JP7098882B2

JP7098882B2 - 真空ポンプ

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Publication number: JP7098882B2
Application number: JP2017073823A
Authority: JP
Inventors: 智司久野
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2017-04-03
Filing date: 2017-04-03
Publication date: 2022-07-12
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Description

本発明は、真空ポンプに関する。

従来から、ロータ翼とステータ翼を備えたターボ排気部と、ターボ排気部からの気体が導入されるねじステータを有するねじ溝排気部とを備えた真空ポンプが知られている。
ねじステータは、固定用の頭付きボルトでベースに取り付けられている。ターボ排気部から気体が導入されるねじ溝排気部の上部、すなわち、ねじステータの上面には、該ねじステータの上面から頭付きボルトの頭部が突出している（例えば、特許文献１の図１参照）。

特開２０１５－３１１５１号公報

ターボ排気部から気体が導入されるねじ溝排気部の導入口において、ねじステータの上面から頭付きボルトの頭部が突出しているため、頭付きボルトの頭部のポンプ回転方向に対向する側面には、生成物が堆積する。つまり、ねじステータの上面から突出する頭付きボルトの頭部は、気体の流れの抵抗となっている。

本発明の好ましい第１の態様による真空ポンプは、ベースと、前記ベースに回転可能に設けられたロータシャフトと、多段に配列されたロータ翼とロータ円筒部を有し、前記ロータシャフトに取付けられたロータと、前記ロータ翼間に配置され、前記ロータ翼と共にターボ排気部を構成する固定翼と、前記ロータ円筒部と共にねじ溝排気部を構成するステータと、前記ステータを、前記ターボ排気部から気体が導入される前記ねじ溝排気部の導入路において前記ベースの上面に固定する六角穴付きボルトとを備え、前記ステータの上面にざぐりが設けられ、前記六角穴付きボルトの頭部が前記ざぐり内に配置され、前記六角穴付きボルトの頭部の上面が前記ステータの上面とほぼ面一である。
さらに好ましい態様では、第１の態様において、前記六角穴付きボルトは、使用国または国際機構の規定に適合する六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトである。
さらに好ましい態様では、第１の態様において、前記六角穴付きボルトの頭部に設けられた六角穴の深さは、使用国または国際機構の規定に適合する。
さらに好ましい態様では、上記各態様において、前記ステータの上面には、内周側内側傾斜面と、内周側外側傾斜面と、前記内周側内側傾斜面と前記内周側外側傾斜面との間に配置された平坦面とが形成されており、前記内周側内側傾斜面および前記内周側外側傾斜面は、前記ロータシャフトに向かって下り勾配に形成されており、前記平坦面は、前記ロータシャフトに直交する方向に環状に形成されており、前記六角穴付きボルトの頭部の上面は前記平坦面の上面とほぼ面一である。

本発明によれば、ねじ溝排気部の導入口における気体の流れに対する抵抗を低減することができる。

図１は本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを例として示す第１の実施形態の断面図である。図２は、図１の破線ＩＩで示す領域の拡大図である。図３は、図２のねじステータ固定部領域の拡大図である。図４は、ターボ排気部側からみたねじステータの一部の平面図である。図５は、第１の実施形態の変形例１を示す図である。図６は、第１の実施形態の変形例２を示す図である。図７は、第１の実施形態の変形例３を示す図である。図８は、本発明の第２の実施形態を示す図である。図９は、本発明の第３の実施形態を示す図である。図１０は、本発明の第４の実施形態を示す図である。

－第１の実施形態－
以下、図１～図４を参照して本発明の第１の実施形態を説明する。図１は本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを例として示す第１の実施形態の断面図である。図１に示すターボ分子ポンプは磁気浮上式のターボ分子ポンプであるが、本発明は磁気浮上式のターボ分子ポンプに限定されない。

