JP7111754B2 - 真空装置及び真空システム - Google Patents

Description

本発明は、真空装置、特にターボ分子ポンプであって、貫通部、つまりインレット、又はアウトレットを有し、そして真空装置の貫通部を、別の真空装置と、接続軸線にそって真空方向において真空密に接続するためのフランジを有し、その際、フランジが、接続軸線を中心として周回して延びるシール領域（シール要素の当接のためのシール領域）を有し、その際、真空装置が、シール領域の半径方向内側で、真空方向において、接続軸線に関して軸方向の端部を有するものに関する。

本発明は、更に、真空装置、特にターボ分子ポンプであって、真空装置を、別の真空装置のフランジと真空密に接続するためのフランジを有し、その際、フランジが、フランジの周囲にわたって分配して配置された複数の固定点を有し、特にこれら固定点が、割り当てられる各固定点のための貫通孔を有していて、固定要素においてフランジが別のフランジに固定可能であり、その際、フランジに、接続軸線に関して周回するシール領域が、フランジの間に配置されるべきシール要素の当接の為に設けられていて、その際、シール領域が、接続軸線に関して固定要素の変形方向内側に配置されている。

本発明は、真空装置及びシール要素と、特に別の真空装置、及び／又は別の固定要素を有するシステムにも関する。

ハイブリッド支承されたターボ分子ポンプは、ここでは例示的に、冒頭に記載した形式の真空ポンプのためのものとみられるが、両方のローター端部に、異なる二つの支承原理を有している。予真空側（そこではより高い圧力となっている）は、オイル潤滑された、又はグリース潤滑されたボール軸受が使用される。これと反対に高真空側（そこではあらゆる炭化水素がさけられるべきである）では、永久磁石軸受が使用される。この永久磁石軸受のステーター部材は、いかようにかしてポンプハウジングと接続される必要がある。その課題を果たすことができるようにある。もっとも一般的な構造においては、ステーター部材は、いわゆるスター、つまりインレット内におけるキャリアによってポンプのハウジングと接続される。真空ポンプとのターボポンプの高真空フランジの接続の為には、規格化されたフランジ接続が好まれる。いくつかの方法では、両方のフランジの間のシールの為にＯリングが配置される。より良好な取り扱いのため、及びＯリングの支持の為に、多くの場合、これは、二つのアルミニウムリングの間に存在する。これらのうち一方は、センタリング機能も担う。Ｏリングとアルミニウムリングのこのような組み合わせは、一般的な真空技術用語で「センタリング環」と称される。追加的に、両方のアルミニウムリングの内側に、更にグリッド形状のパッド（独語：Ｅｉｎｌａｇｅ）、例えば保護グリッド、及び／又はスプリッター保護部が配置されていることが可能である。これは、ターボ分子ポンプ内への対象物の侵入を防止する。これらは、スターの上に配置されている。センタリング環、場合によっては保護グリッド、又はスプリッター保護部を有するセンタリング環は、一般的に入手可能な部材であり、特に、フランジの規格化によってさまざまな真空コンポーネントメーカーによって提供されることが可能である。

ＵＳ２０１５／０６０６９１Ａ１

本発明の課題は、二つの真空装置の間のフランジ接続を改善することである。

一つの観点に従い、この課題は、真空装置とシール要素を備える真空システムによって解決される。そして特に、フランジのシール領域が、真空装置の軸方向の端部に関して接続方向と反対に、軸方向にオフセットされているか、又は、フランジのシール領域が真空装置の軸方向の端部と同じ軸方向位置に配置されているか、又は、フランジのシール領域が、真空装置の軸方向端部に関して、接続方向において軸方向に最高２ｍｍ、特に最高１．５ｍｍ、特に最高１ｍｍ、又は最高３ｍｍ、又は最高４ｍｍ突き出していることによって解決される。

これによって、真空装置の軸方向の構造長が減ぜられる。しかし、同時に、市販の標準化された部材は、フランジと接続する為に、引き続き使用することができる。特にセンタリング環、固定要素、及び／又は基準に準拠した別のフランジ等がそうである。本発明は、シール領域が突き出していても、真空装置の軸方向の構造長を減少させる。しかし、所定の標準化されたシール要素、特に所定の軸方向寸法を有する標準化されたセンタリング環に関して、シール領域は、本発明に基づき、真空装置の軸方向の端部に対して、先行技術よりもあまり突き出していない必要がある。

標準化されたフランジ接続部は、ほぼ固定された軸方向の構造長を有する。本発明によれば、シール領域が真空装置の軸方向の端部に対して逆にオフセットされているか、又はフランジのシール領域が真空装置の軸方向の端部と同じ軸方向の位置に配置されているか、又はフランジのシール領域が真空装置の軸方向の端部に対して接続方向において軸方向で最高２ｍｍ、又は最高３ｍｍ、又は最高４ｍｍ突き出している。これによって、特にフランジ接続は、軸方向において貫通部から離れていて、真空装置の軸方向中心に向かってずれていて、詳しく言うとハウジングの外側に沿っている。フランジ接続の為に必要である軸方向の構造長は、ハウジングの外側で少なくとも部分的にカバーされていて、それは真空装置の軸方向の長さ延長に寄与していない。換言すると、真空装置の軸方向の端部は、フランジ接続の方向において、又はフランジ接続内に変位する。よって、真空装置のキャリアと別のコンポーネントは、別の真空装置に軸方向においてより接近して配置されるので、結果として軸方向の設置スペースが節約され、その際、使用可能なスタンダードフランジ及びアクセサリ、つまりシール要素、及び固定要素との互換性をあきらめることは無い。

