JP4133233B2 - ターボ分子ポンプおよびそのロータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速回転するターボ分子ポンプ、特にターボ分子ポンプのロータの接続構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプは、例えば毎分数万回転といった高速で回転するロータを内部に備えた回転機械である。
このようなターボ分子ポンプのロータの一例を図2に示す。
図2は、従来のターボ分子ポンプにおけるロータ101の動翼体102とシャフト部(回転軸体)103との接続部を示した部分拡大断面図である(特許文献1参照)。
動翼体102は、その軸線周りに形成された円盤部(中央部)102aと、該円盤部102aの外周側に一体に接続された動翼(図示せず)とを有している。円盤部102aには、軸線方向下方に向かって突出する凸部102bが設けられている。この凸部102は、下方に向かって縮径するように形成された円錐台形状とされている。
シャフト部103は、下方に主軸103aを備え、上端には凸部102bに対応するテーパ穴103bが形成されている。主軸103aは円柱状で、図示しない磁気軸受によって支持され、モータによって駆動力を得ている。テーパ穴103bは、凸部102bに対応する円錐台状とされている。動翼体102の凸部102bがシャフト部103のテーパ穴103bに嵌入されることで、シャフト部103に対して動翼体102が締結されている。さらに、動翼体102とシャフト部103とは、複数のボルト104によって固定されている。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−297782号公報 (第2−3頁、第1−3図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成のロータ101を有するターボ分子ポンプに対して過大な振動や内部での異常状態が生じると、次のような過程を経てロータは破壊する。
複数のボルト104が破断した後、動翼体102は、凸部102bがテーパ穴103bに嵌合した状態でシャフト部103に対して保持される。しかし、最終的にはこの嵌合状態が保持されずに、動翼体102は、嵌合部分がテーパ状となっているので、テーパ状の斜面に沿って斜め上方に飛び出すことになる。
また、動翼体102とシャフト部103との嵌合状態が強固に固定されている場合であっても、動翼体102の遠心力によって凸部102bが剪断されて破断することになる。
このように動翼体102がシャフト部103から切り離されて飛び出すと、ターボ分子ポンプのロータ101の周囲に配置された各機器に損傷を与えてしまうという問題があった。
一方、上記従来のターボ分子ポンプのロータ101は、動翼体102とシャフト部103との芯出しを行うために、凸部102bおよびテーパ穴103bがテーパ状となっている。また、芯出しという機能を達成することを考慮すれば、凸部102の径が大きくなればそれだけ遠心力による変形が増大するので、凸部の径はなるべく小さくすることが技術常識といえる。
このように、上記従来のターボ分子ポンプのロータ101は、破壊時において他の機器に与える損傷を抑えるためにどのように凸部102を形成するかという考慮がなされていない。
【0005】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、過大な振動や内部での異常状態によってロータが破壊を起こしたとしても、周囲の機器に対する被害を抑えるターボ分子ポンプおよびそのロータ、さらにターボ分子ポンプの組立方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するための手段として、次のような構成を採用する。
すなわち本発明に係る請求項1記載のターボ分子ポンプのロータは、軸線方向に突出する凸部を有する中央部と該中央部の外周側に一体に設けられた動翼とを有する動翼体と、前記中央部の前記凸部が挿入される凹部が先端部に形成された回転軸体と、を備えたターボ分子ポンプのロータにおいて、前記凸部の周囲および前記凹部の周囲には、それぞれ前記軸線方向に対して垂直な方向にボルト締結面が形成され、これらボルト締結面を介して前記動翼体と前記動翼体とが締結され、前記凸部は、前記ボルト締結面よりも突出して設けられるとともに、前記軸線に対して平行な側面を有し、前記回転軸体の外径に対する前記凸部の外径の比が0.4以上とされ、前記凸部の外径に対する前記凸部の軸線方向長さの比が0.5以上とされ、さらに前記動翼体は、前記回転軸体の比重よりも小さい比重とされていることを特徴とする。
