JP2017014945A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
さらに好ましい実施形態では、前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備える。
さらに好ましい実施形態では、前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである。
さらに好ましい実施形態では、前記吸気口フランジおよび前記補助フランジに設けられたピン穴と前記ピンとの隙間寸法は、前記吸気口フランジの移動可能量が前記締結部に設けられたボルト孔と前記ボルトとの隙間寸法よりも小さくなるように設定されている。
−第1の実施の形態−
図1は本発明に係る真空ポンプの第1の実施の形態を説明する図であり、ターボ分子ポンプ1を示す断面図である。ターボ分子ポンプ1は、不図示のコントロールユニットによって駆動制御される。
図5,6は、本発明に係る真空ポンプの第2の実施形態を示す図である。図5は、吸気口フランジ211および補助フランジ213Aの平面図である。図6は、第2の実施の形態における吸気口フランジ211の固定構造を示す図である。補助フランジ213Aは、ピン300を備える点が図2に示す補助フランジ213と異なり、その他の構成は補助フランジ213と同様である。補助フランジ213Aの挟持部222には、吸気口フランジ211の背面と対向する面にピン300が立接されている。図6に示す例では、4つのピン300が各補助フランジ213Aに設けられている。ピン300は挟持部222の面から突出するように設けられており、その突出した部分は、吸気口フランジ211の背面に形成されたピン穴211aに係合している。
(1)図1に示すように、真空ポンプであるターボ分子ポンプ1は、回転駆動されるロータ30と、吸気口フランジ211が形成され、ロータ30を収容するポンプケーシング21と、吸気口フランジ211と分離して設けられ、吸気口フランジ211を装置側フランジに固定する補助フランジ213と、を備える。そして、補助フランジ213は、図3に示すように、装置側フランジである排気口フランジ100にボルト105により締結される締結部223と、吸気口フランジ211の背面に当接し、吸気口フランジ211を排気口フランジ100との間に挟持する挟持部222とを有する。
Claims (4)
- 回転駆動されるロータと、
吸気口フランジが形成され、前記ロータを収容するポンプケーシングと、
前記吸気口フランジと分離して設けられ、前記吸気口フランジを装置側フランジに固定する補助フランジと、を備え、
前記補助フランジは、
前記装置側フランジにボルトにより締結される締結部と、
前記吸気口フランジの背面に当接し、前記吸気口フランジを前記装置側フランジとの間に挟持する挟持部とを有する、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記吸気口フランジから前記補助フランジを介して前記ボルトに伝達される衝撃を緩和する緩衝部材を、前記吸気口フランジと前記補助フランジとの間に備える、真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記緩衝部材は、前記吸気口フランジに設けられたピン穴および前記補助フランジに設けられたピン穴に係合するピンである、真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記吸気口フランジおよび前記補助フランジに設けられたピン穴と前記ピンとの隙間寸法は、前記吸気口フランジの移動可能量が前記締結部に設けられたボルト孔と前記ボルトとの隙間寸法よりも小さくなるように設定されている、真空ポンプ。
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