JP2004245160A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004245160A JP2004245160A JP2003037281A JP2003037281A JP2004245160A JP 2004245160 A JP2004245160 A JP 2004245160A JP 2003037281 A JP2003037281 A JP 2003037281A JP 2003037281 A JP2003037281 A JP 2003037281A JP 2004245160 A JP2004245160 A JP 2004245160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- turbo
- spacers
- fixed
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
【解決手段】ターボ機構TKにおける回転翼車B1〜B8に対して一定の間隔で固定翼車T1〜T8をケーシング5内に積層する場合、固定翼車T1〜T8をケーシング5内周に対して位置決めし保持させるためにリング状のスペーサS1〜S8により行う。この各スペーサS1〜S8は各固定翼車T1〜T8を所定の間隔に位置決めさせるための軸部Zと各スペーサS1〜S8の外方端位置を位置決めするための穴部Hが半径方向に対して偏倚して形成されている。そして、各スペーサS1〜S8の軸部Zと穴部Hは、その半径方向の肉厚が同一寸法に設定されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や分析装置などにおける反応室等を排気して高真空領域を形成するために使用されるターボ分子ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来よりターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシングに回転自在に保持され、ケーシングの一方側からの分子、ガス等を吸気し他方側に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置され、その回転軸がケーシングに架設された上下の軸受に回転自在に保持されるとともに、この回転軸は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。ターボ機構は回転軸側に固定された回転翼車とケーシング側に固定された固定翼車との組み合わせであって、この中で回転翼車がモータにて高速回転駆動される。具体的には、1分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。
【0003】
このようなターボ分子ポンプにおいては、回転翼車が万が一応力腐蝕割れなどにより破壊したときは、回転翼車は分裂し半径方向に飛散し、外周部に配置されているスペーサに衝突する。この衝突によって、回転翼車とスペーサが一体となり、この衝撃エネルギーにて半径方向に膨張し、ケーシングに衝突する。この衝突によりターボ分子ポンプの外方機器にも衝撃を与えることになる。このようなことから、この衝撃を緩和させるためにケーシングを二重構造にする方法などが採用されている(例えば特許公報1参照。)。
【0004】
すなわち、図3は、この従来におけるケーシング二重形のターボ分子ポンプTPを縦断面して示す図(中心より右方側の一部を断面した図)である。すなわち、ポンプケースは、外方のケーシング5と内方ケーシング5Nの二重構造となっており、これらがポンプ機台部1の上方に載架されている。FNは内方ケーシング5Nの下方部をポンプ機台部1に固定させる固定ネジを示している。他方ケーシング5の内方中段と内方ケーシング5Nの上段とは固定枠FKを介して連接されている。固定枠FKは、固定ネジFNにて内方ケーシング5Nの上方に固定されている。図中6は吸気口であり、7は排気口を示している。
【0005】
つぎに、ターボ分子ポンプTPの主体であるターボ機構TKについて説明すると、回転軸3の上方部には一体的に円筒部が形成されていて、この円筒部には外周に複数段(具体的には4段)の回転翼車B1〜B4(図面には最上段の回転翼車B1と最下段の回転翼車B4のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している)が延設されている。この回転翼車B1〜B4は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸3と回転翼車B1〜B4などは一体的であり、回転体4を構成している.
