JP4329526B2

JP4329526B2 - 分子ポンプ

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Publication number: JP4329526B2
Application number: JP2003419221A
Authority: JP
Inventors: 雅英久保
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2003-12-17
Filing date: 2003-12-17
Publication date: 2009-09-09
Anticipated expiration: 2023-12-17
Also published as: JP2005180233A

Description

本発明は半導体製造装置や分析装置等の被排気部に接合されて中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用される分子ポンプ、具体的にはたとえばターボ分子ポンプ、あるいはねじ溝ポンプに代表されるモレキュラードラッグポンプなどに関する。

このような分子ポンプにおいて、その代表的なターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、ケーシングの一方側における吸気口からの分子、ガス等を吸気し、他方側の排気口に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された回転体がケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組み合わせであって、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には１分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。

従来におけるターボ分子ポンプの一般的な例を示すと図１３に示すとおりである。なお、この図１３は被排気部ＨＶに接合された状態を示している。以下、このターボ分子ポンプＴＰの主体であるターボ機構ＴＫについて説明すると、回転軸３の上方部には一体的に円筒部４Ｎが形成されていて、この円筒部４Ｎには外周に複数段（具体的には８段）の回転翼Ｂ１〜Ｂ８（図面には最上段の回転翼Ｂ１と最下段の回転翼Ｂ８のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している）が延設されている。この回転翼Ｂ１〜Ｂ８は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸３と回転翼Ｂ１〜Ｂ８などは一体的であり、回転体４を構成している。他方、上方に吸気口６が形成されたケーシング５の内周側からは、固定翼Ｔ１〜Ｔ７（図面には最上段の固定翼Ｔ１と最下段の固定翼Ｔ７のみ符号を付してその他の付記は省略している）が各回転翼Ｂ１〜Ｂ８と交互に設けられターボ機構ＴＫが構成されている。なお、図１３においてＳは各固定翼Ｔ１〜Ｔ７を一定の間隔で保持するためのスペーサである。７は排気口である。

この回転軸３はポンプ機台部１に架設された上下の磁気軸受８Ａ、８Ｒにて回転自在に保持されるとともに、モータ２と結合されている。すなわち、８Ａはアキシャル用の磁気軸受であり、また８Ｒはラジアル用の磁気軸受で、これらにより回転軸３を確実に軸受している。他方、モータ２の一方を構成する回転子（図示せず）がこの回転軸３に内設され一体的に取付られている。この回転子はポンプ機台部１に架設された電極コイル１Ｋと協働しモータ２を構成する。このモータ２にはインバータ（図示せず）から電気エネルギーが供給され、回転軸３を高速で回転駆動する。

そして、さらに回転体４の一部すなわち具体的には下方には円筒部４Ｎが一体的に形成され、しかもその外周にはねじ溝（この溝は図面では明確には開示されていない）が形成されている。なお、このねじ溝はステータリング１０の側に形成される場合もある。このねじ溝は下方になるにつれて溝の深さが浅い円錐状をなしている。しかもこの円筒部４Ｎの外周はベースを兼ねた下部ケーシング９の内周に接合されたステータリング１０の内周面に近接している。このステータリング１０の内周面と前記円筒部４Ｎとの組合わせによってねじ溝ポンプＮＰが構成されている。このねじ溝ポンプＮＰはドラッグポンプとして機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。

このようなターボ分子ポンプＴＰは、ターボ機構ＴＫによるターボポンプ機構とねじ溝ポンプＮＰによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプＴＰとしては、このようなハイブリッド形のものが排気特性が良く、よく利用されている。なお、分子ポンプとしてはターボ機構ＴＫのみを採用するものと、上記ステータリング１０と外周にねじ溝が形成された回転体（円筒体）との組合わせのみからなるねじ溝ポンプＮＰなどがある。
このターボ分子ポンプＴＰは、ケーシング５の吸気口６側に一体的に形成された吸気口フランジ５Ｆを介して吸気口６側が半導体製造装置などの被排気部ＨＶに接合される。接合には通常ボルト１１を利用したボルト結合方式が採用される。図１４はこのボルト結合部を拡大して示す断面図である。

