CN111692106A - 真空泵、真空泵的固定方法、外装体、辅助凸缘及变换凸缘 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够使用设置于通常的标准件的固定部(螺栓螺纹孔)将辅助凸缘固定于装置侧的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中，还设置有用于固定辅助凸缘（213）的变换凸缘（200），使用设置于标准件的螺栓螺纹孔将该变换凸缘（200）和装置侧凸缘（100）固定，且将该变换凸缘和辅助凸缘固定(以下将用于变换辅助凸缘（213）和装置侧凸缘（100）的紧固连结位置的零件称作变换凸缘)。这样，能够在以往不改变标准件的设计的情况下用辅助凸缘（213）将真空泵和装置固定。

Description

真空泵、真空泵的固定方法、外装体、辅助凸缘及变换凸缘

技术领域

本发明涉及能够应对异常时产生的转矩的真空泵、真空泵的固定方法、外装体、辅助凸缘及变换凸缘。

背景技术

涡轮分子泵、螺纹槽式泵等分子泵(真空泵)用于半导体制造装置中的排气、电子显微镜等的需要高真空的真空容器。

在这样的真空泵，通常设置有既定尺寸的凸缘，与需要排气的装置(以下称为装置)的排气口的凸缘(以下称为装置侧凸缘)借助螺栓等固定。

真空泵的凸缘(以下将真空泵的凸缘称作吸气口凸缘)和装置侧凸缘之间通过隔着O型圈地固定来保持高度的气密性。

在真空泵设置有被旋转自如地支承而能够借助马达高速旋转的转子、固定于真空泵的罩内部的定子。并且，通过马达高速旋转，由于转子和定子的相互作用，发挥排气作用。通过该排气作用，从真空泵的吸气口抽吸装置侧的气体，从排气口排气。这样实现装置内的高真空状态。

通常，真空泵在分子流区域(真空度高而分子彼此碰撞的频率小的区域)排出气体。为了在该分子流区域发挥排气能力，转子需要每分钟3万转左右的高速旋转。

但是，分子泵的运转中发生某问题而转子与定子、其他固定于真空泵内的部件碰撞的情况下，转子的角运动量向定子、其他固定部件传递，瞬时产生使真空泵整体向转子的旋转方向旋转的较大的转矩。该转矩经由凸缘向装置侧也施加较大的应力。若假如转矩被向装置侧传递，则对将吸气口凸缘和装置侧凸缘固定的螺栓作用剪切力，有螺栓破损，或根据情况也有分子泵下落的可能。

这样的状况下，对于装置内部的产品产生不良影响，也有内部的气体(也有有毒气体的情况)泄漏的可能。

因此，为了缓和这样的转矩产生的冲击，例如，以往在吸气口凸缘设置相对于转矩的缓冲部件等各种各样的方案被提出。

专利文献1：日本特开2017-14945号。

图15是说明专利文献1所公开的涡轮分子泵的概略情况的图。该涡轮分子泵中，将吸气口凸缘211和装置侧凸缘(排气口凸缘)100固定时，不将两者直接固定，经由分体的辅助凸缘213将两者固定 (以下，将吸气口凸缘211和装置侧凸缘100紧固连结时，将用于在两者之间固定的部件设为辅助凸缘)。

即，使辅助凸缘213的夹持部222与吸气口凸缘211的背面(与密封面相反的一侧的面)抵接的状态下，使用螺栓105将紧固连结部223紧固连结于装置侧凸缘100。并且，若将紧固连结部223用螺栓紧固连结于装置侧凸缘100，则吸气口凸缘211被夹持于夹持部222和装置侧凸缘100之间。因此，吸气口凸缘211和装置侧凸缘100通过O型圈密封110而被固封。

根据这样的固定方法，吸气口凸缘211和装置侧凸缘100未被直接固定，所以即使产生由转矩产生的冲击，两者也会互相滑动，所以能够使传向装置侧的转矩以某种程度减少。

但是，若将这样的技术应用于真空泵，则吸气口凸缘211不会直接固定于装置侧凸缘100，仅被辅助凸缘213的夹持部222和装置侧凸缘100夹持，所以由于转矩产生的冲击，涡轮分子泵(真空泵)大幅旋转。此时，力作用于与该真空泵连接的排气配管、电气缆线而发生损伤，进而由于移动的配管、缆线，也有对装置造成损伤的可能。

此外，若将这样的经由辅助凸缘213把吸气口凸缘211和装置侧凸缘100紧固连结的技术应用于真空泵，则无法在设置于通常的标准件的螺栓螺纹孔将辅助凸缘213固定于装置侧的排气口凸缘(装置侧凸缘100)，所以不得不在装置侧的排气口凸缘新设置专用的螺栓螺纹孔。即，为了经由辅助凸缘213将吸气口凸缘211和装置侧凸缘紧固连结，不得不在设置于标准件的螺栓螺纹孔的更外侧另外设置螺栓螺纹孔。因此，有改变装置侧凸缘的设计或使尺寸变大的必要。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种真空泵，前述真空泵在将吸气口凸缘经由辅助凸缘固定于装置侧凸缘的情况下，防止由于基于转矩的冲击而真空泵大幅旋转，进而能够减少向装置侧的转矩。