ターボ分子ポンプ１は、複数段のロータ翼１２およびロータ円筒部１３が形成されたロータ１０を備える。ポンプケーシング２３の内側には、前記複数段のロータ翼１２に対応して複数段の固定翼２１が積層されるように配置されている。ロータ軸方向に積層された複数段の固定翼２１は、それぞれスペーサ２９を介してベース２０上に配置されている。各ロータ翼１２は、複数のタービン翼を有している。各固定翼２１は半割状の一対の固定翼要素で構成されている。複数のロータ翼１２および固定翼２１は、ターボ排気部ＴＰを構成している。

ロータ円筒部１３の外周側には、円筒形状のねじステータ２２が微少隙間を介して配置されている。ねじステータ２２は、そのフランジ２２ｂがベース２０に固定用ボルト４０（図２等参照）により固定されている。ねじステータ２２をベース２０に固定する構造については後述する。ロータ円筒部１３の外周面またはねじステータ２２の内周面のいずれか一方にはねじ溝２２ｇが形成されており、ロータ円筒部１３とねじステータ２２とでねじ溝排気部ＳＰが構成される。図１に示す例では、ねじステータ２２にねじ溝２２ｇが形成されている。ターボ排気部ＴＰにより排気された気体は、ねじ溝排気部ＳＰによりさらに圧縮され、最終的には、ベース２０の排気管２６に接続されたバックポンプにより排気される。

ロータ１０はロータシャフト１１に固定され、そのロータシャフト１１はラジアル磁気軸受３２およびアキシャル磁気軸受３３により支持され、モータ３４によって回転駆動される。ラジアル磁気軸受３２、３３が非動作時には、ロータシャフト１１はメカニカルベアリング３５ａ、３５ｂによって支持される。ラジアル磁気軸受３２、アキシャル磁気軸受３３、モータ３４およびメカニカルベアリング３５ｂは、ベース２０に固定されるハウジング３０に収納されている。

図２は、図１の破線ＩＩで示す領域の拡大図であり、図３は、図２のねじステータ固定部領域の拡大図であり、図４は、ターボ排気部側からみたねじステータの一部の平面図である。
図２に図示された矢印を付した曲線Ｒは、排気される気体の流れをイメージしたものである。ターボ排気部ＴＰにより排気された気体は、ターボ排気部ＴＰとねじ溝排気部ＳＰとの間に形成された流路ＧＳに入り、さらに、その流路ＧＳからねじ溝２２ｇに流入する。つまり、流路ＧＳは、ターボ排気部ＴＰから排気された気体が、ねじ溝２２ｇに導入されるねじ溝排気部ＳＰの導入路となっている。

ねじステータ２２は、円筒部２２ａと、該円筒部２２ａの上部側であるターボ排気部ＴＰ側に設けられたフランジ２２ｂとを有する。フランジ２２ｂの外周縁部には、外周側部２２ｃが、該フランジ２２ｂからターボ排気部側に突出して形成されている。円筒部２２ａ、フランジ２２ｂ、外周側部２２ｃは、同一の材料により一体に成型されている。
ベース２０は、円筒状の本体部２０ａと、該本体部２０ａの上部側であるターボ排気部ＴＰ側に設けられたフランジ部２０ｂとを有する。本体部２０ａとフランジ部２０ｂとは、同一の材料により一体成型されている。フランジ部２０ｂの外周側は肉厚とされ、この肉厚部の上面にポンプケーシング２３が固定される。ポンプケーシング２３とベース２０のフランジ部２０ｂとは、シール部材を介して固定され、外部から密封する。ベース２０のフランジ部２０ｂの肉厚部の内周側にはれ、ねじステータ２２を設置するための設置部が窪んで設けられている。この設置部の上面２０ｃは、平坦面とされている。ねじステータ２２は、フランジ２２ｂの下面をベース２０のフランジ部２０ｂに設けた設置部の上面２０ｃ上に、固定用ボルト４０により固定される。

