TWI730470B - 渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件 - Google Patents

Abstract

本發明公開一種渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件，其中防塵式轉子元件包括一轉子座、多個轉子葉片組以及一防塵蓋。轉子座具有外露的一連接室，多個轉子葉片組連接於轉子座且呈間隔排列，防塵蓋用以密封連接室。防塵蓋包括一蓋體以及一定位結構，蓋體具有兩個相對設置且與連接室氣體連通的氣壓平衡孔，定位結構從蓋體的底部延伸進入連接室，且與連接室之間形成密封。渦輪分子幫浦於使用時，防塵蓋能防止微粒物質沉積於轉子座的連接室內，並且能消除連接室內外的壓力差。

Description

渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件

本發明涉及一種真空幫浦及其轉子，特別是涉及一種渦輪分子幫浦及其防塵式轉子。

目前主要的半導體製程例如離子佈植、爐管、薄膜濺鍍、電漿蝕刻、化學機械研磨等，都需要在高真空的製程中的空腔體內進行；因此，係空腔體的真空環境是影響製程良率的關鍵因素之一，而潔淨穩定的真空環境有助於提高製程良率。渦輪分子幫浦作為真空系統的心臟，是利用轉子相對於定子進行高速旋轉，將氣體排出製程空腔體而產生高真空環境。

然而，一些半導體製程會於幫浦內產生大量微粒，這些微粒很容易在接觸氣體的地方(如轉子及排氣口)堆積，造成排氣效率降低而影響抽真空效率。此外，這些微粒也很容易在一些外露的鎖固區域堆積，並在壓力發生變化時隨著不穩定的氣流飛揚移動而回到製程空腔體內造成汙染。

故，如何通過結構設計的改良，來提升渦輪分子幫浦的可靠性，以及提高製程良率，已成為該項事業所欲解決的重要課題之一。

本發明所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種防塵式轉子，其能兼顧製程良率與幫浦內部的壓力平衡。並且，提供一種使用此防塵式轉子的渦輪分子幫浦。

為了解決上述的技術問題，本發明所採用的其中一技術方案是，提供一種防塵式轉子元件，其包括一轉子座、多個轉子葉片組以及一防塵蓋。所述轉子座具有外露的一連接室，多個所述轉子葉片組連接於所述轉子座且呈間隔排列，所述防塵蓋用以密封所述連接室；其中所述防塵蓋包括一蓋體以及一定位結構，所述蓋體具有兩個相對設置且與所述連接室氣體連通的氣壓平衡孔，所述定位結構從所述蓋體的底部延伸進入所述連接室，且與所述連接室之間形成密封。

為了解決上述的技術問題，本發明所採用的另外一技術方案是，提供一種渦輪分子幫浦，其包括一外殼、一定子元件、一防塵式轉子元件以及一高速轉軸。所述外殼具有一空腔體，所述定子元件設置於所述空腔體內，且包括多個呈間隔排列的定子葉片組，所述種防塵式轉子元件設置於所述空腔體內，且包括一轉子座、多個轉子葉片組以及一防塵蓋，所述高速轉軸用以驅動所述防塵式轉子元件相對於所述定子元件轉動；所述轉子座具有外露的一連接室，多個所述轉子葉片組連接於所述轉子座，且與多個所述定子葉片組上下交替排列，所述防塵蓋用以密封所述連接室；其中所述防塵蓋包括一蓋體以及一定位結構，所述蓋體具有兩個相對設置且與所述連接室氣體連通的氣壓平衡孔，所述定位結構從所述蓋體的底部延伸進入所述連接室，且與所述連接室之間形成密封。

在本發明的一實施例中，所述轉子座的內部具有一隔板用以界定出所述連接室，且所述隔板上設有一連通所述連接室的連接通道；所述高速轉軸包括一軸體以及一從所述軸體延伸形成的延伸部，且所述延伸部的位置對應所述連接通道；所述防塵蓋還包括一連接結構，其設置於所述定位結構的內側，且所述連接結構與所述高速轉軸的所述延伸部固定在一起。

