JPH064392U - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高速回転中のロータが外部からの衝撃力で全
壊するのを阻止する。 【構成】 中空状ロータ２の中央段部３に環状の分断溝
部１４を設ける。分断溝部１４はロータ２の上部２ａと
中央段部３との境に位置させ、かつロータ２の内壁面に
穿設する。即ち、分断溝部１４は、ロータ２が高速回転
中に外部からの衝撃を受け、最も応力が大きい部分、即
ち、下部２ｂからロータ２の破壊が始まったとき、その
破壊が瞬時に分断溝部１４まで至るか、又は至らずと
も、ロータ２の上部２ｂが分断溝部１４から分断される
ように構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は超高真空を形成するターボ分子ポンプに関し、特に、高速回転中の ロータが外部からの衝撃力で全壊するのを阻止するようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のターボ分子ポンプは図５に示す如くケーシング１の内部に中空 状のロータ２を有し、このロータ２はその中央段部３を境に上部２ａと下部２ｂ とに区分されていると共に、その下部２ｂは上部２ａに比し大径に形成されてい る。

【０００３】 また、上記ロータ２の中空部にはロータシャフト４が配設されており、ロータ シャフト４はロータ２の軸心上に位置し、かつその先端側がロータ２に取り付け られている。

【０００４】 そして、上記ロータ２とロータシャフト４との間にはステータコラム５が設置 されており、このステータコラム５には、ロータ２を所定の位置で浮上支持する のに必要な電磁石６や位置センサ７、並びにロータ２を高速回転するのに必要な 高周波モータ８等が内蔵されている。

【０００５】 さらに、上記ケーシング１の内壁面には複数のステータ翼９が取付けられてい る。一方、上記ロータ２の外周面には複数のロータ翼１０が設けられており、各 ロータ翼１０は隣り合うステータ翼９間にそれぞれ介在されるように配設されて いる。

【０００６】 また、上記ロータ２の外周面にはねじ部１１が形成されており、そのねじ部１ １はロータ２の中央段部３を境に下側に設けられている。

【０００７】 即ち、このターボ分子ポンプは、電磁石６及び位置センサ７によりロータシャ フト４と共にロータ２を所定の位置に浮上支持した上で、高周波モータ８を起動 してロータ２を高速回転させ、これにより、吸気口１２から吸ったガスを排気口 １３へと排出するように構成されている。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来のターボ分子ポンプにあっては、上記の如くロ ータ２はその中央段部３を境に上部２ａと下部２ｂとに区分され、しかも、その 下部２ｂは上部２ａに比し径が大きいので、ロータ２の下部２ｂには上部２ａに 比し大きな遠心力が生じることは避けられない。このため、特に、ロータ２が高 速回転しているとき、そこに衝撃力が加わると、最も応力が大きい部分、即ち、 ロータ２の下部２ｂから破壊が始まると共に、その破壊がロータ２の上部２ａに 至り、ロータ２が全壊する等の不具合が生じる。

【０００９】 また、ロータ２が全壊したときには、破壊によるロータ２の破片も多いため、 破片が吸気口１２から飛散し、ターボ分子ポンプが取付けられている装置（図示 せず）に損傷を与えるおそれがあった。

【００１０】 この考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは高速 回転中のロータが外部からの衝撃力で全壊するのを阻止することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、この考案は、ケーシングの内部に配設されると共 に中央段部を境に上部と下部とに区分された中空状のロータと、このロータの中 空部に配設されると共にそのロータに一体に取付けられたロータシャフトと、上 記ロータとロータシャフトとの間に設置されたステータコラムと、上記ロータの 上部に位置しかつそのロータの軸方向に沿って上記ケーシングの内壁面に取付け られた複数のステータ翼と、上記ロータの外周面に設けられると共に互いに隣り 合う上記ステータ翼間に介在されたロータ翼と、上記ロータの下部に位置しかつ そのロータの外周面又は上記ケーシングの内壁面側に形成されたねじ部とを有す るターボ分子ポンプにおいて、上記ロータの中央段部に分断溝部を設けたことを 特徴とする。

【００１２】

【作用】

この考案によれば、ロータが高速回転中に外部からの衝撃を受け、最も応力が 大きい部分、即ち、ロータの下部から破壊が始まっても、その破壊が分断溝部ま で至ると、分断溝部からロータの下部が分断される。

【００１３】

【実施例】

以下、この考案に係るターボ分子ポンプの一実施例について図１ないし図３を 用いて詳細に説明する。なお、従来と同一部材には同一符号を付し、その詳細説 明は省略する。

【００１４】 このターボ分子ポンプには図１に示す如く中空状ロータ２の中央段部３に環状 の分断溝部１４が設けられており、その分断溝部１４はロータ２の上部２ａと中 央段部３との境に位置し、かつロータ２の内壁面に穿設されている。

【００１５】 また、上記分断溝部１４の溝幅は、図２に示す如く最下段のステータ翼９と中 央段部３との間に形成される隙間１５の幅に比し、その略半分の寸法となるよう に設けられているが、これに限定されることはない。