【0007】
凸部の側面を軸線に対して平行としたことにより、動翼体すなわち凸部に遠心力が加わったとしても、遠心力による分力が平行な側面に沿って形成されることはない。したがって、遠心力によって凸部ひいては動翼体が回転軸体の凹部に沿って移動して飛び出すことがない。なお、凸部の側面を軸線に対して平行にする形状としては、円柱状が好ましい。ただし、円柱状に限定されるわけではなく、角柱であっても構わない。
また、回転軸体の外径に対する凸部の外径の比を0.4以上として、凸部を太くした。これにより、仮に凸部が動翼体に加わる遠心力による剪断力によって破断されるとしても、太い分だけ破断時のエネルギを消費することになる。したがって、破断後に動翼体が回転軸体から分離して飛び出したとしても、他の機器に与える損傷を最小限に抑えることができる。なお、回転軸体の外径に対する凸部の外径の比は、好ましくは0.5以上、更に好ましくは0.6以上である。
【0008】
また、凸部の外径に対する凸部の軸線方向長さの比を0.5以上として、凸部を長くした。これにより、回転軸体の凹部に対して凸部が接触する領域が拡大するので、これら凹部と凸部摩擦力が増大することとなる。なお、凸部の外径に対する凸部の軸線方向長さの比は、好ましくは0.6以上である。
【0009】
本発明においては、比重の小さいロータの凸部が比重の大きいシャフト部凹部に入り込むので、ロータが全体として軽量化されることになる。
【0010】
請求項2記載のターボ分子ポンプのロータは、前記動翼体の前記中央部の外面から前記回転軸体にかけて、これら動翼体および回転軸体の中心軸線に沿ってロータ組立用の仮軸を挿脱可能な孔が形成されていることを特徴とする。
【0011】
本発明においては、孔が動翼体および回転軸体に形成されることによって、ロータ全体が軽量化されることになる。特に動翼体が軽量化されることによって、ロータ破壊時に動翼体が飛び出す際の運動エネルギが低減させられることとなる。
また、ロータ組立時に、回転軸体の孔に仮軸を挿入し、その上から仮軸に動翼体を嵌入させることで、動翼体の位置決めが容易に行える。
【0012】
さらに、ターボ分子ポンプが、上記請求項1または2に記載されたロータを備えていれば、ロータの破壊が生じても各機器への損傷を最小限に止めることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明に係るターボ分子ポンプ及びそのロータの第1の実施形態を、図1に示して説明する。
ターボ分子ポンプ1は、ロータ2と、ロータ2を収納して保護するケーシング3とを備えている。
【0014】
ロータ2は、動翼体4と、シャフト部(回転軸体)6とを備えている。
動翼体4は、動翼4Aと、円盤部(中央部)4Bと、凸部4Cと、ねじ溝部4Dとを備えている。円盤部4Bには、動翼体4の軸線方向にシャフト部6側へと突出する凸部4Cが設けられている。円盤部4Bの外周側には、動翼4Aが円盤部4Bと一体に多段状に設けられている。また、動翼体4下部の外側部分にはねじ溝が切ってあり、ねじ溝部4Dが形成されている。また、動翼体4は比重が軽いアルミ合金によって形成されており、その比重は2.8とされている。
動翼体4の中央には、軸方向に貫く貫通孔4Eが設けられている。
【0015】
シャフト部6は、上部のフランジ部(先端部)6Aと、主軸6Bと、下部のスラストディスク6Cとを備えている。フランジ部6Aには凹部6Dが設けられており、凹部6Dにはロータの凸部4Cが嵌合して動翼体4とシャフト部6とが締結されている。また、凹部6Dと凸部4Cによる嵌合部の周囲において、複数のボルト7によっても動翼体4と、シャフト部6と、が締結されている。シャフト部6はステンレスにより形成されており、その比重は8とされている。シャフト部6上端の中央からは、動翼体4の貫通孔4Eに続く穿孔6Eが設けられている。動翼体4Aに設けられた貫通孔4Eと、シャフト部6に設けられた穿孔6Eとによって連続した孔が形成されている。貫通孔4Eと穿孔6Eとは、それぞれ動翼体4とシャフト部6の中心軸線に沿って形成されている。動翼体4の凸部4Cとシャフト部6の凹部6Dとの嵌合部分は、それぞれが抜け難いようにするために、テーパ状ではなく、凸部4Cの側面が平行となる円柱状とされている。凸部4Cの側面が平行とされているので、動翼体4の遠心力の分力が軸方向に存在しないために動翼体4が抜け難い。
【0016】
凸部4C及び凹部6Dによる嵌合部においては、シャフト部6の外径に対する凸部4Cの外径の比が0.4以上とされている。また、凸部の外径に対する凸部4Cの軸方向長さの比は0.5以上とされている。