真空装置は、例えば真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであることが可能である。貫通部は、特に真空装置のインレットであることが可能である。一般的に、本出願の意味において真空装置は、例えば、ターボ分子ポンプにおいてそうであるようなアクティブな装置として形成されていることが可能であるのみならず、例えばパッシブな真空装置として形成されていることも可能である。パッシブな真空装置は、例えばチューブ（独語：Ｒｏｈｒ）、真空チャンバー、又はバルブであることが可能である。

真空装置の軸方向の端部は、例えば、貫通部内に配置される部材によって定義されている。これは例えば、真空装置の機能要素のためのキャリアであることが可能である。キャリアによって保持される機能要素は、例えば軸受要素、特に磁石軸受のコンポーネント、特にステーター部材、及び／又は内部リングであることが可能である。

真空装置の軸方向の端部は、貫通部を定義する構造部材によって定義されているいることも可能である。これは例えば、真空装置のハウジング、及び／又はフランジと一体に形成される領域である。

貫通部内に配置される構造部材の軸方向の端部と、貫通部を定義する構造部材の軸方向の端部は、軸方向において一致しているので、両者は、真空装置の軸方向の端部を形成する。

一般的に、構造部材の概念は、必ずしも他の構造部材と別の部材に関しない。よって例えば、貫通部はハウジングによって定義されていることが可能である。このハウジングは一体に接続されるフランジも含んでいる。例えば貫通部内に配置されている構造部材は、貫通部を定義する構造部材、特にハウジングから独立して、又はこれと一体に接続されていることが可能である。よって例えば、構造部材、特に機能要素のためのキャリアは、貫通部内に配置されていることが可能であり、そしてハウジングと一体に接続されていることが可能であり、又はこれから独立して形成されていることが可能である。

一つの実施形に従い、例えばキャリアのような貫通部内に配置される構造部材は、貫通部を定義する構造部材、特にハウジングの内側に固定されていることが可能であり、そして例えば、構造部材のショルダー部によって軸方向において保持されていることが可能である。

発明に従い、シール領域は真空装置の軸方向の端部に対して逆にオフセットされていて、同じ軸方向位置に配置されているか、又は最高２ｍｍ、又は最高３ｍｍ、又は最高４ｍｍ突き出していて、その際、真空装置の軸方向の端部は、シール領域の半径方向内部において定義されている。真空装置は、半径方向でシール領域、又はフランジ接続を越えて基本的に任意に形成されていることが可能であり、そして例えばシール領域を超えて、軸方向においてこの上に突き出していることが可能である。しかし、フランジ接続内への、若しくはフランジ接続の方向における半径方向内側の軸方向の端部の変位、又はこの軸方向端部に対するフランジ接続の逆のオフセット（Ｚｕｒｕｅｃｋｖｅｒｓｅｔｚｅｎ）は、軸方向の設置スペースの有利な節約を生じる。よって特に、軸方向の端部に関する限り、他に記載がなければ、シール領域の軸方向内側のそれが意図されている。

シール領域は、平らなリング面として形成されている。これは、特に接続軸線、及び／又は接続方向に対して垂直に延びている。基本的に、シール領域は、特にセンタリング環として形成されたシール要素のセンタリング領域のための、例えばセンタリング段によって半径方向において制限されていることが可能である。

接続方向は、真空装置から、接続されるべき別の真空装置に向かって、特に接続軸線に沿って延びる方向を意味する。シール領域は、好ましくは接続方向にそって逆にオフセットされていて、つまり別の真空装置から見て、好ましくは請求される（要求される、独語：ｂｅａｎｓｐｒｕｃｈｔｅｎ）真空装置の軸方向端部の軸方向後方に配置されている。

真空装置の軸方向の端部と、逆にオフセットされたシール領域の間の軸方向の間隔は、発展形に従い、少なくとも５ｍｍ、特に少なくとも１０ｍｍ、特に少なくとも１５ｍｍであることが可能である。フランジ接続は、これによって軸方向において特に大幅に逆にオフセットされ、そして軸方向の設置スペースの節約は相応して大きくなる。

少ない設置スペース節約ではあるが、より良好な互換性を有する代替的なバリエーションに従い、真空装置の軸方向の端部と、シール領域の間の軸方向の間隔は、最高３ｍｍ、特に最高２ｍｍである。

この出願の枠内において、フランジ接続の為のシール要素は、明確な参照の目的で真空装置の部材とみられない。特に、そのようなシール要素はしばしば真空装置とは別に販売されるからである。結果、多くの場合標準化された構造部材である。

同様に本発明は、シール要素に関する実施形を含む。よって一般的に、上述したバリエーションの一つに従う真空装置と、真空装置のシール領域内のシール要素を、又は真空装置のシール領域に当接する為のシール要素を含むシステムも請求される。以下においてシール要素に関する限り、基本的にシステムの実施形が意図されている。

特にシステムの枠内において、フランジのシール領域は、真空装置の軸方向の端部に関して接続方向において軸方向においても２ｍｍより多く突き出していて、つまりそのような態様も本発明の対象であり請求される。その際、シール要素は、接続方向に対して向けられた軸方向の端部を有する。これは、真空装置の軸方向端部と同じ軸方向位置であるか、又はこれに対して軸方向で逆にオフセットされている。これによって、本発明に係る設置スペースの獲得は、特により大きなシール要素においても有利に達成される。

一つの実施形に従い、シール要素と保護要素、特にグリッド要素が接続されている。これはインレットを構架している。シール領域は一般的に、インレットを構架する保護要素が接続されているシール要素が、シール領域に当接可能であるよう、軸方向において配置されていることが可能である。よって、保護要素を有する標準構造部材も使用されることが可能であるので、ポンプが異物の進入から確実に保護されることが可能であるということが保証される。それにも関わらず、他の実施形と比較して小さいときでも、設置スペースの軸方向の獲得が実現される。基本的に、設置スペースの縮小がわずか数ミリメートルのときでも、真空装置の取り扱いは著しく向上する。保護要素は、例えばグリッド要素、保護グリッド、及び／又はスプリッター保護部であることが可能である。

