcher seinerseits die Säule 10' umgibt.. Die Topfwand 10'" weist drei um 120 zueinander versetzte fensterartigc Aussparungen 12 auf. Auf der Säule 10' ist der Zwischenboden 13' durch Schraubenbolzen 14 unter Einfügung einer Dichtung 15 festgeschraubt. In horizontalen Wandteilen der drei Aussparungen 12.sind Querlagen 16 und 17 sowie je ein Längs- bzw. Axiallager mit einem Spurring 18 angeordnet, die zur LagerungIn the illustrated embodiments, the supporting housing 10 is in one piece and is composed of the hollow column 10 ', the lower part 10 " and a pot wall 10" . The latter surrounds the sealing bellows 11 which, in turn, the column 10 'surrounds .. The pot wall 10''has three 120 staggered fensterartigc recesses 12. In the column 10' of the intermediate base 13 'is bolted by bolts 14 with the interposition of a gasket 15 In horizontal wall parts of the three recesses 12. are arranged transverse layers 16 and 17 as well as a longitudinal or axial bearing with a track ring 18, which are used for storage
!■5 und Ausrichtung der drei Antriebswellcnteile 19 der Kurbelwellen 19/20 dienen, deren Kurbeln 20 über Kugellager 22 eine mit dem Rotationskolben verbundene Rahmenplatte 21 antreiben. Der Rotationskolben 23/23' ist mit der Rahmenplatte 21 durch Schraubenbolzen 24 fest verbunden. Der bewegliche Flansch 23' weist an seiner Oberseite Verstärkungsrippen 25 auf, um Verformungen infolge der Druckeinwirkung zu verhindern. ! ■ 5 and alignment of the three drive shaft parts 19 of the crankshafts 19/20 , the cranks 20 of which drive a frame plate 21 connected to the rotary piston via ball bearings 22. The rotary piston 23/23 'is firmly connected to the frame plate 21 by screw bolts 24. The movable flange 23 'has reinforcing ribs 25 on its upper side in order to prevent deformations due to the action of pressure.
Auf den Antriebswellen 19 der Kurbeltricbe sind Ausgleichsgewichte 26 und auf den Kurbein 20 weitere Ausgleichsgewichte 27 verkeilt. Diese verschiedenen Ausgleichsmasscn sind derart berechnet und angeordnet, daß eine einwandfreide statische und dynamische Auswuchtung bei der kreisförmigen Translationsbewegung verwirklieht ist. An seinem oberen Ende ist der Dichtungsbalg 11 mit der Glocke 28 verschweißt, die über Schraubenbolzen 24 mit der Rahmenplatte 21 verschraubt ist und dabei eine Standdichtung 29 einklemmt, welche die Abdichtung zwischen der Glocke 28 und der Spiralrippe 23 gewährleistet. Mit seinem unteren Ende ist der Dichtungsbalg 11 an einen Ringflansch 30 angeschweißt, der seinerseits übet Schrauben 31 unter Einfügung einer Dichtung 32 mit dem Gehäuse 10 verschraubt ist.Counterweights 26 are wedged on the drive shafts 19 of the crank mechanism and further counterweights 27 are wedged onto the crank legs 20. These different compensation measures are calculated and arranged in such a way that perfect static and dynamic balancing is achieved during the circular translational movement. At its upper end, the sealing bellows 11 is welded to the bell 28, which is screwed to the frame plate 21 via screw bolts 24 and thereby clamps a standing seal 29, which ensures the seal between the bell 28 and the spiral rib 23. At its lower end, the sealing bellows 11 is welded to an annular flange 30, which in turn is screwed to the housing 10 by means of screws 31 with the insertion of a seal 32.
In Fig. 1 ist außerdem ein Ansaugstutzen 33 det Pumpe dargestellt, welcher mit dem Gehäuse K verbunden ist, sowie ein zentrisches Auslaßrohr 36 welches im oberen Teil ein Ventil 34 enthält und nacl unten mit einem Stutzen 35 endet. Dieses Rohi durchläuft die hohle Säule 10' des Gehäuses 10 und is mit diesem unter Einfügung von Dichtungen 37 und 3i fest verbunden, wobei diese Dichtungen den Abfluß vor Kühlöl nach außen verhindern sollen. Wie die Fig. zeigt, ist das Auslaßrohr 35, 36 koaxial zur Achse A deIn Fig. 1, a suction nozzle 33 det pump is also shown, which is connected to the housing K, and a central outlet pipe 36 which contains a valve 34 in the upper part and ends with a nozzle 35 nacl below. This tube runs through the hollow column 10 'of the housing 10 and is firmly connected to this with the insertion of seals 37 and 3i, these seals being intended to prevent the outflow of cooling oil to the outside. As the figure shows, the outlet pipe 35, 36 is coaxial with the axis A de
so Pumpe angeordnet.so arranged pump.
Der leerzupumpende Raum wird an dem Ansaugstut zen 33 des Gehäuses 10 angeschlossen. Bei Inbctrieb nähme der Pumpe wird das zu pumpende gasförmig! Medium infolge der kreisförmig translatorisch erfolgenThe space to be pumped empty is connected to the Zen Ansaugstut 33 of the housing 10 . When the pump is started up, the pump to be pumped becomes gaseous! Medium as a result of the circular translation
5r) den Abwälzbewegung der beweglichen Spiralrippe 2 gegenüber der feststehenden Spiralrippenwand 1 kontinuierlich und progressiv komprimiert. Dadurcl wird das gasförmige Medium in den Ringraum gesaug welcher durch die Innenwandung des Dichtungsbalge5 r ) the rolling movement of the movable spiral rib 2 with respect to the fixed spiral rib wall 1 is continuously and progressively compressed. Dadurcl the gaseous medium is sucked into the annular space which through the inner wall of the sealing bellows
ιό 11 und der Glocke 28 und die Außenwandung de hohlen Säule 10' des Gehäuses 10 sowie durch di feststehende Spiralrippenwand 1.3 begrenzt wire während anschließend das gleiche gasförmige Mediiir über das Ventil 34 und das Auslal.trohr 35, 3 ι·"' ausgeschobeti wird. 11 and the bell 28 and the outer wall of the hollow column 10 'of the housing 10 as well as by the fixed spiral rib wall 1.3 wire limited while then the same gaseous medium via the valve 34 and the Auslal.trohr 35, 3 ι · "' is pushed out.