在本發明的一實施例中，所述軸體具有一中央區域以及一環繞所述中央區域的周邊區域，所述延伸部是從所述中央區域延伸進入所述連接通道。

在本發明的一實施例中，所述蓋體蓋合於所述連接室上。

在本發明的一實施例中，兩個所述氣壓平衡孔內各具有一柱狀體，兩個所述柱狀體能被施加外力，以使所述防塵蓋相對於所述轉子座轉動。

在本發明的一實施例中，所述防塵蓋還包括一彈性密封環，其設置於所述定位結構上。

在本發明的一實施例中，所述定位結構具有一卡槽，且所述彈性密封環藉由所述卡槽固定於所述定位結構上。

在本發明的一實施例中，所述蓋體具有一外側表面，所述定位結構具有一相對於所述外側表面的內側表面，且兩個所述氣壓平衡孔從所述外側表面延伸至所述內側表面。

在本發明的一實施例中，所述蓋體還具有兩個相對設置的配重孔。

在本發明的一實施例中，所述定位結構具有一倒勾部，所述倒勾部與所述蓋體之間存在一間隙，且具有一面向所述連接室的邊界的導引面；其中所述導引面為一斜面。

本發明的其中一有益效果在於，本發明所提供的防塵式轉子元件，其能通過“轉子座具有一連接室用以組接高速轉軸，防塵蓋包括一蓋體及一定位結構，其中蓋體具有兩個相對設置且與連接室氣體連通的氣壓平衡孔，定位結構從蓋體的底部延伸進入連接室，且與連接室之間形成密封”的技術方案，以防止製程產生的微粒沉積於連接室，並確保連接室的壓力與幫浦內部壓力平衡一致，避免產生不穩定的氣流將微粒帶回到製程空腔體內造成汙染。

為使能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本發明加以限制。

在半導體製造過程中，許多製程階段都存在由隨機微粒缺陷引起的良率損失問題，因此本發明提供一種用於對製程空腔體抽真空的渦輪分子幫浦，其改良在於採用防塵式轉子元件；使用時，防塵式轉子元件不僅能防止製程產生的微粒沉積於其與轉軸的連接室，而且還能確保連接室的壓力與幫浦內部壓力平衡一致，以防止微粒飛揚移動回到製程空腔體內造成汙染。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。

應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[第一實施例]

參閱圖1至圖4所示，本發明的渦輪分子幫浦Z主要包括一外殼1、一定子元件2、一防塵式轉子元件3及一高速轉軸4。外殼1具有一空腔體100，定子元件2、防塵式轉子元件3與高速轉軸4都設置於空腔體100內，且防塵式轉子元件3能被高速轉軸4帶動而相對於定子元件2高速轉動。渦輪分子幫浦Z可通過管線連接到一半導體製程設備的處理腔室(圖未室)，將處理腔室抽至特定半導體製程(如蝕刻製程)所需的真空度，但本發明並不限制於此。

實際應用時，渦輪分子幫浦Z還包括一底座5，用以組立外殼1、定子元件2、防塵式轉子元件3與高速轉軸4。底座5上設有一排氣口500，且底座5包括一軸承機構51及一驅動單元52(如馬達)，高速轉軸4設置於軸承機構51上，軸承機構51能產生磁力以支撐高速轉軸4，驅動單元52能驅動高速轉軸4進行高速轉動。關於軸承機構51的組成，包括機械軸承、徑向磁軸承及軸向磁軸承等，為本領域技術人員所熟知，故在此不加以贅述。