このようなターボ分子ポンプＴＰにおいては、回転翼Ｂ１〜Ｂ８が万が一応力腐蝕割れなどにより破壊したときは分裂して半径方向に飛散し、ケーシング５の内周に配置されているスペーサＳや固定翼Ｔ１〜Ｔ７に衝突する。この衝突によって、回転翼Ｂ１〜Ｂ８の破片がスペーサＳおよび固定翼Ｔ１〜Ｔ７と一体となり、この衝撃エネルギーにて半径方向に膨張しケーシング５に衝突する。この衝突によりケーシング５にはトルクが発生する。このトルクはケーシング５そして吸気口フランジ５Ｆを介して被排気部ＨＶに伝達され、すなわちターボ分子ポンプＴＰの外方機器にも衝撃を与えるとともに図１５に示すようにターボ分子ポンプＴＰのケーシング５を変形させてポンプ機能を破壊することになる。このようなことは好ましくないことから、この衝撃を緩和させるためにケーシング５と一体の吸気口フランジ５Ｆを被排気部ＨＶに結合するボルト結合の方法について工夫が提案されている（例えば特許文献１参照）。

このようなターボ分子ポンプＴＰにおいて、回転体４が遠心破壊した場合は高速回転状態で破裂するため、ケーシング５ならびに下部ケーシング９に大きなトルクを与える。ケーシング５ならびに下部ケーシング９に与えられた衝撃によるトルクは、ターボ分子ポンプＴＰがボルト結合で取付けられた被排気部ＨＶに伝達されることになるので、このトルクの伝達を少なくすることが望まれる。そこで、このトルクの伝達を軽減するためボルト結合部である吸気口フランジ５Ｆにおけるボルト用の貫通孔５Ｈをボルト１１の径より大きく形成し、トルクが作用したときボルト１１が曲折できるようにする工夫が提案されている。具体的には、このボルト１１の曲折で被排気部ＨＶへの伝達を軽減化させる方法である。しかしながら、この方法では吸気口フランジ５Ｆにトルクを緩和させる工夫は施されておらず、伝達トルクの軽減には有効でない。
本発明はこのような問題を解消できる分子ポンプを提供しようとするものである。

本発明が提供する分子ポンプは、上記課題を解決するために、被排気部に対してボルトにて吸気口フランジを接合させて結合させるポンプにおいて、この吸気口フランジにケーシングがトルクを受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってトルクによる衝撃が被排気部に伝達するのを緩和させるようにしたものである。この変形部については具体的にはつぎの３つの構成からなる分子ポンプを提供する。すなわち、第１に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の近傍に切り込みを形成することによって構成するものである。この切り込みは貫通孔が穿設されるピッチ円の円周方向両側に形成される。この切込部を貫通形にすることもできる。

本発明が第２に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の位置より内方であって吸気口フランジにおける円周上に連続的または連続的に形成された切込部によって構成される。この場合も切込部は吸気口フランジに対して貫通形とすることもできる。
さらに、本発明が第３に提供する分子ポンプは、吸気口フランジを半径方向に分割するよう構成し、この分割形の吸気口フランジをねじ部材等にて半径方向に接合することとし、この接合のためのねじ部材を結合のためのボルトより機械的に弱い材料で構成する。この分割方式とし接合部材を弱い材料にて形成することで変形部を構成する。
本発明が提供する分子ポンプはこのような構成により衝撃によるトルクをケーシングが受けたとき変形部が変形して吸気口フランジに作用したトルクの被排気部への伝達が軽減される。

回転体が回転中に破壊し、ケーシングがトルクを受けた際、ボルト用の貫通孔の近傍に形成された切り込みにボルトを介して負荷が作用し切込部と貫通孔との間に吸気口フランジに変形が生じる。この変形でトルク（エネルギー）が消耗され、吸気口フランジから被排気部への伝達は緩和され軽減される。したがって安価なボルトを使用しても安全余裕を確保でき、ボルト破断の危険を回避できる。被排気部も衝撃が大きく緩和され装置の構成を簡略にできる。

