CN108626142B - 中心环及真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明的课题是防止中心环的脱落。介于真空腔室与涡轮分子泵之间的中心环(60)包括：环主体(61)，包含嵌合于真空腔室的排气法兰的腔室侧圆筒部(65)、及嵌合于涡轮分子泵的吸气法兰的泵侧圆筒部(64)；防尘土侵入用的网(72)，设置在环主体(61)上；以及防脱落构造，防止在使涡轮分子泵的转子轴从铅垂方向向垂直方向倾斜的过程中中心环(60)从吸气法兰脱落。

Description

中心环及真空泵

技术领域

本发明涉及一种中心环及真空泵。

背景技术

用来对半导体制造装置或液晶面板制造装置等真空装置进行排气而形成为高真空的涡轮分子泵(turbo molecular pump)，包括交替配置的多段马达叶片及多段定子叶片。通过使形成有转子叶片的转子相对于定子叶片高速旋转，来排出气体。

在将涡轮分子泵安装到半导体制造装置等的真空腔室内时，有时会在真空腔室侧的法兰与涡轮分子泵的吸气法兰之间配置中心环作为密封零件 (参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-222044号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

当在真空腔室内安装涡轮分子泵时，在涡轮分子泵的吸气法兰上安装中心环之后，将吸气法兰与真空腔室侧的法兰加以结合。真空泵有直立放置安装在真空腔室内的方式、以及横卧放置安装在真空腔室内的方式。当采用横卧放置安装的方式时，预先在吸气法兰上安装中心环之后，使真空泵倾斜而安装到真空腔室内。因此，中心环有可能从吸气法兰上脱落。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的一个形态的中心环是介于真空腔室与真空泵之间的中心环，所述中心环包括：环主体，包括嵌合于真空腔室的腔室侧嵌合部的第一环嵌合部、以及嵌合于所述真空泵的泵侧嵌合部的第二环嵌合部；防尘土侵入构件，设置在环主体上；以及防脱落构造，防止所述中心环从所述真空泵的泵侧嵌合部脱落。

(2)在所述中心环中，优选的是，所述环主体是在圆周上的一处切断部或两处切断部经切断的一个环状构件或一对环状构件。

(3)(2)的优选防脱落构造是在所述切断部处使所述环主体的端面彼此具有间隙而配置。其是使所述环主体的周长缩短相当于所述间隙的长度而构成。

(4)更优选的中心环的环主体包括对沿内径方向弯曲时的刚性进行调节的缺口部。

(5)在所述中心环中，优选的是，所述防脱落构造只在所述第二环嵌合部，即，只在真空泵侧设置。

(6)在所述中心环中，优选的是，所述防脱落构造是将所述真空泵的泵侧嵌合部的直径与所述第二环嵌合部的直径的尺寸差设为过盈配合与过渡配合中的任一者的构造。

(7)本发明的其它形态的真空泵包括所述中心环、以及包含安装所述中心环的真空泵侧吸气法兰的泵主体。

[发明的效果]

根据本发明，中心环不可能从真空泵脱落。

附图说明

图1是表示实施方式的真空泵的内部构成的概略剖视图。

图2是从真空腔室500侧观察图1所示的夹具(clamp)1的配置的图。

图3(a)是从中心环60的朝向排气法兰510的安装面侧观察中心环60的顶视图，图3(b)是图3(a)的B-B线剖视图，图3(c)是图3(a) 的C-C线剖视图。

图4(a)- 图 4(b) 是说明中心环及吸气法兰内周面的外径尺寸、内径尺寸的示意图，图4(a)是俯视图，图4(b)是剖视图。

图5(a)是从中心环60A的朝向排气法兰510的安装面侧观察变形例 1的中心环60A的顶视图，图5(b)是图5(a)的D-D线剖视图。

[元件符号说明]

