JP2017061920A - 真空ポンプと永久磁石支承部 - Google Patents

Abstract

【課題】半径方向の強度に介して改善されている永久磁石支承部又は永久磁石支承部を有する真空ポンプを提供する。【解決手段】ローター１４９の回転可能な支承の為、少なくとも一つの永久磁石支承部１８３を有するターボ分子ポンプ１１１であって、永久磁石支承部１８３が、ステーター側の少なくとも一つのリングマグネット１９７と、ローター１４９に配置されたローター側のリングマグネット１９５を有し、内側のリングマグネット１９７と、外側のリングマグネット１９５とは同軸に配置されており、内側のリングマグネット１９７の外側と、これと向き合う外側のリングマグネット１９５の内側との間に、半径方向に推移する間隙幅を有する半径方向の間隙１９９が設けられている真空ポンプにおいて、外側のリングマグネット１９５及び／又は内側のリングマグネット１９７の軸方向に推移する高さが、間隙幅の３倍以上から５倍以下の領域にある。【選択図】図３

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、真空ポンプのローターの回転可能な支承の為に少なくとも一つの永久磁石支承部を有するものに関する。その際、永久磁石支承部は、ステーター側の少なくとも一つのリングマグネットと、ローターに配置されたローター側のリングマグネットを有する。その際、両方のリングマグネットの一方は、内側のリングマグネットであり、これは、他方の外側のリングマグネットの半径方向内側に、外側のリングマグネットと同軸に配置されている。その際、内側のリングマグネットの半径方向外側に向けられた外側と、これと向き合った、外側のリングマグネットの半径方向内側に向けられた内側の間には、半径方向に推移する間隙幅を有する半径方向の間隙が設けられている。

冒頭に記載した形式の真空ポンプが公知である。そのような真空ポンプにおいては、永久磁石支承部は、主として高真空側の支承部として使用される。その際、半径方向における真空ポンプのローターの支承の為に使用される。その際、永久磁石支承部のいわゆる半径方向強度は、真空ポンプ内におけるローターの確実な支承の為に本質的な量である。

ドイツ連邦共和国実用新案第１８８８８５４Ｕ号明細書 ドイツ連邦共和国特許出願公開第１０２０１３２１８２２０Ａ１号明細書 ドイツ連邦共和国特許出願公開第１０３５８３４１Ａ１号明細書

本発明は、半径方向の強度に介して改善されている永久磁石支承部又は永久磁石支承部を有する真空ポンプを提供することを課題とする。

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって、又は請求項６に記載の特徴を有する永久磁石支承部によって解決される。本発明の好ましい実施形と発展形は、従属請求項に記載されている。

課題は特に、冒頭に記載した形式の真空ポンプが、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの軸方向に推移する高さが、間隙幅の３倍以上から５倍以下の範囲にあることによって発展していることによって解決される。

支承部強度は、磁石支承間隙と、軸方向に測定される外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの間の比率に依存することが分かった。その際、特に、理想的に支承部強度は、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの軸方向の高さが、間隙幅の３倍以上から５倍以下の範囲にあるとき、達成されることが可能であることが確認された。

好ましくは、外側のリングマグネットの軸方向高さと内側のリングマグネットの軸方向高さは同じ大きさに形成される。

支承部強度を理想的とすることに関して、更に、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの半径方向に推移する幅が、各リングマグネットの高さの１．５倍以下であるとき有利である。リングマグネットの半径方向の幅は、よって好ましくはその高さの１．５倍以下である。

好ましくは、外側のリングマグネットの半径方向の幅が、内側のリングマグネットの半径方向の幅と同じである。

好ましくは、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの半径方向に推移する幅が、各リングマグネットの高さの１．２倍以上、好ましくは１．３倍以上である。外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの半径方向の幅は、よって、好ましくはその高さの１．２倍から１．５倍の間に位置する。これによって、真空ポンプ内においてローターの支承のために可能な限り最善の支承部強度を有する永久磁石支承部が達成されることが可能である。