此外，本发明的目的在于提供一种真空泵，前述真空泵能够使用设置于通常的标准件的固定部(螺栓螺纹孔)将辅助凸缘固定于装置侧。

技术方案1所述的本发明中，提供真空泵，前述真空泵具备形成吸气口而在该吸气口侧形成有用于与装置结合的的吸气口凸缘的外装体、排气口、基座部、内包于前述外装体及前述基座部而被旋转自如地支承的旋转部、与前述吸气口凸缘分体地设置而形成有固定用的螺栓通孔的辅助凸缘，其特征在于，前述辅助凸缘与装置夹持前述吸气口凸缘，固定于前述装置，由此，前述真空泵安装于前述装置，在前述螺栓通孔的附近设置有冲击缓冲机构。

技术方案2所述的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，前述冲击缓冲机构为，设置于前述螺栓通孔的前述旋转部的旋转方向附近而将在、前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘间传递的冲击通过塑性变形缓和的缓冲部。

技术方案3所述的本发明中，提供技术方案2所述的真空泵，其特征在于，前述缓冲部为薄壁部，前述薄壁部的薄壁厚度为前述辅助凸缘的周向的壁厚。

技术方案4所述的本发明中，提供技术方案2所述的真空泵，其特征在于，前述缓冲部为，由除了前述辅助凸缘之外另外的部件形成而被插入前述螺栓通孔、或形成于前述辅助凸缘的孔或凹部的部件。

技术方案5所述的本发明中，提供技术方案1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述冲击缓冲机构在由前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘形成的空间设置有将在前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘间传递的冲击缓和的缓冲件。

技术方案6所述的本发明中，提供技术方案1至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，对前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘的互相接触的接触面的至少一部分的接触面实施提高摩擦系数的处理。

技术方案7所述的本发明中，提供技术方案1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，在前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘设置有进行两者的半径方向或周向的定位的定位销，在该定位销的周围设置有冲击缓冲用部件。

技术方案8所述的本发明中，提供技术方案7所述的真空泵，其特征在于，前述定位销为台阶构造。

技术方案9所述的本发明中，提供技术方案7或8所述的真空泵，其特征在于，在前述定位销的周围设置用于填充间隙的套筒。

技术方案10所述的本发明中，提供技术方案1至9中任一项所述的真空泵，其特征在于，为了确保前述吸气口凸缘和前述装置的密封性，前述辅助凸缘在与前述装置夹持前述吸气口凸缘时，在前述辅助凸缘和前述装置之间设置有间隙。

技术方案11所述的本发明中，提供技术方案1至10中任一项所述的真空泵，其特征在于，用于将前述辅助凸缘与前述吸气口凸缘借助螺栓固定的螺栓螺纹孔设置于前述吸气口凸缘。

技术方案12所述的本发明中，提供技术方案1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，将前述辅助凸缘与前述装置固定的螺栓比将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘固定的螺栓强度大。

技术方案13所述的本发明中，提供技术方案1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，用于将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘固定的螺栓螺纹孔，与不经由前述辅助凸缘而将前述吸气口凸缘直接固定于前述装置的情况下的螺栓通孔数量相同，被以等间距配置。

技术方案14所述的本发明中，提供技术方案1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，前述辅助凸缘具有沿周向分割成多个零件的分割构造，前述辅助凸缘的分割位置不与前述螺栓的位置重叠。

技术方案15所述的本发明中，提供技术方案1至14中任一项所述的真空泵，其特征在于，具备在与形成于前述装置的固定用的螺栓螺纹孔对应的位置具有螺栓通孔的变换凸缘，借助前述辅助凸缘和前述变换凸缘夹持前述吸气口凸缘，通过将前述变换凸缘固定于前述装置来安装于前述装置。

技术方案16所述的本发明中，提供技术方案15所述的真空泵，其特征在于，将前述装置和前述变换凸缘紧固连结的螺栓的强度为A、将前述变换凸缘和前述辅助凸缘紧固连结的螺栓的强度为B、将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘紧固连结的螺栓的强度为C时，A≥B≥C的关系式成立。

技术方案17所述的本发明中，提供真空泵的固定方法，其特征在于，技术方案1至16中任一项所述的真空泵中，将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘临时固定后，将前述辅助凸缘固定于前述装置，由此，前述真空泵安装于前述装置。

技术方案18所述的本发明中，提供技术方案17所述的真空泵的固定方法，其特征在于，将前述辅助凸缘的前述螺栓通孔预先比使用的螺栓的轴径大地开孔，将前述螺栓紧固连结时，消除晃动量。