基本的に、保護要素は真空装置自体に設けられていることが可能であるので、シール領域の軸方向の逆のオフセットはより大きくなることが可能であり、そしてより多くの設置スペースが節約される。シール要素に保護要素が配置されていることが必要ないからである。

別の実施形においては、シール要素は、フランジ接続内に組み込まれた状態で、ある軸方向厚さを有する。その際、真空装置の軸方向の端部と、シール領域の間の軸方向の間隔は、シール要素の厚さの半分である。これは同様に標準構造部材との互換性を向上させる。

シール要素は、有利な例に従い、センタリング環によって形成されていることが可能である。基本的に、シール要素は、例えばエラストマーシール、及び／又はＯリングを有することが可能である。代替として、又は追加的に、例えば金属シールもシール要素として使用可能である。

真空装置の軸方向の端部は、好ましくは、シール領域の半径方向内側のみならず、シール要素の半径方向内側にも定義されている。

フランジは、好ましくは真空装置のハウジングに配置されていて、特にこれと一体に接続、例えば溶接されているか、又は共通の材料から製造される。ハウジングは、特に貫通部を定義する。

真空装置のハウジングの軸方向の端部は、好ましくは、その軸方向位置において、貫通部に配置された構造部材のそれに対応するか、又はこれに対して接続方向と反対に、軸方向に逆にオフセットされている。特に、軸方向において、軸方向のハウジング端部は、貫通部に配置される構造部材の軸方向端部と、シール領域の間に配置されていることが可能である。

第二の観点に従い、課題は、請求項１の真空装置とシール要素を備える真空システムによって解決される。特に、接続軸線に関して、シール領域の半径方向外側に軸方向の突出部がフランジに設けられている。これが、別のフランジに対する当接面を形成する。

突出部と、当接面は、フランジ接続の保護を行う。これによって、フランジ及びこれと接続される構造部材、特に、例えば上述した形式の、機能要素のためのキャリアの変形（接続を作る際の力の導入の結果の変形）が減ぜられる。これは、接続領域のトレランスがより管理しやすくなることに通じる。それは、一方では、フランジ接続の真空シール性を、そして他方では機能要素の寿命を改善することができる。基本的に装置は、シール要素、特にセンタリング環に対して追加的に、そしてこれと独立して設けられているので、装置によってシール要素における少なくとも一つのフランジの傾斜しての変形が防止される。

例示的な真空装置、特にターボ分子ポンプにおいては、ＩＳＯ－Ｆタイプのフランジ接続（特にＩＳＯ１６０９、又はＤＩＮ２８４０４に従うもの）が設けられている。その際、フランジはセンタリング環によって別のフランジに固定されるべきである。別のフランジは、一般的にカウンターフランジと称することもある。例えば固定スクリューのような固定要素を締め付ける場合には、フランジとカウンターフランジが変形する可能性がある。センタリング環は、その際、レバーの支点である。これは、例えば永久磁石軸受のような機能要素がキャリア、又はスターを介して、変位することがある。もはや最適でないローターの支承箇所の位置決めによって、ボール軸受の摩耗が進み、ポンプのノイズ発生は高められる。

本発明が基礎とする解決アプローチは、フランジの変形を最小とし、特に防止する。先の段落に記載したターボ分子ポンプにおいては、よって特に、ポンプのローターの、その支承箇所におけるより正確なシートが保証されることが可能である。この為、フランジとカウンターフランジは、固定点、又は力導入点の外側、特にシール領域の外側、及び／又はセンタリング環のシートの外側で、突出部の当接面により、好ましくは、センタリング環の軸方向厚さだけ、特に、センタリング環内に存在するＯリングの負荷されていない厚さよりも薄くだけ支持される。フランジは、よっていわば突出部によってカウンターフランジの方向に延長される。よって、特に、センタリング環の変形不可能な要素は、フランジによって定義される貫通部、特にインレットにおける逆にオフセットされた空所部内に位置している。空所部は、例えば簡単に回転させられていることが可能である。

つまり本発明は、フランジがその当接面でカウンターフランジに直接当接する、又は、少なくともカウンターフランジを支持する構造部材に当接することを意図している。よってフランジ、及びこれと接続されるコンポーネントの変形が減ぜられ、特に防止される。これは特に、少なくとも一つの固定要素の力、特に固定スクリューの締め付けトルクと無関係である。当接面は、特に固定点とシール要素、特にセンタリング環の間のレバーのためのカウンター軸受を形成する。好ましくはセンタリング環内に存在するＯリングは、シール領域、又は突出部に関して、特に当接面の軸方向の高さよりも厚い。よって、接続はそれにもかかわらず確実にシールされる。

一つの実施形に従い、当接面、及び／又は突出部が固定点の半径方向外側に設けられていることが意図されている。必ずしもそうでなくても良いが、オプションとしてそこのみに設けられている。これによってカウンターフランジの支持がさらに改善される。よって、固定要素とシール要素の間のレバーは特に確実に支持される。

例えば、突出部は、接続軸線を中心として周回するように形成されていることが可能であり、又は、特に周囲にわたって分配して配置された複数の突出部によって形成されていることが可能である。基本的に突出部は、例えばウェブとして形成されていることが可能である。

基本的に、突出部、又は当接面は、シール領域、又は固定点の半径方向外側のみならず配置されていることが可能である。例えば、固定点の半径方向内側にも当接面、及び／又は突出部が設けられていることが可能であり、又は当接面、及び／又は突出部は、固定点の半径方向外側から半径方向内側に向かって延びていることも可能である。

