JP6781784B2 - 真空装置 - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
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- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
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Description
図6および7の実施例においては、インターフェース229は、全体として四つの突起部235によって特別な配置で形成されている。これらによって、電子的な装置227の接続の後、全体として四つの特別な材料除去233が造られる。これは、同様に特有の導体路の中断にも通じる、つまり導体路237a、237b、237d、および237fの中断に通じる。これに対して導体路237c、および237eは中断を形成しない。これは、評価ユニット239によって検出されることが可能であり、そして引き続いて相応する装置操作設定の確定を可能とする。
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モーター
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モーター室
139 冷却媒体接続部
141 下側面
143 ねじ
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ローター
151 ローター軸
153 ローターシャフト
155 ローターディスク
157 ステーターディスク
159 スペーサーリング
161 ローターハブ
163 ホルベックロータースリーブ
165 ホルベックロータースリーブ
167 ホルベックステータースリーブ
169 ホルベックステータースリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラー支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ローター側の支承半部
193 ステーター側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承部間隙
201 担持部分
203 担持部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 さらばね
215 緊急用または安全用支承部
217 モーターステーター
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
225 装置コンポーネント
227 電子的な装置
229 インターフェース
231 破断設定箇所
233 材料除去
235 突起部
237 導体路
239 評価ユニット
241 除去装置
Claims (14)
- 真空装置(111)、即ち真空ポンプ、真空測定装置、リーク検出装置、及び/又は真空チャンバー装置であって、少なくとも一つの装置コンポーネント(225)、即ち真空装置のハウジング又は部分を有し、および、装置制御のため、及び/又は装置調整のための一つの電子的な装置(227)を有し、その際、電子的な装置(227)が、装置コンポーネント(225)のインターフェース(229)に接続されており、そしてインターフェース(229)への接続によって、真空装置の操作パラメーターを定義するための装置操作設定の確定のための電子的な装置(227)の状態変更が発生させられているものにおいて、電子的な装置(227)の状態変更が、インターフェース(229)への接続によって不可逆的に発生させられていることを特徴とする真空装置(111)。
- 電子的な装置(227)の取り外しによって、電子的な装置(227)の再使用を防止するための無効設定の確定ための更なる状態変更を電子的な装置において発生させるためにインターフェース(229)が形成されており、及び/又は、インターフェース(229)からの取り外しによって、及び/又は他の装置コンポーネントのインターフェースへの接続によって、電子的な装置(227)の再使用を防止するための無効設定の確定のための更なる状態変更を受けるよう電子的な装置(227)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空装置(111)。
- インターフェース(229)が、電子的な装置(227)の装置特有の状態変更を発生させるために形成されており、その際、装置特有の状態変更によって装置特有の装置操作設定が確定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空装置(111)。
- 状態変更が、電子的な装置(227)の二つの別々の状態の間の移行によって段階的に発生されられている、又は状態変更が、二つの状態の間の無段階の移行によって無段階に発生させられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- インターフェース(229)への接続によって、複数の状態変更が、即ち複数の並列に、又は直列に発生させられる状態変更が発生させられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- インターフェース(229)が、電子的な装置(227)の機械的、電気的、磁気的、及び/又は光学的状態変更の発生のために形成されており、及び/又は、電子的な装置が、インターフェース(229)への接続によって、機械的、電気的、磁気的、及び/又は光学的状態変更を受けるよう形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- インターフェース(229)が、電子的な装置の状態変更のための機械的な造形を有しており、その際、機械的な造形が、少なくとも一つの突起部(235)によって、及び/又は少なくとも一つの切り欠き部によって形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- 電子的な装置(227)の状態変更が、電子的な装置(227)の配線基板における導体路(237)の中断によって形成されており、及び/又は、電子的な装置(227)の状態変更が、少なくとも電気的な伝導性の変更によって、及び/又は少なくとも色の変更によって形成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- 電子的な装置(227)の状態変更が、評価ユニット(239)によって、電子的、光学的、磁気的、及び/又は機械的に検出可能であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空装置(111)。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の真空装置(111)のための装置コンポーネント(225)であって、装置制御のため、及び/又は装置調整のための電子的な装置(227)の接続のためのインターフェース(229)を有し、その際、電子的な装置(227)の接続によって、電子的な装置(227)において、装置操作設定の確定のための状態変更を発生させるようインターフェース(229)が形成されていることを特徴とする装置コンポーネント(225)。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の真空装置(111)のための電子的な装置であって、装置コンポーネント(225)のインターフェース(229)に接続するための少なくとも一つの接続部分を有し、および装置操作設定の確定のための少なくとも一つの設定装置を有し、その際、装置コンポーネント(225)のインターフェース(229)に接続部分を接続することによって、装置操作設定の確定のための状態変更を受けるよう、設定装置が形成されていることを特徴とする電子的な装置。
- 電気的な装置(111)、即ち真空ポンプ、真空チャンバー、又はリーク検出装置であって、少なくとも一つの装置コンポーネント(225)、即ち電気的な装置のハウジング又は部分を有し、および、装置制御のため、及び/又は装置調整のための電子的な装置(227)を有し、その際、電子的な装置(227)が、装置コンポーネントのインターフェース(229)に接続されており、その際、インターフェース(229)への接続によって、電気的な装置の操作パラメーターを定義するための装置操作設定の確定のための電子的な装置(227)の状態変更が発生させられており、そして電子的な装置(227)の状態変更が、電子的な装置(227)の配線基板における導体路(237)の中断によって形成されていることを特徴とする電気的な装置(111)。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の真空装置(111)の組み立て、及び/又は始動のための方法であって、当該方法において、
少なくとも一つの装置コンポーネント(225)が提供され、
装置制御のため、及び/又は装置調整のための少なくとも一つの電子的な装置(227)が提供され、
電子的な装置(227)が、装置コンポーネント(225)のインターフェース(229)に接続され、そして、
インターフェース(229)への接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置(227)の状態変更が発生させられることを特徴とする方法。 - 請求項12に記載の電気的な装置(111)の組み立て、及び/又は始動のための方法において、
少なくとも一つの装置コンポーネント(225)が提供され、
装置制御のため、及び/又は装置調整のための少なくとも一つの電子的な装置(227)が提供され、
電子的な装置(227)が、装置コンポーネント(225)のインターフェース(229)に接続され、そしてインターフェース(229)への接続によって、装置操作設定の確定のための、電子的な装置(227)の配線基板における導体路(237)の中断の形式の電子的な装置(227)の状態変更が発生させられることを特徴とする方法。
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