技术方案19所述的本发明中，提供在吸气口侧具备用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的外装体，其特征在于，相对于与前述吸气口凸缘分体地设置而形成有固定用的螺栓通孔的辅助凸缘，用于将前述吸气口凸缘用螺栓固定的螺栓螺纹孔被设置于前述吸气口凸缘。

技术方案20所述的本发明中，提供在吸气口侧备用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的辅助凸缘，其特征在于，与前述吸气口凸缘分体地设置，形成固定用的螺栓通孔，与前述装置夹持前述吸气口凸缘，固定于前述装置。

技术方案21所述的本发明中，提供在吸气口侧具有用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的变换凸缘，其特征在于，被与前述吸气口凸缘分体地设置，在与形成于前述装置的固定用的螺栓螺纹孔对应的位置具有螺栓通孔，借助与前述吸气口凸缘分体地设置而形成有固定用的螺栓通孔的辅助凸缘，夹持前述吸气口凸缘，前述辅助凸缘被固定，固定于前述装置。

发明效果

根据本发明，即使在使用辅助凸缘的情况下，也能够应对异常时产生的转矩。

此外，根据本发明，能够使用设置于通常的标准件的固定部(螺栓螺纹孔)将辅助凸缘固定于装置侧。

此外，根据本发明，能够高效率地进行真空泵向外部装置的固定作业。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的真空泵的概略结构例的图。

图2是用于说明实施方式1-1的图。

图3是用于说明实施方式1-1的转矩缓冲机构(甲)的图。

图4是用于说明实施方式1-1的转矩缓冲机构(乙)的图。

图5是用于说明实施方式1-1的转矩缓冲机构(丙)的图。

图6是用于说明实施方式1-1的转矩缓冲机构(丁)的图。

图7是用于说明实施方式1-1的转矩缓冲机构(戊)的图。

图8是用于说明实施方式1-2的图。

图9是用于说明在实施方式2-1的定位销的周围设置套筒的实施方式的图。

图10是用于说明实施方式1-4及实施方式1-5的图。

图11是用于说明设置有用于固定辅助凸缘的变换凸缘的图。

图12是用于说明使用变换凸缘的情况的螺栓强度的关系的图。

图13是用于说明不使用变换凸缘的情况的螺栓强度的关系的图。

图14是用于说明辅助凸缘的固定用孔的位置关系的图。

图15是用于说明现有技术的真空泵的图。

具体实施方式

(i)实施方式的概要

本发明的实施方式的真空泵中，经由辅助凸缘213将吸气口凸缘211和装置侧凸缘100紧固连结，并且设置将吸气口凸缘211和辅助凸缘213固定的紧固连结部(例如螺栓通孔和螺栓320)，在该紧固连结部设置转矩缓冲机构(缓冲部)330。该转矩缓冲机构(缓冲部)330相当于冲击缓冲机构。

进而，设置用于固定辅助凸缘213的变换凸缘200，将该变换凸缘200和装置侧凸缘100用设置于标准件的螺栓螺纹孔固定，且将该变换凸缘200和辅助凸缘213固定 (以下将用于变换辅助凸缘213和装置侧凸缘100的紧固连结位置的零件称作变换凸缘)。这里，装置侧凸缘并非必须为凸缘的形状，也可以在装置直接形成有螺栓螺纹孔。

这样，即使在经由辅助凸缘213将吸气口凸缘211固定于装置侧凸缘的情况下，也能够防止由于异常时产生的转矩的冲击而真空泵大幅旋转，进而能够使向装置侧的转矩减少，此外，能够在不改变以往的标准件的设计的情况下将真空泵和装置固定。

(ii)实施方式的详细情况

以下，参照图1至图14，对本发明的优选的实施方式进行详细的说明。

(真空泵1的结构)

图1是表示本发明的第1实施方式的真空泵1的概略结构例的图，表示真空泵1的轴线方向的剖视图。

另外，本发明的实施方式中，为了方便，将旋转叶片的直径方向作为“径(直径・半径)向”、将与旋转叶片的直径方向垂直的方向作为“轴线方向(或轴向)”来说明。

形成真空泵1的外装体的罩(外筒)2为大致圆筒状的形状，与设置于罩2的下部(排气口6侧)的基座3一同构成真空泵1的壳体。并且，在该壳体的内部，收纳有使真空泵1发挥排气功能的构造物即气体移送机构。

