KR102669882B1 - 터보 분자 펌프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 터보 분자 펌프에 관한 것으로, 특히, 복수 개의 스테이터 및 스페이서를 단일의 모듈로 구성하여, 조립 효율성과 편의성을 향상시킬 수 있는 터보 분자 펌프에 관한 것이다.

Description

터보 분자 펌프{Turbo molecular pump}

본 발명은 터보 분자 펌프에 관한 것으로, 특히, 복수 개의 스테이터 및 스페이서를 단일의 모듈로 구성하여, 조립 효율성과 편의성을 향상시킬 수 있는 터보 분자 펌프에 관한 것이다.

터보 분자 펌프는 다단의 로터 날개를 고속회전시켜 다양한 제조산업에서 고진공 및 고속배기를 목적으로 사용되는 진공펌프 장치이다.

터보 분자 펌프는, 흡기구 및 배기구를 갖는 케이스의 내부에서 로터가 고속 회전하는 구조를 갖는다. 상기 케이스 내부에 스테이터가 다단으로 설치되어 있으며, 한편, 로터에는 방사형으로 회전 블레이드가 마련되어 있고, 회전 블레이드는 다단으로 설치되어 있다.

이러한 구조에서, 로터가 고속 회전하면, 회전 블레이드와 스테이터의 작용에 의해 기체가 흡기구로 흡인되어, 배기구로 배기된다.

상기 터보 분자 펌프는 흡기구에서 배기구까지, 회전 블레이드 및 스테이터를 포함하는 터보부 및 터보부 하류의 나사 홈 유로를 포함하는 드래그(drag)부를 포함한다.

한편, 종래 스테이터는 케이스 내 고정을 위해 각 단별로 스페이서 가 필수적으로 요구된다. 즉, 스테이터를 단별로 조립할 때, 인접하는 스테이터 사이에 스페이서 배치된다. 상기 스페이서는 단별 스테이터를 소정 간격으로 이격시키고, 회전 블레이드의 종단과 간격을 유지시키는 기능을 수행한다. 이와 같이, 복수 단의 스테이터 및 스페이서로 인해 필연적으로 부품의 수가 많아지고, 그 결과 각 부품별 공차로 인한 미세한 단차가 발생할 수 있다.

또한, 펌프 작동시 직접적으로 스테이터의 외륜을 고정시키지 않고 높이 방향에 대한 구속만 존재하여 미세한 미끄러짐 발생할 수도 있으며, 조립시 외형상 유사한 부품이 많아 정확한 위치를 구별하기 어렵고 공수가 많이 드는 문제가 있다.

유럽 특허출원공개공보 EP0442556(1991.08.21.)

본 발명은 복수 개의 스테이터 및 스페이서를 단일의 모듈로 구성하여, 조립 효율성과 편의성을 향상시킬 수 있는 터보 분자 펌프를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 핀과 같은 결속부재로 스테이터와 스페이서를 고정하여 진동에 의한 로터부와 스테이터의 충돌을 방지할 수 있고, 부품 간 미끄러짐을 방지할 수 있는 터보 분자 펌프를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

또한, 본 발명은 복수 개의 분할편으로 구성된 스테이터의 좌우 및 상/하면 구분이 용이한 터보 분자 펌프를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 흡기구와 배기구를 갖는 케이스, 케이스 내에 배치된 회전축, 회전축에 지지되며, 회전축의 축 방향을 따라 복수 단의 회전 블레이드를 포함하는 로터부, 회전축의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 회전 블레이드들 사이에 배치되며, 회전축의 회전방향을 따라 복수 개의 제1 분할편으로 분할된 스테이터, 회전축의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 스테이터 사이에 배치되며, 회전축의 회전방향을 따라 복수 개의 제2 분할편으로 분할된 스페이서, 및 회전축의 축 방향을 따라 인접하는 스테이터 및 스페이서를 결속시키기 위한 결속부재를 포함하며, 제1 분할편은 결속부재가 삽입되는 하나 이상의 제1 홀을 갖고, 제2 분할편은 결속부재가 삽입되는 하나 이상의 제2 홀을 갖는 터보 분자 펌프가 제공된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 일 실시예와 관련된 터보 분자 펌프는 다음과 같은 효과를 갖는다.