1：夹具 2：爪部

7：螺栓 20：吸气法兰

21：密封面 23：环状槽

25：背面 26、512：内周面

30：吸气口 40：转子

41：转子叶片 42：定子叶片

43：马达 44：螺杆定子

45：螺杆转子 52：壳体

53：间隔件 60、60A：中心环

61、61A：环主体 61a：端面

62、62A：圆筒部 63：法兰部

63a：槽 64：泵侧圆筒部

65：腔室侧圆筒部 66：槽

67：切断部 68：缺口部

69：阶差部 71：O形环

72：网 100：涡轮分子泵

101：上部径向电磁铁 102：下部径向电磁铁

104：推力电磁铁 107：底座

108：排气口 500：真空腔室(腔室)(壳体)

510：排气法兰 511：密封面

514：螺孔 D：内径

d：外径 r：曲率半径

ΔC1、ΔC2：距离

具体实施方式

参照图1- 图4(b) ，对中心环及包含中心环的真空泵的一个实施方式进行说明。图1是表示作为真空泵的一例的、安装在真空腔室500内的涡轮分子泵100的概略构成的剖视图。图2是从图1的真空腔室500侧观察夹具1 的配置的图。再者，在图2中，省略了将夹具1固定在排气法兰510上的螺栓7及腔室500等。用于固定吸气法兰20的夹具1的数量根据法兰直径来确定。

图1所示的涡轮分子泵100的吸气法兰20是所谓夹具固定式的法兰，利用多个夹具1将真空泵紧固在腔室500的排气法兰510上而固定在腔室 500内。本实施方式中所使用的夹具1被称为所谓单爪夹具(single claw clamp)。

在涡轮分子泵100的壳体52内旋转自如地设置有转子40。图1所示的涡轮分子泵100是磁轴承式泵，转子40通过上部径向电磁铁101、下部径向电磁铁102、推力(thrust)电磁铁104而非接触支撑。通过磁轴承而产生磁悬浮的转子40通过马达43而高速旋转驱动。

在转子40上，设置有多段转子叶片41及圆筒状的螺杆转子45。在多段转子叶片41之间，相对于轴向设置有多段定子叶片42，在螺杆转子45 的外周侧设置有螺杆定子44。各定子叶片42经过间隔件53载置在底座107 上，当将形成有吸气法兰20的壳体52固定在底座107上时，将经积层的间隔件53夹于底座107与壳体52之间，从而对定子叶片42进行定位并加以固定。

在底座107上设置有排气口108，在所述排气口108上连接着辅助泵 (back pump)。使转子40一边磁悬浮一边通过马达43而高速旋转驱动，借此将吸气口30侧的气体分子向排气口108侧排出。

在腔室500的排气法兰510的密封面511与涡轮分子泵100的吸气法兰20的密封面21之间，夹持着中心环60。在吸气法兰20的与密封面21 为相反侧的背面25，形成有环状槽23。在排气法兰510上形成有多个螺孔 514。

如图1所示，当将夹具1的爪部2插入到形成于涡轮分子泵100的吸气法兰20的背面25上的环状槽23，然后，使用螺栓7，将夹具1固定在真空腔室500的排气法兰510上时，涡轮分子泵100的吸气法兰20与排气法兰510得以紧固。由上所述，利用夹具1，将涡轮分子泵100安装到真空腔室500的排气法兰510上。

再者，在真空腔室500的排气法兰510上，也可以设为形成螺栓贯通孔来代替螺孔514，利用螺栓7及螺母将吸气法兰20与排气法兰510加以紧固。

---关于中心环60---

图3(a)是从中心环60的朝向排气法兰510的安装面侧观察中心环 60的顶视图，图3(b)是图3(a)的B-B线剖视图，图3(c)是图3(a) 的C-C线剖视图。中心环60包括一对环主体61、对腔室500的排气法兰 510的密封面511与涡轮分子泵100的吸气法兰20的密封面21之间进行密封的O形环71、以及用于防止异物混入至涡轮分子泵100的网72。

环主体61分别是将圆筒沿轴向加以一分为二的呈环状的构件，例如是铝或不锈钢等金属制。环主体61分别包括呈半圆筒形状的圆筒部62、以及从圆筒部62的外周面向半径方向外侧突出的法兰部63。将比法兰部63更靠图示下方的圆筒部62称为泵侧圆筒部64，将比法兰部63更靠图示上方的圆筒部62称为腔室侧圆筒部65，在法兰部63的外周面上，形成有用于安装O形环71的凹状的槽63a。在圆筒部62的内周面上，设置有用于夹持网72的槽66。在泵侧圆筒部64上，在周长的一半附近设置有缺口部68。缺口部68如后所述，是为了调节环主体61的径向上的弯曲刚性，例如使所述弯曲刚性缓和而设置。