在本实施方式中，该气体移送机构由被旋转自如地支承的旋转体(旋转叶片9/转子圆筒部10等)、相对于壳体固定的定子部(固定叶片30/螺纹槽排气元件20等)构成。

此外，图中未示出，但在真空泵1的外装体的外部，控制真空泵1的动作的控制装置经由专用线被连接。

在罩2的端部形成有用于向该真空泵1导入气体的吸气口4。此外，在罩2的吸气口4侧的端面，形成有向外周侧伸出的吸气口凸缘211。

此外，在真空泵1的下游侧形成有用于从该真空泵1排出气体的排气口6。

旋转体具备作为旋转轴的轴7、配设于该轴7的转子8、设置于转子8的多张旋转叶片9、设置于排气口6侧的转子圆筒部(裙部)10。

各旋转叶片9由相对于轴7的轴线垂直地放射状地延伸的部件构成。

此外，转子圆筒部10由设置成与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件构成。

在定子柱700内，虽未图示详细情况，但在轴7的轴线方向中部设置有用于使轴7高速旋转的马达部。此外，相对于该马达部在吸气口4侧和排气口6侧设置有用于将轴7在半径方向(径向)上非接触地支承的径向磁轴承装置。进而，在轴7的下端，设置有用于将轴7在轴线方向(轴向)上非接触地支承的轴向磁轴承装置。

在壳体的内周侧形成有固定叶片30。并且，固定叶片30被设为圆筒形状的固定叶片间隔件35互相间隔地固定。

另外，旋转叶片9和固定叶片30被交替配置，沿轴线方向形成多层，但为了满足真空泵1所要求的排出性能，能够根据需要地设置任意数量的转子零件及定子零件。

本实施方式的真空泵1中，在排气口6侧配设螺纹槽排气元件20(螺纹槽型排气机构)。在螺纹槽排气元件20的与转子圆筒部10相向的相向面形成有螺纹槽(螺旋槽)。或者，也可以构成为在转子圆筒部10的与螺纹槽排气元件20相向的相向面形成螺纹槽。

螺纹槽排气元件20的与转子圆筒部10相向的相向面侧(即与真空泵1的轴线平行的内周面)隔开既定的间隔地与转子圆筒部10的外周面面对，若转子圆筒部10高速旋转，则由真空泵1压缩的气体随着转子圆筒部10的旋转被螺纹槽引导的同时被向排气口6侧送出。即，螺纹槽为输送气体的流路。

这样，螺纹槽排气元件20的与转子圆筒部10相向的相向面、转子圆筒部10隔开既定的间隔地相向，由此，借助在螺纹槽排气元件20的轴线方向侧内周面形成的螺纹槽构成移送气体的气体移送机构。

另外，为使气体向吸气口4侧倒流的力减少，该间隔越小越优选。

此外，形成于螺纹槽排气元件20的螺旋槽的方向在沿转子8的旋转方向在螺旋槽内输送气体的情况下，为朝向排气口6的方向。

并且，螺旋槽的深度随着接近排气口6而逐渐变浅，在螺旋槽被输送的气体随着接近排气口6而被逐渐压缩。

根据上述结构，真空泵1能够进行固定(配设)该真空泵1的装置内的真空排气处理。

(实施方式1：设置有相对于真空泵的防转构造的实施方式)

实施方式(1-1至1-5)在真空泵中设置相对于真空泵的防转构造作为异常发生时的安全对策。

真空泵中，由于异常发生时产生的转矩，对于真空泵产生旋转力，但若为专利文献1所述的构造，则未设置有防止(减少)真空泵的旋转的构造。

若真空泵旋转，则在与该真空泵连接的排气配管、电气缆线作用力而发生损伤，进而，由于移动的配管、缆线，也有对装置造成损伤的可能。

因此，下述的实施方式(1-1至1-5)通过设置相对于真空泵的防转构造，减少异常发生时相对于真空泵自身以及装置的损伤等的损坏。

该实施方式1-1至1-5能够对于专利文献1所述的现有技术及实施方式3的变换凸缘200(后述)的实施方式双方应用。

(实施方式1-1)

图2是说明实施方式1-1的图。

实施方式1-1中，如图2所示，还设置将专利文献1或实施方式1的吸气口凸缘211和辅助凸缘213固定的固定用零件(螺栓320)，在该紧固连结部设置转矩缓冲机构(缓冲部)330。

该实施方式1-1中，设置成异常发生时停止真空泵1的旋转且不向装置侧传递转矩。

以下，说明转矩缓冲机构(缓冲部)330的具体例。

(甲)该例中，在辅助凸缘213的螺栓通孔，形成如图3所示的螺栓孔510、用于在面向与转子旋转方向相反的方向的部分形成薄壁部500的贯通孔即长孔520和长孔530。异常发生时，在真空泵1整体产生基于转矩的冲击的情况下，插通螺栓孔510的螺栓330与该薄壁部500碰撞，该薄壁部500塑性变形，由此吸收基于转矩的旋转能量。

(乙)该例中，如图4所示，在辅助凸缘213设置嵌入部640，将由另外的部件构成的缓冲部件600嵌入该嵌入部640来固定。此外，设置有用于贯入螺栓的螺栓贯入部614。

