JP7377640B2 - 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるロータ並びに回転翼 - Google Patents
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Description
することも可能である。
10A :分子ポンプ機構部
10B :ねじ溝式ポンプ機構部
11 :ケーシング
11A :ポンプケース
11B :ポンプベース
12 :締結部材
13 :吸気口
14 :排気口
15 :フランジ
16 :フランジ
17 :ロータ
17a :ロータ部
17b :ロータ部
18 :ステータ
19 :回転翼
20 :シャフト
20a :鍔部
21 :円筒部材
21a :第1の円筒部
21b :第2の円筒部
22 :ブレード
23 :隔壁
23a :軸穴
23b :ボルト穴
24 :取付ボルト
25 :モータ部
26 :磁気軸受部
27 :磁気軸受部
28 :磁気軸受部
29 :変位センサ
30 :変位センサ
31 :変位センサ
32 :破断箇所規制溝
32a :第1の破断箇所規制溝
32b :第2の破断箇所規制溝
33 :境界線
34 :ステータブレード
35 :ねじ溝スペーサ
35a :螺旋溝
36 :スペーサ
37 :ステータコラム
38 :カラー
39 :ボルト穴
40 :溝
132a :第1の破断箇所規制溝
E :矢線
R :矢線
Claims (5)
- 吸気口又は排気口が形成されたケーシングと、前記ケーシングの内側に配設される固定部と、前記固定部に回転自在に支持されたシャフト、及び、外周部に複数のブレードを多段状に配設して円筒状に形成され、前記シャフトに一体回転可能に固定される回転翼とを有して、前記ケーシングに内包されるロータと、を備えた真空ポンプであって、
前記回転翼に、前記回転翼の剛性を局所的に低下させて前記回転翼の破断する箇所を規制する破断箇所規制手段を設け、
前記破断箇所規制手段は、軸方向に隣り合う前記ブレードの間で前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の外周面に設けられた溝、又は前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の内周面に設けられた溝である、
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記破断箇所規制手段は、前記回転翼の外周面又は内周面の少なくともいずれか一方に、前記回転翼の周方向に沿って設けられた溝をさらに備えている、ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記溝は、前記回転翼の軸方向から視て、前記回転翼の内周面のうち前記シャフトに前記回転翼を取り付けるために前記回転翼に設けられている複数のボルト穴に最も近い位置又は前記回転翼の外周面のうち前記ブレードを除いて前記複数のボルト穴に最も近い位置に対応して設けている、ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 吸気口又は排気口が形成された真空ポンプにおけるケーシングの内側に配設される固定部に回転自在に取り付けられるロータであって、
前記固定部に回転自在に支持されたシャフトと、
外周部に複数のブレードを多段状に配設して円筒状に形成され、前記シャフトに一体回転可能に固定される回転翼と、
前記回転翼に設けられ、前記回転翼の剛性を局所的に低下させて前記回転翼の破断する箇所を規制する破断箇所規制手段と、
を備え、
前記破断箇所規制手段は、軸方向に隣り合う前記ブレードの間で前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の外周面に設けられた溝、又は前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の内周面に設けられた溝であることを特徴とするロータ。 - 吸気口又は排気口が形成された真空ポンプにおけるケーシングの内側に配設される固定部にシャフトを介して回転自在に取り付けられる回転翼であって、
外周部に複数のブレードを多段状に配設して円筒状に形成された円筒部材と、
前記円筒部材に設けられ、前記円筒部材の剛性を局所的に低下させて前記円筒部材の破断する箇所を規制する破断箇所規制手段と、
を備え、
前記破断箇所規制手段は、軸方向に隣り合う前記ブレードの間で前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の外周面に設けられた溝、又は前記回転翼の軸方向に沿って前記回転翼の内周面に設けられた溝である、ことを特徴とする回転翼。
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