【００１６】 即ち、上記の如く構成されたターボ分子ポンプでは、ロータ２が高速回転中に 外部からの衝撃を受けたときは、最も応力が大きい部分、即ち、ロータ２の下部 ２ｂからロータ２の破壊が始まるが、その破壊が瞬時に分断溝部１４まで至るか 、又は至る途中で、分断溝部１４からちぎれるようにしてロータ２の下部２ｂが 分断され、この時点で、ロータ２の破壊が終る。その結果、ロータ２の破壊力は ロータ２の上部２ａへと直接伝達されることはなく、上部２ａはある程度原形を 残した状態で維持される。

【００１７】 図３はこの考案の第２の実施例を示すもので、同図に示す如くロータ２の中央 段部３に設けた分断溝部１４はロータ２の外周面に穿設されていると共に、最下 段のステータ翼９と中央段部３との隙間１５に位置するように設けられている。 なお、この分断溝部１５の溝幅は上記実施例と同様な寸法に設定されている。

【００１８】 図４はこの考案の第３の実施例を示すもので、同図に示す如くロータ２の中央 段部３に設けた分断溝部１４は、ロータ２の下部２ｂと中央段部３との境に位置 し、かつロータ２の内壁面に穿設されている。

【００１９】 なお、図３及び図４に示す分断溝部１４にあっても、図１に示す分断溝部１４ と同様に、ロータ２の破壊が始まったときには、そのロータ２の下部２ｂと上部 ２ａとを分断するように作用する。

【００２０】 したがって、上記のような実施例によれば、ロータが高速回転中に外部からの 衝撃を受け、最も応力が大きい部分、即ち、ロータの下部から破壊が始まっても 、その破壊が分断溝部まで至るか、又は至る途中で、分断溝部からロータの下部 が分断されるので、ロータの破壊力はロータの上部へと直接伝達されることはな く、ロータの上部はある程度原形を残した状態で維持され、ロータの全壊を防止 できる。

【００２１】 しかも、上記の如くロータが全壊することなく半壊で済むときは、全壊したと きに比し、破壊によるロータの破片も少なく、また、ロータの上部は破壊しない ため、破片が吸気口から飛び出しターボ分子ポンプが取付けられている装置に損 傷を与える割合も低くなり、破壊した場合に発生するエネルギーも小さくなる。

【００２２】 なお、上記実施例では図１に示す如くロータ２の外周面にねじ部１１を形成し たターボ分子ポンプについて説明したが、この考案は上記のようなねじ部１１を ケーシング１の内壁面側に形成したターボ分子ポンプについても適用することが できる。

【００２３】

【考案の効果】

この考案に係るターボ分子ポンプにあっては、上記の如くロータの中央段部に 分断溝部を設けたため、ロータが高速回転中に外部からの衝撃を受け、最も応力 が大きい部分、即ち、ロータの下部から破壊が始まっても、その破壊が分断溝部 に至るか、又は至る途中で、分断溝部からロータの下部が分断されるので、ロー タの破壊力はロータの上部へと直接伝達されることはなく、ロータの上部はある 程度原形を残した状態で維持され、ロータの全壊を防止でき、破壊時に発生する エネルギーが小さくなる。

【００２４】 しかも、上記の如くロータが全壊することなく半壊で済み、ロータの上部は破 壊しないため、全壊したときに比し、破壊によるロータの破片が吸気口から飛び 出すことがなくなり、ターボ分子ポンプが取付けられている装置に損傷を与える ことがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係るターボ分子ポンプの断面図。

【図２】図１に示すＡ部の拡大断面図。

【図３】この考案の第２の実施例を示す要部断面図。

【図４】この考案の第３の実施例を示す要部断面図。

【図５】従来のターボ分子ポンプの断面図。

【符号の説明】

１ ケーシング ２ ロータ ２ａ 小断面積部 ２ｂ 大断面積部 ３ 中央段部 ４ ロータシャフト ５ ステータコラム ９ ステータ翼 １０ ロータ翼 １１ ねじ部 １４ 分断溝部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシングの内部に配設されると共に中
   央段部を境に上部と下部とに区分された中空状のロータ
   と、このロータの中空部に配設されると共にそのロータ
   に一体に取付けられたロータシャフトと、上記ロータと
   ロータシャフトとの間に設置されたステータコラムと、
   上記ロータの上部に位置しかつそのロータの軸方向に沿
   って上記ケーシングの内壁面に取付けられた複数のステ
   ータ翼と、上記ロータの外周面に設けられると共に互い
   に隣り合う上記ステータ翼間に介在されたロータ翼と、
   上記ロータの下部に位置しかつそのロータの外周面又は
   上記ケーシングの内壁面側に形成されたねじ部とを有す
   るターボ分子ポンプにおいて、 上記ロータの中央段部に分断溝部を設けたことを特徴と
   するターボ分子ポンプ。