缓冲部件600由与螺栓665(相当于图2的螺栓320)碰撞时能够塑性变形的部件构成。

(丙)该例中，如图5所示，通过使用形成有插入螺栓通孔714的衬套部717a的特殊垫片，在螺栓715的轴和螺栓通孔714之间形成间隙W。

结果，转矩作用的情况下螺栓715(相当于图2的螺栓320)的区域H的部分弯曲变形，由于此时的应变能量吸收冲击，能够抑制冲击向装置侧凸缘100的传递。

(丁)该例中，如图6所示，辅助凸缘213的螺栓通孔814的贯通方向相对于垂直的方向以角度θ倾斜。

该实施方式中，箭头方向的转矩作用的情况下，有角度θ的倾斜，所以作用于螺栓815(相当于图2的螺栓320的)的剪切力被分解成剪切力和拉伸力的两个方向。因此，能够将剪切能量的一部分作为螺栓815的应变能量承接，螺栓815(相当于图2的螺栓320)难以剪切，同时能够减少向装置侧凸缘100传递的转矩。

(戊)该例中，如图7所示，螺栓911(相当于图2的螺栓320)将辅助凸缘213的螺栓通孔950贯通而被向吸气口凸缘211拧入。借助这样的结构，在螺栓通孔950的附近存在切入部920及切入部930，由此形成有薄壁部940。该薄壁部940与螺栓911(相当于图2的螺栓320)碰撞时，发生塑性变形，由此吸收转矩。

上述(甲)至(戊)的各实施方式以将转矩缓冲机构(缓冲部)330设置于辅助凸缘213和吸气口凸缘211之间的紧固连结部的例子进行说明，但也可以是，设置变换凸缘200与装置侧凸缘100的固定部或辅助凸缘213与变换凸缘200的固定部、不使用变换凸缘的情况的辅助凸缘213和装置侧凸缘100的固定部(紧固连结部)。

此外，设置定位用的销的情况下，进行来自该设置场所的转矩的传递。因此，设置定位用的销的情况下，也可以在辅助凸缘213和变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定部设置转矩缓冲机构(缓冲部)330。

(实施方式1-2)

实施方式1-2中在定位销的周围设置转矩缓冲用套筒。

图8是用于说明实施方式1-2的图。

如图8所示，装置侧凸缘100和辅助凸缘213借助螺栓1020固定。

该固定时使用的定位销(棒)1000设置于辅助凸缘213。定位销1000为了进行吸气口凸缘211的定位而设置，但是由于转矩产生相对于定位销1000的剪切力。为了该定位销1000的剪切防止以及转矩的减少，在定位销1000的周围设置转矩缓冲用的部件。具体地为泡沫金属套筒1010。

(实施方式1-3)

实施方式1-3中，对其他设置有相对于真空泵的防转构造的实施方式进行说明。

图中虽未示出，但也可以借助基于在真空泵1的基座3的下表面设置的脚零件的脚固定、角钢等以真空泵1不旋转的方式进行防转。

进而，将真空泵1和装置在吸气口凸缘211以外的场所固定的情况下，也可以在该部位设置防转件。

(实施方式1-4)

图10是用于说明实施方式1-4及实施方式1-5的图。

实施方式1-4中，在吸气口凸缘211的外周212和辅助凸缘213之间的空间G设置缓冲件400。另外，这里设置有用于固定辅助凸缘213的变换凸缘200(后述)，但并非与本实施方式相关的部分，所以省略详细的说明。

缓冲件400的目的为借助变形量、塑性变形消耗转矩(破坏能量)，只要是比吸气口凸缘211的材质(一般为不锈钢)杨氏模量、屈服点小的即可。具体地，与吸气口凸缘211的材质相比，可以由杨氏模量小的金属(铝、银、铜等)形成，列举具有泡沫金属、凝胶状部件、薄壁部、切口、空间等的相对于力的缓冲构造的部件。

异常时产生的转矩沿圆周的切线方向作用，但并非相对于正圆。因此，借助设置于空间G的缓冲件400，作为相对于旋转力的防转件发挥功能。

另外，也可以使该空间G较大，使缓冲件400增量来作为防转件提高功能。

该缓冲件400可以设置于吸气口凸缘211的外周整面，也可以由半分构造设置。

(实施方式1-5)

实施方式1-5中，通过提高吸气口凸缘211与辅助凸缘213的接触面(图10中X所示的部位)的摩擦系数，作为防转件发挥功能。通过提高摩擦系数，能够作为相对于转矩的防转件提高功能。

作为提高摩擦系数的方法，能够列举下述例子。

(甲)涂覆表面摩擦系数高的聚氨酯、硅酮等的橡胶材料。

(乙)夹着摩擦系数高的部件。具体地，夹着聚氨酯、硅酮等的橡胶材料、芳族聚酰胺纤维、玻璃纤维等非金属系的纤维材料、烧结件(陶瓷)。

(丙)通过加工接触面的双方或一方来使表面粗糙(将表面加工成锯齿形、凹凸)。

此外，虽未图未，但也可以是在吸气口凸缘211的侧面形成锯齿形，提高与辅助凸缘的内周面的摩擦力。

(实施方式2：真空泵的安装作业性的提高)