Die Funktionsweise der beiden Spiralrippen 13 bzv 23 entspricht einer mehrstufigen Pumpe und wir nachstehend anhand der !'ig. 2 und 2a im ein/eineThe functioning of the two spiral ribs 13 and 23 corresponds to a multi-stage pump and we below using the! 'ig. 2 and 2a in one
beschrieben, welche unterschiedlichen Stellungen dieser Teile entsprechen.described the different positions of this Parts correspond.
Jeder über einen Winkel von 360° sich erstreckende Teil der Spiralrippe 23 entspricht einer Kompressionsstufe. Bei jedem kreisförmigen Translationsakt wird durch die Bewegung jeder der Kontaktstellen (bei geringem Spiel) in jeder Stufe eine eigene progressive Kompression verwirklicht, wobei die eingeschlossenen Volumina ständig voneinander getrennt bleiben, und zwar durch so viel Trennwände, wie die Pumpe Stufen aufweist.Each part of the spiral rib 23 extending over an angle of 360 ° corresponds to a compression stage. With every circular act of translation, through the movement of each of the contact points (with little play) in each stage a separate progressive Realized compression, the enclosed volumes remain constantly separated from each other, and through as many partitions as the pump has steps.
In Fig. 2 sind die Spiralrippen 13 bzw. 23 in einer Position dargestellt, welche dem Ende des Ansaugtaktes vorhergeht. Wenn die Position der Spiralrippe 23 diesem Ende des Ansaugtaktes entspricht, unterliegen die beiden eingeschlossenen Volumina Vi nach einem ersten kreisförmigen Translationsakt einer ersten Kompression, welche sie auf die beiden Volumina Vi reduziert. Diese werden nach einem zweiten Takt zum zweiten Mal komprimiert und zu einem Volumen Vj vereinigt, welches während des dritten Taktes dem Enddruck unterworfen wird, um bei geringem Verlust durch das Ventil 34 ausgestoßen zu werden, wobei die Spiralrippe 23 sich dann in einer Position unmittelbar vor dem Ende des Ausstoßtaktes und am Ende des Ansaugtaktes befindet, wie dies in Fig. 2a dargestellt ist. Die dicken Wülste am Innenende einer jeden Spiralrippe 13 bzw. Spiralrippenwand 23 ermöglichen außer der Ausbildung einer nach außen offenen Ausnehmung 43 bzw. 45 zur Abkühlung infolge ihrer dicken Ausbildung die Reduzierung radialer und lateraler Leckstcllen in dem Bereich, in welchem die Kompression am stärksten ist.In Fig. 2, the spiral ribs 13 and 23 are shown in a position which precedes the end of the intake stroke. When the position of the spiral rib 23 corresponds to this end of the intake stroke, the two enclosed volumes Vi are subject to a first compression after a first circular translation act, which reduces them to the two volumes Vi. These are compressed for the second time after a second cycle and combined to form a volume Vj, which is subjected to the final pressure during the third cycle in order to be expelled through the valve 34 with little loss, the spiral rib 23 then being in a position immediately in front the end of the exhaust stroke and at the end of the intake stroke, as shown in Fig. 2a. The thick beads at the inner end of each spiral rib 13 or spiral rib wall 23 enable, in addition to the formation of an outwardly open recess 43 or 45 for cooling, as a result of their thick formation, the reduction of radial and lateral leaks in the area in which the compression is strongest.
Jeder Raum der Pumpe, der unter Vakuum steht bzw. in welchem ein Vakuum erzeugt wird, ist vollkommen von der äußeren Umgebung und gleichzeitig von einem Kühlkreislauf abgetrennt, der außerdem zur Schmierung dient und nachstehend anhand der F i g. 3 erläutert werden soll, in welcher der öldurchlauf schematisch dargestellt ist.Every space of the pump that is under vacuum or in which a vacuum is created is perfect separated from the external environment and at the same time from a cooling circuit, which is also used for lubrication serves and below with reference to FIG. 3 should be explained, in which the oil flow is shown schematically is shown.
Im untersten Teil einer als Schutzgehäuse dienenden Ummantelung 39, welche die gesamte Pumpe umgibt, befindet sich ein ölreservoir, in welchem eine Pumpe 40 angeordnet ist, die von einer der Antriebswellen 19 der Kurbeltriebe angetrieben wird. Das in den Ringraum 41 /.wischen der Außenwand des Rohres 36 und der Innenwand der hohlen Säule 10' hineingepumpte öl gelangt in einen Hohlraum 42 im Zwischenboden 13' und steigt von diesem in die im zentralen Wulst der feststehenden Spiralrippcnwand 13 ausgebildete Kammer 43. Von dort aus durchfließt es eine Rohrleitung 44 und wird in die Kammer 45 im zentralen Wulst der beweglichen Spiralrippc 23 eingespritzt. Infolge der Bewegung wird das Ol nach Benetzung der Außenseite der Spiralrippe 23 energisch längs der Ummantelung 39 vorgcschleudcrt. Auf diese Weise werden die Lager an den Kurbelwellen 19/20 und sonstige gleitende Teile des Antriebsmechanismus der Pumpe durch Bespritzen bzw. Berieselung mit öl geschmiert. Der größte Teil des Öls jedoch rieselt längs der Ummantelung 39 herab, um nach Abkühlung in das die Pumpe 40 umgebende ölreservoir zurückzugelangen. Man kann, wenn die Pumpe groß genug ist, die Kammern bzw. Ausnehmungen 43 und 45 ganz oder teilweise bis in die Spiralrippen 13 bzw. 23 verlängern.In the lowest part of a casing 39 serving as a protective housing, which surrounds the entire pump, there is an oil reservoir in which a pump 40 is arranged, which is driven by one of the drive shafts 19 of the Crank mechanism is driven. That in the annular space 41 /. Wipe the outer wall of the tube 36 and the Oil pumped into the inner wall of the hollow column 10 'enters a cavity 42 in the intermediate floor 13' and rises from this into the chamber formed in the central bead of the fixed spiral rib wall 13 43. From there it flows through a pipe 44 and is in the chamber 45 in the central bead of movable spiral ribc 23 injected. As a result of After wetting the outside of the spiral rib 23, the oil will move vigorously along the casing 39 pre-centrifuged. In this way, the bearings on the crankshafts 19/20 and other sliding parts the drive mechanism of the pump is lubricated by spraying or sprinkling with oil. Most of the Oil, however, trickles down along the casing 39 to, after cooling, into the one surrounding the pump 40 to get back the oil reservoir. You can, if the pump is large enough, the chambers or recesses 43 and 45 extend completely or partially into the spiral ribs 13 and 23, respectively.