一对环主体61利用各个圆筒部62的槽66来夹持网72的外周缘。并且，在一对环主体61各自的法兰部63的槽63a内安装有O形环71。换而言之，O形环71环绕设置在一对环主体61的各自的法兰部63的槽63a内。

这种中心环60是如下所述而组合。在圆板形状的网72的外周缘，插入一对环主体61的圆筒部62的槽66而使三个构件一体化，将O形环71 安装在经一体化的一对环主体61的外周面的槽63a内。安装有O形环71 并经一体化的构件为中心环60。

借由O形环71的弹力，一对环主体61在相互接近的方向上受到施力。通过所述施加力，环主体61在网72的外周缘上沿内径方向滑动。但是，如后所述，移动后的环主体61的外径d与吸气法兰20的内径D的差为所需的嵌合，并且，环主体61的端面间距离ΔC1为所需的值。

在这种中心环60中，其中一个环主体61的内周方向上的端面61a与另一个环主体61的圆周方向上的端面61a相隔ΔC1的距离而相向配置。关于相隔距离ΔC1，将在后文详述。再者，将端面61a彼此相向的区域特别称为中心环60的切断部67。

当将涡轮分子泵100安装到真空腔室500的排气法兰510时，将中心环60预先安装在涡轮分子泵100的吸气法兰20上。即，将环主体61的泵侧圆筒部64插入到吸气法兰20的内周面26。泵侧圆筒部64是嵌合于吸气法兰20的内周面26的嵌合部。

当将已将中心环60安装于吸气法兰20上的涡轮分子泵100安装到真空腔室500内时，即，当如上所述将吸气法兰20与排气法兰510加以紧固时，将中心环60的腔室侧圆筒部65插入到排气法兰510的内周面512。腔室侧圆筒部65是嵌合于排气法兰510的内周面512的嵌合部。

当将图1的上下方向设为铅垂方向时，涡轮分子泵100以直立放置形式安装在真空腔室500内。当将图1的左右方向设为铅垂方向时，涡轮分子泵100以横卧放置形式安装在真空腔室500内。所谓直立放置形式，是指涡轮分子泵100的转子轴在铅垂方向上延伸的安装形式，所谓横卧放置形式，是指涡轮分子泵100的转子轴在水平方向上延伸的安装形式。

所述实施方式的真空泵用于改善例如以横卧放置形式安装时的组合性。以下，进行说明。

在利用横卧放置形式的安装步骤中，有时中心环60会从吸气法兰20 脱落，发明者等人探究其原因，得出以下的见解。

利用横卧放置形式的安装是在排气法兰510的密封面511朝向水平方向的情况下采用的安装方式。当利用横卧放置形式进行安装时，例如，将涡轮分子泵100的转子轴设为铅垂方向而将中心环60安装到吸气法兰20 上。其后，使涡轮分子泵100的姿势倾斜以使吸气法兰20的密封面21朝向水平方向之后，进行排气法兰510与吸气法兰20的位置对准，将吸气法兰20安装到排气法兰510上。如果在所述安装步骤中使涡轮分子泵100的姿势倾斜，则中心环60有可能从吸气法兰20脱落。

因此，在本实施方式的涡轮分子泵100中，以即便使涡轮分子泵100 的姿势倾斜，中心环60也不会从吸气法兰20脱落的方式，至少设定中心环60的构成要素即一对泵侧圆筒部64的外径(直径)d。以下，还参照图 4(a)- 图 4(b) 进行详述。

如图3(b)及图4(a)所示，将泵侧圆筒部64单体的外周面的曲率半径设为r，将曲率半径r的2倍的值设为由一对泵侧圆筒部64形成圆环时的圆环外周面的直径d。再者，在以下的说明中，将泵侧圆筒部64单体的外周面的曲率半径r也简称为泵侧圆筒部64的曲率半径r，将由一对泵侧圆筒部64形成的圆环的外周面的直径d也简称为一对泵侧圆筒部64的外径d。