図３および図４に図示されるように、ねじステータ２２のフランジ２２ｂの上面２２ｄには、内周側内側傾斜面２２ｄ１、内周側外側傾斜面２２ｄ２、および内周側内側傾斜面２２ｄ１と内周側外側傾斜面２２ｄ２との間に配置された平坦面２２ｄ３が形成されている。内周側内側傾斜面２２ｄ１および内周側外側傾斜面２２ｄ２は、ロータシャフト１１側に向かって下り勾配に形成されている。勾配の角度は、それぞれ異なっていても、同一であってもよい。平坦面２２ｄ３は、ロータシャフト１１に直交する方向、すなわち、ほぼ水平方向に環状に形成されている。なお、内周側内側傾斜面２２ｄ１および内周側外側傾斜面２２ｄ２は、直線状に傾斜するものに限られるものではなく、湾曲状に形成してもよい。

ねじステータ２２のフランジ２２ｂに内周側内側傾斜面２２ｄ１および内周側外側傾斜面２２ｄ２を形成する理由を下記に示す。
流路ＧＳ内の圧力は、分子流、粘性流、それらの中間のいずれにもなり得るが、分子流領域では、気体分子同士の衝突よりも気体分子と壁面との衝突が支配的になり、壁面と衝突した気体分子の散乱方向の分布は余弦法則に従うものと考えられている。ターボ排気部ＴＰから流路ＧＳに流入した気体分子の一部は、直接、ねじ溝２２ｇに入射するが、残りの大部分は、流路ＧＳを囲む部材の外表面に入射し、余弦法則に基づいて散乱される。ねじステータ２２の上面２２ｄが水平であると、流路ＧＳ内に流入した気体分子は、ねじステータ２２の上面２２ｄや最下段のロータ翼１２に入射して、ロータシャフト１１の軸方向と平行な方向に散乱され、流路ＧＳを逆流する確率が高くなる。このため、流路ＧＳに流入した気体分子がねじ溝２２ｇに導入されるのに時間が掛かる。これに対し、本第１の実施形態では、ねじステータ２２のフランジ２２ｂの上面２２ｄには、ロータシャフト１１側に向かって下り勾配の内周側内側傾斜面２２ｄ１および内周側外側傾斜面２２ｄ２が形成されている。このため、ねじステータ２２のフランジ２２ｂの上面２２ｄに入射した気体分子は、ロータシャフト側に向かって散乱される確率が高くなる。これにより、流路ＧＳに流入した気体分子は、速やかにねじ溝２２ｇに導入される。粘性流の場合は、気体分子同士の衝突が支配的であるが、傾斜を設けることで、遅滞なく速やかにねじ溝２２ｇ気体分子を導入することができる。このため、流路ＧＳ内における生成物の堆積を抑制することができる。

平坦面２２ｄ３には、周方向に離間して複数のざぐり２２ｅが形成されている。ざぐり２２ｅの底面には、フランジ２２ｂを厚さ方向に貫通する貫通孔２２ｆが形成されている。貫通孔２２ｆの軸心はざぐり２２ｅの軸心と同軸である。ベース２０の本体部２０ａには、雌ねじ部２０ｄが形成されている。ねじステータ２２とロータ筒１３を同軸に配置して、ねじ溝排気部ＳＰの通路寸法を厳密に設定する。

固定用ボルト４０は、頭部４１に六角穴４２が形成された六角穴付きボルトである。六角穴付きボルトは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するもの（規格製品）、あるいは、規格製品に対し、その頭部４１の高さ（厚さ）が低い（薄い）ものである。六角穴付きボルトの頭部４１の高さは、ざぐり２２ｅの深さとほぼ同一である。なお、固定用ボルト４０として、その頭部４１の高さが、ＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。

