JPS61145394A

JPS61145394A - 分子ポンプ

Info

Publication number: JPS61145394A
Application number: JP26726484A
Authority: JP
Inventors: Toichi Onda; 恩田　十一
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1984-12-18
Filing date: 1984-12-18
Publication date: 1986-07-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は分子ポンプに係り、特に排気運転効率を高める
とともに、確実に高真空を得ることを可能とした分子ポ
ンプに関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

第３図は従来６複合型の分子ポンプを示したもので、円
筒状ケーシング１の内周面上方部分には、多段に静１１
２が固定され、この静翼２の各ｆｉｔ隙部弁部分、＃翼
３が対向して配置されており、この勤）Ｉ３はほぼ円筒
状を有する回転部材４の外周面上方部分に一体に固着さ
れている。さらに、上記回転部＠４の動翼３より下方部
分は、その外周面がケーシング１の内周面に近接するよ
うに形成され、この回転部材４の外周面には、らせん状
のねじ溝５が形成されている。また、上記回転部材４の
内側には、円筒状の収容ケース６が配設され、この収容
ケース６は上記ケーシング１の底面を閉塞する固定板７
の上面中心に一体に固着されている。上記収容ケース６
の内部中心軸上には、シャフト８が回転自在に軸支され
、このシャフト８の上端部は、上記収容ケース６の上部
より突出して上記回転部材４に連結されている。また、
上記シャフト８の収容ケース６内はぼ中央位置には、モ
ータのロータ９が取付けられ、このロータ９を回転させ
るモータのステータ１０が収容ケース６の内周面に取付
けられている。さらに、上記ケーシング１の上端開口部
は吸気口１１とされ、上記固定板７には排気口１２が設
けられている。

上記ポンプの場合、吸気口１１を真空容器（図示せず）
に接続するとともに、排気口１２に他の真空ポンプを接
続し、モータの駆動によりロータ９を回転させ、シャフ
ト８を介して回転部材４を高速で回転させる。これによ
り、動１１３が回転して排気が行なわれるとともに、ね
ぞ溝５の排気作用により排気されるものである。

しかし、上記ポンプにおいては、気体を圧縮して排気を
行なうものであるが、Ｈ２や１−（ｅ等の軽い気体は確
実に圧縮されないため、逆拡散が生じ十分な排気を行な
うことができないという欠点を有している。さらに、排
気を確実に行なうためには、排気口に別の真空ポンプを
接続する必要があり、排気運転の効率が悪いという欠点
をも有している。

〔発明の目的〕

本発明は上記欠点に鑑みてなされたもので、排気運転効
率を＾め確実に高真空排気を行なうことのできる分子ポ
ンプを提供することを目的とするものである。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため本発明に係る分子ポンプは、円筒状
ケーシングの内部底面に、内部にモータ等が配置された
収容ケースおよびこの収容ケースの外周側に同心円状に
配置された少なくとも１つの固定筒をそれぞれ上方に突
出して形成し、上記ケーシングの内部に、上記モータに
より回転自在とされ、内側に上記収容ケースおよび上記
固定筒の間に各周面が近接するように対向して配置され
る回転筒が一体に形成された回転部材を設け、上記ケー
シング、固定筒および回転筒の内周面または上記回転部
材、回転筒および固定筒の外周面のいずれか一方にらせ
ん状のねじ溝を形成してなり、ねじ溝による排気通路を
多段に形成するようになされている。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図および第２図を参照して
説明し、第３図と同一部分には同一符号を付してその説
明を省略する。

第１図は本発明の一実施例を示したもので、固定板７の
上面には、収容ケース６の外側に所定間隔を有しかつ同
心円状に配置される固定筒１３が、その外周面が回転部
材４の内周面に近接するように一体に固着されており、
この回転部材４の円筒部分は回転筒１８として作用する
ようになされている。上記回転部材４の内側上面には、
上記収容ケース６と固定筒１３との間隔部分に上記収容
ケース６の外周面および上記固定筒１３の内周面にそれ
ぞれ近接するように配置される回転筒１４が、上記回転
部材４の回転１１１８と同心円状に設けられている。ま
た、上記回転部材４の回転筒１８の外周面のほか、本実
施例においては、固定筒１３、回転筒１４および収容ケ
ース６のそれぞれ外周面にねじ溝１５．１６．１７が形
成されている。さらに、上記固定板７の収容ケース６と
固定Ｂ１３との間には、排気口１２が設けられている。