本発明が適用される分子ポンプはターボ機構のみからなるターボ分子ポンプあるいは回転体とステータリング間に形成されるねじ溝ポンプ、さらにはターボ機構とねじ溝ポンプの組合わせを基本とする構成のハイブリッド形の分子ポンプが挙げられる。最良である分子ポンプはハイブリッド形である。これは排気特性が良好であるためである。すなわち、円筒状のケーシングの内部には回転体が軸受により支持され、この回転体の上方部にターボ機構が配置され、下方部にはドラックポンプとしてのねじ溝ポンプが配置される。

このようなハイブリッド形の分子ポンプにおいて、ケーシングと一体の吸気口フランジ自体にトルクの衝撃を受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってその衝撃が被排気部に伝達されるのを緩和するものである。吸気口フランジは被排気部にボルトにて結合されるが、このボルトを貫通するための貫通孔近傍における吸気口フランジに切込部を形成する。この切込部の介在によって機械的強度の弱い部所すなわちこの部所が変形部であり、この部分の変形でトルクを緩和させようとするものである。あるいは吸気口フランジを分割体で構成しその接合部材を変形部として構成しトルクを吸収させるようにしたものである。
以下、図面に示す実施例にしたがって本発明を説明する。

図１は本発明をターボ分子ポンプＴＰに適用した実施例１の構成の断面図を示している。この図１は図１３に示す構成とほぼ同様で円筒状のケーシング５および下部ケーシング９の内部には高速回転する回転体４が２個の磁気軸受８Ａ、８Ｒにより支持されている。回転体４の上部は回転翼Ｂ１〜Ｂ８を有しており、この回転翼Ｂ１〜Ｂ８と交互に配置される形で固定翼Ｔ１〜Ｔ７が設けられ、固定翼Ｔ１〜Ｔ７はスペーサＳによって位置決めされている。５Ｆはケーシング５と一体に形成された吸気口フランジで、ボルト１１にて被排気部ＨＶに接合され結合される。ところで、分子ポンプの回転体４は数万ｒｐｍの高速で回転しており、回転体４が腐食性ガスにより材料が腐食を受けるなどして万一破損するような場合には、回転体４の破片は回転体４の周囲にあるスペーサＳに衝突したのち、ケーシング５および下部ケーシング９へ半径方向外側に向かって力が加わる。また、回転体４は高速回転状態しているため、ケーシング５および下部ケーシング９に回転力（トルク）が加わり、したがってこの回転力はボルト１１に伝達されることになる。

本発明はこの点の改善を鑑みて発明されたものであり、以上の構成において吸気口フランジ５Ｆ側に変形部を設け、この変形によってケーシング５や下部ケーシング９が受けたトルクを被排気部ＨＶに伝達されるのを緩和させるものである。
具体的には、図１〜図３に示すように、吸気口フランジ５Ｆに穿設されたボルト１１用の貫通孔５Ｈの近傍両側、理想的には貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に切込部５Ｋが設けられている。この構成は図２の断面図に詳しく示されている。すなわち図２は、ボルト１１が吸気口フランジ５Ｆの貫通孔５Ｈを貫通して被排気部ＨＶにねじ込まれた部位を拡大して示す図である。このような構成により貫通孔５Ｈの近傍に肉薄部Ｔが形成されている。この肉薄部Ｔが変形部である。図３はこの吸気口フランジ５Ｆを上方から見た図である。このような構成であるから、発生したトルクがボルト１１を介してこの肉薄部Ｔに作用すると、この肉薄部Ｔを中心とする吸気口フランジ５Ｆは図４に示すように歪み、ボルト１１に作用したエネルギーがこの切込部５Ｋの変形で吸収されることになる。このように本発明実施例１の構成はこのボルト用の貫通孔５Ｈの両側に切込部５Ｋを設けた点に特徴がある。