更に、当接面、及び／又は突出部は、固定要素、特にスクリューシャフトの領域に放射状に存在していて、及び／又はこれの半径方向外側、及び／又は内側に配置されていることも可能である。基本的には、各固定要素の軸と接続平面（接続軸線に対して垂直に延びる接続平面）の交差点によって定義されている点が固定点とみられる。その際、当該点、又は平面の軸方向の位置は重要でない。簡単には、固定要素の軸の半径方向外側、又は内側で議論することも可能である。つまり軸、及び／又はスクリューシャフトは、基本的には突出部、又は当接面から半径方向においてフリーであってもなくても良い。例えば、フランジ内の貫通開口部の固定点、又は固定軸、及び／又は割り当てられる固定要素が定義されていることが可能である。

当接面が、フランジの半径方向外縁部まで延び、特に半径方向外縁部のみに配置され、及び／又は、シール領域、及び／又は固定点、又は固定要素、特にこれの固定軸、又はスクリューシャフトと半径方向において間隔をあけていると、基本的には有利である。

当接面、及び／又は突出部は、例えばフランジと一体に接続されていることが可能であり、又はこれと独立した構造部材によって形成されていることが可能である。例えば、突出部、又はウェブは独立したリングとして形成されていることが可能である。独立した装置は、顧客によって柔軟に取り外されることが可能である。例えば、顧客がセンタリング環を省略したいと思ったときそうである。例えばカウンターフランジは、シール要素の収容のための溝を有するからである。

例えば、シール領域に関する当接面は、特に接続方向において、軸方向に突き出して配置されていることが可能である。その際、当接面は有利には、軸方向においてシール領域と、接続すべき真空装置の間に配置されている。

発展形では、装置とシール領域の間の軸方向の間隔は、少なくとも３．７ｍｍ、かつ最高４．１ｍｍ、特に３．９ｍｍ、又は少なくとも５．４ｍｍ、かつ最高５．８ｍｍ、特に５．６ｍｍである。これによって、特に良好な支持と、特に少ないフランジ変形が、同時に良好なシール性のもと図られる。

一つの発展形に従い、突出部が、接続軸線に対して、基本的に周回するよう形成されていて、その際、突出部内に一つの開口部が、又は当接面内に溝が設けられていて、突出部又は当接面の半径方向内側の端部から、突出部又は当接面の半径方向外側の端部へと延びていることが意図されている。これによってリーク探査が著しく簡単となる。フランジとカウンターフランジが、周回して直接当接しているとき、リーク探査ガスは、もはやそう簡単には、シール領域やシール要素に直接至ることができない。開口部、又は溝は、リーク探査ガスがシール領域に容易にアクセスすることを可能とする。

更なる観点では、一般的に、上述したバリエーションの少なくとも一つに従う真空装置と、真空装置のシール領域内のシール要素又は真空装置のシール領域に当接する為のシール要素を含むシステムが請求される。一つの実施形は、当接面とシール領域の間の軸方向の間隔は、フランジ接続内の組み込み状態におけるシール要素の軸方向の厚さ、又は高さに相当することが意図されている。これによって、フランジ及び接続される構造部材の特に少ない変形が達成される。一般的に、軸方向の高さは、特にセンタリング環として形成されたシール要素の固定された部材の軸方向の高さに相当する。基本的に、軸方向の間隔は、金属シールの軸方向の高さにも相当することが可能である。

フランジは、例えば真空装置のハウジングを設けられていることが可能である。その際、好ましくは、フランジはハウジングと一体に形成されている。ここで、発明に係るメリットは著しく発展する。

好ましくは、フランジは、真空装置、特に真空ポンプのインレットフランジであることが可能である。ここで特に、アウトレットと比較して低い圧力のため、改善された真空性はポジティブに作用する。

つまりシール要素は、特にセンタリング環によって形成されていることが可能である。その際、特に、センタリング環は、変形可能なシール機構、好ましくはＯリングと、シール機構のための少なくとも基本的に堅固なホルダーを有している。代替として、シール要素は、例えば金属シールとして形成されていることが可能である。例えば、シール要素は、標準構造部材であることが可能である。

発明に係るメリットは、シンク装置が軸受要素、特に磁石軸受を有するターボ分子ポンプとして形成されているとき、特に明白である。その際、軸受要素のコンポーネントのためのキャリアは、フランジ、及び／又はターボ分子ポンプのハウジングと接続されている。発明にしたがうフランジ変形の減少は、特に改善されたポンプの寿命に作用する。ローター位置決めが極めて正確に保持されることが可能だからである。

本発明の上述した観点は、互いに有利に組み合わせられることも可能である。更に、両方の観点に対して説明された実施形と個々の特徴は、可能である限り、各他の観点の発展の為にも援用されることが可能である。

本発明の課題は、請求項８に記載の真空システムによっても解決され、又は、上述した観点の少なくとも一つに従う真空装置であって、好ましくはこの為に記載された実施形に従う真空装置でありフランジを有するものと、真空装置のシール領域における、又は真空装置のシール領域における当接のためのシール要素を有する真空システムによって解決される。真空装置として、ここでもまた、例えばアクティブ式、及びパッシブ式の真空装置が使用されることが可能である。

システムは、更に、別のフランジ、又はカウンターフランジを有し、接続すべき、又は接続される別の真空装置を有していることが可能である。システムは、更に、真空装置のフランジを、別の真空装置の別のフランジにおいて固定するための少なくとも一つの固定要素、特に、複数の固定要素のセットを有している。シール要素は、特に、フランジの対向する各シール領域の間に、特に圧縮して配置されるよう形成されていることが可能であり、又はそのように配置されていることが可能である。