(实施方式2-1)

(甲)将定位销的形状设为台阶构造

为了正确地进行定位销的定位，需要准确地设为与孔同轴。然而，若考虑设置的情况，则周围多少需要间隙，所以若定位销为棒状，则有发生倾斜而难以设为同轴的情况。

因此，通过向后述的图11那样将定位销的形状设为台阶构造，容易设置定位销，且在扩径侧能够减少定位销的孔的晃动，能够使定位的精度提高。即，若为台阶构造，则设置时并非一定在台阶的部位抵接，所以定位销自身不会倾斜，安装容易，间隙也变得严格。

若定位销和定位孔的晃动大，则固定吸气口凸缘211时，有偏向一方地安装的可能性，这样，由于转矩，作用于吸气口凸缘211及辅助凸缘213的力不均，有固定不充分的可能。通过将定位销的形状设为台阶构造，能够防止这样的不良情况，准确地与孔设为同轴。

(乙)在定位销的周围设置套筒

图9是用于说明在定位销的周围设置套筒的实施方式的图。

如图9所示，通过在定位销1000的周围设置套筒(泡沫金属套筒)1002，能够使晃动更少。

(实施方式2-2)

实施方式2-2涉及吸气口凸缘211、辅助凸缘213、变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的轴向的定位，定位由辅助凸缘213和吸气口凸缘211进行，辅助凸缘213和装置侧固定面能够有一些间隙。

若吸气口凸缘211的面不与变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定面密接，有两者间的密封不充分的可能。考虑辅助凸缘213的公差偏差，为了使吸气口凸缘211的面切实地与变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定面密接，能够预先设计成组装时在辅助凸缘213和变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定面之间有一些间隙。

通过这样地设计，借助辅助凸缘213和变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定面，不会妨碍吸气口凸缘211的面与变换凸缘200(或装置侧凸缘100)的固定面的密接性。

(实施方式2-3)

实施方式2-3中，将把辅助凸缘213在安装作业时临时固定的螺纹孔设置于吸气口凸缘211。

存在辅助凸缘213(与使用变换凸缘200的情况相同)等另外的零件，由此，将真空泵1安装于装置时，作业上伴随有困难。因为需要将真空泵1和辅助凸缘213分别抬起来进行固定作业。

因此，预先在吸气口凸缘211设置将辅助凸缘213临时固定的螺纹孔，在将辅助凸缘213临时固定于吸气口凸缘211的状态下，与真空泵1一同将辅助凸缘213顶起，固定于装置侧。即，预先使辅助凸缘213与真空泵1一体化来进行顶起。

通过预先进行该临时固定，在将真空泵1与辅助凸缘213分别抬起的同时，无需进行固定作业，作业性提高。

此外，通过预先进行临时固定，能够在维持当初的尺寸的状态下进行安装作业，安装后的对准的作业也容易。

(实施方式2-4)

实施方式2-4涉及螺栓通孔的晃动的消除。

通常、螺栓通孔径相对于用于紧固连结的螺栓的轴径以单侧0.5mm至1.0mm左右余量地选取尺寸。若包括变换凸缘200地固定用的螺栓通孔存在三处，则最坏的情况下，有它们的晃动(间隙)全部相加而累积的可能。

例如，若从装置侧凸缘100和变换凸缘200的螺栓紧固连结位置如上所述地将三处的晃动相加，则真空泵1和辅助凸缘213的螺栓紧固连结位置、O型圈的密封面发生偏差。由此，不仅真空泵1装置侧凸缘100间的正确的固定无法进行，还有密封性也无法确保的可能。

作为其对策，固定作业时将吸气口凸缘211和辅助凸缘213通过临时固定来固定从而安装。通过在该临时固定的阶段预先消除该固定部位的晃动，减少固定作业时的真空泵1的螺栓位置偏离。或者也可以是，预先将辅助凸缘213的螺栓通孔较大地开孔，由此消除晃动量。

(实施方式3：使用变换凸缘的实施方式)

图11是用于说明设置有用于固定辅助凸缘213的变换凸缘200的结构的图。

为了实施专利文献1所述的发明，需要在紧固连结的装置侧新设置用于固定辅助凸缘213的固定部(螺栓螺纹孔)。

因此，不可避免使装置侧的凸缘的尺寸变大等复杂的设计改变、处理。

因此，在本实施方式中，还设置有用于固定辅助凸缘213的变换凸缘200。即，借助该变换凸缘200，将辅助凸缘213和装置侧凸缘100的紧固连结位置变换。

图11所示的变换凸缘200具有既定的厚度，为中空的圆盘状，设置于吸气口凸缘211及辅助凸缘213与装置侧凸缘100之间。此外，在该变换凸缘200，设置有用于螺栓300的螺栓通孔301和用于螺栓310的螺栓螺纹孔302，前述螺栓300用于与装置侧凸缘100紧固连结，前述螺栓310用于与辅助凸缘213紧固连结。