복수 개의 스테이터 및 스페이서를 핀과 같은 결속부재를 통하여 단일의 모듈로 구성하여, 조립 효율성과 편의성을 향상시킬 수 있다.

또한, 결속부재로 스테이터와 스페이서를 함께 고정하여 진동에 의한 로터부와 스테이터의 충돌을 방지할 수 있고, 부품 간 미끄러짐을 방지할 수 있다.

또한, 복수 개의 분할편으로 구성된 스테이터의 좌우 및 상/하면 구분이 용이하여, 조립 효율성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 터보 분자 펌프를 나타내는 개략도이다.
도 2는 2개의 분할편으로 구성된 스테이터의 평면도이다.
도 3은 스테이터 및 스페이서가 적층된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 4 및 도 5는 스테이터 및 스페이서가 적층된 상태의 개략 단면도들이다.
도 6은 스테이터의 분할편을 나타내는 평면도이다.
도 7은 스테이터의 분할편의 일부 영역을 나타내는 평면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 터보 분자 펌프를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 터보 분자 펌프(1)를 나타내는 개략도이고, 도 2는 2개의 분할편으로 구성된 스테이터의 평면도이며, 도 3은 스테이터 및 스페이서가 적층된 상태를 나타내는 사시도이고, 도 4 및 도 5는 스테이터 및 스페이서가 적층된 상태의 개략 단면도들이다.

본 문서에 따른 터보 분자 펌프는, 이 터보 분자 펌프는, 예를 들어 반도체 또는 디스플레이 제조 장치 내에 설치될 수 있고, 진공 챔버로부터 프로세스 가스의 배출을 행할 때에 이용될 수 있다.

도 1을 참조하면, 상기 터보 분자 펌프(1)는 흡기구(11)와 배기구(12)를 갖는 케이스(10), 및 케이스 내에 배치된 회전축(20)을 포함한다. 상기 케이스(10)는 터보 분자 펌프(1)의 외장체를 구성하며, 대략 원통 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 케이스(10)는 복수 개의 하우징, 예를 들어, 2개 이상의 하우징(13, 14)이 조립된 구조를 가질 수 있다.

또한, 케이스(10) 내부에는 가스 분자를 배기하기 위하여, 가스 분자를 이송하기 위한 기체 이송부가 마련되며, 상기 기체 이송부는 터보부(T) 및 드래그(drag)부(D)를 포함한다. 상기 터보부(T)는 회전 가능하게 축 지지된 회전 블레이드(31 ~37) 및 케이스(10) 내에 고정된 스테이터(40)를 포함한다.

도 1을 참조하면, 상기 터보 분자 펌프(1)는 회전 블레이드(31 ~37) 및 스테이터(40: 41~47)를 포함하고, 상기 터보 분자 펌프(1)는 가스 분자를 배기하는 터보부(T), 및 가스 분자의 배기방향을 따라 터보부(T)의 하류에 배치되어 나사 홈 유로부(50)를 통해 가스 분자를 배기하는 배기하는 드래그부(D)를 포함한다.

또한, 상기 터보부(T)는 회전축(20)에 지지되며, 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 복수 단의 회전 블레이드(31 내지 37)를 포함하는 로터부(30)를 포함한다. 복수 단의 회전 블레이드는 각각 회전축(20)을 기준으로 반경방향(x축 방향)을 따라 연장된다.

또한, 스테이터(40)는 링 형상의 내륜(410), 내륜(410)과 동심으로 배치되고, 내륜(410)보다 큰 직경을 갖는 외륜(430), 및 내륜(410)과 외륜(430)을 연결하는 복수 개의 고정 블레이드(420)를 포함할 수 있다. 또한, 스테이터(40)는 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 복수 단으로 구성되고, 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 인접하는 2개의 회전 블레이드 사이에 각각 위치하게 된다. 즉, 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 회전 블레이드, 스테이터, 회전 블레이드, 및 스테이터 순으로 차례로 배치될 수 있다. 도 1에는 총 7단의 회전 블레이드(31 ~ 37) 및 스테이터(41 ~ 47)가 배치된 경우가 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다.