外殼1為兩件式外殼，其包括一第一殼體11及一第二殼體12；第一殼體11例如為上殼體，第二殼體12例如為下殼體，且第一殼體11與第二殼體12可通過鎖固方式結合成為一體；第一殼體11與第二殼體12的主要部分呈圓筒狀，且共同圍構形成空腔體100。進一步而言，第一殼體11與第二殼體12具有氣體導引功能，其中第一殼體11界定出空腔體100的上游區域，且第一殼體11具有一連通於空腔體100的進氣口111；另外，第二殼體12界定出空腔體100的下游區域，第二殼體12的內壁設有一螺紋狀的導氣槽121。然而，這些細節只是在描述外殼1的可行的實施方案而並非用以限定本發明。在一些實施例中，根據實際需要，外殼1也可為一件式外殼。

當渦輪分子幫浦Z進行抽真空時，氣體會從進氣口111流入空腔體100，並流經由外殼1、定子元件2與防塵式轉子元件3之間的通道，再於導氣槽121被壓縮後從排氣口500排出。

參閱圖1至圖4，配合圖5及圖6所示，定子元件2與防塵式轉子元件3的位置相對應，定子元件2包括多個間隔件21及多個定子葉片組22，其中多個定子葉片組22在徑向上延伸，且分別藉由多個間隔件21連接第一殼體11的內壁，而呈上下分層設置；間隔件21可呈環狀，但不限於此。防塵式轉子元件3包括一轉子座31、多個轉子葉片組32及一防塵蓋33，其中轉子座31具有外露的一連接室300，用以組接高速轉軸4；多個轉子葉片組32連接於轉子座31，多個轉子葉片組32也在徑向上延伸，且與多個定子葉片組22交替排列；防塵蓋33用以密封連接室300。

進一步而言，每一個定子葉片組22包括多個定子葉片221，每一個轉子葉片組32包括多個轉子葉片321；多個轉子葉片321的傾斜方向與多個定子葉片221的傾斜方向相反，並且，上層的定子葉片221的傾斜角度大於或等於下層的定子葉片221的傾斜角度，上層的轉子葉片321的傾斜角度大於或等於下層的轉子葉片321的傾斜角度。藉此，可以確保氣體分子不可逆地從進氣口111流動到排氣口500。然而，每一個定子葉片組22所包括定子葉片221的數量和傾斜角度，以及每一個轉子葉片組32所包括轉子葉片321的數量和傾斜角度沒有特別的限制。在一些實施例中，根據定子葉片組22所在的層級不同，定子葉片221的數量可以在16片至48片之間做選擇，而定子葉片221的傾斜角度可以在13度至45度之間做調整；類似地，根據轉子葉片組32所在的層級不同，轉子葉片321的數量可以在25片至56片之間做選擇，而轉子葉片321的傾斜角度可以在13度至45度之間做調整。

轉子座31包括一第一座體311及一第二座體312，第一座體311的位置對應第一殼體11，且第二座體312的位置對應第二殼體12；其中連接室300是從第一座體311的頂部向下凹陷形成，且位置對應第一殼體11的進氣口111，多個轉子葉片321是從第一座體311的外壁延伸形成。在本實施例中，多個轉子葉片組32、第一座體311與第二座體312為一體成型；第一座體311朝接近進氣口111的方向呈漸縮狀，第二座體312呈圓筒狀。然而，這些細節只是在描述定子元件2與防塵式轉子元件3的可行的實施方案而並非用以限定本發明。

參閱圖5至圖8所示，防塵蓋33包括一蓋體331、一定位結構332及一連接結構333，其中蓋體331蓋合於連接室300上，且具有至少兩個相對設置且與連接室300氣體連通的氣壓平衡孔H1，優選為兩個或四個；定位結構332從蓋體331的底部延伸進入連接室300，且與連接室300之間形成密封；連接結構333設置於定位結構332的內側，用以連接高速轉軸4，並使高速轉軸4處於直立狀態。值得注意的是，當防塵式轉子元件3高速轉動時，防塵蓋33能有效阻隔製程微粒進入連接室300，以及通過氣壓平衡孔H1使連接室300的壓力與幫浦內部壓力保持一致，以避免產生不穩定的氣流將微粒帶回到製程空腔體內造成汙染。

