JP2006170217A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプケーシング14内部に、ロータRとステータSにより構成された翼排気部L1及び溝排気部L2を有し、ポンプケーシング14にステータSの少なくとも一部を固定する該ステータの少なくとも一部に、ロータR自体の回転異常または破壊により該ロータRから異常トルクが作用したときに破断するようにした脆弱部72を設け、ステータSとポンプケーシング14の間の少なくとも一部に、ステータSの少なくとも一部にロータR自体の回転異常または破壊により該ロータRから異常トルクが作用したとき、脆弱部72の破断後に、翼排気部L1及び溝排気部L2のステータSを回転させるようにした摩擦低減構造58a,58bを設けた。
【選択図】 図10
Description
請求項3に記載の発明は、前記摩擦低減構造は、低摩擦部材又はベアリングであることを特徴とする請求項1または2に記載のターボ分子ポンプである。
12 回転筒状部
14 ケーシング
15 基部
16 固定筒状部
18 駆動用モータ
30 回転翼
32 固定翼
34 ねじ溝部
36,54 ねじ溝部スペーサ
38,38a,38b,38c,50 固定翼スペーサ
42,44 周溝
46,48 支えピン
52,56 ボルト(締結部材)
58,58a,58b 低摩擦部材(摩擦低減構造)
72 脆弱部
80a,80b ボールベアリング装置(摩擦低減構造)
86 衝撃吸収部材
R ロータ
S ステータ
L1 翼排気部
L2 ねじ溝排気部
Claims (11)
- ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部及び溝排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングに前記ステータの少なくとも一部を固定する該ステータの少なくとも一部に、前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに破断するようにした脆弱部を設け、
前記ステータと前記ポンプケーシングの間の少なくとも一部に、前記ステータの少なくとも一部に前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したとき、前記脆弱部の破断後に、前記翼排気部及び溝排気部のステータを回転させるようにした摩擦低減構造を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 前記摩擦低減構造は、前記翼排気部及び溝排気部のステータを共に回転させることを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプ。
- 前記摩擦低減構造は、低摩擦部材又はベアリングであることを特徴とする請求項1または2に記載のターボ分子ポンプ。
- ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部及び溝排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記溝排気部のステータは、前記ポンプケーシングに設けた段差面にフランジ部を係合させて固定され、
前記ステータの少なくとも一部に前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したとき、前記溝排気部のステータが前記係合部に沿って回転するように構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 前記溝排気部のステータのフランジ部と前記ポンプケーシングの段差面との係合部の少なくとも一部に、前記ステータの少なくとも一部に前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに破断する脆弱部を設けたことを特徴とする請求項4に記載のターボ分子ポンプ。
- 前記溝排気部のステータのフランジ部に、前記翼排気部のステータが固定されていることを特徴とする請求項4または5に記載のターボ分子ポンプ。
- ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部及び溝排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記翼排気部及び前記溝排気部のステータは、前記ポンプケーシングに設けた段差面に前記溝排気部に設けたフランジ部を係合させて固定され、
前記ステータの少なくとも一部に前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したとき、前記翼排気部及び前記溝排気部のステータが前記係合部に沿って共に回転するように構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシングの内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記翼排気部は複数の固定翼を有し、
該固定翼を囲むように円筒状の部材が設けられ、
該円筒状の部材は、前記固定翼に前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに、破断部を破断して、前記固定翼の回転を許容するように構成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記翼排気部は、固定翼と該固定翼を固定する固定翼スペーサを有し、
前記固定翼スペーサを囲むように円筒状の部材が設けられ、
該円筒状の部材は、前記固定翼スペーサに前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに、破断部を破断して、前記固定翼スペーサの回転を許容するように構成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部及び溝排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記翼排気部は、固定翼と該固定翼を固定する固定翼スペーサを有し、前記固定翼スペーサを囲むように円筒状の部材が設けられ、該円筒状の部材は、前記固定翼スペーサに前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに、破断部を破断して、該固定翼スペーサの回転を許容するように構成され、
前記溝排気部は、溝排気部ステータを有し、前記溝排気部ステータを囲むように円筒状の部材が設けられ、該円筒状の部材は、前記溝排気部ステータに前記ロータ自体の回転異常または破壊により該ロータから異常トルクが作用したときに、該溝排気部ステータと前記ポンプケーシングとの少なくとも一部に設けた脆弱部を破断して、該溝排気部ステータの回転を許容するように構成され、
前記両円筒状の部材は、互いに連結されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 前記破断部は、支えピンまたはボルトからなることを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載のターボ分子ポンプ。
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