以下に本発明を、有利な実施形に基づき添付の図面を参照しつつ説明する。図は以下を簡略的に示している。

ターボ分子ポンプの斜視図 図１のターボ分子ポンプの下側の図 図２に示された線Ａ－Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された切断線Ｂ－Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｃ－Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図 本発明の第一の観点の説明のための部分断面図であって、インレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第一の観点の説明のための部分断面図であって、インレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第一の観点の説明のための部分断面図であって、インレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第一の観点の説明のための部分断面図であって、インレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第二の観点の説明のためのインレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第二の観点の説明のためのインレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第二の観点の説明のためのインレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第二の観点の説明のためのインレットフランジを有するターボ分子の図 本発明の第二の観点の説明のためのインレットフランジを有するターボ分子の図

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていない真空容器が接続されることが可能である。真空容器からのガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプ）が接続されていることが可能である。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電子的、及び／又は電気的コンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３には設けられている。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フローインレット１３３が、特にフローバルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は溢出を受けることが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（洗浄ガス接続部とも称される）が設けられている。これを介して、洗浄ガスが、電動モーター１５（図３参照）をポンプによって搬送されるガスに対して保護するため、モーター室１３７内に取り込まれることが可能である。モーター室内には、真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が収容されることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。

真空ポンプの下側面１４１は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して作動させられることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動させられることが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動させられることが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下に向かってではなく、当該面に向けられて、又は上に向けられて配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。

図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のスクリュー１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの構造部材が互いに固定されている。例えば、軸受カバー１４５が下側面１４１に固定されている。

下側面１４１には、更に、固定穴１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。

図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環していることが可能である。

図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。

ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。このローターは、回転軸線１５１を中心として回転可能なローターシャフト１５３を有している。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローターシャフト１５３に固定された複数の半径方向のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステーターディスク１５７を有している。その際、一つのローターディスク１５５とこれに隣接する一つのステーターディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローターは、ローターシャフト１５３に設けられるローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸線１５１と同軸に向けられていて、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸線１５１に対して同軸に向けられていて、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。

ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っていて、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っていて、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っていて、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータースリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、ホルベックステータースリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続される複数のホルベックポンプ段が互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。

ホルベックステータースリーブ１６３、１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸線１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されていて、そして真空ポンプ１１１の作動のためのガスをホルベック溝内へと駆り立てる。

ローターシャフト１５３の回転可能な支承のため、ポンプインレット１１７の領域に転がり軸受１８１、及びポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石軸受１８３が設けられている。

転がり軸受１８１の領域には、ローターシャフト１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、転がり軸受１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクは、転がり軸受１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤を染み込ませてある。

真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の大きくなる外直径の方向へと、転がり軸受１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。転がり軸受１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、軸受カバー１４５に囲まれている。

永久磁石軸受１８３は、ローター側の軸受半部１９１と、ステーター側の軸受半部１９３を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５、１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の軸受間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っていて、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に設けられている。軸受間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間の磁気的反発力を引き起こす。これは、ローターシャフト１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローターシャフト１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。これは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延びていて、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸線１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸線１５１に平行に一つの方向で、キャリア部分２０３と接続される固定リング２０９によって、及びキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、さらばね２１３が設けられていることが可能である。

磁石軸受の内部には、緊急用又は安全用軸受２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成するためである。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用軸受２１５は、潤滑されない転がり軸受として形成されていて、そして、ローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用軸受２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全用軸受が作用するに至る半径方向の間隙は、十分大きく寸法取られているので、安全用軸受２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。

真空ポンプ１１１は、ローター１４９を回転駆動するための電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。そのローターシャフト１５３はモーターステーター２１７を通って延びている。ローターシャフト１５３の、モーターステーター２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、又は埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。ローター１４９の、モーターステーター２１７を通って延びる部分と、モーターステーター２１７との間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介して、モーターステーター２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、互いに磁気的に影響することが可能である。

モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５のために設けられるモーター室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（洗浄ガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モーター１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。

モーター室１３７を画成する壁部２２１とローターハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモーター室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。

図６には先行技術に係るターボ分子ポンプが断面図で表されている。その際、インレットフランジを示す部分図が選択されている。フランジ２０は、ハウジング２２の部分であり、そして図示されていない別の真空装置、例えば真空チャンバーとの接続のために使用される。

フランジ２０は、この例においてはＩＳＯ－Ｋ－フランジとして形成されている。これは、図示されていない接続すべき真空装置の別のフランジと、同様に図示されていない独立した固定要素を介して接続される。これらは、クランプの形式にしたがいフランジを取り囲んでいる。その際、各固定要素は、フランジ２０の周回する突出部２４の下に係合する。

フランジ２０には、センタリング環２６が当接している。これは、Ｏリング２８を有する。Ｏリングは、半径方向において、固定的な二つのリング要素（特に金属のリング要素）３０の間に囲まれている。センタリング環２６は、よってフランジ接続のためのシール要素を形成する。センタリング環２６は、更に、グリッド要素３２として形成された保護要素を有している。保護要素は、フランジ２０によって定義されるインレット３４を構架している。これによってポンプの内部が、異物から保護されている。

インレット３４内には、キャリア３６が存在している。これは、機能要素３８、ここでは軸受の静的な部材、そして具体的には磁石軸受の内側の永久磁石のシートを担持している。キャリア３６は、その際ハウジング２２に支持されていて、詳しく言うと、その内側面に支持されている。軸方向において、キャリア３６は、貫通部３４を取り囲むハウジング２２のショルダーに固定されている。

センタリング環２６は、そのリング要素３０とＯリング２８によってフランジ２０のシール領域４０に当接している。シール領域４０は、周回するリング面を定義する。これは、接続すべき真空装置の図示されていない別のフランジの方に向けられている。別のフランジも、対応するシール領域を有している。