本発明の好ましい発展形に従い、外側のリングマグネットの積層部と内側のリングマグネットの積層部が設けられており、そして外側のリングマグネットの積層部の各リングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの積層部の各リングマグネットが、間隙幅の３．５倍以上から５倍以下の軸方向で計測した軸方向高さを有する。よって、永久磁石支承部の全てのリングマグネットは、上述した領域にある軸方向高さを有することが可能である。

本発明の好ましい発展形に従い、外側のリングマグネットの積層部と内側のリングマグネットの積層部が設けられており、そして外側のリングマグネットの積層部の各リングマグネットと、内側のリングマグネットの積層部の各リングマグネットは、各積層部のリングマグネットの高さの１．２倍以上から１．５倍以下の範囲にある半径方向に推移する半径方向の幅をゆうする。

本発明の別の好ましい発展形に従い、外側のリングマグネットの積層部と内側のリングマグネットの積層部が設けられており、そして外側のリングマグネットの積層部の各リングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの積層部の各リングマグネットは、各積層部のリングマグネットの高さの１．５倍以下の半径方向に推移する半径方向の幅を有する。

本発明は、また、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローターの回転可能な支承の為の永久磁石支承部であって、真空ポンプのステーター内における配置の為に設けられたステーター側の少なくとも一つのリングマグネットと、真空ポンプのローターにおける配置の為に設けられたローター側のリングマグネットを有するものに関する。その際、両方のリングマグネットの一方は、内側のリングマグネットであり、これは、外側の他方のリングマグネットの半径方向内側に、他方のリングマグネットと同軸に、半径方向外側に向けられた内側のリングマグネットの外側と、これと向き合う、半径方向内側に向けられた外側のリングマグネットの内側の間に、半径方向に推移する間隙幅を有する半径方向の間隙が形成されるよう配置されている又は配置可能である。その際、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットは、間隙幅の３倍以上から５倍以下の範囲にある軸方向に推移する高さを有する。

外側のリングマグネット又は内側のリングマグネットのそのような寸法取りによって、特に、永久磁石支承部の使用の為に、ターボ分子ポンプ内において望まれているような、特に良好な支承部強度が達成されることが可能である。

本発明は、少なくとも一つの外側のリングマグネット及び内側のリングマグネットを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の永久磁石支承部の製造のための方法にも関する。これは、外側のリングマグネットの半径方向内側に、内側のリングマグネットの半径方向外側に向けられた外側と、これと向き合う、外側のリングマグネットの半径方向内側に向けられた内側の間に、半径方向に推移する間隙幅を有する半径方向の間隙が形成されるよう、外側のリングマグネットと同軸に配置されている、又は配置可能である。その際、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの軸方向に推移する高さは、間隙幅の３倍以上から５倍以下の範囲にあるように寸法どられている。

好ましくは、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの半径方向に推移する幅が、各リングマグネットの高さの１．５倍以下であるよう寸法どられる。その上、外側のリングマグネット及び／又は内側のリングマグネットの半径方向に推移する幅は、各リングマグネットの高さの１．２倍以上、好ましくは１．３倍以上であるよう寸法どられることが可能である。

発明に係る方法によって、特に良好な支承部強度を有し、ひいては特に良好に真空ポンプのローターの支承に適している永久磁石支承部が実現されることが可能である。

以下に本発明を、例示的に、添付の図面を参照しつつ好ましい実施形に基づいて説明する。

ターボ分子ポンプの斜視図 図１のターボ分子ポンプの下面図 図２の切断線Ａ−Ａに沿ったターボ分子ポンプの断面 図２の切断線Ｂ−Ｂに沿ったターボ分子ポンプの断面図 図２の切断線Ｃ−Ｃに沿ったターボ分子ポンプの断面図 発明に係る永久磁石支承部の一部の断面図

図１に示されるターボ分子ポンプ１１１はインレットフランジ１１３によって取り囲まれたポンプインレット１１５を有している。これに公知の方法で、図示されていないレシーバーが接続されることが可能である。レシーバーからのガスは、ポンプインレット１１５を介してレシーバーから吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送される。これには、予真空ポンプ（例えばロータリーポンプのようなもの）が接続されていることが可能である。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいて、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上側の端部を形成している。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、例えば真空ポンプ内に設けられた電動モーター１２５の駆動の為の、真空ポンプ１１の電気的及び／又は電子的なコンポーネントが組み込まれている。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーの為の複数のコネクター１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給コネクター１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に設けられている。

