EP0283736A3 - Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor - Google Patents

Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor Download PDF

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EP0283736A3
EP0283736A3 EP88102562A EP88102562A EP0283736A3 EP 0283736 A3 EP0283736 A3 EP 0283736A3 EP 88102562 A EP88102562 A EP 88102562A EP 88102562 A EP88102562 A EP 88102562A EP 0283736 A3 EP0283736 A3 EP 0283736A3
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EP
European Patent Office
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rotor
bell
pump
high vacuum
vacuum pump
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EP88102562A
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EP0283736A2 (de
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Heinz-Dieter Bürger
Claude Saulgeot
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Alcatel Hochvakuumtechnik GmbH
Original Assignee
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Molekularhochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor (5), dessen Welle über Wälz­ lager (12, 13) gehalten wird, die sich im Inneren der Rotor­ glocke befinden, mit einem Stator (1, 6), der zusammen mit der zylindrischen Innenfläche (10) des Rotors einerseits und zusammen mit der zylindrischen Außenfläche (9) des Rotors andererseits je eine Molekularpumpstufe bildet, von denen zumindest die erstere vom Holwecktyp ist, und mit einem Saug­ anschluß (3), der sich im Bereich des Scheitels (4) des glok­ kenförmigen Rotors befindet.
Erfindungsgemäß befindet sich der Vorvakuumanschluß (11) der Pumpe im Bereich des Glockenrands des Rotors (5), und beide Pumpstufen fördern Gase zum Glockenrand hin, d.h. sie sind nicht in Reihe geschaltet. Auf diese Weise können aggressive Gase nicht in den Motorraum (15) mit den empfindlichen Lagern eindringen.
EP88102562A 1987-02-24 1988-02-22 Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor Withdrawn EP0283736A3 (de)

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DE3705912 1987-02-24
DE19873705912 DE3705912A1 (de) 1987-02-24 1987-02-24 Hochvakuumpumpe mit einem glockenfoermigen rotor

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Publication Number Publication Date
EP0283736A2 EP0283736A2 (de) 1988-09-28
EP0283736A3 true EP0283736A3 (de) 1989-03-08

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EP88102562A Withdrawn EP0283736A3 (de) 1987-02-24 1988-02-22 Hochvakuumpumpe mit einem glockenförmigen Rotor

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EP (1) EP0283736A3 (de)
JP (1) JPS63208695A (de)
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