フランジ２０は、フランジと同軸な接続軸線４２を定義する。接続方向４３は、接続軸線４２に沿って、そして示された真空装置から、図示されていない別の真空装置に向かって、つまり真空装置が別の真空装置に取り付けられる方向に延びている。

シール領域４０は、接続軸線４２に対して垂直に延びる平面内に延びている。接続軸線４２は、この例において、そして一般的に有利にはポンプのローター軸と一致する。

シール領域４０と、軸方向の、別の真空装置の方に向けられたキャリア３６の端部の間には、軸方向の間隔４４が存在している。これは、ここではポジティブにとらえられ、そして「＋」の参照符号が付されている。

図７には、本発明の観点に従うフランジ２０を有するターボ分子ポンプが示されている。フランジ２０のシール領域４０は、真空装置の軸方向の端部に関して、接続方向４３と反対に、軸方向に逆にオフセットされている。真空装置の軸方向の端部は、図示されていない別の真空装置と、フランジ２０のシール領域４０の間に配置されている。真空装置の軸方向の端部は、この例においては、キャリア３６によっても、ハウジング２２によっても、又は貫通部３４を画成する部分自体によっても形成されている。両方が、その軸方向の両方の端部を、同じ軸方向高さ上に有するからである。

真空装置の軸方向の端部とシール領域４０の間の軸方向の間隔４４は、よって図６の真空ポンプと比較して、ネガティブであり、よって「ー」の参照符号が付されている。つまりシール領域４０、又はフランジ２０は、真空装置の軸方向の端部に対して逆にオフセットして配置されている。換言すると、シール領域４０とフランジ２０は図６と図７の間で比較して、ハウジング２２に沿って下に向かってずらされている。逆に、キャリア３６と軸方向のハウジング端部は、フランジ接続内へとずらされている。これによって、間隔４４に相当する、ポンプの軸方向の短縮された長さが、接続された状態で生じる。

センタリング環２６は、この実施形においては、インレット３４を構架する保護要素、又はグリッド要素を有さない。よって、そのような実施形（保護要素が必要でない実施形）においては、軸方向の設置スペースにおいて特別大きな節約が達成されることが可能である。しかしまた、基本的に、シール要素と独立した保護要素、又はグリッド要素が設けられていることも可能である。これは、例えば、キャリア３６に、及び／又はハウジング２２に固定されている。よって、保護要素のメリットが、大きな設置スペースの節約のメリットと結び付けられることが可能である。

これに対して、図８及び９は、グリッド要素３２を有するセンタリング環２６のための第一の観点に従うフランジ２０を有するターボ分子ポンプを示す。その際、図８は、センタリング環２６をシール領域４０に当接させる前の状態を、そして図９は、当接した、又は組み込まれた状態のセンタリング環２６を示す。

真空装置の軸方向の端部と、シール領域４０の間の軸方向の間隔は、ここでも符号「４４」を付されていて、そしてここでもネガティブである。しかし間隔４４は、図７の実施形におけるよりも明らかに小さい。間隔４４は、センタリング環２６が、グリッド要素３２にもかかわらずシール領域４０に当接可能であるように選択されている。

間隔４４は、他の図示されていない実施形においてもゼロであることが可能であり、又は最高で＋２ｍｍ、又は最高で３ｍｍ、又は最高で４ｍｍであることが可能である。

つまり、図８及び９の実施形においては、同時に、グリッド要素を有するシール要素、又はセンタリング環２６との互換性が維持されるが、それにも関わらず、図７に対して減少した設置スペースの節約が軸方向において達成される。

図９においては、示された実施形においてグリッド要素３２が、基本的にキャリア３６の軸方向の端部に、そして軸方向のハウジング端部に当接することが見て取れる。しかしまた、グリッド要素３２と、真空装置又はキャリア、及び／又はハウジング端部の軸方向の端部の間に間隔が残るが、しかし軸方向の設置スペースの節約がより小さく成り得る実施形も、基本的には考え得る。

図７から９の実施形においては、軸方向のキャリア端部３６は、それぞれ、ハウジング２２の軸方向の端部（別の真空装置の方に向けられた端部）と一致している。しかしこれは必須ではない。むしろ、当該端部は、異なる軸方向の位置を有している。特に、軸方向のハウジング端部は、別の真空装置から見て、軸方向においてキャリア端部の後方に配置されていることが可能である。

第二の観点は、図１０から１４に表わされている。その際、図１０は、ターボ分子ポンプとして形成された先行技術の真空装置を示している。図１０から図１４のすべての実施形において、例えば、少なくとも一つのカウンターフランジ４６がＩＳＯ－Ｆフランジとして形成されている。

図１０のターボ分子ポンプは、ハウジング２０に配置されているフランジ２０を有する。フランジ２０は、ポンプのインレット３４を取り囲んでいる。インレット内には、キャリア３６が配置されている。このキャリアは、機能要素３８を担持している。機能要素は、ここでもまた磁石軸受のステーター部材として形成されている。キャリア３６は、この実施例においては、ハウジング２２、又はフランジ２０と一体に接続されているが、しかしまた、例えば図６から９に表わされているように、独立した部材として形成されていることも可能である。

フランジ２０は、ハウジングフランジ４６と接続されている。これは、図示されていない別の真空装置のハウジング４８の部材である。フランジ２０と４６は、ＩＳＯ－Ｆタイプの実施形である。フランジ２０，４６は、その際、固定要素５２のための貫通孔５０を有している。貫通孔５０と固定要素５２は、フランジ２０，４６の周囲にわたり、接続軸線４２の回りに分配されて配置されていて、そして各固定点を定義している。