Es versteht sich, daß infolge der intensiven Zirkulation des Kühlöls, insbesondere in den unmittelbar an der Außenseite der Mittelberciche der Spiralrippcn 13 bzw. 23 liegenden Kammern bzw. Ausnehmungen 43 und 45, in denen die Auswirkung des Enddruckes die größte Wärmeentwicklung erzeugt, und durch die anschließende Zirkulation dieses Öles sowohl im Innenraum der Säule 10' wie an der Außenseite des Zwischenbodens 13' und Flansches 23' sowie des gesamten Gehäuses 10 ein Temperaturausgleich in allen Teilen der Pumpe erzielt wird, die innerhalb der Ummantelung 39 angeordnet sind. Auf diese Weise wird jede unterschiedlicheIt goes without saying that as a result of the intensive circulation of the cooling oil, especially in the immediately to the Outside of the central areas of the spiral ribs 13 and 23 lying chambers or recesses 43 and 45, in which the effect of the final pressure generates the greatest heat development, and through the subsequent Circulation of this oil both in the interior of the column 10 'and on the outside of the intermediate floor 13' and flange 23 'as well as the entire housing 10 achieved a temperature equalization in all parts of the pump which are arranged within the casing 39. This way each one becomes different
ίο Dilatation zwischen diesen Teilen vermieden, so daß in allen Drehzahlbereichen das gleiche Funktionsspiel zwischen den Spiralrippen beibehalten werden kann.ίο Avoid dilation between these parts, so that in the same functional play between the spiral ribs can be maintained in all speed ranges.
Für kleine Vakuumpumpen mit einem Pumpvolumen von 10 bis 15mVh kann als Kühlmedium Luft verwendet werden, die mit einem Ventilator durch zu diesem Zweck vorgesehene Durchlässe hindurchgeblasen wird. Außer der Verwendung von öl, welches zur Kühlung und gleichzeitig zur Schmierung dient, kann man, wenn zur Schmierung der Lager Fett verwendet wird, die Kühlung an einem Wasserzulauf anschließen, wobei die bewegliche Spiralrippe in diesem Fall an ihrer Oberseite eine abgedichtete Ausnehmung aufweist, die über zwei Schläuche mit dem Einlauf der feststehenden Spiralrippenwand und mit dem Ablauf verbunden ist.For small vacuum pumps with a pump volume of 10 to 15mVh, air can be used as the cooling medium are used, which are blown with a fan through passages provided for this purpose will. In addition to the use of oil, which is used for cooling and lubrication at the same time, can if grease is used to lubricate the bearings, connect the cooling to a water inlet, wherein the movable spiral rib in this case has a sealed recess on its upper side, which is connected to the inlet of the fixed spiral rib wall and to the outlet via two hoses.
Die Konstruktion der in den Fig. 4 und 5 dargestellten Ausführung der Vakuumpumpe entspricht analog derjenigen der vorbeschriebenen Ausführung nach den Fig. 1, 2, 2a und 3, jedoch ist diese Pumpe doppelwirkend. Während bei der ersten Ausführung (nach Fig. 1) nur ein Paar von Spiralrippen 13 und 23 vorhanden ist, enthält die in Fig.4 dargestellte Vakuumpumpe zusätzlich eine Spiralrippe 46 und eine Spiralrippenwand 47 ohne zentrale Wulste (F i g. 5). Bei dieser Pumpe wird das begrenzte Primärvakuum dadurch verbessert, daß das zu pumpende gasförmige Medium durch den Ansaugstutzen 33 und über die innen liegenden Kanäle 48 und 49 (F i g. 5) zwischen den unteren Spiralrippen 46 und 47 angesaugt und durch die zugehörigen Auslässe 50 und 51 abgeführt wird, welche direkt in die Ansaugbereichc an den Spiralrippen 13, 23 auf der oberen Seite des Rotationskolbens münden.The construction of the embodiment of the vacuum pump shown in FIGS. 4 and 5 corresponds analogous to that of the above-described embodiment according to FIGS. 1, 2, 2a and 3, but this is a pump double acting. While in the first embodiment (according to FIG. 1) only a pair of spiral ribs 13 and 23 is present, the vacuum pump shown in Figure 4 also contains a spiral rib 46 and a Spiral rib wall 47 without central bulges (Fig. 5). With this pump, the primary vacuum is limited improved by the fact that the gaseous medium to be pumped through the suction port 33 and on the inside lying channels 48 and 49 (Fig. 5) sucked between the lower spiral ribs 46 and 47 and through the associated outlets 50 and 51, which are discharged directly into the suction areas on the spiral ribs 13, 23 open on the upper side of the rotary piston.