ターボ分子ンポンプ１１１のハウジング１１９には、特にベントバルブの形式のベントインレット１３３が設けられており、これを介して真空ポンプ１１１が逃出されることが可能である。下部分１２１の領域内には、更に、シールガスコネクター１３５（このシールガスコネクターは、フラッシュガスコネクターとも称される）が設けられている。これを介して、フラッシュガスが電動モーター１２５の保護の為、ポンプによって搬送されるガスの前にモーター室１３７（この中に真空ポンプ１１の電動モーター１２５が組み込まれている）内へと運ばれることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体コネクター１３９が設けられている。その際、当該冷却媒体コネクターの一方は、インレットとして、そして他方の冷却媒体コネクターはアウトレットとして冷却媒体の為に設けられている。この冷却媒体は、冷却目的のために真空ポンプ内に導かれることが可能である。

真空ポンプの下側１４１は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１は下側１４１の上に起立して運転されることが可能である。真空ポンプ１１は、しかしまた、インレットフランジ１１３を介してレシーバーに固定されることが可能であり、これによっていわば吊架されて運転されることが可能である。その上、真空ポンプ１１１は、図１に示されているのと異なる方式で形成されているとき、運転されることも可能であるよう形成されていることが可能である。下側１４１が下に向かってではなく、当該側と逆に、又は上に向かって向けられ配置されることが可能であるという真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。

図２に表されている下側１４１には、更にいくつかのねじ１４３も設けられている。これらによって、真空ポンプのここでは特定されない部材が互いに固定されている。例えば支承部カバー１４５が下側１４１に固定されている。

その上、下側１４１には、複数の固定孔部１４７が設けられている。これらを介してポンプ１１が例えば載置面に固定されることが可能である。

図２から５内には、冷却媒体導管１４８が表されている。この中では、冷却媒体コネクター１３９を介して導入及び導出される冷却媒体が循環されることが可能である。

図３から５の断面図が示すように、真空ポンプは、ポンプインレット１１５に及んでいるプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するための複数のプロセスガスポンプ段を有する。

ハウジング１１９内には、ローター１４９が設けられている。このローターは、回転軸１５１を中心として回転可能なローター軸１５３を有している。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ作用を奏する、互いに直接に接続された複数のターボ分子的ポンプ段を有する。これは、ローター軸１５３に固定された半径方向の複数のローターディス１５５と、そして、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９に固定された固定子ディスク１５７を有している。その際、ローターディスク１５５及び隣接するステーターディスク１５７は、各一つのターボ分子的ポンプ段を形成する。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

真空ポンプは、その上、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ効果を奏する、互いに直列に接続された複数のホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローターは、ローター軸１５３に配置されたローターハブ１６１とローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは、同様に回転軸１５１に同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。

ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、側面によって、つまりホルベックロータースリーブ１６３、１６５及び／又はホルベックステータースリーブ１６７，１６９の半径方向内側面及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ向き合っており、そしてこれと共にターボ分子ポンプに続く第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ向かい合っており、これと共に第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ向き合っており、そしてこれと第三のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータースリーブ１６３の下側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられている。これを介して半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が中央のホルベック間隙１７３と接続されている。その上、内側のホルベックステータースリーブ１６９の上側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられていることが可能である。これを介して中央のホルベック間隙１７３が半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続された複数のホルベックポンプ段が直列に互いに接続される。半径方向内側のホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。

上述したポンプ効果を発するホルベックステータースリーブ１６３，１６５の表面は、其々、スパイラル形状に回転軸１５１の周りを軸方向へと推移する複数のホルベック溝を有している。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５の向き合った側面は滑らかに形成されており、そしてガスを真空ポンプ１１の運転の為に、ホルベック溝内へと前進させる。