并且，如图2所示，将吸气法兰20的内周面26的直径设为D。在以下的说明中，将吸气法兰20的内周面26的直径D也简称为吸气法兰20的内径D。

---关于泵侧圆筒部64的外径d及相隔距离ΔC1---

在本实施方式中，将吸气法兰20的内径D与一对泵侧圆筒部64的圆环的外径d的尺寸差最佳化，以使得例如即使在以横卧放置形式设置涡轮分子泵100时使吸气法兰20倾斜，中心环60也不会因为自重而从吸气法兰20脱落，并且相对于吸气法兰20的拆装也变得容易。即，在本实施方式中，一对泵侧圆筒部64的外径d是以与吸气法兰20的内径D的尺寸差D-d处于规定范围内的方式设定。

如图 3(a)- 图 3(c) 中所述，构成实施方式的中心环60的一对环主体61在周方向端面61a彼此所相向的切断部67，设为可相隔距离ΔC1，因此将半径r即环主体61的周长设为r×π-ΔC1。由于可使环主体61分别沿内径方向移动ΔC1/2，所以如图3(b)中所示，以使环主体61的槽66的底面与网72的外周面的间隙达到半径r-ΔC1/2的方式，确定网72的外径及槽深度。

如后所述，当吸气法兰20的内径D与一对泵侧圆筒部64的外径d的尺寸差D-d为负值(过盈配合)时，即便使一对环主体61相接近仅ΔC1 的距离，在与其接近方向正交的方向上泵侧圆筒部64的外径d也大于吸气法兰20的内周面的内径D，因而无法插入。因此，必须使环主体61的周方向端部在与接近方向正交的方向上弯曲。

因此，ΔC1必须以(D-d的绝对值)+(在因弯曲而靠近的方向上产生变形时的泵侧圆筒部64的端部的径向上的变形量)的方式确定。ΔC1的详细算式将在后文说明。

如上所述，当安装到吸气法兰20上时使环主体61的两端部朝向径向上的内侧而弯曲。这时，泵侧圆筒部64的外径d变小，并且在切断部67 处相向的端面61a彼此相接近。假如在切断部67处相向的端面61a彼此相抵接后，进而使环主体61朝向径向的内侧弯曲，则一对环主体61的图3 (a)中的上下方向上的大小会变小而左右方向上的大小会增大，从而变形为椭圆形状。因此，环主体61的泵侧圆筒部64有可能无法插入到吸气法兰20的内周面26。

因此，在使环主体61的两端部弯曲所述过盈量(过盈配合的尺寸)可采用的最大值的程度之前，必须预先确保相隔距离ΔC1，以使得在切断部 67处相向的端面61a彼此不抵接。

换而言之，只要以如下方式设定泵侧圆筒部64的周长即可：当使环主体61的两端部朝向径向内侧弯曲的弯曲量未达所述过盈量可采用的最大值时，在切断部67处相向的端面61a彼此不抵接。也可以设为过盈量以最大值为基准而设定ΔC1时的端面61a彼此相抵接。

具体而言，如以下的式(1)所示，只要环主体61各自的泵侧圆筒部 64的周长L的合计值2L大于等于与直径(d-Smax)相对应的圆周长即可，所述直径(d-Smax)比泵侧圆筒部64的外径d小过盈量的最大值Smax的程度。

2L≦π×(d-Smax)……(1)

所述环主体61各自的泵侧圆筒部64的周长L的合计值2L和与直径d 相对应的圆周长πd的差πd-2L为两处切断部67的相隔距离ΔC1的合计值 (2×ΔC1)。

因此，以下的式(2)成立。

2×ΔC1＝πd-2L

2L＝πd-2×ΔC1……(2)

当根据式(1)及式(2)求出相隔距离ΔC1时，可用以下的式(3)表示。

πd-2×ΔC1≦π×(d-Smax)

-2×ΔC1≦-π×Smax

π×Smax≦2×ΔC1

0.5×π×Smax≦ΔC1……(3)