【0017】
ケーシング3は、上部ケーシング9と下部ケーシング10が複数のボルト12によって締結されて形成されている。上部ケーシング9の上端には開口部であるガス吸気口13が設けられている。下部ケーシング10には排気口14が設けられている。
上部ケーシング9における動翼4Aと略同じ高さの部分からは、動翼4Aの間に向かって静翼15が延びている。動翼4Aと静翼15とが交互に設けられて複数の翼段を構成している。
【0018】
下部ケーシング10とシャフト部6との対向面の上端には、上部保護玉軸受16が設けられている。上部保護玉軸受16の下面に接する部分には上部ラジアル磁気軸受17が設けられている。また、下部ケーシング10とシャフト部6との対向面の下方には下部ラジアル磁気軸受18が設けられている。上部ラジアル磁気軸受17と下部ラジアル磁気軸受18との二つの磁気軸受の間にモータ19が配置されている。
下部ラジアル磁気軸受18の下方には下部保護玉軸受20が設けられている。また、シャフト部6の下端面に設けられたスラストディスク6Cの上下面にはスラストディスク6Cに対向してスラスト磁気軸受21が設けられている。
【0019】
上記のように構成されたターボ分子ポンプを作動させると、スラスト磁気軸受21と、上部ラジアル磁気軸受17と、下部ラジアル磁気軸受18と、に通電し、ロータ2を軸中心に浮上させた状態でモータ19を回転させ、ロータ2を10000〜100000rpmで高速回転させる。ロータ2を回転させると、ガス吸気口13からガスが吸気される。ガスが吸気されてガス吸気口13側が高真空状態になると、ガスの粒子は動翼4Aの回転により下方向の速度を与えられる。
【0020】
下方向の速度を与えられたガスは、動翼4Aと静翼15とによる翼段を通り、動翼体4のねじ溝部4Dで圧縮されて押し出され、排気口14に導かれる。こうして、排気口14からガスが排出されることによって、ガス吸気口13側が高真空に保持される。
【0021】
ターボ分子ポンプ1の運転時において、許容値を超える過大振動や内部での異常状態によって大きな運動エネルギを持った動翼体4が破壊されると、動翼体4の破片は外に飛び出そうとする。しかし、動翼4Aは比重が軽い材料によって形成されており、破片も小さくなるためにさほど大きな運動エネルギは放出しない。しかし、動翼体4の円盤部分4Bは、比較的大きな質量を持っている。そのため、動翼体4の円盤部分4Bが飛び出して運動エネルギを放出すると、周囲の機器に対して大きく損傷させることが予想される。しかし、動翼体4の凸部4C及びシャフト部6の凹部6Dが大きくかつ深く嵌合しているために、ロータ4が飛び出し難い。
【0022】
また、飛び出したとしても、凸部4Cと凹部6Dとによる嵌合部が抜けるまでに運動エネルギが動翼体4の凸部4Cとシャフト部の凹部6Dとの間の摩擦エネルギに変わって消費されるので運動エネルギが放出されずに済み、周囲の機器に対してダメージを与えない。また、動翼体4の凸部4Cと、シャフト部6の凹部6Dと、の嵌合部分の径が大きいために、凸部4Cが動翼体4に加わる遠心力による剪断力によって破断されるとしても、太い分だけ破断時のエネルギを消費することになるので、破断後に動翼体が回転軸体から分離して飛び出したとしても、エネルギの放出量が抑えられ、他の機器に与える損傷を最小限に抑えることができる。また、凸部4Cの径が大きいために凸部4Cの強度が確保されて、動翼体の凸部4Cが破壊して動翼体4の円盤部分4Bが飛び出すことが抑えられる。
【0023】
また、比重が小さい動翼体4がシャフト部6に対して大きくかつ深く入り込むために、ロータ2の全体的な重量が軽くなり、重心が低くなる。重心が低くなるために、回転が安定し、回転性能が向上して最大回転数が上がる。また、軸受の外側部分の重量が軽くなり、オーバハングが抑えられるので、振れ回りの発生が抑えられ、振れ回りによる事故の発生が抑えられる。また、振れ回りの発生が抑えられるために、回転が安定して回転性能が向上する。
【0024】
動翼体4の中心には動翼体4を軸方向に貫く貫通孔4Eが設けられ、シャフト部6の中心には穿孔6Eが設けられている。これにより、組立て時に予めシャフト部6の穿孔6Eに仮軸を嵌入させ、シャフト部に対して仮軸を固定する。それから、仮軸にロータの貫通孔を上から嵌入させることで、ロータの位置決めが容易に行われる。また、ターボ分子ポンプ1を組み立てた後の貫通孔4E及び穿孔6Eは、仮軸が抜かれた後にロータ2の軽量化に寄与する。ロータ2が軽量化されるために、回転性能が向上し最大回転数も向上する。
【0025】