Die Volumina der Verdrängerkammern auf der oberen bzw. unteren Seite des Rotationskolbens sind nahezu gleich. Die Gleichheit der durch jedes der Paare von Spiralrippen erzeugten Volumina bedingt, daß praktisch in jeder Anfangspumpphase die Kompression auf der unteren Seite des Rotationskolbens sehr gering bleibt und infolgedessen die Erwärmung vernachlässig! werden kann. Während jedoch der Ansaugdruck in derThe volumes of the displacement chambers are on the upper and lower side of the rotary piston, respectively almost the same. The equality of the volumes created by each of the pairs of spiral ribs implies that In practically every initial pumping phase the compression on the lower side of the rotary piston is very low remains and, as a result, the heating is negligible! can be. However, while the suction pressure in the
so Kanälen 48 und 49 klein wird, d. h. nahe bei 1 Torr liegt wächst die Leistung auf der unteren Seite de; Rotationskolben, wodurch die gesamte Pumpe eir Grenzvakuum von 1/1000 Torr erreichen kann, wa: daher rührt, daß der Widerstand gegenüber Verlustci durch das Funktionsspiel entsprechend dem abnehmen den Druck stark anwächst.so channels 48 and 49 become small, i.e. H. is close to 1 Torr, the power grows on the lower side de; Rotary piston, whereby the entire pump can achieve a limit vacuum of 1/1000 Torr, wa: hence, the resistance to loss ci is decreased by the functional clearance correspondingly the pressure increases sharply.
Die Leistungen der Pumpe gemäß Fig.4 und : ergeben sich daraus, daß die Moleküle des zi pumpenden Mediums bei niedrigen Drücken beschleuThe performance of the pump according to Fig.4 and: result from the fact that the molecules of the zi accelerating the pumping medium at low pressures
mi nigt werden, wobei diese Beschleunigung einmal vo der volumctrischcn Wirkung herrührt und zum andere von der Zentrifugalwirkung, die durch das Abwälzen i kreisförmiger Translalionsbewegung der bewegliche Spiralrippe 46 auf der feststehenden Spiralrippenwanbe minimized, with this acceleration once vo the volumetric effect and on the other hand from the centrifugal effect caused by rolling i circular translational movement of the movable spiral rib 46 on the fixed spiral rib wall
es 47 erzeugt wird. Die beiden Spiralrippcn erzeuge praktisch keinerlei Erwärmung, da sie nur bei geringe Drücken arbeiten, so daß sie gute Resultate bei cinci Funktionsspiel ergeben können, welches größer ist uit 47 is generated. Create the two spiral ribs practically no heating, since they only work at low pressures, so that they give good results with cinci Functional play can result, which is greater u
bei den Spiralrippen 13 bzw. 23.at the spiral ribs 13 and 23.
Wie Fig.4 zeigt, wird die Abwälzung der beweglichen Spiralrippe 23 in kreisförmiger Translationsbewegung auf der feststehenden Spiralrippenwand 13 durch die gleiche mechanische Einrichtung erzeugt, wie sie in bezug auf die Fig. 1 und 2 beschrieben wurde. Diese feststehende Spiralrippenwand 13 gehört zu einem Zwischenboden 13a' der an der Unterseite die zweite feststehende Spiralrippenwand 47 trägt, in die die zweite bewegliche Spiralrippe 46 eingreift. Die beiden Flansche 23' und 46' der beweglichen Spiralrippen 23 und 4(5 sind durch einen Ring 52 verbunden, der zugleich die Glocke 28 der Fig. 1 ersetzt und fest zwischen der Rahmenplatte 21 und dem Flansch 46' der zweiten beweglichen Spiralrippe 46 eingespannt ist. Die anderen Einrichtungen dieser Konstruktion wie die Kühlung, die statischen Abdichtungen usw. sind praktisch in der gleichen Weise ausgebildet wie bei der Konstruktion gemäß den F i g. 1 und 2.As Fig.4 shows, the rolling of the movable Spiral rib 23 in circular translational motion on the fixed spiral rib wall 13 through produces the same mechanical device as described with reference to FIGS. 1 and 2. These Fixed spiral rib wall 13 belongs to an intermediate floor 13a 'of the second on the underside carries fixed spiral rib wall 47 in which the second movable spiral rib 46 engages. The two Flanges 23 'and 46' of the movable spiral ribs 23 and 4 (5 are connected by a ring 52, which at the same time replaces the bell 28 of Fig. 1 and is fixed between the frame plate 21 and the flange 46 'of the second movable spiral rib 46 is clamped. The other facilities of this design like the cooling that static seals, etc. are designed in practically the same way as in construction according to FIGS. 1 and 2.
Diese Konstruktion einer doppeltwirkenden Vaku-This construction of a double-acting vacuum
umpumpe zeichnet sich durch Einfachheit aus, da die beiden Spiralen mit einer einzigen Steuereinrichtung und einem einzigen Abdichtbalg arbeiten.Umpump is characterized by its simplicity, since the two spirals with a single control device and a single sealing bellows work.
Eine weitere Variante der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist in den Fig.6 und 7 dargestellt, wobei es sich insbesondere um eine Kleinausführung handelt. Dieses einwandfrei trocken arbeitende Pumpaggregat besteht aus einer Membranpumpe P, welche das Medium über eine Leitung 53 an die Atmosphäre abgibt und über eine Leitung 54 und die Auspuffleitung 135 im Ringraum zwischen dem Innenraum des Dichtungsbalges 111 und der hohlen Säule HO' des Gehäuses HO ansaugt. Zu diesem Ringraum gehört die Auslaßöffnung 134 an der feststehenden Spiralrippenwand 113 und der beweglichen Spiralrippe 123, deren Saugwirkung durch die Glocke 128 begrenzt wird. Dieser Ansaugraum ist über die im Inneren der Tragsäule HO' und eines Einsatzes 114' derselben ausgebildete Ansaugleitung 133 mit dem leerzupumpenden Raum verbunden. Dabei dient der Einsatz 114' zur Befestigung der feststehenden Spiralrippenwand 113 auf der Säule 110'. Die Membranpumpe P ist eine trocken arbeitende völlig dichte Vakuumpumpe von einer üblichen bekannten Bauart und braucht daher nicht im einzelnen beschrieben zu werden. Ihre besten Leistungen zur Erzeugung eines Vakuums liegen bei einem Grenzdruck von einigenAnother variant of the vacuum pump according to the invention is shown in FIGS. 6 and 7, in particular a small version. This perfectly dry pump unit consists of a diaphragm pump P, which releases the medium via a line 53 to the atmosphere and sucks it in via a line 54 and the exhaust line 135 in the annular space between the interior of the sealing bellows 111 and the hollow column HO 'of the housing HO. The outlet opening 134 on the fixed spiral rib wall 113 and the movable spiral rib 123, the suction effect of which is limited by the bell 128, belong to this annular space. This suction space is connected to the space to be pumped empty via the suction line 133 formed inside the support column HO 'and an insert 114' of the same. The insert 114 'serves to fasten the fixed spiral rib wall 113 on the column 110'. The diaphragm pump P is a dry, completely sealed vacuum pump of a customary, known type and therefore does not need to be described in detail. Their best performances for creating a vacuum are at a limit pressure of a few
Torr.Torr.