トルク発生時における状態を図１〜図４にしたがって詳細に説明すると、吸気口フランジ５Ｆが図４に示す矢印Ｙ方向に動きはじめると、ボルト１１は最初に肉薄部Ｔの上方点Ａに当接する。このボルト１１は被排気部ＨＶにねじ込まれており、その部分は位置が固定されているので、ボルト１１は曲折せざるを得ず曲折する。そして、ボルト１１が曲折されると切込部５Ｋが歪み肉薄部Ｔの下方点Ｂがふくらんだ形となってボルト１１に当接する。同時にその反対側にある肉薄部Ｔが歪むことになり肉薄部Ｔの下方点Ｃが当接して押すことになる。この動作で歪みの変形が生起しトルクのエネルギーが吸収されることになる。肉薄部Ｔの歪みの変形部がなければ、エネルギーの吸収はなくボルト１１に局部的な力がかかることになる。なお、この切込部５Ｋの形状は吸気口フランジ５Ｆの厚さを貫通する形にしても良いが、貫通形状よりさらに格段の効果を得るために、図２に示すように切込部５Ｋの形状をＶ字形でかつ平面的には円弧状とすることが望ましい。それは上述したとおり、図４に示すように肉薄部Ｔの上方点Ａが押されて下方点Ｂが盛上がって膨らみ、下方点Ｂの部位がボルト１１を押すことでボルト１１の変形と下方点Ｃの変形の両方で効率良く力を吸収することができるからである。

したがって、切込部５Ｋは片側だけに設けた場合は効果は小さく、図２に示したように貫通孔５Ｈに対し、そのピッチ円周方向の両側に形成することによって格段の効果を有する。さらに図５（Ａ）、（Ｂ）とともに説明すると、回転体４の回転方向に対して貫通孔５Ｈの進行側は下部に、そしてその反対側には上部に形成することで効率的に変形を吸収することができるが、切込部５Ｓの場所は貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向に隣接して両側に設けられていることが望ましい。この場合切込部５Ｓは矩形状でＶ溝形ではない。これら変形例に示すように切込部の形状および大きさについては問わない。なお、図１〜図４において、図１３と同一の符号で示される部品は図１３と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。

図６は本発明が提供する実施例２の構成を平面的に示している。そして図７は図６の構成のＡ−Ａ縦断面を示している。この本発明が第２に提供する実施例２は、図７に示すように、吸気口フランジ５Ｆにおけるボルト１１用の貫通孔５Ｈの中心を通るピッチ円より内方側で円周状に切込部５Ｄを設けたものである。この切込部５Ｄは円周状に断続した形で穿設されている。この断続的な切込部５Ｄのピッチは自在に設定できるが、各切込部５Ｄ間の肉薄部Ｑが変形部を構成する。すなわち、この第２の実施例は吸気口フランジ５Ｆにおける半径方向（外側）に向かって作用するトルクを受けたとき、その力をこの各切込部５Ｄ間の肉薄部Ｑが受け、歪みを生じトルクのエネルギーを吸収する。その結果、ボルト１１に伝わる力が緩和される。図７に示すようにこの切込部５Ｄは吸気口フランジ５Ｆを貫通している。なお、この切込部５Ｄの形状については、図示例のような楕円形に限定されず、台形、三角形、真円形など種々の形とすることができる。５Ｍは円周状溝である。

この第２の実施例については、さらに具体的な変形の実施例を挙げることができる。この変形実施例としては図８、図９に示されている。この変形例は図８の断面図に示すように、吸気口フランジ５Ｆの上面と下面の両面に円周状の切込部５Ｇが形成されている。すなわち、上面には垂直状溝の切込部５Ｇが形成され下面には傾斜溝状の切込部５Ｇが形成されている。したがって両切込部５Ｇ間に肉薄部Ｚが形成され、この肉薄部Ｚが変形部を構成している

トルクの発生により、この肉薄部Ｚが変形ないし破断しトルクエネルギーの吸収が行われる。図９はこの肉薄部Ｚが破断状態を示している。もちろんこの円周状の切込部を有する実施例２の実施例はこれらの変形例に限定されるものではない。これらの例では吸気口フランジ５Ｆの切込部５Ｇが変形の結果として、吸気口フランジ５Ｆの破断を生じたとしても回転フランジのように機能するものである。したがって、ボルト１１の破断によってターボ分子ポンプＴＰが被排気部ＨＶから結合が解かれ、離脱、落下に至ることはない。なお、図６〜図９において、図１〜図５と同一の符号で示される部品は図１〜図５と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。