此外，氣壓平衡孔H1也能達到調整轉子動平衡配重的效果，即，氣壓平衡孔H1能減少配重，以提高轉子的動平衡精度。根據實際需要，蓋體331上避開氣壓平衡孔H1所在位置另外可具有至少兩個相對設置的配重孔H2，如圖5所示。在本實施例中，氣壓平衡孔H1貫穿蓋體331的外側表面S1與定位結構332的內側表面S2，即，從蓋體331的外側表面S1延伸至定位結構332的內側表面S2，如圖7所示，但不限於此。實際應用時，配重孔H2可以貫穿或不貫穿蓋體331的外側表面S1與定位結構332的內側表面S2，只要不影響轉子的高速動平衡即可。

進一步而言，定位結構332可為一環形凸肋，連接結構333可包括一圓筒部3331及一結合於圓筒部3331上的連接部3332；圓筒部3331與連接部3332可為兩個分開的部位，如此防塵蓋33能夠適應不同型號的轉軸，以及增加轉子的結構強度。圓筒部3331與連接部3332可以螺接方式結合，即，圓筒部3331具有一內螺紋且連接部3332具有一外螺紋，但本發明並不限制於此。在一些實施例中，圓筒部3331與連接部可為一體成型。值得注意的是，蓋體331具有一中央最高點T，且蓋體331的高度由中央最高點T向外以特定的斜率或曲率漸減；藉此，蓋體331能發揮導引氣體的功能，即，從第一殼體11的進氣口111流入的氣體能順著蓋體331的上表面流向轉子和定子葉片321、221所在的區域，以及避免微粒沉積於蓋體331上。

參閱圖4至圖6，配合圖7及圖8所示，為了提高或更好地保持連接室300的密封效果，優選於定位結構332上設置一彈性密封環34。進一步而言，定位結構332的外壁可設有一卡槽R，且彈性密封環34藉由卡槽R固定於定位結構332的外壁上。此外，在彈性密封環34的存在下，定位結構332會受到彈性密封環34所提供彈性作用力的約束，使得防塵蓋33的軸心始終保持在高速轉軸4定義的軸線上。

為了將防塵式轉子元件3與高速轉軸4組裝在一起，如圖6所示，轉子座31的第一座體311的內部具有一隔板3111用以界定出連接室300，且隔板3111上設有一連通連接室300的連接通道3112，其位置對應防塵蓋33的連接結構333；高速轉軸4包括一軸體41及一從軸體41延伸形成的延伸部42，其中延伸部42沿軸體41的軸線延伸，且其位置對應連接通道3112，以與防塵蓋33的連接結構333固定在一起。進一步而言，如圖4所示，軸體41具有一中央區域411及一環繞中央區域411的周邊區域412，延伸部42即是從中央區域411延伸通過連接通道3112進入連接室300；延伸部42與連接部3332可以螺接方式結合，即，延伸部42具有一內螺紋且連接部3332具有一外螺紋。然而，這些細節只是在描述高速轉軸4的可行的實施方案而並非用以限定本發明。在一些實施例中，延伸部42可以只延伸至連接通道3112而未進入連接室300。

參閱圖9所示，在氣壓平衡孔H1的存在下，可以不需要使用任何工具，就直接將防塵蓋33結合於轉子座31上。進一步而言，可於兩個相對的氣壓平衡孔H1分別置入一柱狀體6(如插銷)，並同時施加外力於兩個柱狀體6，以使防塵蓋33相對於轉子座31轉動，進而將連接部3332插入高速轉軸4的延伸部42。

[第二實施例]

參閱圖10及圖11所示，第二實施例與第一實施例的差異主要在於，防塵蓋33的定位結構332具有一倒勾部3321，其中倒勾部3321具有一面向連接室300的邊界的導引面S3，且倒勾部3321與蓋體331之間存在一間隙G；導引面S3可為一斜面，但不限於此。藉此，在組裝過程中，可以減少定位結構332與連接室300的邊界之間的干涉，使防塵蓋33更容易被組裝於轉子座31上。組裝完成後，倒勾部3321可抵壓連接室300的內表面(未標號)以產生迫緊作用，同時部分的倒勾部332會被擠壓到間隙G中，如此防塵蓋33的軸心能始終保持在高速轉軸4定義的軸線上。