또한, 터보부(T)는 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 인접하는 2개의 스테이터 사이의 간격을 유지하도록 배치된 스페이서(90)를 포함한다.

또한, 터보부(T)는 스테이터 및 스페이서를 외곽에서 함께 둘러싸는 가이드(900, 901)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 가이드는 중공을 갖는 원통 형태를 가질 수 있다. 또한, 복수 개의 가이드는 회전축의 축 방향을 따라 적층되는 구조를 가질 수 있다. 상기 가이드(900, 901)는 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 인접하여 배치된 복수 개의 스테이터 및 복수 개의 스페이서를 외곽에서 함께 둘러싸도록 마련될 수 있다.

또한, 상기 터보 분자 펌프(1)의 케이스(10)는 터보부(T)를 둘러싸는 제1 하우징(13), 및 드래그부(D)를 둘러싸며, 배기관(80)이 장착된 제2 하우징(14)을 포함한다. 또한, 터보 분자 펌프(1)는 터보부(T)가 안착되며, 제1 및 제2 하우징(13, 14) 사이에 배치된 가이드 스페이서(60)를 포함한다.

도 4를 참조하면, 제1 하우징(13)은 회전축(20)의 축 방향을 따라 최상단의 가이드(900)의 일부 영역이 삽입되는 제1 삽입홈(13a)을 가질 수 있다. 제1 삽입홈(13a)은 제1 하우징(13)의 내주면이 단차 구조를 가짐으로써, 형성될 수 있다. 이에 따라, 회전축(20)의 축 방향을 따라 최상단의 가이드(900)는 제1 하우징(13)의 제1 삽입홈(13a)에 의해 정렬 위치가 결정될 수 있다.

도 4를 참조하면, 회전축(20)의 축 방향을 따라 최하단의 가이드(901)는 가이드 스페이서(60) 내에 일부 영역이 삽입되어, 위치가 고정될 수 있다. 즉, 가이드 스페이서(60)는 회전축(20)의 축 방향을 따라 최하단의 가이드(901)의 일부 영역이 삽입되는 제2 삽입홈(60a)을 가질 수 있다. 이에 따라, 회전축(20)의 축 방향을 따라 최하단의 가이드(901)는 가이드 스페이서(60)의 제2 삽입홈(60a)에 의해 정렬 위치가 결정될 수 있다. 또한, 상기 가이드 스페이서(60)에는 회전축(20)의 축 방향을 따라 최하단의 스페이서(90)가 안착될 수 있다.

상기 터보 분자 펌프(1)는 드래그부(D)와 연결된 배기관(12) 및 터보부(T) 및 드래그부(D)를 연결하는 연결 유로와 유체 이동 가능하게 연결된 버퍼 챔버(100)를 포함한다.

버퍼 챔버(100)는 터보부(T)를 통과한 가스 분자의 적어도 일부가 드래그부(D)로 유입되기 이전에, 버퍼 챔버(100) 내부로 유입되도록 배치된다. 즉, 상기 버퍼 챔버(100)는 터보부(T)와 드래그부(D) 사이의 연결 유로 상에 마련되며, 공정가스 유량 부하에 의해 터보부 및 드래그부 사이의 압력이 일시적으로 증가하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 본 발명에서, 터보부(T) 및 드래그부(D)와 같은 다른 메커니즘의 펌프 조합 시, 회전 메커니즘이 변경되는 영역에서의 순간적인 높은 압력을 해소하기 위해 상기 영역에 완충을 위한 버퍼 챔버(100)가 마련된다.

상기 연결 유로는 회전축(20)의 축 방향의 최하단 블레이드(37)의 하방영역 및 나사 홈 유로부(50)의 유입구 사이 공간을 지칭한다.

일 실시예로, 버퍼 챔버(100)는 가이드 스페이서(60) 및 드래그부(D) 사이에 마련될 수 있다. 구체적으로, 버퍼 챔버(100)는 가이드 스페이서(60) 및 나사 홈 유로부(60) 사이에 마련될 수 있다.

