JP2021116814A - 分子真空ポンプ及び分子真空ポンプの排気速度に影響を及ぼす方法 - Google Patents
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- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
113 入口フランジ
115 ポンプ入口
117 ポンプ出口
119 ハウジング
121 下部
123 電子機器ハウジング
125 電気モータ
127 アクセサリポート
129 データインタフェース
131 電力供給ポート
133 通気入口
135 シールガスポート
137 モータスペース
139 冷却剤ポート
141 下面
143 ボルト
145 軸受カバー
147 固定孔
148 冷却剤ライン
149 ロータ
151 回転軸
153 ロータシャフト
155 ロータディスク
157 ステータディスク
159 スペーサリング
161 ロータハブ
163 ホルベックロータスリーブ
165 ホルベックロータスリーブ
167 ホルベックステータスリーブ
169 ホルベックステータスリーブ
171 ホルベックギャップ
173 ホルベックギャップ
175 ホルベックギャップ
179 接続チャネル
181 転がり軸受
183 永久磁石磁気軸受
185 スプレーナット
187 ディスク
189 インサート
191 ロータ側の軸受半体
193 ステータ側の軸受半体
195 リング磁石
197 リング磁石
199 軸受ギャップ
201 キャリヤ部分
203 キャリヤ部分
205 半径方向の補強材
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 皿ばね
215 非常用軸受又は安全軸受
217 モータステータ
219 中間スペース
221 壁部
223 ラビリンスシール
250 分子真空ポンプ
252 ターボポンプ段
254 ホルベックポンプ段
256 第1の入口
258 中間入口
260 差
262 ブロック要素
264 閉じた領域
266 通過性の領域
268 中央領域
270 通過性の領域
272 ターボステータブレード
274 貫通孔
280 漏れ検知器
282 分子真空ポンプ
284 検出装置
286 接続部
288 第1の入口
290 中間入口
292 中間入口
294 出口
296 ターボポンプ段
298 ホルベックポンプ段
300 予備真空ポンプ
302 弁
Claims (15)
- 分子真空ポンプ(250、280)の排気速度、特に内部の排気速度に影響を及ぼす方法において、分子真空ポンプ(250、280)は、少なくとも1つの分子ポンプ段(252、254、296、298)を有し、分子ポンプ段(252、254、296、298)によって、ガス状の媒体を、分子真空ポンプ(250、280)の入口(256、258、288、290)から出口へ向けて流路に沿って圧送可能であり、ポンプ段(252、254、296、298)は、ポンピング方向と、ポンピング方向に対して横向きに通過断面とを有し、
分子真空ポンプ(250、280)の流路における第1の位置で排気速度に、すなわち、分子真空ポンプ(250、280)の流路における第1の位置とは異なる第2の位置にブロック要素(262)を設けることによって影響を及ぼし、ブロック要素(262)によって、通過断面が局所的に減少されている、方法。 - 第2の位置が、第1の位置から離間していている、かつ/又は第2の位置が、第1の位置の下流側に配置されている、請求項1に記載の方法。
- 第1の位置で第1のガスの部分的な排気速度と第2のガスの部分的な排気速度との間の差及び/又は比が増大するように、特に内部の排気速度に第1の位置で影響を及ぼす、請求項1又は2に記載の方法。
- 第1のガスは、10g/mol以上、特に20g/mol以上のモル質量を有し、かつ/又は第2のガスは、10g/mol未満、特に5g/mol未満のモル質量を有し、かつ/又は第1のガスは、窒素及び/又は空気であり、かつ/又は第2のガスは、ヘリウム及び/又は水素である、請求項3に記載の方法。
- 第1の位置は、分子真空ポンプ(250)のハウジング内で、入口(258、256、288、290)に直接に接続された領域にかつ/又は入口(258、256、288、290)、特に中間入口の軸方向領域に配置されていて、かつ/又は第2の位置は、入口領域の外側に配置されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- ブロック要素(262)は、第2の位置における第1のガスの部分的な排気速度と第2のガスの部分的な排気速度とが少なくとも実質的に同一であるように構成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 分子真空ポンプ(250、282)、特にターボ分子真空ポンプにおいて、
少なくとも1つの分子ポンプ段(252、254、296、298)を備え、分子ポンプ段(252、254、296、298)によって、ガス状の媒体を、分子真空ポンプ(250、282)の入口(256、258、288、290)から出口(294)へ向けて流路に沿って圧送可能であり、
ポンプ段(252、254、296、298)は、ポンピング方向と、ポンピング方向に対して横向きに通過断面とを有し、
特に静的なブロック要素(262)が設けられていて、ブロック要素(262)によって、通過断面が局所的に減少されている、分子真空ポンプ(250、282)。 - 分子真空ポンプ(250、282)は、ポンプ段(252、296)内に又は2つのポンプ段(252、296)の間に配置された中間入口(258、290)を備える、請求項7に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- ブロック要素(262)は、ポンピング方向で入口(256、258、288、290)の後方に、特に中間入口の後方に配置されている、請求項7又は8に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- ブロック要素(262)は、入口領域の外側にかつ/又はポンプ段(252、254、296、298)の内側に配置されている、請求項7から9のいずれか1項に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- ブロック要素(262)は、ポンプロータの回転軸を基準に角度範囲(264)にわたって、特に180°より大きい、特に270°より大きい角度範囲にわたって閉じている、請求項7から10のいずれか1項に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- ブロック要素(262)は、ポンピング作用を及ぼす構造を有する、請求項7から11のいずれか1項に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- ポンピング作用を及ぼす構造は、所定数の、特に有効数のポンピング作用を及ぼす特徴(272)を有し、数は、最小で1及び/又は最大で10、特に最大で4である、請求項7から12のいずれか1項に記載の分子真空ポンプ(250、282)。
- 漏れ検知器において、
請求項7から13のいずれか1項に記載の分子真空ポンプ(282)と試験ガスを検出する検出装置(284)とを備え、
特に、分子真空ポンプ(282)は、第1の入口(288)と中間入口(290)とを有し、
第1の入口(288)は、検出装置(284)、例えば質量分析計に接続されていて、
中間入口(290)は、漏れが検査されるべき真空システムに接続されている又は接続可能であり、
ブロック要素(262)は、中間入口(290)の下流側に設けられていて、
少なくとも1つのポンピング作用を及ぼす要素が、ポンピング方向で、中間入口(290)とブロック要素(262)との間に設けられている、漏れ検知器。 - 真空システム内の漏れを調べるための請求項7から13のいずれか1項に記載の分子真空ポンプの使用。
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