Die in den F i g. 6 und 7 dargestellten Spiralrippen bzw. 123 sind insofern besonders ausgebildet, als sie unterschiedliche Wülste aufweisen. Auf diese Weise kann man ohne weiteres für Kleinkonstruktionen ein Spiralenpaar vorsehen, welches praktisch genauso arbeitet wie die in den Fig. I und 2 dargestellten Spiralen. In Fig. 7 ist zu sehen, daß am Ende der Kompression das gesamte angesaugte Volumen bei geringstem Verlust infolge des Funktionsspieles völlig durch die Auslaßöffnung 134 ausgestoßen ist. Dank ihres dicken Wulstes kann die feststehende Spiralrippenwand 113 ohne weiteres unter Einfügung der Dichtung 115 auf der Säule 110' befestigt werden, indem der Einsatz 114' mit einem Gewinde in die Säule 110' eingeschraubt wird und mit seinem glatten Teil als Zentrierung auf der Säule dient. Dieser Einsatz 114' ist hohl und verlängert die Bohrung der Säule 110', welche als Ansaugleitung 133 verwendet ist.The in the F i g. 6 and 7 illustrated spiral ribs or 123 are specially designed in that they have different ridges. In this way one can easily use one for small constructions Provide a pair of spirals, which works in practically the same way as those shown in FIGS Spirals. In Fig. 7 it can be seen that at the end of the Compression of the entire volume sucked in with the slightest loss due to the functional play is expelled through the outlet port 134. Thanks to its thick bulge, the fixed spiral rib wall 113 can easily be attached to the column 110 'with the insertion of the seal 115 by the insert 114 'threaded into the column 110' is screwed in and serves with its smooth part as a centering on the column. This insert 114 'is hollow and elongates the bore of the column 110 ', which is used as the suction line 133.
Auch bei der Ausführung nach den Fig.6 und könnte man die beiden Spiralen mit unterschiedlichen Wülsten durch zwei Spiralrippen ohne Wulst ersetzen, die den gleichen Verlauf aufweisen wie er für die Spiralen 46 bzw. 47 in Fig.5 dargestellt ist. Die wulstlosen Spiralen müßten dann am Rande ansaugen und zum Mittelbereich hin ausstoßen.Also in the embodiment according to FIGS. 6 and one could replace the two spirals with different beads by two spiral ribs without a bead, which have the same course as is shown for the spirals 46 and 47 in FIG. the Beadless spirals would then have to suck in at the edge and expel towards the central area.
Die Glocke 128 ist als Deckel ausgebildet und unter Einfügung der Dichtung 129 mittels Schrauben 124, welche auf drei Ringsegmente 56 wirken, fest gegen die Innenfläche des Flansches 123' aufgeschraubt. Am feststehenden Ende ist der Dichtbalg Hl mit einem Ringflansch 130 verschweißt, der auf dem Gehäuse unter Einfügung der Dichtung 132 mittels Schrauben 31 festgeschraubt ist, während er am oberen beweglichen Ende am Innenrand des Innenflansches einer Buchse 57 befestigt ist, welch letztere unter Einfügung einer Dichtung 129' mittels der Schrauben 58 am Flansch 123' befestigt ist. Der Flanschl23' weist drei jeweils um 120° gegeneinander versetzte Lageraugen 123" zur Aufnahme der Kugellager 22 auf, in denen die Kurbelteile 120 der Kurbelwellen 119/120 laufen.The bell 128 is designed as a cover and with the insertion of the seal 129 by means of screws 124, which act on three ring segments 56, screwed tightly against the inner surface of the flange 123 '. At the stationary end of the sealing bellows Hl is welded to an annular flange 130, which is on the housing with insertion of the seal 132 is screwed by means of screws 31, while it is movable on the upper End is attached to the inner edge of the inner flange of a socket 57, the latter with the insertion of a Seal 129 'is attached to flange 123' by means of screws 58. The flange 23 'has three each at 120 ° offset bearing eyes 123 ″ for receiving the ball bearings 22 in which the crank parts 120 the crankshafts 119/120 are running.
Bei dieser Konstruktion erlaubt der Fortfall einer besonderen Kühleinrichtung eine gewisse Verringerung der Abmessungen der Vakuumpumpe. Infolge der kompakteren Bauweise ist eine höhere Betriebssicherheit bei einer eventuell auftretenden Dilatation infolge zufälliger Erwärmung gewährleistet. Da das Gehäuse HO zweiteilig ausgebildet ist, wird eine leichtere Montage und Einstellung der verschiedenen Teile ermöglicht. Das Gehäuse 110 weist dazu ein einstückiges, aus der Säule 110', dem Topfteil 110" und dessen Randverlängerung bestehendes Unterteil sowie ein rahmenähnliches Oberteil HO'" auf, welches auf der bearbeiteten Fläche der Randverlängerung des Unterteils mittels Schrauben 59 befestigt ist (Fig.7). Innerhalb der stegartigen Wand des, in Draufsicht gesehen, ungefähr dreieckigen Oberteils HO'", in der Nähe der Ecken, sind drei zylindrische, jeweils um 120° zueinander versetzte Lageraugen 112 vorgesehen, die Schrägkugellager 116 und 117 aufnehmen, welche zur Führung und Lagerung der Wellen 119 dienen, auf denen einmal die Kurbelteile 120 für den Antrieb der beweglichen Spiralrippe 123 in Form von Exzenterbuchsen und zum anderen die Ausgleichsgewichte und 127 aufgekeilt sind, welche zur statischen und dynamischen Auswuchtung des beweglichen Teiles dienen.With this construction, the elimination of a special cooling device allows a certain reduction the dimensions of the vacuum pump. As a result of the more compact design, there is a higher level of operational reliability guaranteed in the event of dilation due to accidental heating. As the case HO is designed in two parts, an easier assembly and adjustment of the various parts enables. For this purpose, the housing 110 has a one-piece, composed of the column 110 ', the pot part 110 "and its Edge extension existing lower part and a frame-like upper part HO '", which on the machined surface of the edge extension of the lower part is attached by means of screws 59 (Fig.7). Inside the web-like wall of the, seen in plan view, approximately triangular upper part HO '", in the Near the corners, three cylindrical bearing eyes 112, each offset from one another by 120 °, are provided Record angular contact ball bearings 116 and 117, which serve to guide and support the shafts 119 which once the crank parts 120 for driving the movable spiral rib 123 in the form of eccentric bushes and on the other hand, the balance weights 127 and 127 are keyed, which are used for static and serve dynamic balancing of the moving part.