【0006】
回転軸3はポンプ機台1に架設された上下の軸受8にて回転自在に保持されるとともに、モータ2と結合されている。すなわち、モータ2の一方を構成する回転子2Kがこの回転軸3に固定され一体的に取付られている。この回転子2Kはポンプ機台1に架設された電極コイル5Kと協働しモータ2を構成する。このモータ2にはインバータ(図示せず)から電気エネルギーが供給され、回転軸3を高速で回転駆動する。
【0007】
他方、内方ケーシング5Nの内周には回転翼車B1〜B4に対応して一定の間隔で固定翼車T1〜T4(図面には最上段の固定翼車T1と最下段の固定翼車T4のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している)が軸芯部に向けて延設すべく取り付けられている。この回転翼車B1〜B4と固定翼車T1〜T4はそれぞれ回転軸芯に対して逆向きに傾斜している。この回転翼車B1〜B4と固定翼車T1〜T4の組み合わせによってターボ機構TKが構成される。そして、この固定翼車T1〜T4を一定の間隔で固定保持させるために、内方ケーシング5Nの内周にリング状のスペーサS1〜S4(図面には最上段のスペーサS1と最下段のスペーサS4のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している)が嵌合されている。このスペーサS1〜S4は、内方ケーシング5Nの最下部に介在された台座リングDLと固定枠FKとの間において介設されている。
【0008】
このスペーサS1〜S4の断面は、図3におけるA部を拡大して示す図4に示すように回転翼車B1〜B4が取り付けられている一定の間隔に固定翼車T1〜T4を対応させて保持させるための軸部Zと、この固定翼車T1〜T4の外方端を位置決めしてかつ保持させるための穴部Hが一体的に形成された形をなし、しかも軸部Zと穴部Hが半径方向に偏位して形成されている。このような断面を有するリング状態のスペーサS1〜S4が嵌め合わされているのである。
【0009】
なお、回転体4の下方には円筒部4Nが一体的に形成され、しかもその外周には、ねじ溝Nが形成されている。このねじN溝は図示のとおり、下方になるにつれてそのねじ溝Nの深さが浅い円錐上をなしている。他方この円筒部4Nの外周には内方ケーシング5Nと一体の、ネジステータ5Sの内周面が近接し、ねじ溝ポンプNPを構成している。このねじ溝ポンプNPはドラッグポンプとして機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。
【0010】
この図3に示されるターボ分子ポンプTPは、ターボ機構TKによるターボポンプ機構とねじ溝ポンプNPによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプTPとしては、このようなハイブリッド形でなく、ターボ分子機構のみを採用したものも提供されている。
【0011】
【特許文献1】
特開平11−62879号(第1−6頁、図1−図2)
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
以上詳述したターボ分子ポンプTPは、前記したように半導体製造装置における反応室等の排気に利用され、各種の流体を排気する。したがって、その長期使用の過程で腐蝕ガスなども取り扱われる。したがって回転体4に応力腐蝕割れが生じることがある。この場合回転体4に一旦亀裂部が生じる。
【0013】
この場合、回転体4から分断された破片は、回転が高速回転であるために大きな遠心力を受け、これが外方にあるスペーサS1〜S4に衝突することになる。衝突すると、そのスペーサたとえばS3に相当大きなエネルギーが与えられることになる。この衝撃によるエネルギーの衝突によって、その衝撃を受けたスペーサS3は膨張し一体となるとともに、その破片とともに放射方向に並進運動して、外部装置すなわち内方ケーシング5Nおよびケーシング5を支持する外部装置等に衝撃を与えることになる。
【0014】
このようなことから、図3に示すような二重ケーシング方式が採用されているが、この方式は部品点数増加のため、コストアップが避けられないのみならず、ターボ分子ポンプTPの構造を複雑にし、かつ重量化する欠点がある。このような問題を解決するためには、二重ケーシング方式を止めて内部ケーシング5Nを除去する旧来の構造とすることになるが、この場合は、前述したような問題が生まれる。すなわち特にスペーサS1〜S4の互いの嵌め合い関係から、スペーサS1〜S4の軸部Zの厚さPと穴部Hの厚さQに差があることから、吸収する衝撃のエネルギーが少なくなるという問題がある。
【0015】
すなわち、図4に示すように、互いに隣接したスペーサの軸部Zの厚さPは、穴部Hの厚さQに比べて大きく設定されている関係にあり、回転体4の破片がたとえばスペーサS3とスペーサS4との接合部に衝突した場合、穴部Hの厚さQが小さくて強度が小さいために、この穴部Hが破断し、回転体4の破片と一体になり、内方ケーシング5Nに衝突することになる。このような状況では、回転体4が破壊する時のエネルギーのうち、スペーサS3が吸収でき得るエネルギーは少ないために、内方ケーシング5Nに大きなエネルギーを伝達する。このことは、軸部Zの厚さPと穴部Hの厚さQの関係が逆の場合にも言える。
本発明は、このような問題を解決するターボ分子ポンプを提供することを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明が提供するターボ分子ポンプは、上記課題を解決するために、各スペーサは各固定翼車の間隔を設定するための軸部と各固定翼車の外方端部を位置決めして保持するための穴部とが半径方向に偏位して一体的に形成された断面形状を有し、かつこの軸部と穴部の半径方向における肉厚が同一の大きさに設定されたものである。したがって、各スペーサの嵌め合い部の強度低下を最小限にすることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるターボ分子ポンプについてその構成、作動を図1と図2に示す実施例にしたがって説明する。