ローター軸１５３の回転可能な支承のために、ポンプアウトレット１１７の領域にローラー支承部１８１が、そしてポンプインレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。

ローラー支承部１８１の領域には、ローター軸１５３に、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有する円すい形のスプラッシュナット１８５が設けられている。スプラッシュナット１８５は、運転媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマーと滑らかに接触している。運転媒体貯蔵部は、互いに積重ねられた吸収性の複数のディスク１８７を有している。これらは、ローラー支承部１８１の為の運転媒体（例えば潤滑媒体）を染み込ませられている。

真空ポンプ１１の運転中、運転媒体は、毛細管作用によって運転媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして遠心力によってスプラッシュにアッと１８５に沿って、スプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。ローラー支承部１８１と運転媒体貯蔵部は、槽形状のインサート１８９と支承部カバー１４５によって真空ポンプ内にはめ込まれている。

永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３を有する。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５，１９７を有する。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承間隙１９９を形成しつつ向かい合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に配置されている。支承間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。これらは、ローター軸１５３の半径方向の支承を行う。ローター側のリングマグネット１９５は、ローター軸１５３の担持部分２０１によって担持されている。これはリングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側の担持部分２０３によって担持されており、これは、リングマグネット１９７を通って延在しており、そしてハウジング１１９の半径方向の支柱に懸架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５は、担持部分２０３と連結されたカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に、一方の方向では、担持部分２０３と接続された固定リング２０９及び担持部分２０３と接続された固定リング２１１によって固定されている。固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、更に、さらばね２１３が設けられていることが可能である。

マグネット支承部の内部には、緊急用又は安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプ１１１の通常の運転では、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して過剰に半径方向に変位した際に干渉し、ローター１４９の為の半径方向のストッパーを形成する。というのは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承部２１５はローラー支承部として形成されており、そしてローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。これは、安全用支承部２１５が通常のポンプ運転中に干渉しないからである。安全用支承部２１５が干渉する半径方向の変位は、安全用支承部２１５が真空ポンプの通常の運転中、干渉が発生しないよう十分大きく寸法どられており、そして同時に、ローター側の構造のステーター側の構造との衝突があらゆる状況で防止されるよう十分小さく寸法どられている。

真空ポンプ１１は、ローター１４９の回転駆動の為の電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。モーターステーター２１７を通って延在するローター軸１５３の部分には、半径方向外側に、又は埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。モーターステーター２１７と、モーターステーター２１７を通って延在するローター１４９の部分の間には、中間空間２１９が設けられている。この空間は、半径方向のモーター間隙を有する。これを介してモーターステーター２１７と永久磁石装置が駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響することが可能である。

モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５の為に設けられたモーター空間１３７の内部に固定されている。シールガスコネクター１３５を介してシールガス（これはフラッシュガスとも称され、そして空気又は窒素であることが可能である）がモーター室１３７に至る。シールガスを介して電動モーター１２５はプロセスガス、例えば腐食作用を有するプロセスガスの部分から保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７内は少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって引き起こされる真空圧となる。

ローターハブ１６１とモーター室を画成する壁部２２１の間には、その上、それ自体公知のいわゆるラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモーター室２１７のより良好なシールを達成するためである。

発明に係る永久磁石支承部１８３の図６内に断面で示された部分は、上述の説明に相応して、ローが−側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３を有する。ステーター側の支承半部１９３は、四つのリングマグネット１９７を有し、そしてローター側の支承半部１９１は同様に四つの支承半部１９５を有する。しかしまた他の数量のリングマグネット１９５，１９７が設けられていることも可能である。というのは、各四つのリングマグネットという上述した数量は例に過ぎないからである。

図６内に示されているように、ステーター側の支承半部１９３の互いに隣接するリングマグネット１９７は、交互の極性を有する。例えば、ステーター側の支承半部１９３の上側のリングマグネット１９７とこれに隣接する上から二番目のリングマグネット１９７を見ると、両方のリングマグネットのＳ極Ｓが互いに近接している。その上、上から二番目のリングマグネット１９７のと上から三番目のリングマグネット１９７のＮ極Ｎは、互いに近接している。更に、最も下のリングマグネット１９７と下から二番目のリングマグネット１９７のＳ極Ｓは互いに近接している。同様の事はローター側の支承半部１９１のリングマグネット１９５にも宛てはまる。

