JP6479127B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
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- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2250/00—Geometry
- F05D2250/50—Inlet or outlet
- F05D2250/51—Inlet
Description
13 主インレット
15 副インレット
15a 副インレット
15b 副インレット
17 ポンプ段
19 ローター
21 回転軸
23 上側のハウジング部分
25 下側のハウジング部分
27 アウトレット
31 真空システム
33 真空ポンプ
35 レシーバー
37 チャンバー
39 チャンバー
41 シール
43 シール
111 ターボ分子ポンプ
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モーター
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フラッドインレット(独語:Fluteinlass)
135 シールガス接続部
137 モーター室
139 冷却媒体接続部
141 下側面
143 ネジ
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ローター
151 回転軸
153 ローター軸
155 ローターディスク
157 ステーターディスク
159 スペーサーリング
161 ローター刃部
163 ホルベックロータースリーブ
165 ホルベックロータースリーブ
167 ホルベックステータースリーブ
169 ホルベックステータースリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラー支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ローター側の支承半部
193 ローター側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承間隙
201 キャリア部分
203 キャリア部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 さらばね
215 緊急用又は安全用支承部
217 モーターステーター
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
U 周囲方向
E1 平面
E2 平面
M1 中心
M2 中心
M3 中心
Claims (10)
- 真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、
少なくとも一つのレシーバー(35)を接続するための、互いに別々の少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)を有するハウジング(11,119,121)を有し、
流体、特に少なくとも一つのレシーバー(35)から吸引される流体を、ハウジング(11,119,121)に設けられる真空ポンプのアウトレット(27,117)の方向に搬送するための、ハウジング(11,119,121)内に設けられた少なくとも一つのポンプ段(17)を有し、
その際、ポンプ段(17)が、ステーターに対して、回転軸(21,151)を中心として回転可能な少なくとも一つのローター(19,149)を有し、その際、ステーターとローター(19,149)は、これらが回転するローター(19,149)においてポンプ作用を奏するよう設けられており、このポンプ作用によって流体がアウトレット(27,117)の方向へ搬送される真空ポンプにおいて、
少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)が、ローター(19,149)の周囲方向(U)で見て互いにオフセットされてハウジング(11,119,121)に設けられており、そして、回転軸(21,151)に対して垂直に延びる少なくとも一つの平面(E1)が、少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)を通って延びており、その際、平面(E1)がアウトレット(27,117)を通って延びていることを特徴とする真空ポンプ。 - 主インレット(13,115)が、少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)に対して追加的にハウジング(11,119,121)に設けられており、特に、ハウジング(11,119,121)の軸方向の端部に設けられており、その際、平面(E1)が、主インレット(13,115)を通らず延びていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 各インレット(15,15a,15b)が、中心(M1,M2)を有する、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、平面(E1)が、インレット(15,15a,15b)の中心(M1,M2)を通って延びることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 各インレット(15,15a,15b)は、中心(M1,M2)を有する、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、平面(E1)が、少なくとも一つのインレット(15,15a,15b)の中心(M1,M2)を通らず延びていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 各インレット(15,15a,15b)が、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、各インレット開口部(15,15a,15b)が、所定の面積を有し、そしてその際、インレット開口部の当該面積の少なくとも25%、好ましくは30%、更に好ましくは40%、もっと更に好ましくは50%が、軸方向で見て、同じ軸方向高さに位置していることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- インレット(15,15a,15b)は、インレット(15,15a,15b)において異なる圧力レベルが発生可能である、又は少なくとも近似的に同じ圧力レベルが発生可能であるようポンプ段(17)と接続されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプが、少なくとも一つのホルベックポンプ段(163,165,167,169)を有し、その際、少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)がホルベックポンプ段(163,165,167,169)内へと開口していることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプが、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段(155,157)を有し、その際、少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)がターボ分子ポンプ段(155,157)内に開口していることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- レシーバー(35)が、少なくとも二つのアウトレットを有し、これらが、真空ポンプ(33)の少なくとも二つのインレット(15,15a,15b)への接続の為に形成され、そしてレシーバー(35)のハウジングに設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空ポンプへの接続の為のレシーバー(35)。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の少なくとも一つの真空ポンプ(33)と、真空ポンプ(33)に接続される請求項9に記載される少なくとも一つのレシーバー(35)を有する真空システム(31)であって、その際、レシーバー(35)のアウトレットと、真空ポンプ(33)のインレット(13,15,15a,15b)の間の真空接続部のシールの為に、真空シール(41,43)、特にОリングシールが設けられており、これらが好ましくは異なる厚さを有することを特徴とする真空システム(31)。
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