Der Antrieb kann durch direkte Kupplung einer der Wellen 119 mit einem Elektromotor 55, wobei eine zweite Welle 119 gleichzeitig direkt die Membranpumpe P antreibt, erfolgen. Am Ende der dritten Welle kann man einen kleinen Ventilator anordnen, der in den Figuren nicht dargestellt ist und zu einer beschränkten Luftkühlung verwendet werden kann. Im Auslaßweg der Vakuumpumpe nach Fig.6, der zum größten Tei1 vom Zwischenraum zwischen der hohlen Säule 110' unc dem Dichtungsbalg 111 gebildet wird, vor dei Auslaßbohrung 135 im Gehäuseunterteil HO", könnte noch ein nicht gezeigtes Rückschlagventil angeordneThe drive can take place by directly coupling one of the shafts 119 to an electric motor 55, with a second shaft 119 directly driving the diaphragm pump P at the same time. At the end of the third shaft a small fan can be placed, which is not shown in the figures and which can be used for limited air cooling. In the exhaust path of the vacuum pump according to Figure 6, the UNC for the most Tei 1 from the intermediate space between the hollow column 110 'of the sealing bellows 111 is formed, before dei outlet bore 135 in the housing lower part HO ", could still a not shown check valve being arrange
sein.be.
bü Die in verschiedenen Ausführungen dargestellte bezüglich des Gasweges trocken laufende und dicht« Vakuumpumpe findet vor allem auf dem Gebiete de Atomtechnik, dann bei der Herstellung elektronische Röhren und Bauteile, in Laboratorien und gan;bü The dry-running and tight " Vacuum pumps are mainly used in the field of atomic technology, then in the manufacture of electronic ones Tubes and components, in laboratories and gan;
b5 allgemein in den Fällen, in denen bei höchster Sicherhci ein Vakuum ohne jegliche Verschmutzung erzeug werden muß, Verwendung.b5 in general in those cases in which, with the highest level of security a vacuum must be generated without any pollution, use.
Hierzu 6 Blatt ZeichnungenIn addition 6 sheets of drawings
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| DE2225327A Expired DE2225327C3 (en) | 1971-06-01 | 1972-05-25 | Vacuum pump with spiral rotary piston |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2831179A1 (en) * | 1978-07-15 | 1980-01-24 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | DISPLACEMENT MACHINE ACCORDING TO THE SPIRAL PRINCIPLE |
| DE2927690A1 (en) * | 1979-07-09 | 1981-01-29 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | DISPLACEMENT MACHINE ACCORDING TO THE SPIRAL PRINCIPLE |
| DE3610302A1 (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo | MACHINE WITH FLUID FLOW RATE OF THE SPIRAL DESIGN |
| DE3729319A1 (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-16 | Bock Gmbh & Co Kaeltemaschinen | Spiral compressor |
| DE10123398B4 (en) * | 2000-05-16 | 2004-08-26 | Sanden Corp., Isesaki | scroll compressor |
| DE19980647B4 (en) * | 1998-03-18 | 2006-08-03 | Haldex Brake Corp. | Scroll compressor with an eccentric crank mechanism comprising an elongated shaft |
| DE10393645B4 (en) * | 2002-11-04 | 2009-10-08 | Ke, Enjiu, Windsor | Turbomachine coupled with multiple spiral members through a plurality of rotation-resistant elements |
Families Citing this family (75)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3884599A (en) * | 1973-06-11 | 1975-05-20 | Little Inc A | Scroll-type positive fluid displacement apparatus |
| US3924977A (en) * | 1973-06-11 | 1975-12-09 | Little Inc A | Positive fluid displacement apparatus |
| CH586348A5 (en) * | 1975-02-07 | 1977-03-31 | Aginfor Ag | |
| US3986799A (en) * | 1975-11-03 | 1976-10-19 | Arthur D. Little, Inc. | Fluid-cooled, scroll-type, positive fluid displacement apparatus |
| US4082484A (en) * | 1977-01-24 | 1978-04-04 | Arthur D. Little, Inc. | Scroll-type apparatus with fixed throw crank drive mechanism |
| US4129405A (en) * | 1977-06-17 | 1978-12-12 | Arthur D. Little, Inc. | Scroll-type liquid pump with transfer passages in end plate |
| US4192152A (en) * | 1978-04-14 | 1980-03-11 | Arthur D. Little, Inc. | Scroll-type fluid displacement apparatus with peripheral drive |
| US4490099A (en) * | 1980-10-03 | 1984-12-25 | Sanden Corporation | Scroll type fluid displacement apparatus with thickened center wrap portions |
| US4382754A (en) * | 1980-11-20 | 1983-05-10 | Ingersoll-Rand Company | Scroll-type, positive fluid displacement apparatus with diverse clearances between scroll elements |
| US4892469A (en) * | 1981-04-03 | 1990-01-09 | Arthur D. Little, Inc. | Compact scroll-type fluid compressor with swing-link driving means |
| JPS57212302A (en) * | 1981-06-24 | 1982-12-27 | Hitachi Ltd | Displacement type scroll hydraulic machine |
| JPS5958187A (en) * | 1982-09-26 | 1984-04-03 | Sanden Corp | Scroll type compressor |
| JPS5979086A (en) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Hitachi Ltd | Scroll hydraulic machine |
| US4609334A (en) * | 1982-12-23 | 1986-09-02 | Copeland Corporation | Scroll-type machine with rotation controlling means and specific wrap shape |