도 1을 참조하면, 터보 분자 펌프(1)는 버퍼 챔버(100) 및 배기관(80)을 연결하는 바이패스 유로(110)를 포함할 수 있다. 버퍼 챔버(100) 내부로 유입된 기류는 바이패스 유로(110)를 통해 배기관(80)으로 유동할 수 있다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 버퍼 챔버(100)에서 배기관(80)을 향하는 방향의 유동만을 허용하도록 바이패스 유로(110)에 배치된 체크 밸브(110)를 포함할 수 있다. 상기 체크밸브(110)는 바이패스 유로에서 역류를 방지하기 위한 것으로, 버퍼 챔버(100)에서 배기관(80)을 향하는 방향의 유동만을 허용하고, 배기관(80) 측에서 버퍼 챔버(100)를 향하는 방향의 유동을 허용하지 않는다.

또한, 상기 터보 분자 펌프(1)에는 가이드 스페이서(60) 및 제2 하우징(14) 사이에 온도조절장치(70)가 배치될 수 있다. 일 실시예로, 상기 온도조절장치(70)는 냉각을 위한 장치로서, 일예로 수냉관일 수 있다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 상기 로터부(30)가 회전축(20)에 고정되어 함께 회전되며, 상기 회전축(20)은 모터에 의해 회전될 수 있다.

특히, 터보 분자 펌프(1)는 로터부(100) 회전 시 로터부(100)를 자기베어링에 의해 비접촉 지지하고 있으며, 회전 상태에서는 회전축(20)의 외주면에 근접 배치된 2개의 래디얼 자기베어링과 회전축(20)에 일체로 형성된 플랜지부의 상하에 배치된 한 쌍의 액셜 자기 베어링에 의해 자기 부상 상태에서 비접촉 지지된다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 터치다운 베어링(200)을 포함하며, 터치 다운 베어링(200)은 회전축(20)의 정지 시 및 제어 이상 시에 회전축(20)과 래디얼 자기베어링 및 액셜 자기 베어링이 접촉해서 손상하는 것으로부터 보호하기 위한 구름 베어링이다.

터치다운 베어링(200)과 회전축(20)의 외주면 사이 간격은 각각의 자기 베어링과 회전축(20)의 외주면 사이 간격 보다 작다. 이러한 구조에서, 회전축(20)이 자기 베어링에 의해 자기 부상 상태에서 회전 지지되어 있는 상태에서, 회전축(20)은 터치다운 베어링(200)에 대해서 비접촉 상태를 유지하지만, 회전축(20)의 정지 시, 또는 외력의 작용 등에 의한 제어 이상 시에는 회전축(20)이 각 자기 베어링에 접촉하기 전에 터치다운 베어링(200)에 접촉해 회전 지지된다. 상기 터치다운 베이링(200)은 회전축의 축 방향 상단부 및 하단부에 각각 배치될 수 있다.

또한, 상기 터치다운 베이링(200)은 회전축의 회전 정지 시 또는 제어 이상 시 회전축(20)에 접촉하도록 마련된 내륜, 내륜에 지지된 복수 개의 볼 및 볼을 둘러싸는 외륜을 포함할 수 있고, 이때 내륜이 회전륜의 기능을 수행하도록 마련될 수 있다. 상기 볼은 복수 개로 구비되며, 강자성체 볼(예를 들어, 스테인리스 스틸 볼) 및 세라믹 볼을 포함할 수 있다.

상기 터치다운 베이링(200)은 회전축의 축 방향 상단부 및 하단부에 각각 배치될 수 있다. 또한, 터치 다운 베어링(200)의 외륜을 지지하는 상부 하우징(16)을 포함하며, 상부 하우징(16)에 삽입되며, 상기 볼을 외륜 측으로 당기도록 마련된 자화된 부재(300)를 포함할 수 있다. 상기 자화된 부재(300)는 자성체를 당기는 힘이 있도록 처리된 부재로서, 영구자석을 포함할 수 있다. 또한, 미설명 부호 17은 상부 하우징에 결합되는 하부 하우징을 나타낸다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 터보 분자 펌프(1)는 회전축(20)의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 회전 블레이드들 사이에 배치되며, 회전축(20)의 회전방향을 따라 복수 개의 제1 분할편(40-1, 40-2)으로 분할된 스테이터(40)를 포함한다. 상술한 바와 같이, 상기 스테이터(40)는 내륜(410), 외륜(420) 및 내륜과 외륜 사이에 고정된 복수 개의 고정 블레이드(430)를 포함한다. 이때, 상기 내륜은 소정 직경을 갖는 링 형상을 갖고, 상기 외륜은 상기 내륜보다 큰 직경을 갖는 링 형상을 갖는다. 상기 내륜 내부로는 회전축(20)이 통과하게 된다.

