JP4895178B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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- 複数段のロータ翼部を有し、回転可能に支持されたロータと、
前記ロータ翼と交互に配置されたステータ翼と、前記ロータの下部円筒部に近接して対向配置され、その対向面にネジ溝加工が施されたネジステータとを有するステータと、
前記ロータおよびステータを内部に収納すると共に、上部に吸気口を有するケーシングと、下部に排気口を有するベースとを備えるターボ分子ポンプおいて、
前記ネジステータは、当該ネジステータをベースにボルトで固定するためのボルト穴を少なくとも1つ備え、
前記ボルト穴は、ネジステータの円周方向に長い長穴であることを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記ボルトが前記長穴状のボルト穴に挿入された状態において、ボルトがボルト穴の長穴に沿って摺動可能とすることで、前記ネジステータが前記ベースに対して、前記長穴の周方向長さからボルト径を差し引いた長さ分だけ円周方向に回転可能とする回転促進機構を備え、前記ネジステータを前記ベースに対して回転可能に固定することを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプ。
- 前記ネジステータは外周部分に前記ベースに固定するためのフランジを有し、当該フランジに前記長穴状のボルト穴が形成され、
前記回転促進機構は、
前記ベースと対向する前記フランジの上面に形成されたテーパ部と、
前記ボルトに取り付けられるワッシャに形成される、前記テーパ部と対向するテーパ部とで構成されることを特徴とする、請求項2に記載のターボ分子ポンプ。 - 前記ネジステータおよび前記ベースの両方に、円周方向の位置合わせ用の合いマークを備えることを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載のターボ分子ポンプ。
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