図1に示すように、本発明が提供するターボ分子ポンプTPは、一重のケーシング5で構成されているが、ターボ分子ポンプTPの主体であるターボ機構TKや、ねじ溝ポンプ機構NP、回転軸3を回転自在に保持する軸受機構がケーシング5に架設されていること、さらには吸気系や排気系などがケーシング5に形成されていること等については、基本的に従来の構成と異なるところはない。したがって、図1、図2において、図3、図4と同一の符号で示される機構や部品については、図3、図4の機構や部品と同一であり、機能そして作動も同一であるから、これらの点についての詳細な説明は省略する。ただし、図1に示されるターボ機構では、回転翼車B1〜B8(図面には最上段の回転翼車B1と最下段の回転翼車B8のみ符号を付しその他は付記を省略している)が8段であり、また固定翼車T1〜T8(図面には最上段の固定翼車T1と最下段の固定翼車T8のみ符号を付しその他は付記を省略している)も8段である。また、ネジ溝ポンプNPは、3段付きの円筒部で構成されていて図1の実施例と若干異なっている。
【0018】
図示例では積層して嵌め合いされたリング状のスペーサS1〜S8(図面には最上段のスペーサS1と最下段のスペーサS8のみ符号を付しその他は付記を省略している)も8段であるが、この嵌合いにおいて、隣接するスペーサたとえばS1とS2は、一方を軸部とし、他方を穴部として位置決めされ下方から順に積層されている。図示例では、下方から上方に行くに従ってスペーサS1〜S8の高さは大きくなり、合計8個のスペーサのS1〜S8が積層されている。
【0019】
さて、本発明は、これら各スペーサS1〜S8の断面形状に特徴を有し、図1のA部拡大して示す図2にも示すように、各スペーサS1〜S8の軸部Zと穴部Hは、その半径方向の肉厚が同一寸法に設定されている。すなわち、P=Qである。
【0020】
したがって、軸部Zと穴部Hの機械的強度は同等になる。このような構成からなるターボ分子ポンプTPにおいて、回転体4が万一遠心破壊を起こしたとき、回転体4の破片はスペーサS1〜S8に衝突するが、このとき軸部Zのみまたは穴部Hのみが破断し、破片と一体になって放射方向に並進運動するということはなくなる。したがって、ケーシング5に衝突するということはない。そして、軸部Zと穴部Hが破断しなかった場合は、回転体4の破片のエネルギーを隣接するスペーサたとえばS3とS4同士で吸収し、スペーサS1〜S8の半径方向の膨張量も軽減化され、ケーシング5にスペーサS1〜S8が衝突することはなくなる。したがって、外部装置に衝突エネルギーが伝達される衝撃力は緩和される。さらに、スペーサS1〜S8で回転体の破片のエネルギーを充分吸収できるため、スペーサS1〜S8とケーシング5との間隔を小さくできる。
【0021】
本発明が提供するターボ分子ポンプの特徴は、以上説明したとおりであるが、その構成などは上記並びに図示例に限定されるものではなく、種々の変形例を包含する。たとえば、スペーサS1〜S8の断面形状については、軸部Zと穴部Hの上下位置を逆にすることもできる。また、ターボ分子ポンプTPの形式であるが、ケーシング5が一重方式に限定されることはなく、図2に示すような二重方式のターボ分子ポンプTPにも本発明は適用可能である。また、本発明はねじ溝ポンプNPを結合させたハイブリッド形のターボ分子ポンプTPのみでなく、単なるターボ機構のみのターボ分子ポンプTPにも適用可能である。
【0022】
【発明の効果】
本発明が提供するターボ分子ポンプは以上詳述したとおりであるから、つぎのような利点を有する。
スペーサの局部的な破断による外部装置への衝撃を緩和できる。また、ケーシングを二重構造方式にする必要もないので、大型化にはならず、小型軽化、そしてコストダウンが図られ、経済的なターボ分子ポンプを提供する。スペーサとケーシングとの間隔を小さくできターボ分子ポンプをより小型化できる。また、ポンプの応力腐敗われによる破壊時における外部装置への衝撃も小さいのでその対策も軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるターボ分子ポンプの中央より右半分を縦断面して示す図である。
【図2】本発明の要部であるスペーさの断面を拡大して示す図である。
【図3】従来のターボ分子ポンプの中央より右半分を縦断面して示す図である。
【図4】従来のターボ分子ポンプにおけるスペーさの断面を拡大して示す図である。
【符号の説明】
1 ポンプ機台部
2 モータ
2K 回転子
3 回転軸
4 回転体
4N 円筒部
5 ケーシング
5N 内方ケーシング
5K 電極コイル
5S ネジステータ
6 吸気口
7 排気口
8 軸受
B1〜B8 回転翼車
T1〜T8 固定翼車
S1〜S8 スペーサ
Z 軸部
H 穴部
P 軸部の厚さ
Q 穴部の厚さ
TK ターボ機構
TP ターボ分子ポンプ
FK 固定枠
FN 固定ねじ
N ねじ溝
DL 台座リング
Claims (1)