상기 스테이터(40)는 조립성을 향상시키기 위하여, 회전축(20)의 회전방향을 따라 복수 개의 제1 분할편(40-1, 40-2)으로 분할될 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 회전축(20)의 회전방향을 따라 2개의 제1 분할편(40-1, 40-2)으로 분할될 수 있으며, 2개의 제1 분할편(40-1. 40-2)은 동일한 크기를 가질 수 있으며, 반원 형상을 가질 수 있다. 이때 한 쌍의 제1 분할편(40-1, 40-2)이 하나의 스테이터(40)를 구성하게 된다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 회전축(20)의 축 방향(y축 방향)을 따라 복수 단을 형성하도록 복수 개의 스테이터(40: 41~47)를 포함하고, 도 1을 기준으로 상부부터 하부를 향하는 방향으로 제1 내지 제7 스테이터(41~47)가 차례로 배치될 수 있다. 제1 내지 제7 스테이터(41~47)는 내륜, 외륜 및 고정블레이드를 각각 포함하며, 단별로 직경 및 고정 블레이드의 개수가 달라질 수 있다. 도 1에는 예시적으로 7단을 갖는 스테이터 구조가 도시되어 있다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 회전축의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 스테이터(41~47) 사이에 배치되며, 회전축의 회전방향을 따라 2개의 제2 분할편으로 분할된 스페이서(90)를 포함한다. 상기 스페이서(90)는 중공을 갖는 링 형상으로 형성되며, 회전축 방향에 따라 인접하는 2개의 스테이터 사이의 간격을 유지한다. 상기 중공을 통해 회전축(20)이 통과하게 된다. 상기 스페이서(90)는 인접하는 2개의 스테이터 들의 외륜을 지지하며, 예를 들어, 스페이서(90) 상부에 배치된 스테이터의 외륜의 하부면과 스페이서(90) 하부에 배치된 스테이터의 외륜의 상부면을 접촉 지지한다.

상기 스페이서(90)는 조립성을 향상시키기 위하여, 회전축(20)의 회전방향을 따라 복수 개의 제2 분할편(90-1, 90-2)으로 분할될 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이, 회전축(20)의 회전방향을 따라 2개의 제2 분할편(90-1, 90-2)으로 분할될 수 있으며, 2개의 제2 분할편(90-1, 90-2)은 동일한 크기를 가질 수 있으며, 반원 형상을 가질 수 있다. 이때 한 쌍의 제2 분할편(90-1, 90-2)이 하나의 스페이서(90)를 구성하게 된다. 상기 스페이서(90)의 개수는 스테이터의 개수와 동일하게 마련될 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 터보 분자 펌프(10)는 회전축(20)의 축 방향을 따라 인접하는 스테이터(40) 및 스페이서(90)를 결속시키기 위한 결속부재(410)를 포함한다. 상기 결속부재(410)는 핀을 포함할 수 있다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 제1 분할편(40-1, 40-2)은 결속부재(410)가 삽입되는 하나 이상의 제1 홀(401, 402)을 갖고, 제2 분할편(90-1, 90-2)은 결속부재(410)가 삽입되는 하나 이상의 제2 홀(901, 902)을 가질 수 있다.

또한, 스테이터의 제1 홀(401, 402)은 외륜에 형성된다.

상기 결속부재(410)는 제1 홀(401, 402) 및 제2 홀(901, 902)의 직경 이하의 직경을 가질 수 있으며, 예를 들어, 끼워맞춤 방식으로 조립될 수 있다. 결속부재가 제1 홀(401, 402) 및 제2 홀(901, 902)에 함께 삽입되어, 제1 분할편(40-1, 40-2) 및 제2 분할편(90-1, 90-2)을 결속시킬 수 있다.