以下，揭示具体例。

在本实施方式中，吸气法兰20是例如公称直径(nominal diameter)为 100[mm]的国际标准化组织(International Standardization Organization，ISO) 法兰，内径D为102[mm]。这时，如由以下的式(4)所示，以使吸气法兰 20的内径D与一对泵侧圆筒部64的外径d的尺寸差D-d处于0.05[mm]至 -0.1[mm]的范围内的方式设定一对泵侧圆筒部64的外径d。

-0.1[mm]≦D-d≦0.05[mm]……(4)

再者，如果尺寸差D-d的值为正值，那么尺寸差D-d表示吸气法兰20 的内周面26与一对泵侧圆筒部64的外周面之间的间隙的大小。并且，如果尺寸差D-d的值为负值，即，如果一对泵侧圆筒部64的外径d大于吸气法兰20的内径D，那么尺寸差D-d的绝对值为吸气法兰20的内周面26与泵侧圆筒部64的外周面之间的过盈量。

如果一对泵侧圆筒部64的外径d大于吸气法兰20的内径D，那么使环主体61的两端部朝向径向上的内侧移动以(D-d)/2表示的距离以上，然后，一边使环主体61的端部在与移动方向正交的方向上弯曲，一边将泵侧圆筒部64插入到吸气法兰20。

如上所述，本实施方式的环主体61设置端面间距离ΔC1而使环主体彼此接近，并使两端部在内径方向上弯曲。由于在泵侧圆筒部64上设置有缺口部68，所以容易使其沿径向弯曲。因此，中心环60相对于吸气法兰20 的拆装变得容易。其结果为，涡轮分子泵100的朝向排气法兰510的安装作业及从排气法兰510的拆卸作业的作业效率提高。

并且，通过安装到吸气法兰20上时的泵侧圆筒部64的弯曲，一对泵侧圆筒部64会按压吸气法兰20的内周面。所述按压的反作用力有助于防止中心环60的脱落。

再者，当将涡轮分子泵100安装到排气法兰510上时，中心环60在安装到吸气法兰20上的状态下将环主体61的腔室侧圆筒部65插入到排气法兰510的内周面512。因此，为了将环主体61的腔室侧圆筒部65容易地插入到排气法兰510的内周面512，以使排气法兰510的内周面512与环主体 61的腔室侧圆筒部65之间适当产生间隙的方式设定腔室侧圆筒部65的外径。因此，排气法兰510的内周面512与环主体61的腔室侧圆筒部65之间的间隙优选的是大于吸气法兰20的内径D与泵侧圆筒部64的外径d的尺寸差D-d。实施方式中的真空腔室侧的中心环60的嵌合为间隙配合。

如上所述，在本实施方式中，吸气法兰20是例如公称直径为100[mm] 的ISO法兰，如式(4)所示，过盈量的最大值Smax为0.1[mm]。因此，在本实施方式中，相隔距离ΔC1设定为大于等于π×Smax/2＝0.05×π[mm]。

在实施方式的涡轮分子泵100中，吸气法兰20的内径D大于一对泵侧圆筒部64的外径d时的最大间隙为0.05mm。根据发明者等人的实验，即使是最大间隙为0.05mm的间隙配合，也可以防止以横卧放置方式使涡轮分子泵倾斜时的中心法兰的脱落。

根据本实施方式，获得以下的作用效果。

(1)实施方式的中心环，即，介于真空腔室500与涡轮分子泵100之间的中心环60包括：环主体61，包括腔室侧圆筒部65及泵侧圆筒部64，所述腔室侧圆筒部65是嵌合于真空腔室500的腔室侧嵌合部即排气法兰 510的第一环嵌合部，所述泵侧圆筒部64是嵌合于涡轮分子泵100的泵侧嵌合部即吸气法兰20的第二环嵌合部；网72，其是设置在环主体61上的防尘土侵入构件；以及防脱落构造，例如防止在使涡轮分子泵100的马达轴从铅垂方向向垂直方向倾斜的过程中中心环60从吸气法兰20脱落。