[實施例的有益效果]

本發明的其中一有益效果在於，本發明所提供的防塵式轉子元件，其能通過“轉子座具有一連接室用以組接高速轉軸，防塵蓋包括一蓋體及一定位結構，其中蓋體具有兩個相對設置且與連接室氣體連通的氣壓平衡孔，定位結構從蓋體的底部延伸進入連接室，且與連接室之間形成密封”的技術方案，以防止製程產生的微粒沉積於連接室，並確保連接室的壓力與幫浦內部壓力平衡一致，避免產生不穩定的氣流將微粒帶回到製程空腔體內造成汙染。

更進一步來說，在氣壓平衡孔的存在下，可以不需要使用任何工具，而直接將防塵蓋結合於轉子座上，因此在使用上更加便利。

更進一步來說，防塵蓋的定位結構上可具有一彈性密封環，以提高或更好地保持連接室的密封效果。此外，在彈性密封環的存在下，定位結構會受到彈性密封環所提供彈性作用力的約束，使得防塵蓋始終保持在高速轉軸的軸線上。

更進一步來說，為了使防塵蓋更容易被組裝到轉子座上，並保持防塵蓋的軸心於轉軸的軸線上，防塵蓋的定位結構可具有一倒勾部，其中倒勾部具有一面向連接室的邊界的導引面，且倒勾部與蓋體之間存在一間隙。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的申請專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的申請專利範圍內。

Z：渦輪分子幫浦 1：外殼                                 100：空腔體 11：第一殼體 111：進氣口 12：第二殼體 121：導氣槽 2：定子元件                           21：間隔件 22：定子葉片組 221：定子葉片 3：防塵式轉子元件                 300：連接室 31：轉子座 311：第一座體 3111：隔板 3112：連接通道 312：第二座體 32：轉子葉片組 321：轉子葉片 33：防塵蓋 331：蓋體 H1：氣壓平衡孔 H2：配重孔 S1：外側表面 T：中央最高點 332：定位結構 3321：倒鉤部 S2：內側表面 S3：導引面 R：卡槽 G：間隙 333：連接結構 3331：圓筒部 3332：連接部 34：彈性密封環 4：高速轉軸                           41：軸體 411：中央區域 412：周邊區域 42：延伸部 5：底座                                 500：排氣口 51：軸承機構 52：驅動單元 6：柱狀體

圖1為本發明第一實施例的渦輪分子幫浦的立體組合示意圖。

圖2為本發明第一實施例的渦輪分子幫浦的其中一立體分解示意圖。

圖3為本發明第一實施例的渦輪分子幫浦的另外一立體分解示意圖。

圖4為圖1的IV-IV剖面的剖面示意圖。

圖5為本發明第一實施例的防塵式轉子元件的立體示意圖。

圖6為本發明第一實施例的防塵式轉子元件的平面示意圖。

圖7為本發明第一實施例的防塵蓋的其中一結構示意圖。

圖8為本發明第一實施例的防塵蓋的另外一結構示意圖。

圖9顯示本發明第一實施例的防塵蓋與轉子座及高速轉軸的組裝過程。

圖10為本發明第二實施例的防塵蓋的結構示意圖。

圖11顯示本發明第二實施例的防塵蓋與轉子座的組裝過程。

Z：渦輪分子幫浦 1：外殼 11：第一殼體 111：進氣口 12：第二殼體 33：防塵蓋 5：底座 500：排氣口

Claims (16)