- 円筒状のケーシング内に軸受を介して回転体を軸着するとともに、この回転体の外周部でかつ軸芯方向に取り付けられた複数個の回転翼車と、この複数個の回転翼車に対応して前記ケーシング内に配置された複数個の固定翼車と、この複数個の固定翼車にて前記ケーシング内周面部に介設され各固定翼車を所定間隔にて保持する複数段のリング状のスペーサとを有し、前記ケーシングの軸方向一端側の吸気口からのガスを圧縮して他端側の排気口に排出するターボ分子ポンプにおいて、前記各スペーサは各固定翼車の間隔を設定するための軸部と各固定翼車の外方端を位置決めして保持するための穴部とが半径方向に偏位して一体的に形成された断面形状を有し、かつこの軸部と穴部の半径方向における肉厚が同一の大きさに設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003037281A JP2004245160A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003037281A JP2004245160A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004245160A true JP2004245160A (ja) | 2004-09-02 |
JP2004245160A5 JP2004245160A5 (ja) | 2005-10-20 |
Family
ID=33022147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003037281A Pending JP2004245160A (ja) | 2003-02-14 | 2003-02-14 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004245160A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101981321A (zh) * | 2008-03-31 | 2011-02-23 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮式分子泵 |
CN108626142A (zh) * | 2017-03-21 | 2018-10-09 | 株式会社岛津制作所 | 中心环及真空泵 |
-
2003
- 2003-02-14 JP JP2003037281A patent/JP2004245160A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101981321A (zh) * | 2008-03-31 | 2011-02-23 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮式分子泵 |
CN108626142A (zh) * | 2017-03-21 | 2018-10-09 | 株式会社岛津制作所 | 中心环及真空泵 |
CN108626142B (zh) * | 2017-03-21 | 2020-09-22 | 株式会社岛津制作所 | 中心环及真空泵 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4395210B2 (ja) | 真空ポンプの改良 | |
US9388816B2 (en) | Turbo-molecular pump | |
US6709236B1 (en) | High-speed turbo pump | |
JP2004521221A (ja) | 増大したポンピング容量を有するターボ分子ポンプ | |
JP2002327698A (ja) | 真空ポンプ | |
KR20220035097A (ko) | 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개 | |
US8221052B2 (en) | Turbo-molecular pump | |
JP2004245160A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP4609082B2 (ja) | フランジおよびこのフランジを備えたターボ分子ポンプ | |
KR102450928B1 (ko) | 진공 펌프와 이에 이용되는 스테이터 칼럼과 그 제조 방법 | |
JP4147042B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP5577798B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH0538389U (ja) | 真空ポンプ | |
JP2011027049A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5136262B2 (ja) | 回転真空ポンプ | |
JP4114423B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP4329526B2 (ja) | 分子ポンプ | |
JP5532051B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP4660967B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2585265Y2 (ja) | 排気ポンプ | |
JP3122025U (ja) | 高速回転式分子ポンプ | |
JPH064392U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2004324605A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3784250B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JPH0614490U (ja) | 真空ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080325 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080715 |