实施方式的涡轮分子泵通过具备防脱落构造，即便使吸气法兰20倾斜，中心环60也不会因为自重而从吸气法兰20脱落。并且，如实施方式所述，通过规定一对环主体61的端面61a间的距离ΔC1的尺寸、以及中心环60 与吸气法兰200的内周面26的嵌合尺寸，而使得中心环60相对于吸气法兰20的拆装也变得容易。因此，朝向真空腔室500的排气法兰510的涡轮分子泵100的安装作业以及从排气法兰510的涡轮分子泵100的拆卸作业的作业效率提高。

(2)实施方式的环主体61是在圆周上的两处切断部67经切断的二等分构造。防脱落构造的构成要素数量为两个，虽然与现有技术相比零件个数增加，但只要规定形状及嵌合尺寸即可，不会成为大幅的成本上涨的主要因素。

(3)二等分构成的一对环主体61在切断部67处使端面61a彼此间具有间隙ΔC1而配置。环主体61的周长缩短了相当于所述间隙ΔC1的长度。当使环主体61的两端部沿内径方向弯曲所需量时，端面彼此不会抵接，因而可以顺畅地将中心环60安装到吸气法兰20上。

(4)实施方式的环主体61包括对沿内径方向弯曲时的刚性进行调节的缺口部68。通过缺口部68，使环主体61的两端部容易沿内径方向弯曲。

(5)实施方式的防脱落构造只设置在第二环嵌合部即泵侧圆筒部64上。真空腔室的排气法兰510的尺寸公差在涡轮分子泵制造厂方无法掌握，所以与泵侧嵌合部不同，优选的是必须设为容易安装的值的间隙配合。

(6)实施方式的防脱落构造是将涡轮分子泵100的吸气法兰内周面26 的直径D与泵侧圆筒部64的直径d的尺寸差D-d设为过盈配合与过渡配合中的任一者的构造。

(7)涡轮分子泵包括如实施方式的中心环60、以及包含安装中心环60 的泵侧嵌合部即吸气法兰20的泵主体(例如壳体500)。

以上的实施方式是一例，并不限定于ISO法兰。并且，在使用ISO法兰的示例中，本发明也不限定于所述公称直径、嵌合。

如下的变形也属于本发明的范围内，也可以使一个变形例或多个变形例与所述实施方式相组合。

(变形例1)

在所述实施方式中，中心环60包含在两处切断部67经切断的一对环主体61。与此相对，变形例1中的中心环60A设为在一处切断部67经切断的C字状的环主体61A。

以下，参照图 5(a)- 图 5(b) 进行详细说明。再者，在以下的说明中，对与所述实施方式相同的构成要素标注相同符号并主要说明不同点。关于未特别说明的方面，则与所述实施方式相同。

图5(a)是从中心环60A的朝向排气法兰510的安装面侧观察变形例 1的中心环60A的顶视图，图5(b)是图5(a)的D-D线剖视图。中心环 60A包括环主体61A、O形环71及网72。

环主体61A是如上所述在一处切断部67处将圆筒沿轴向加以切断的呈 C字状的构件。环主体61A包括呈大致圆筒形状的圆筒部62A以及法兰部 63。圆筒部62A呈图5(b)中的上部的内径小于下部的内径的带阶差的圆筒形状。在所述实施方式中，网72由圆筒部62的槽66夹持，但在变形例 1中，网72是将其外周缘载置在阶差部69的上表面而受到保持。再者，也可以利用未图示的螺栓来固定。

缺口部68设置在泵侧圆筒部64的周长的一半附近的一处。变形例1 中的泵侧圆筒部64的外径d及腔室侧圆筒部65的外径是与所述实施方式同样地设定。

在变形例1的中心环60A中，环主体61A的圆周方向上的端面61a彼此在切断部67处相向。利用ΔC2表示相向的端面61a彼此的相隔距离。在变形例1中，切断部67为一处，所以相隔距离ΔC2与所述实施方式中的两处切断部67的相隔距离ΔC1的合计值(2×ΔC1)大致相等。距离C1小于环主体直径，所以能够利用以下的近似式(5)表示。

π×Smax≦ΔC2……(5)

通过变形例1，也获得与所述实施方式同样的作用效果。

再者，圆筒部62A也可以呈图5(b)中的上部的内径小于下部的内径的带阶差的圆筒形状。

通过变形例1，也获得与所述实施方式相同的作用效果。此外，与实施方式相比零件个数更少，因而也能够抑制成本。

(变形例2)