该变换凸缘200与装置侧凸缘100的紧固连结由螺栓300进行。此时，在装置侧凸缘100，使用根据通常的规格设置的螺栓螺纹孔。因此，在装置侧无需新设置螺栓螺纹孔。

另一方面，变换凸缘200与辅助凸缘213的紧固连结由螺栓310进行。

该实施方式中，从图11可知，辅助凸缘213和装置侧凸缘100经由变换凸缘200间接地紧固连结，两者并非直接的紧固连结关系。

另外，变换凸缘200和装置侧凸缘100之间需要真空密封，在变换凸缘200设置有与真空泵1的吸气口凸缘211的O型圈用的槽对应的O型圈用的槽201。

接着，对使用该变换凸缘200的实施方式的组装流程进行说明。

首先，借助螺栓300，先将变换凸缘200安装于装置侧凸缘100。此后，借助螺栓310，将辅助凸缘213和吸气口凸缘211紧固连结。

该实施方式中，在装置侧凸缘100，能够在不改变由规格确定的尺寸的情况下，得到使用专利文献1所述的技术的辅助凸缘的优点。

(实施方式4：固定强度的提高)

(实施方式4-1)

实施方式4-1中根据必要的固定强度的观点设为下述的关系。

(甲)图12是用于说明使用变换凸缘200的情况的图。

将固定强度的大小设为螺栓A＜螺栓B＜螺栓C。

使用变换凸缘200的情况下，设置成按照螺栓C(变换凸缘200-装置侧凸缘100)、螺栓B(辅助凸缘213-变换凸缘200)、螺栓A(辅助凸缘213-吸气口凸缘211)的顺序强度变大。即，使更接近装置侧凸缘100的一方的强度高。

(乙)图13是用于说明不使用变换凸缘200的情况的图。

将固定强度的大小设为螺栓A＜螺栓B。

不使用变换凸缘200的情况下，按照螺栓B(辅助凸缘213-装置侧凸缘100)、螺栓A(辅助凸缘213-吸气口凸缘211)的顺序使强度变大。即，该情况下，也使更接近装置侧凸缘100的一方的强度高。

(实施方式4-2)

实施方式4-2中涉及辅助凸缘213的固定用孔的位置关系。

图13所示的螺栓A和螺栓D的固定位置的位置关系为图14所示的关系。

即，将螺栓A(辅助凸缘213-吸气口凸缘211)用的螺纹孔设置为，不经由辅助凸缘213而在将吸气口凸缘211直接螺栓固定于装置侧凸缘100的情况的螺栓D(吸气口凸缘211-装置侧凸缘100)用的通孔之间。

螺栓螺纹孔的个数与螺栓通孔数量相同，配置间隔也设为相同的间距。

通过这样地配置固定孔，能够进行平衡好的固定，结果，能够进行稳定的固定。

另外，该实施方式(4-2)也能够应用于使用变换凸缘200的情况(参照图12)。

(实施方式4-3)

实施方式4-3涉及辅助凸缘213的分割位置。

辅助凸缘213考虑组装时的作业性，通常设为半分或分割成多个的形状。使用半分或分割成多个的形状的辅助凸缘213的情况下，关于其分割位置，避免吸气口凸缘211和辅助凸缘213的固定螺栓位置。

因为若辅助凸缘213的分割位置和固定用螺栓位置重合，则转矩轻减的效果被抵消。

另外，该实施方式(4-3)也能够应用于使用变换凸缘200的情况(参照图12)。

另外，本发明的实施方式及各变形例也可以是根据需要将各个方案组合的结构。

此外，本发明只要不脱离本发明的精神就能进行各种改变。并且，本发明显然涉及该被改变的内容。

附图标记说明

1真空泵

2罩(外筒)

3基座

4吸气口

6排气口

7轴

8转子

9旋转叶片

10转子圆筒部

20螺纹槽排气元件(螺纹槽定子)

30固定叶片

35固定叶片间隔件

100装置侧凸缘(装置)

105螺栓

110 O型圈密封

200变换凸缘

201 O型圈用的槽

211吸气口凸缘

213辅助凸缘

222夹持部

300螺栓

302螺栓螺纹孔

310螺栓

320螺栓

330转矩缓冲机构(缓冲部)

400缓冲件(缓冲部件)

500薄壁部

510螺栓孔

520长孔

530长孔

600缓冲部件

614螺栓贯入部

640嵌入孔

665螺栓

1000定位销

1002泡沫金属套筒。

Claims (21)