各接続要素５２は、スクリューシャフト５６をスクリュー５４によってと、対応するナット５８によって形成されている。固定要素５２、又はスクリュー５４はナット５８と共に、フランジ２０、４６を締め付け、その際、シール要素（ここではセンタリング環２６）は、軸方向において締め付けられる。その際、センタリング環２６のＯリング２８は、Ｏリングに隣接するリング要素３０の軸方向高さまで圧縮される。

複数の矢印によって、固定要素５２によってもたらされる力と、これから生じる力が表わされている。固定要素５２は、まず引っ張り力を各固定軸線６０に沿って引き起こす。リング要素３０を有するセンタリング環２６は、軸方向において基本的に固定的であるとみられるので、フランジ２０，４６の外側のフランジ端部の所定の変形がお互いに生じる。その際、固定要素５２とセンタリング環２６の間には、てこの作用が生じる。

フランジの互いにの変形は、一方では真空シール性の問題を引き起こす。センタリング環２６の当接の正確性が、フランジ２０，４６のシール領域４０の領域において、一般的に阻害されるからである。更に、フランジ２０の変形は、接続軸線４２上の下に向けられている矢印によって示されているように、キャリア３６と、ひいては機能要素３８の位置変更、又は変形において生じる。この例においては、よって、ターボ分子ポンプのローターと、磁石軸受内側リングの軸方向の位置決めが阻害され、このことはより高い摩耗という結果となる可能性がある。

第一の観点に従う本発明の実施形は、図１１に示されている。フランジ２０には、フランジ２０の周囲にわたって分配されて配置されている複数の固定要素、又は固定軸線６０が、割り当てられる各固定要素５２のための貫通孔５０と共に配置されている。これらによって、フランジ２０はカウンターフランジ４６に固定されている。更に、フランジ２０には、接続軸線４２に関して周回して延びるシール領域４０が設けられている。これは、フランジ２０，４６の間に配置されるシール要素２６の当接のためのものである。シール要素は、接続軸線４２に関して、固定点、又は固定軸線６０の半径方向内側に配置されている。その際、接続軸線４２に関してシール領域４０の半径方向外側には、軸方向の突出部６２がフランジ２０に設けられている。これは、別のフランジ４６のための当接面６４を有している。

図１０と比較して、突出部６２、又は当接面６４は、フランジ２０，４６の外側の端部を互いに支持しているので、基本的には変形、主として曲げがシール要素、又はセンタリング要素２６の回りに生じないことが示される。よって、一方でシール要素２６のシール領域４０における当接の正確性が改善され、そして他方で、フランジ２０，４６と接続される構造部材、特にキャリア３６における変形、又は位置変更が行われることが防止される。よって、示されたターボ分子ポンプにおいては、摩耗が減少し、そして寿命が延長される。磁石軸受内側リングとローターの軸方向の位置が、これによってより良好に構造的条件に合致するからである。

図１１の例においては、突出部６２と、当接面６４は、半径方向において固定点の内部から固定点６０の外まで、さらにはフランジ２０、４６の外側端部まで伸びている。代替として、突出部６２、又は当接部６４は、固定点６０の半径方向内側、又は外側のみに延びていて、その際、後者は、図１３から図１４に基づいて以下にも詳細に説明される。

図１２には、図１１の実施形が、斜視図にて詳細に見て取れる。その際、カウンターフランジ４６と固定要素５２は表わされていない。図１２の観点は、ポンプのインレット３４内への視線に相当する。その際、フランジ２０がその当接面６４とともに見て取ることができる。

フランジ２０の周囲にわたって分配されて、複数の貫通孔５０が配置されている。貫通孔５０は、ここでは、外側に向かって開かれた空所部として、そして長孔として形成されている。しかし例えば、外側縁部に対して閉じられた貫通孔５０もまた考え得る。フランジも、基本的に貫通孔を有さないことが可能である。その際、好ましくは、クランプ状の固定要素が設けられていることが可能である。これはフランジを取り囲んでいる。

インレット３４内のキャリア３６が、同様に良好に視認可能である。これは、この実施形においては三つのウェブを有している。これらウェブは、ハウジング２２の内部壁とキャリア３６の中央領域の間に延びている。中央領域は、機能要素３８を有している。そのようなキャリア３６は、スターとも称される。

当接面６４の半径方向内側には、センタリング環２６が、そのリング要素３０とＯリング２８と共にフランジ２０内に挿入されている。

当接部６４には、二つの溝６６が形成されている。これは、当接部６４の半径方向内側の端部から、当接部６４の半径方向外側の端部に向かって延びている。本実施形においては、溝６６はほぼ正確に半径方向に延びている。そのような溝６６は、他の数量で設けられていることも可能である。溝６６は、リーク探査ガスがシール要素、又はセンタリング環２６、及びシール領域４０へアクセスすることを可能とする。

第二の観点に従う真空装置の別の実施形（これもターボ分子ポンプとして形成されている）が、図１３に示されている。これは、図１１及び１２の実施形と比較して、フランジ２０の軸方向の突出部６２と、その当接面６４（カウンターフランジ４６に対する当接面）が、固定点６０の半径方向外側にのみ配置されている点で際立っている。具体的には、突出部６２と当接面６４は、フランジ２０の外側縁部にのみ配置され、しかしまた、配置は、外側縁部に対して少し内側であることも考え得る。

図１１及び１３の両方の実施形においは、軸方向の突出部６２は、フランジ２０と一体に接続されていて、特に旋削によって形成されている。図１４の実施形においては、突出部６２は、独立した構成部材によって形成されている。独立した構成部材は、例えばフランジ２０と堅固に接続されていることが可能である。これは例えば、フランジ２０と、独立した構成部材、又は突出部の下に向けられて表わされたウェブの間のプレス嵌めによって行われる。代替として、独立した構成部材は、フランジ２０にのみ当接させられていることも考えられる。それにも関わらず、当接面６４によって、フランジ２０に対するフランジ４６の本発明に係る支持を行う。