在所述实施方式中，中心环60包含在两处切断部67经切断的一对环主体61。但是，中心环也可以如变形例2这样，不设置切断部67而具有O 字状的环主体。在变形例2中，不存在切断部67，所以泵侧圆筒部64的外径d只要在尺寸差D-d的值为正值的范围内与所述实施方式同样地设定即可。腔室侧圆筒部65的外径是与所述实施方式同样地设定。即，是间隙配合。

通过变形例2，也获得与所述实施方式相同的作用效果。

(变形例3)

实施方式、变形例1、变形例2的防脱落构造是设为对嵌合尺寸进行规定及对环主体彼此的端面间距离进行规定的构造。但是，也可以通过规定端面间距离C1以及环主体的可移动距离，而形成为只利用中心环的弹力的防脱落构造。

即，中心环防脱落构造可以定义为(1)对ΔC1及嵌合尺寸进行规定的构造、或者(2)只对ΔC1进行规定的构造。在(2)的情况下，也需要规定过盈配合的最大值，实施方式、变形例1～变形例3中的防脱落构造的一例可以定义为(1)。

(变形例4)

在变形例4的防脱落构造中，为了确实地防止中心环的脱落，也可以在环主体61的泵侧圆筒部64的外周面上设置突起，在泵侧吸气法兰20上，则设置收容所述突起的在轴向上延伸的纵槽、以及成为突起的防脱部并且与纵槽连续地在圆周方向上延伸的横槽。

使中心环60的突起与吸气法兰20的纵轴对直而将中心环60插入到吸气法兰20，然后，使中心环60旋转而将突起收容在横槽内。使突起经横槽卡止而防止中心环60的脱落。而且，安装作业也容易。

再者，在所述变形例中，需要变更真空泵的吸气法兰的设计，但是所述实施方式及变形例1、变形例2的中心环60具有能够对已有的真空泵不加以改良而应用等的优点。

以上，已对各种实施方式及变形例进行说明，但是本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术思想的范围内所想到的其它形态也包含在本发明的范围内。

因此，本发明并不限定于涡轮分子泵，而可以应用于只包含涡轮叶片式真空排气部的真空泵、只包含螺杆槽式真空排气部的真空泵等各种真空泵。防尘土侵入构件也不限于网状的构件，还可以是穿设有无数个微小孔而构成的构件。

Claims (6)

1.一种中心环，其是介于真空腔室与真空泵之间的中心环，其特征在于：包括：

环主体，包括嵌合于所述真空腔室的腔室侧嵌合部的第一环嵌合部、及嵌合于所述真空泵的泵侧嵌合部的第二环嵌合部，所述环主体是在圆周上的一处切断部或两处切断部经切断的一个环状构件或一对环状构件；

防尘土侵入构件，设置在所述环主体上；以及

防脱落构造，是在所述切断部使所述环主体的端面彼此具有间隙而配置，

所述间隙以下述式（3）表示：

πd-2×ΔC1≦π×（d-Smax）

-2×ΔC1≦-π×Smax

π×Smax≦2×ΔC1

0.5×π×Smax≦ΔC1……（3）

式（3）中，ΔC1是所述间隙；d是第二环嵌合部的直径；Smax是真空泵的泵侧嵌合部的直径与第二环嵌合部的直径的尺寸差的最大值。

2.根据权利要求1所述的中心环，其特征在于：

所述环主体的周长缩短了仅相当于所述间隙的长度。

3.根据权利要求1或2所述的中心环，其特征在于：

所述环主体包括对沿内径方向弯曲时的刚性进行调节的缺口部。

4.根据权利要求1或2所述的中心环，其特征在于：

所述防脱落构造只设置在所述第二环嵌合部。

5.根据权利要求1所述的中心环，其特征在于：

所述防脱落构造是将所述真空泵的泵侧嵌合部的直径与所述第二环嵌合部的直径的尺寸差设为过盈配合与过渡配合中的任一者的构造。

6.一种真空泵，其特征在于包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的中心环；以及

泵主体，包含安装所述中心环的所述泵侧嵌合部即吸气法兰。

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