| FR2567970B1 (en) * | 1984-07-23 | 1989-04-28 | Normetex | COMPLETELY DRY AND WATERPROOF VACUUM PUMP WITH RECTILINEAR MOTION OF COMPRESSION COMPRESSION |
| JPS61152984A (en) * | 1984-12-26 | 1986-07-11 | Nippon Soken Inc | Scroll compressor |
| JPS61182401A (en) * | 1985-02-06 | 1986-08-15 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Scroll type fluid machinery |
| US4781549A (en) * | 1985-09-30 | 1988-11-01 | Copeland Corporation | Modified wrap scroll-type machine |
| US4877382A (en) * | 1986-08-22 | 1989-10-31 | Copeland Corporation | Scroll-type machine with axially compliant mounting |
| US5219281A (en) * | 1986-08-22 | 1993-06-15 | Copeland Corporation | Fluid compressor with liquid separating baffle overlying the inlet port |
| US5649816A (en) * | 1986-08-22 | 1997-07-22 | Copeland Corporation | Hermetic compressor with heat shield |
| DE3642116A1 (en) * | 1986-12-10 | 1988-06-23 | Agintec Ag | SPRING-ELASTIC ECCENTRIC BEARING FOR DISPLACEMENT MACHINES |
| CH672351A5 (en) * | 1986-12-24 | 1989-11-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
| DE3719950A1 (en) * | 1987-06-15 | 1989-01-05 | Agintec Ag | DISPLACEMENT MACHINE |
| JPH03138472A (en) * | 1989-10-20 | 1991-06-12 | Tokico Ltd | Scroll type fluid machinery |
| KR0168867B1 (en) * | 1991-12-20 | 1999-01-15 | 가나이 쯔또무 | Scroll fluid machine, scroll member and processing method thereof |
| US5366359A (en) * | 1993-08-20 | 1994-11-22 | General Motors Corporation | Scroll compressor orbital scroll drive and anti-rotation assembly |
| US5346376A (en) * | 1993-08-20 | 1994-09-13 | General Motors Corporation | Axial thrust applying structure for the scrolls of a scroll type compressor |
| US5466134A (en) * | 1994-04-05 | 1995-11-14 | Puritan Bennett Corporation | Scroll compressor having idler cranks and strengthening and heat dissipating ribs |
| FR2731051B1 (en) * | 1995-02-24 | 1997-04-30 | Mecanique De Normandie Soc | VACUUM PUMP WITH CIRCULAR TRANSLATION CYCLE |
| US5616015A (en) * | 1995-06-07 | 1997-04-01 | Varian Associates, Inc. | High displacement rate, scroll-type, fluid handling apparatus |
| JP3388657B2 (en) * | 1995-07-21 | 2003-03-24 | アネスト岩田株式会社 | Oil-free scroll vacuum pump |
| DE19603110A1 (en) * | 1995-11-06 | 1997-05-07 | Bitzer Kuehlmaschinenbau Gmbh | compressor |
| JP3771666B2 (en) * | 1997-04-10 | 2006-04-26 | サンデン株式会社 | Scroll member for scroll type fluid machinery |
| FR2764346B1 (en) * | 1997-06-05 | 1999-07-30 | Alsthom Cge Alcatel | SCROLL TYPE FLUID MOVING MACHINE |
| FR2764347B1 (en) * | 1997-06-05 | 1999-07-30 | Alsthom Cge Alcatel | SCROLL TYPE MACHINE |
| US6071101A (en) * | 1997-09-22 | 2000-06-06 | Mind Tech Corp. | Scroll-type fluid displacement device having flow diverter, multiple tip seal and semi-radial compliant mechanism |
| US6511308B2 (en) | 1998-09-28 | 2003-01-28 | Air Squared, Inc. | Scroll vacuum pump with improved performance |
| US6193487B1 (en) * | 1998-10-13 | 2001-02-27 | Mind Tech Corporation | Scroll-type fluid displacement device for vacuum pump application |
| JP2000145669A (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-26 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Rotational balancing mechanism for revolving scroll in scroll type compressor |
| US6461129B2 (en) | 2001-02-23 | 2002-10-08 | Mat Automotive Inc. | Scroll type compressor apparatus with adjustable axial gap |
| US6758659B2 (en) | 2002-04-11 | 2004-07-06 | Shimao Ni | Scroll type fluid displacement apparatus with fully compliant floating scrolls |
| US20040148951A1 (en) * | 2003-01-24 | 2004-08-05 | Bristol Compressors, Inc, | System and method for stepped capacity modulation in a refrigeration system |
| US20050063850A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-24 | Liepert Anthony G. | Scroll pump using isolation bellows and synchronization mechanism |
| GB0325006D0 (en) * | 2003-10-27 | 2003-11-26 | Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
| US7261528B2 (en) * | 2004-03-30 | 2007-08-28 | Varian, Inc. | Scroll pump with load bearing synchronization device |
| GB0426937D0 (en) * | 2004-12-08 | 2005-01-12 | Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
| FR2881189A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-28 | V G B Vulliez Gestion Brevets | VACUUM PUMP CIRCULAR CIRCULAR TRANSLATION CYCLE WITH SEVERAL TREES |
| US7467933B2 (en) * | 2006-01-26 | 2008-12-23 | Scroll Laboratories, Inc. | Scroll-type fluid displacement apparatus with fully compliant floating scrolls |
| US8668479B2 (en) * | 2010-01-16 | 2014-03-11 | Air Squad, Inc. | Semi-hermetic scroll compressors, vacuum pumps, and expanders |
| US8523544B2 (en) | 2010-04-16 | 2013-09-03 | Air Squared, Inc. | Three stage scroll vacuum pump |
| US10221852B2 (en) | 2006-02-14 | 2019-03-05 | Air Squared, Inc. | Multi stage scroll vacuum pumps and related scroll devices |
| US7942655B2 (en) * | 2006-02-14 | 2011-05-17 | Air Squared, Inc. | Advanced scroll compressor, vacuum pump, and expander |
| US10683865B2 (en) | 2006-02-14 | 2020-06-16 | Air Squared, Inc. | Scroll type device incorporating spinning or co-rotating scrolls |