図１０、図１１は本発明が提供する実施例３の構成を示す図である。図１０は吸気口フランジ５Ｆを上面より示す図であり、図１１は図１０のＢ−Ｂ面を示す縦断面である。本発明が第３に提供する分子ポンプの実施例３は、これらの図面から明らかなとおり、吸気口フランジ５Ｆを半径方向に分割するとともに、この分割形の吸気口フランジ５Ｆをボルト１１よりも機械的強度の小さい材料からなる結合具で結合させたものであり、この結合具が変形部を構成させるようにしたことを特徴とする。分割の仕方はＬ字形の分割断面Ｌで行っている

具体的には、分子ポンプを結合する際使用するボルト１１より小さなサイズの結合ねじ１２を前記結合具として使用し、分割フランジ５ＳＦを吸気口フランジ５Ｆと結合するものである。図１０は２個に分割した内方分割フランジ５ＳＦを結合ねじ１２で結合させた状態を示し、図１１はこの結合部を縦断面して示している。以上のような構成であるから、したがってトルクが発生して吸気口フランジ締結用のボルト１１が破断するより先にこの分割フランジ５ＳＦと吸気口フランジ５Ｆの結合ねじ１２が破断し、その後は回転フランジのように機能することになる。この場合も分子ポンプが被排気部ＨＶ（図１）から離脱、落下してしまうようなことはない。図１２は吸気口フランジ５Ｆの分割の仕方を傾斜面Ｋで行った変形例を示す図である。
もちろんこれら各実施例以外の変形例も挙げられ、図示例に限定されない。なお、図１０〜図１２において、図１〜図９と同一の符号で示される部品は図１〜図９と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。

本発明が第１に提供する分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。本発明の要部の構成を縦断面して示す図である。本発明の要部の構成の平面を示す図である。本発明による機能の特徴を説明するための図である。本発明が第１に提供する分子ポンプの構成の変形例を示す図である。本発明が第２に提供する分子ポンプの構成を示す図である。本発明が第２に提供する分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。本発明が第２に提供する分子ポンプの構成の変形例を縦断面して示す図である。本発明が第３に提供する分子ポンプの機能の特徴を説明するための図である。本発明が第３に提供する分子ポンプの構成を示す平面図である。本発明が第３に提供する分子ポンプの要部を拡大して示す図である。本発明が第３に提供する分子ポンプの要部の変形例を示す図である。従来における分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。従来における分子ポンプの構成を一部を断面して示す図である。従来の分子ポンプにおける欠点を説明するための図である。

符号の説明

１ポンプ機台部
１Ｋ電極コイル
２モータ
３回転軸
４回転体
４Ｎ円筒部
５ケーシング
５Ｆ吸気口フランジ
５Ｄ、５Ｇ、５Ｋ、５Ｓ、５Ｔ切込部
５Ｈ貫通孔
５Ｍ円周状溝
５ＳＦ分割フランジ
６吸気口
７排気口
８Ａ、８Ｒ磁気軸受
９下部ケーシング
１０ステータリング
１１ボルト
１２結合ねじ
Ｂ１〜Ｂ８回転翼
ＨＶ被排気部
Ｋ傾斜面
Ｌ分割断面
Ｓスペーサ
Ｔ１〜Ｔ７固定翼
ＴＫターボ機構
ＴＰターボ分子ポンプ
ＮＰねじ溝ポンプ
Ｔ、Ｑ、Ｚ肉薄部