ローター側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３の間には、支承間隙１９９が設けられている。支承間隙１９９は、リング形状の間隙であり、これは、半径方向外側に向けられた、内側のリングマグネット１９７の外側と、これと向き合っている、外側のリングマグネット１９５の半径方向内側に向けられた内側から半径方向に推移している。「半径方向」は、回転軸１５１（図３参照）、又は理想的な場合回転軸１５１と一致する、リングマグネット１９５，１９７の軸方向の中央軸に関する。

半径方向の間隙１９９は、半径方向に推移する間隙幅ｄを有する。外側のリングマグネット１９５と内側のリングマグネット１９７は、その其々の軸方向（回転軸１５１または回転軸と一致するリングマグネットの軸方向の中央慈雨に関する）に推移する高さｈは、間隙幅ｄの３倍（含む）から５倍（含む）の間の領域にある。

その上、リングマグネット１９５、１９７は、半径方向に推移する幅ｂを有する。これは、リングマグネット１９５，１９７の高さの１．５倍以下である。好ましくは、外側のリングマグネット１９５と内側のリングマグネットの幅ｂは、高さｈの１．２倍以上である。

リングマグネット１９５は、外側のリングマグネット１９５の積層部を形成し、リングマグネット１９７は、内側のリングマグネット１９７の積層部を形成する。ここで各リングマグネットは同じ軸方向高さｈと同じ半径方向幅ｂを有する。

図６の永久磁石支承部の利点は、特に良好な支承強度を有することである。その結果、例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプのローターの回転可能な支承のために極めて良く適している。

１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モーター
１２７ アクセサリーコネクター
１２９ データインターフェース
１３１ 電源供給コネクター
１３３ 逃しインレット
１３５ シールガスコネクター
１３７ モーター室
１３９ 冷却媒体コネクター
１４１ 下側
１４３ ねじ
１４５ 支承部カバー
１４７ 固定孔部
１４８ 冷却媒体導管
１４９ ローター
１５１ 回転軸
１５３ ローター軸
１５５ ローターディスク
１５７ ステーターディスク
１５９ スペーサーリング
１６１ ローターハブ
１６３ ホルベックロータースリーブ
１６５ ホルベックロータースリーブ
１６７ ホルベックステータースリーブ
１６９ ホルベックステータースリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ ローラー支承部
１８３ 永久磁石支承部
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ローター側の支承部
１９３ ステーター側の支承部
１９５ リングマグネット
１９７ リングマグネット
１９９ 支承間隙
２０１ キャリア部分
２０３ キャリア部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ サポートリング
２１１ 固定リング
２１３ さらばね
２１５ 緊急用または安全用支承部
２１７ モーターステーター
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスハブ
ｄ 間隙幅
ｈ 軸方向の高さ
ｂ 半径方向の幅
Ｎ Ｎ極
Ｓ Ｓ極

Claims (13)