なお、本実施形態においては凸部4C及び凹部6Dを円柱状としたが、これに変えて角柱状としても良い。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るターボ分子ポンプ及びそのロータによれば、凸部の側面を軸線に対して平行としたことにより、動翼体すなわち凸部に遠心力が加わったとしても、動翼体が回転軸体から抜け難い。また、回転軸体の外径に対する凸部の外径の比を0.4以上として、凸部を太くしたことにより、凸部が動翼体に加わる遠心力による剪断力によって破断されるとしても、太い分だけ破断時のエネルギを消費することになるので、動翼体の飛び出しが抑制され、動翼体が飛び出したとしても放出されるエネルギが少ないので、周囲の機器に損傷を与えずに済み、ターボ分子ポンプの安全性が保たれる。また、回転軸体の外径に対する凸部の外径の比を0.4以上として、凸部を太くしたことにより、凸部が動翼体に加わる遠心力による剪断力によって破断されるとしても、太い分だけ破断時のエネルギを消費するので、動翼体が回転軸体から飛び出したとしても、エネルギが放出されず、他の機器に与える損傷を最小限に抑えることができ安全性が保たれる。
【0027】
また、本発明に係るターボ分子ポンプ及びそのロータによれば、比重の小さい動翼体の凸部が比重の大きい回転軸体の凹部に入り込むことによって、ロータが軽量化されるので回転性能が向上し最大回転数が上がる。
【0028】
また、本発明に係るターボ分子ポンプ及びそのロータによれば、孔が動翼体および回転軸体に形成されることによって、ロータ全体が軽量化されることになる。特に動翼体が軽量化されることによって、ロータ破壊時に動翼体が飛び出す際の運動エネルギが低減させられることとなるので、他の機器に対する安全性が増す。また、ロータ組立時に、回転軸体の孔に仮軸を挿入し、その上から仮軸に動翼体を嵌入させることで、動翼体の位置決めが容易に行えるので、組立時の作業者の手間が省ける。
【0029】
また、本発明に係るターボ分子ポンプ及びそのロータによれば、ターボ分子ポンプが、請求項1または2に記載されたロータを備えていれば、ロータの破壊が生じても各機器への損傷を最小限に止めることができるので、ターボ分子ポンプの安全性が増す。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態におけるターボ分子ポンプの断面図である。
【図2】 従来のターボ分子ポンプのロータの断面図である。
【符号の説明】
1 ターボ分子ポンプ
2 ロータ
4 動翼体
4C 凸部
4E 貫通孔
6 シャフト部
6D 凹部
6E 穿孔
Claims (4)
- 軸線方向に突出する凸部を有する中央部と該中央部の外周側に一体に設けられた動翼とを有する動翼体と、
前記中央部の前記凸部が挿入される凹部が先端部に形成された回転軸体と、を備えたターボ分子ポンプのロータにおいて、
前記凸部の周囲および前記凹部の周囲には、それぞれ前記軸線方向に対して垂直な方向にボルト締結面が形成され、これらボルト締結面を介して前記動翼体と前記回転軸体とが締結され、
前記凸部は、前記ボルト締結面よりも突出して設けられるとともに、前記軸線に対して平行な側面を有し、
前記回転軸体の外径に対する前記凸部の外径の比が0.4以上とされ、
前記凸部の外径に対する前記凸部の軸線方向長さの比が0.5以上とされ、
さらに前記動翼体は、前記回転軸体の比重よりも小さい比重とされていることを特徴とするターボ分子ポンプのロータ。 - 前記動翼体の前記中央部の外面から前記回転軸体にかけて、これら動翼体および回転軸体の中心軸線に沿ってロータ組立用の仮軸を挿脱可能な孔が形成されていることを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプのロータ。
- 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプのロータを備えたターボ分子ポンプ。
- 軸線方向に突出する凸部を有する中央部と該中央部の外周側に一体に設けられた動翼とを有する動翼体と、前記中央部の前記凸部が挿入される凹部が先端部に形成された回転軸体とを結合するターボ分子ポンプの組立方法であって、
前記凹部の中心部に、前記回転軸体の中心軸線に沿って仮軸を固定する工程と、
前記動翼体の中心軸線に沿って前記凸部の中心部に形成された貫通孔に、前記仮軸を嵌入させつつ、前記凹部に前記凸部を挿入する工程と、
前記凹部に前記凸部を挿入した後、前記仮軸を取り外す工程とを含むことを特徴とするターボ分子ポンプの組立方法。
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