Claims

円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転枠に複数段固定された回転翼と、前記ケーシング内周側に固定された複数段の固定翼と、前記回転枠を高速回転させるモータを備えて前記回転翼と前記固定翼からなるターボ機構を構成し、前記ケーシングの一端側の吸気口からの分子を吸気して他端側の排気口に排気するポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジに、前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設けることで、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させる緩和手段を設け、
前記緩和手段が前記吸気口フランジに穿設された前記ボルト用の貫通孔の近傍に形成された一対の切込部で構成されており、前記一対の切込部の一方は、前記回転翼の回転方向に対して前記貫通孔の進行側に、前記吸気口フランジの下面側に開口を有するように設け、他方はその反対側に、前記吸気口フランジの上面側に開口を有するように設けられていることを特徴とする分子ポンプ
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転枠に複数段固定された回転翼と、前記ケーシング内周側に固定された複数段の固定翼と、前記回転枠を高速回転させるモータを備えて前記回転翼と前記固定翼からなるターボ機構を構成し、前記ケーシングの一端側の吸気口からの分子を吸気して他端側の排気口に排気するポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジに、前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設けることで、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させる緩和手段を設け、
前記緩和手段が前記吸気口フランジに穿設され、前記ボルト用の貫通孔の位置より内方において前記吸気口フランジの上面側と下面側の両方に一対で形成され、かつ円周上に連続的または断続的に形成された切込部で構成されており、前記一対の切込部のうち上面側は前記吸気口フランジのフランジ面に対して垂直に形成され、下面側は切込部の開口から前記吸気口フランジの外側に向かうように傾斜していることを特徴とする分子ポンプ。
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転枠に複数段固定された回転翼と、前記ケーシング内周側に固定された複数段の固定翼と、前記回転枠を高速回転させるモータを備えて前記回転翼と前記固定翼からなるターボ機構を構成し、前記ケーシングの一端側の吸気口からの分子を吸気して他端側の排気口に排気するポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、前記吸気口フランジをこの吸気口フランジに穿設された前記ボルト用の貫通孔より内方の位置で半径方向に分割させて構成されるとともに、この分割された両方の吸気口フランジを前記ボルトより強度的に弱い材料からなる連結具で一体的に構成されており、さらに、前記分割部の断面が前記回転翼の回転軸に対して傾斜しており、かつ、前記傾斜の方向が前記吸気口フランジの下面側から上面側に向かって広がる方向であることを特徴とする分子ポンプ。
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、前記回転体の外周面と前記ステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行うポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジに、前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設けることで、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させる緩和手段を設け、
前記緩和手段が前記吸気口フランジに穿設された前記ボルト用の貫通孔の近傍に形成された一対の切込部で構成されており、前記一対の切込部の一方は、前記回転翼の回転方向に対して前記貫通孔の進行側に、前記吸気口フランジの下面側に開口を有するように設け、他方はその反対側に、前記吸気口フランジの上面側に開口を有するように設けられていることを特徴とする分子ポンプ
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、前記回転体の外周面と前記ステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行うポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、この吸気口フランジに、前記ケーシングが一定以上のトルク作用を受けたとき変形する変形部を設けることで、この変形部の変形によってトルクが被排気部側に伝達するのを緩和させる緩和手段を設け、
前記緩和手段が前記吸気口フランジに穿設され、前記ボルト用の貫通孔の位置より内方において前記フランジの上面側と下面側の両方に一対で形成され、かつ円周上に連続的または断続的に形成された切込部で構成されており、前記一対の切込部のうち上面側は前記吸気口フランジのフランジ面に対して垂直に形成され、下面側は切込部の開口から前記吸気口フランジの外側に向かうように傾斜していることを特徴とする分子ポンプ。
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、前記回転体を高速回転させるモータを備え、前記回転体の外周面と前記ステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行うポンプであり、前記吸気口には被排気部にボルトにて結合する吸気口フランジが付設されている分子ポンプにおいて、前記吸気口フランジをこの吸気口フランジに穿設された前記ボルト用の貫通孔より内方の位置で半径方向に分割させて構成されるとともに、この分割された両方の吸気口フランジを前記ボルトより強度的に弱い材料からなる連結具で一体的に構成されており、さらに、前記分割部の断面が前記回転翼の回転軸に対して傾斜しており、かつ、前記傾斜の方向が前記吸気口フランジの下面側から上面側に向かって広がる方向であることを特徴とする分子ポンプ。