本実施例においては、モータの駆動により回転部材４を
回転させ、８翼２，３およびねじ溝５゜１５．１６．１
７の排気作用により、吸気口１１に接続される真空容器
の排気を行なうものである。

すなわち、各ｍ２，３の下方へ送られた排気気体は、ね
じ溝５．１５．１６により、回転筒１８とケーシング１
との間、回転筒１８と固定筒１３との間および回転筒１
４と固定筒１３との間を順次通って排気口１２から排気
され、収容ケース６のねじ溝１７により収容ケース６内
の排気も行なうものである。

このように、ねじ溝５．１５，１６．１７による排気通
路が多段に形成されるので、Ｈ２やＨＯ等の軽い気体で
あっても確実に圧縮排気を行なうことが可能となり、排
気口１２に通常の真空ボンプではなく排気容量の小さい
補助ポンプを接続するだけで高真空排気を行なうことが
できる。また、収容ケース６内の排気を行なうため、収
容ケース６内に腐食性ガスが侵入して七−夕等の部材を
腐食させることを防止することができる。

また、第２図は本発明の他の実施例を示したもので、動
翼および静翼は設けられておらず、回転部材４のずべて
の外周面がケーシング１の内周面に近接するように形成
され、この回転部材４の外周面には、ねじ溝５が形成さ
れている。その他の部分は、上記実施例と同様である。

本実施例においても上記実施例と同様に、多段に形成さ
れたねじ１１１５．１５．１６の排気作用により、軽い
気体を含むすべての気体の高真空排気を行なうことがで
きる。

なお、上記各実施例においては、固定筒および回転筒を
それぞれ１個ずつ形成するようにしたが、複数個形成し
てさらに多段の通路を形成するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明に係る分子ポンプは、ケーシン
グ内部に形成された固定筒と、モータにより回転する回
転部材に形成された回転筒とを近接して配置し、上記ケ
ーシング、固定筒および回転筒の内周面または上記回転
部材、回転筒および固定筒の外周面のいずれか一方にら
せん状のねじ溝を形成して構成されており、上記各部材
の周面に沿って排気気体が流れることにより、ねじ溝に
よる排気通路を多段に通過することとなるので、［１２
やＨｅ等の軽い気体であっても確実に圧縮排気を行なう
ことができる。その結果、排気容量の小さい補助ポンプ
を直列に接続するだけで高真空を得ることができ、真空
排気効率が高まる等の効果を秦する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
縦断面図、第３図は従来の分子ポンプを示す縦断面図で
ある。１・・・ケーシング、２・・・静翼、３・・・動翼、４
・・・回転部材、５．１５．１６．１７・・・ねじ溝、
６・・・収容ケース、７・・・固定板、８・・・シャフ
ト、９・・・ロータ、１０・・・ステータ、１１・・・
吸気口、１２・・・排気口、１３・・・固定筒、１４．
１８・・・回転筒。出願人代理人　　猪　　股　　　　清第１図弗２図

Claims

【特許請求の範囲】

円筒状ケーシングの内部底面に、内部にモータ等が配置
された収容ケースおよびこの収容ケースの外周側に同心
円状に配置された少なくとも１つの固定筒をそれぞれ上
方に突出して形成し、上記ケーシングの内部に、上記モ
ータにより回転自在とされ、内側に上記収容ケースおよ
び上記固定筒の間に各周面が近接するように対向して配
置される回転筒が一体に形成された回転部材を設け、上
記ケーシング、同定筒および回転筒の内周面または上記
回転部材、回転筒および固定筒の外周面のいずれか一方
にらせん状のねじ溝を形成したことを特徴とする分子ポ
ンプ。