1.一种真空泵，前述真空泵具备外装体、排气口、基座部、旋转部、辅助凸缘，

前述外装体形成吸气口，在该吸气口侧形成有用于与装置结合的吸气口凸缘，

前述旋转部被内包于前述外装体及前述基座部，被旋转自如地支承，

前述辅助凸缘被与前述吸气口凸缘分体地设置，形成有固定用的螺栓通孔，

其特征在于，

前述辅助凸缘与装置夹持前述吸气口凸缘，固定于前述装置，由此，前述真空泵被安装于前述装置，在前述螺栓通孔的附近设置有冲击缓冲机构。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述冲击缓冲机构为缓冲部，前述缓冲部设置于前述螺栓通孔的前述旋转部的旋转方向附近，将在前述吸气口凸缘与前述辅助凸缘间传递的冲击通过塑性变形来缓和。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述缓冲部是薄壁部，

前述薄壁部的薄壁厚度为前述辅助凸缘的周向的壁厚。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述缓冲部为如下部件：由除了前述辅助凸缘之外的部件形成，被插入前述螺栓通孔，或被插入形成于前述辅助凸缘的孔或凹部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述冲击缓冲机构设置有缓冲件，前述缓冲件在由前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘形成的空间，将在前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘间传递的冲击缓和。

6.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，

对于前述吸气口凸缘与前述辅助凸缘的互相接触的接触面的至少一部分的接触面，实施提高摩擦系数的处理。

7.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，

在前述吸气口凸缘和前述辅助凸缘设置有进行两者的半径方向或周向的定位的定位销，在该定位销的周围设置有冲击缓冲用部件。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，

前述定位销为台阶构造。

9.如权利要求7或8所述的真空泵，其特征在于，

在前述定位销的周围设置用于填充间隙的套筒。

10.如权利要求1至9中任一项所述的真空泵，其特征在于，

为了确保前述吸气口凸缘和前述装置的密封性，在前述辅助凸缘与前述装置夹持前述吸气口凸缘时，在前述辅助凸缘和前述装置之间设置有间隙。

11.如权利要求1至10中任一项所述的真空泵，其特征在于，

用于将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘用螺栓固定的螺栓螺纹孔设置于前述吸气口凸缘。

12.如权利要求1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，

将前述辅助凸缘和前述装置固定的螺栓比将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘固定的螺栓强度大。

13.如权利要求1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，

用于将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘固定的螺栓螺纹孔与不经由前述辅助凸缘而将前述吸气口凸缘直接固定于前述装置的情况的螺栓通孔数量相同，被等间距地配置。

14.如权利要求1至11中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘被螺栓固定，

前述辅助凸缘具有周向上被分割成多个零件的分割构造，

前述辅助凸缘的分割位置不与前述螺栓的位置重叠。

15.如权利要求1至14中任一项所述的真空泵，其特征在于，

具备在与形成于前述装置的固定用的螺栓螺纹孔对应的位置具有螺栓通孔的变换凸缘，

借助前述辅助凸缘和前述变换凸缘夹持前述吸气口凸缘，

通过将前述变换凸缘固定于前述装置来安装于前述装置。

16.如权利要求15所述的真空泵，其特征在于，

把将前述装置和前述变换凸缘紧固连结的螺栓的强度设为A，把将前述变换凸缘和前述辅助凸缘紧固连结的螺栓的强度设为B，把将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘紧固连结的螺栓的强度设为C时，A≥B≥C的关系式成立。

17.一种真空泵的固定方法，其特征在于，

在权利要求1至16中任一项所述的真空泵，

将前述辅助凸缘和前述吸气口凸缘临时固定后，

通过将前述辅助凸缘固定于前述装置，前述真空泵被安装于前述装置。

18.如权利要求17所述的真空泵的固定方法，其特征在于，

预先将前述辅助凸缘的前述螺栓通孔比使用的螺栓的轴径大地开孔，将前述螺栓紧固连结时，消除晃动量。

19.一种外装体，前述外装体是在吸气口侧具备用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的外装体，其特征在于，

在前述吸气口凸缘设置有螺栓螺纹孔，前述螺栓螺纹孔用于相对于辅助凸缘借助螺栓固定前述吸气口凸缘，前述辅助凸缘被与前述吸气口凸缘分体地设置，形成有固定用的螺栓通孔。

20.一种辅助凸缘，前述辅助凸缘是在吸气口侧具备用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的辅助凸缘，其特征在于，

与前述吸气口凸缘分体地设置，形成有固定用的螺栓通孔，与前述装置夹持前述吸气口凸缘，固定于前述装置。

21.一种变换凸缘，前述变换凸缘是在吸气口侧具备用于与装置结合的吸气口凸缘的真空泵的变换凸缘，其特征在于，

与前述吸气口凸缘分体地设置，在与形成于前述装置的固定用的螺栓螺纹孔对应的位置具有螺栓通孔，

借助与前述吸气口凸缘分体地设置而形成有固定用的螺栓通孔的辅助凸缘夹持前述吸气口凸缘，

前述辅助凸缘被固定，

前述变换凸缘固定于前述装置。

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