케이스(10) 내에서, 스페이서 상에 스테이터가 배치되면, 즉, 제2 분할편(90-1, 90-2) 상에 제1 분할편(40-1, 40-2)이 안착되면, 결속부재(410)가 함께 통과할 수 있도록 제1 홀(401, 402) 및 제2 홀(901, 902)의 위치가 정렬되어 있다. 또한, 단일의 결속부재(410)가 삽입되는 제1 홀(401, 402) 및 제2 홀(901, 902)의 직경은 동일할 수 있다. 이와는 다르게, 제1 홀(401, 402) 및 제2 홀(901, 902)의 직경은 상이할 수도 있고, 예를 들어, 제1 홀(401, 402)의 직경이 제2 홀(901, 902)의 직경 보다 크거나 작을 수도 있다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 결속부재(410)는 하나의 스테이터와 하나의 스페이서를 함께 결속시키도록 마련될 수 있고, 복수 개의 스테이터와 복수 개의 스페이서를 함께 결속시키도록 마련될 수 있다. 예를 들어, 제4 내지 제 7 스테이터(44~47) 및 인접하는 2개의 스테이터 사이에 배치되는 3개의 스페이서 및 제 7 스테이터(47) 하부에 배치된 스페이서를 함께 결속시키도록 마련될 수 있다. 즉, 회전축의 축 방향을 따라 하단부의 4개의 스테이터(44~47)와 4개의 스페이서(90)를 함께 결속시킴으로써, 모듈 형태로 케이스(10) 내에 조립될 수 있다. 다른 실시예로, 제4 내지 제 6 스테이터(44~46) 및 인접하는 2개의 스테이터 사이에 배치되는 2개의 스페이서(90) 및 제 6 스테이터(46) 하부에 배치된 스페이서(90)를 함께 결속시키도록 마련될 수 있다. 즉, 회전축의 축 방향을 따라 하단부의 3개의 스테이터(44~46)와 3개의 스페이서(90)를 함께 결속시킴으로써, 모듈 형태로 케이스(10) 내에 조립될 수 있다.

도 6은 스테이터의 분할편을 나타내는 평면도이고, 도 7은 스테이터의 분할편의 일부 영역을 나타내는 평면도이다.

스테이터를 구성하는 복수 개의 제1 분할편(40-1, 40-2)에 각각 마련된 제1 홀(401, 402)의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 스테이터를 구성하는 한 쌍의 제1 분할편(40-1, 40-2)에 각각 마련된 제1 홀(401, 402)의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다를 수 있다. 이러한 구조에 따라, 제1 홀(401, 402)의 직경, 개수 및 위치에 따라 좌/우 분할편의 구분이 용이해질 수 있다.

예를 들어, 도 2를 참조하면, 한 쌍의 제1 분할편(40-1, 40-2)에 각각 마련된 제1 홀(401, 402)의 위치가 상이할 수 있고, 도 5를 참조하면, 한 쌍의 제1 분할편(40-1, 40-2)에 각각 마련된 제1 홀(401, 402)의 직경이 상이할 수 있으며, 도 6을 참조하면, 한 쌍의 제1 분할편(40-1, 40-2)에 각각 마련된 제1 홀(401, 402)의 개수가 상이할 수도 있다.

도 7을 참조하면, 스테이터(40)를 구성하는 복수 개의 제1 분할편 중 하나의 제1 분할편(40-1)에는 제1 마크(420)가 마련될 수 있다. 제1 마크(420)는 외륜의 일부 영역이 표면 처리됨으로써 형성될 수 있고, 예를 들어, 타각일 수 있으며, 이를 통해 스테이터(40)의 상부면과 하부면을 육안으로 구분할 수 있다.

스테이터와 동일하게, 스페이서(90)를 구성하는 복수 개의 제2 분할편(90-1, 90-2)에 각각 마련된 제2 홀의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 스페이서(90)를 구성하는 한 쌍의 제2 분할편(90-1, 90-2)에 각각 마련된 제2 홀의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다를 수 있다. 도 5를 참조하면, 스페이서(90)를 구성하는 한 쌍의 제2 분할편(90-1, 90-2)에 각각 마련된 제2 홀(901, 902)의 직경이 서로 다를 수 있다.