1. 真空ポンプのローター（１４９）の回転可能な支承の為、少なくとも一つの永久磁石支承部（１８３）を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、その際、永久磁石支承部（１８３）が、ステーター側の少なくとも一つのリングマグネット（１９７）と、ローター（１４９）に配置されたローター側のリングマグネット（１９５）を有し、
   その際、両方のリングマグネット（１９５，１９７）の一方が、内側のリングマグネット（１９７）であり、これが、他方の外側のリングマグネット（１９５）の半径方向内側に配置され、そして外側のリングマグネット（１９５）と同軸に配置されており、その際、半径方向外側に向けられた内側のリングマグネット（１９７）の外側と、これと向き合う、半径方向に内側に向けられた外側のリングマグネット（１９５）の内側の間に、半径方向に推移する間隙幅（ｄ）を有する半径方向の間隙（１９９）が設けられている真空ポンプにおいて、
   外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の軸方向に推移する高さ（ｈ）が、間隙幅（ｄ）の３倍以上から５倍以下の領域にあることを特徴とする真空ポンプ。
2. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さの１．５倍以下であることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．２倍以上、好ましくは１．３倍以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
4. 外側のリングマグネット（１９５）の積層部と内側のリングマグネット（１９７）の積層部が設けられていること、及び、外側のリングマグネットの積層部の各リングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネットの積層部の各リングマグネット（１９７）が、間隙幅（ｄ）の３倍以上から５倍以下の範囲にある軸方向高さ（ｈ）を有することを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
5. 外側のリングマグネット（１９５）の積層部と内側のリングマグネット（１９７）の積層部が設けられていること、及び外側のリングマグネット（１９５）の積層部の各リングマグネット及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の積層部の各リングマグネットが、各積層部のリングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．２倍以上から１．５倍以下の領域にある、半径方向に推移する幅（ｂ）を有することを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空ポンプ。
6. 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローター（１４９）の回転可能な支承のための永久磁石支承部であって、真空ポンプのステーターにおける配置の為に設けられたステーター側の少なくとも一つのリングマグネット（１９７）と、真空ポンプのローター（１４９）における配置の為に設けられたステーター側のリングマグネット（１９５）を有し、その際、両方のリングマグネットの一方が、内側のリングマグネット（１９７）であり、これが、他方の外側のリングマグネット（１９５）の半径方向内側に、外側のリングマグネット（１９５）と同軸に配置されており、又は配置可能であり、内側のリングマグネット（１９７）の半径方向外側に向けられた外側と、これと向き合った、外側のリングマグネット（１９５）の半径方向内側に向けられた内側の間に、半径方向に推移する間隙幅（ｄ）を有する半径方向の間隙（１９９）が形成される永久磁石支承部において、
   外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）が、軸方向に推移する高さ（ｈ）を有し、この高さが、間隙幅（ｄ）の３倍以上から５倍以下の範囲にあることを特徴とする永久磁石支承部。
7. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．５倍以下であることを特徴とする請求項６に記載の永久磁石支承部。
8. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．２倍以上、好ましくは１．３倍以上であることを特徴とする請求項６または７に記載の永久磁石支承部。
9. 外側のリングマグネット（１９５）の積層部及び内側のリングマグネット（１９７）の積層部を有すること、及び、外側のリングマグネット（１９５）の積層部の各リングマグネット、及び／又は、内側のリングマグネット（１９７）の積層部の各リングマグネットが、間隙幅（ｄ）の３倍以上から５倍以下の範囲にある軸方向の高さ（ｈ）を有することを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の永久磁石支承部。
10. 外側のリングマグネット（１９５）の積層部と内側のリングマグネット（１９７）の積層部を有すること、及び外側のリングマグネット（１９５）の積層部の各リングマグネット及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の積層部の各リングマグネットが、各積層部のリングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．２倍以上から１．５倍以下の範囲にある半径方向に推移する幅（ｂ）を有することを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の永久磁石支承部。
11. 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の永久磁石支承部（１８３）の製造のための方法であって、少なくとも一つの外側のリングマグネット（１９５）及び内側のリングマグネット（１９７）を有し、これが、外側のリングマグネット（１９５）の半径方向内側、及び外側のリングマグネット（１９５）と同軸に、内側のリングマグネット（１９７）の半径方向外側に向けられた外側と、これと向き合った、外側のリングマグネット（１９５）の半径方向内側に向けられた内側の間に、半径方向に推移する間隙幅（ｄ）を有する半径方向の間隙（１９９）が形成されるよう配置され、又は配置可能である方法において、
    外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の軸方向に推移する高さ（ｈ）が、間隙幅（ｄ）の３倍以上から５倍以下の範囲にあるよう寸法決めされていることを特徴とする方法。
12. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．５倍以下であるよう寸法決めされていることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
13. 外側のリングマグネット（１９５）及び／又は内側のリングマグネット（１９７）の半径方向に推移する幅（ｂ）が、各リングマグネット（１９５，１９７）の高さ（ｈ）の１．２倍以上、好ましくは１．３倍以上であることを特著とする請求項１１または１２に記載の方法。

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