1. 一種防塵式轉子元件，其包括：一轉子座，具有外露的一連接室；多個轉子葉片組，連接於所述轉子座且呈間隔排列；以及一防塵蓋，用以密封所述連接室，其中所述防塵蓋包括一蓋體以及一定位結構，所述蓋體具有兩個相對設置且與所述連接室氣體連通的氣壓平衡孔，所述定位結構從所述蓋體的底部延伸進入所述連接室，且與所述連接室之間形成密封；其中，兩個所述氣壓平衡孔能分別被置入一柱狀體，且兩個所述柱狀體能被施加外力，以使所述防塵蓋相對於所述轉子座轉動。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵式轉子元件，其中，所述蓋體蓋合於所述連接室上。
3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵式轉子元件，其中，所述防塵蓋還包括一彈性密封環，其設置於所述定位結構上。
4. 如申請專利範圍第3項所述的防塵式轉子元件，其中，所述定位結構具有一卡槽，且所述彈性密封環藉由所述卡槽固定於所述定位結構上。
5. 如申請專利範圍第1項所述的防塵式轉子元件，其中，所述蓋體具有一外側表面，所述定位結構具有一相對於所述外側表面的內側表面，且兩個所述氣壓平衡孔從所述外側表面延伸至所述內側表面。
6. 如申請專利範圍第1項所述的防塵式轉子元件，其中，所述蓋 體還具有兩個相對設置的配重孔。
7. 如申請專利範圍第1項所述的防塵式轉子元件，其中，所述定位結構具有一倒勾部，所述倒勾部與所述蓋體之間存在一間隙，且具有一面向所述連接室的邊界的導引面；其中，所述導引面為一斜面。
8. 一種渦輪分子幫浦，其包括：一外殼，具有一空腔體；一定子元件，設置於所述空腔體內，且包括多個呈間隔排列的定子葉片組；一防塵式轉子元件，設置於所述空腔體內，其中所述防塵式轉子元件包括：一轉子座，具有外露的一連接室；多個轉子葉片組，連接於所述轉子座，且與多個所述定子葉片組上下交替排列；以及一防塵蓋，用以密封所述連接室，其中所述防塵蓋包括一蓋體以及一定位結構，所述蓋體具有兩個相對設置且與所述連接室氣體連通的氣壓平衡孔，所述定位結構從所述蓋體的底部延伸進入所述連接室，且與所述連接室之間形成密封；其中，兩個所述氣壓平衡孔能分別被置入一柱狀體，且兩個所述柱狀體能被施加外力，以使所述防塵蓋相對於所述轉子座轉動；以及一高速轉軸，用以驅動所述防塵式轉子元件相對於所述定子元件轉動。
9. 如申請專利範圍第8項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述轉子 座的內部具有一隔板用以界定出所述連接室，且所述隔板上設有一連通所述連接室的連接通道；所述高速轉軸包括一軸體以及一從所述軸體延伸形成的延伸部，且所述延伸部的位置對應所述連接通道；所述防塵蓋還包括一連接結構，其設置於所述定位結構的內側，且所述連接結構與所述高速轉軸的所述延伸部固定在一起。
10. 如申請專利範圍第9項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述軸體具有一中央區域以及一環繞所述中央區域的周邊區域，所述延伸部是從所述中央區域延伸進入所述連接通道。
11. 如申請專利範圍第8項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述蓋體蓋合於所述連接室上。
12. 如申請專利範圍第11項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述防塵蓋還包括一彈性密封環，其設置於所述定位結構上。
13. 如申請專利範圍第12項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述定位結構具有一卡槽，且所述彈性密封環藉由所述卡槽固定於所述定位結構上。
14. 如申請專利範圍第8項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述蓋體具有一外側表面，所述定位結構具有一相對於所述外側表面的內側表面，且兩個所述氣壓平衡孔從所述外側表面延伸至所述內側表面。
15. 如申請專利範圍第8項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述蓋體還具有兩個相對設置的配重孔。
16. 如申請專利範圍第8項所述的渦輪分子幫浦，其中，所述定位結構具有一倒勾部，所述倒勾部與所述蓋體之間存在一間隙，且具有一面向所述連接室的邊界的導引面；其中，所述導引面為一斜面。

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