마찬가지로, 스페이서를 구성하는 한 쌍의 제2 분할편 중 하나의 제2 분할편에는 제2 마크가 마련될 수도 있다. 제2 마크는 제2 분할편의 일부 영역이 표면 처리됨으로써 형성될 수 있고, 예를 들어, 타각일 수 있으며, 이를 통해 스페이서(40)의 상부면과 하부면을 육안으로 구분할 수 있다.

도 4를 참조하면, 터보 분자 펌프(1)는 회전축(20)의 축 방향을 따라 인접하되, 결속부재를 통해 결속된 스테이터 및 스페이서를 외곽에서 함께 둘러싸는 가이드(900, 901)를 포함할 수 있다. 상기 가이드(900, 901)는 원통 형상을 가질 수 있으며, 스테이터 및 스페이서의 가장자리(외륜 측)를 둘러싸도록 배치된다.

또한, 터보 분자 펌프(1)는 회전축의 축 방향을 따라 인접하되, 결속부재를 통해 함께 결속된 적어도 3개의 스테이터(44~46) 및 적어도 3개의 스페이서를 외곽에서 함께 둘러싸는 가이드(901)를 포함할 수 있다. 상기 가이드(901)는 원통 형상을 가질 수 있으며, 복수 개의 스테이터 및 스페이서의 가장자리(외륜 측)를 함께 둘러싸도록 배치된다.

위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

1: 터보 분자 펌프
30: 로터부
40: 스테이터
90: 스페이서

Claims (11)

1. 흡기구와 배기구를 갖는 케이스;
   케이스 내에 배치된 회전축;
   회전축에 지지되며, 회전축의 축 방향을 따라 복수 단의 회전 블레이드를 포함하는 로터부;
   회전축의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 회전 블레이드들 사이에 배치되며, 회전축의 회전방향을 따라 복수 개의 제1 분할편으로 분할된 스테이터;
   회전축의 축 방향을 따라 인접하는 2개의 스테이터 사이에 배치되며, 회전축의 회전방향을 따라 복수 개의 제2 분할편으로 분할된 스페이서;
   회전축의 축 방향을 따라 인접하는 스테이터 및 스페이서를 결속시키기 위한 결속부재; 및
   회전축의 축 방향을 따라 인접하되, 결속부재를 통해 결속된 스테이터 및 스페이서를 외곽에서 함께 둘러싸는 가이드를 포함하며,
   제1 분할편은 결속부재가 삽입되는 하나 이상의 제1 홀을 갖고,
   제2 분할편은 결속부재가 삽입되는 하나 이상의 제2 홀을 갖는 터보 분자 펌프.
2. 제 1 항에 있어서,
   스테이터는 내륜, 외륜 및 내륜과 외륜 사이에 고정된 고정 블레이드를 포함하며,
   제1 홀은 외륜에 형성된 터보 분자 펌프.
3. 제 1 항에 있어서,
   결속부재가 제1 홀 및 제2 홀에 함께 삽입되어, 제1 분할편 및 제2 분할편을 결속시키는 터보 분자 펌프.
4. 제 3 항에 있어서,
   단일의 결속부재가 삽입되는 제1 홀과 제2 홀의 직경은 서로 동일한 터보 분자 펌프.
5. 제 1 항에 있어서,
   스테이터를 구성하는 한 쌍의 제1 분할편에 각각 마련된 제1 홀의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다른 터보 분자 펌프.
6. 제 1 항에 있어서,
   스테이터를 구성하는 복수 개의 제1 분할편 중 하나의 제1 분할편에는 제1 마크가 마련된 터보 분자 펌프.
7. 제 1 항에 있어서,
   스페이서를 구성하는 복수 개의 제2 분할편에 각각 마련된 제2 홀의 직경, 개수 및 위치 중 하나 이상은 서로 다른 터보 분자 펌프.
8. 제 1 항에 있어서,
   스페이서를 구성하는 복수 개의 제2 분할편 중 하나의 제2 분할편에는 제2 마크가 마련된 터보 분자 펌프.
9. 삭제
10. 삭제
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 결속부재는 핀을 포함하는 터보 분자 펌프.
    

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