異なる実施形のさらなる特徴がここで詳細に示されていない限り、他の実施形の当該特徴は、可能である限り、有利に伝達されることが可能である。これは特に、図１から５，６及び１０の真空装置に対しても有効である。これら真空ポンプは確かに先行技術を形成するが、しかし特有の特徴を有している。それらは、いずれにせよ図７から９及び１１から１４に示されているが、詳細には説明されていないか、又は有利に伝達可能である。

１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モーター
１２７ アクセサリー接続部
１２９ データインターフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ フローインレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モーター室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 軸受カバー
１４７ 固定穴
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ローター
１５１ 回転軸線
１５３ ローターシャフト
１５５ ローターディスク
１５７ ステーターディスク
１５９ スペーサーリング
１６１ ローターハブ
１６３ ホルベックロータースリーブ
１６５ ホルベックロータースリーブ
１６７ ホルベックステータースリーブ
１６９ ホルベックステータースリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ 転がり軸受
１８３ 永久磁石軸受
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ローター側の軸受半部
１９３ ステーター側の軸受半部
１９５ リングマグネット
１９７ リングマグネット
１９９ 軸受間隙
２０１ 担持部分
２０３ 担持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ さらばね
２１５ 緊急用又は安全用軸受
２１７ モーターステーター
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
２０ フランジ
２２ ハウジング
２４ 突出部
２６ センタリング環
２８ Ｏリング
３０ リング要素
３２ グリッド要素
３４ インレット
３６ キャリア
３８ 機能要素
４０ シール領域
４２ 接続軸線
４３ 接続方向
４４ 軸方向の間隔
４６ カウンターフランジ
４８ ハウジング
５０ 貫通孔
５２ 固定要素
５４ スクリュー
５６ スクリューシャフト
５８ ナット
６０ 固定点／固定軸線
６２ 突出部
６４ 当接面
６６ 溝

Claims (8)

1. 真空装置とシール要素（２６）を備える真空システムであって、
   真空装置は、別の真空装置の別のフランジ（４６）と真空密に接続するためのフランジ（２０）を有し、
   その際、フランジ（２０）が、フランジ（２０）の周囲にわたって分配されて配置された複数の固定点（６０）を有し、割り当てられるべき其々の固定要素（５２）のための貫通孔（５０）を有する複数の固定点（６０）を有し、その貫通孔（５０）では、フランジ（２０）が別のフランジ（４６）に固定可能であり、
   その際、フランジ（２０）には、接続軸線（４２）に対して周回する、フランジ（２０，４６）間に配置されるべきシール要素（２６）の当接のためのシール領域（４０）が設けられていて、
   その際、シール領域（４０）は、接続軸線（４２）に対して固定点（６０）の半径方向内側に配置されていて、そしてその際、接続軸線（４２）に対して、シール領域（４０）の半径方向外側に、軸方向の突出部（６２）がフランジ（２０）に設けられていて、これが、別のフランジ（４６）のための当接面（６４）を形成し、及び、
   シール要素が、センタリング環（２６）によって形成されていて、その際、センタリング環（２６）が、変形可能なシール機構（２８）又はＯリングを有し、そして少なくとも基本的に堅牢な、シール機構（２８）のための少なくとも一つのホルダー（３０）を有し、及び
   突出部（６２）が、フランジ（２０）と一体に形成されていて、及び
   突出部（６２）が、接続軸線（４２）を中心として周回するように形成され、
   突出部（６２）の当接面（６４）内に少なくとも一つの溝（６６）が設けられていて、当接面（６４）の半径方向内側の端部から、当接面（６４）の半径方向外側の端部へと延びている、
   ことを特徴とする真空システム。
2. 当接面（６４）が、固定点（６０）の半径方向外側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空システム。
3. 当接面（６４）が、シール領域（４０）に関して軸方向に突き出して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空システム。
4. 当接面（６４）とシール領域（４０）の間の軸方向の間隔が、少なくとも３．７ｍｍ、かつ最高４．１ｍｍ若しくは３．９ｍｍ、又は少なくとも５．４ｍｍ、かつ最高５．８ｍｍ若しくは５．６ｍｍであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空システム。
5. 真空装置は、真空装置のシール領域（４０）内のシール要素（２６）を、又は真空装置のシール領域（４０）に当接する為のシール要素（２６）を有し、当接面（６４）とシール領域（４０）の間の軸方向の間隔が、フランジ接続内の組み込み状態におけるシール要素（２６）の軸方向の厚さに相当することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空システム。
6. フランジ（２０）が、真空装置のハウジング（２２）と接続されていて、その際、フランジ（２０）が、ハウジング（２２）と一体に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空システム。
7. 真空装置が、磁石軸受を有するターボ分子ポンプとして形成されていて、その際、磁石軸受のコンポーネント（３８）のためのキャリア（３６）が、ターボ分子ポンプのハウジング（２２）と、及び／又はフランジ（２０）と接続されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空システム。
8. 真空装置が、フランジ（２０）を有し、そして、
   真空装置のシール領域（４０）内のシール要素（２６）を、又は真空装置のシール領域（４０）に当接する為のシール要素（２６）を有し、
   真空システムが、追加的に、別のフランジを有する別の真空装置を有し、及び／又は、
   追加的に、真空装置のフランジ（２０）を別の真空装置の別のフランジに固定するための少なくとも一つの固定要素（６０）を有し、
   その際、シール要素（２６）が、フランジの対向する各シール領域の間に配置されるよう形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空システム。

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