| JP4948869B2 (en) * | 2006-03-28 | 2012-06-06 | アネスト岩田株式会社 | Scroll fluid machinery |
| CN100510414C (en) * | 2007-11-08 | 2009-07-08 | 南昌利柯即技术有限公司 | Vortex fluid machinery |
| US8622724B2 (en) * | 2009-09-25 | 2014-01-07 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump with isolation barrier |
| US11047389B2 (en) | 2010-04-16 | 2021-06-29 | Air Squared, Inc. | Multi-stage scroll vacuum pumps and related scroll devices |
| US8764424B2 (en) | 2010-05-17 | 2014-07-01 | Tuthill Corporation | Screw pump with field refurbishment provisions |
| US20130232975A1 (en) | 2011-08-09 | 2013-09-12 | Robert W. Saffer | Compact energy cycle construction utilizing some combination of a scroll type expander, pump, and compressor for operating according to a rankine, an organic rankine, heat pump, or combined organic rankine and heat pump cycle |
| US9404491B2 (en) | 2013-03-13 | 2016-08-02 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll pump having bellows providing angular synchronization and back-up system for bellows |
| US9328730B2 (en) * | 2013-04-05 | 2016-05-03 | Agilent Technologies, Inc. | Angular synchronization of stationary and orbiting plate scroll blades in a scroll pump using a metallic bellows |
| US9366255B2 (en) | 2013-12-02 | 2016-06-14 | Agilent Technologies, Inc. | Scroll vacuum pump having external axial adjustment mechanism |
| US10508543B2 (en) | 2015-05-07 | 2019-12-17 | Air Squared, Inc. | Scroll device having a pressure plate |
| US10865793B2 (en) | 2016-12-06 | 2020-12-15 | Air Squared, Inc. | Scroll type device having liquid cooling through idler shafts |
| FR3075280B1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-11-22 | Mouvex | IMPROVED CLEANING VOLUMETRIC PUMP |
| CN112119219B (en) | 2018-05-04 | 2022-09-27 | 空气平方公司 | Liquid cooling of fixed and orbiting scroll compressors, expanders or vacuum pumps |
| US11067080B2 (en) | 2018-07-17 | 2021-07-20 | Air Squared, Inc. | Low cost scroll compressor or vacuum pump |
| US20200025199A1 (en) | 2018-07-17 | 2020-01-23 | Air Squared, Inc. | Dual drive co-rotating spinning scroll compressor or expander |
| US11530703B2 (en) | 2018-07-18 | 2022-12-20 | Air Squared, Inc. | Orbiting scroll device lubrication |
| US11661940B2 (en) | 2018-12-06 | 2023-05-30 | Gree Green Refrigeration Technology Center Co., Ltd. Of Zhuhai | Scroll compressor having cooling pipe moving synchronously with orbiting scroll and rotating with respect to crankshaft |
| US11473572B2 (en) | 2019-06-25 | 2022-10-18 | Air Squared, Inc. | Aftercooler for cooling compressed working fluid |
| JP2021014801A (en) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | ダイキン工業株式会社 | Scroll compressor |
| US11898557B2 (en) | 2020-11-30 | 2024-02-13 | Air Squared, Inc. | Liquid cooling of a scroll type compressor with liquid supply through the crankshaft |
| US11885328B2 (en) | 2021-07-19 | 2024-01-30 | Air Squared, Inc. | Scroll device with an integrated cooling loop |
-
1971
- 1971-09-08 FR FR7132376A patent/FR2153129B2/fr not_active Expired
-
1972
- 1972-05-19 BE BE783710A patent/BE783710A/en unknown
- 1972-05-25 DE DE2225327A patent/DE2225327C3/en not_active Expired
- 1972-05-26 US US00257247A patent/US3802809A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-05-29 AT AT463972A patent/AT316721B/en not_active IP Right Cessation
- 1972-05-30 IT IT68722/72A patent/IT959019B/en active
- 1972-05-30 GB GB2527872A patent/GB1367986A/en not_active Expired
- 1972-05-31 CA CA143,801A patent/CA968766A/en not_active Expired
- 1972-05-31 CH CH807272A patent/CH553333A/en not_active IP Right Cessation
- 1972-06-01 NL NL727207406A patent/NL151776B/en not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2831179A1 (en) * | 1978-07-15 | 1980-01-24 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | DISPLACEMENT MACHINE ACCORDING TO THE SPIRAL PRINCIPLE |
| DE2927690A1 (en) * | 1979-07-09 | 1981-01-29 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | DISPLACEMENT MACHINE ACCORDING TO THE SPIRAL PRINCIPLE |
| DE3610302A1 (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo | MACHINE WITH FLUID FLOW RATE OF THE SPIRAL DESIGN |
| DE3729319A1 (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-16 | Bock Gmbh & Co Kaeltemaschinen | Spiral compressor |
| DE19980647B4 (en) * | 1998-03-18 | 2006-08-03 | Haldex Brake Corp. | Scroll compressor with an eccentric crank mechanism comprising an elongated shaft |
| DE10123398B4 (en) * | 2000-05-16 | 2004-08-26 | Sanden Corp., Isesaki | scroll compressor |
| DE10393645B4 (en) * | 2002-11-04 | 2009-10-08 | Ke, Enjiu, Windsor | Turbomachine coupled with multiple spiral members through a plurality of rotation-resistant elements |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CH553333A (en) | 1974-08-30 |
| US3802809A (en) | 1974-04-09 |
| NL7207406A (en) | 1972-12-05 |
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| GB1367986A (en) | 1974-09-25 |
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| NL151776B (en) | 1976-12-15 |
| IT959019B (en) | 1973-11-10 |
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