ねじステータ２２をベース２０に固定するには、ねじステータ２２の貫通孔２２ｆをベース２０の雌ねじ部２０ｄに位置合わせをし、固定用ボルト４０をベース２０の雌ねじ部２０ｄに締結する。これにより、固定用ボルト４０の頭部４１が、ねじステータ２２のざぐり２２ｅ内に進入してざぐり２２ｅの底面を加圧する状態となり、ねじステータ２２がベース２０に固定される。ねじステータ２２のフランジ２２ｂに形成されたざぐり２２ｅの底面は、フランジ２２ｂの平坦面２２ｄ３と平行であり、ざぐり２２ｅの深さは固定用ボルト４０の頭部４１の高さとほぼ同一である。従って、固定用ボルト４０の頭部４１が、ねじステータ２２のざぐり２２ｅの底面を加圧している状態では、固定用ボルト４０の頭部４１の上面は、ねじステータ２２の平坦面２２ｄ３の上面とほぼ面一となる。

ターボ排気部ＴＰから排気される気体が流路ＧＳに入り、さらに、その流路ＧＳからねじ溝２２ｇに流入する際、固定用ボルト４０の頭部４１上を通過する。このとき、固定用ボルト４０の頭部４１が、ねじステータ２２の上面２２ｄから突出している従来の構造では、固定用ボルト４０の頭部４１は、ターボ排気部ＴＰから排気され、流路ＧＳを流れる気体の流れを妨げる。これに対し、第１の実施形態では、固定用ボルト４０の頭部４１は、ねじステータ２２の上面２２ｄから突出しない構造となっている。このため、固定用ボルト４０の頭部４１が流路ＧＳを流れる気体の流れを妨げることはない。
また、固定用ボルト４０の頭部４１が、ねじステータ２２の上面２２ｄから突出している従来の構造では、固定用ボルト４０の頭部４１の外周側面、特に、固定用ボルト４０の頭部４１のポンプ回転方向に対向する側面には、生成物が堆積する。この生成物の堆積が、さらに、ターボ排気部ＴＰから流入し、流路ＧＳを流れる気体の流れを妨げる。これに対し、第１の実施形態では、固定用ボルト４０の頭部４１が、ねじステータ２２の上面２２ｄから突出しない構造となっているため、固定用ボルト４０の頭部４１の外周側面に生成物が堆積することもない。このため、第１の実施形態によれば、ターボ分子ポンプ１の排気性能を向上することができる。また、固定用ボルト４０の頭部４１の外周側面に生成物が堆積されることはないので、生成物の除去作業を行う必要が無く、維持管理が容易となる。

第１の実施形態によれば、下記の効果を奏する。
（１）ねじステータ２２を、ターボ排気部ＴＰから気体が導入されるねじ溝排気部ＳＰの導入路において六角穴付きボルトによりベース２０の上面２０ｃに固定する構造において、ねじステータ２２の、ターボ排気部ＴＰから気体が導入される上面２２ｄにざぐり２２ｅを設け、六角穴付きボルトの頭部４１の上面を、ねじステータ２２の上面２２ｄとほぼ面一にした。このため、ねじステータ２２の上面２２ｄと最下段のロータ翼１２との隙間が、固定用ボルト４０の頭部４１の部分で狭まることはなく、従って、固定用ボルト４０の頭部４１が流路ＧＳを流れる気体の流れを妨げることはない。また、固定用ボルト４０の頭部４１の外周側面に生成物が堆積することもない。また、固定用ボルト４０の頭部４１の外周側面に生成物が堆積されることはないので、生成物の除去作業を行う必要が無く、維持管理が容易となる。

（２）ねじステータ２２をベース２０に固定する固定用ボルト４０として、固定用ボルト４０の頭部４１の高さが規格製品よりも低いものを用いた場合であっても、固定用ボルト４０の六角穴４２の深さはＪＩＳＢ１１７６の規定に適合する六角穴付きボルトを用いる構造とした。このため、工具により六角穴付きボルトを締結する際、工具と、六角穴付きボルトの六角穴４２との当たり面の面積は、規格製品と同じである。従って、六角穴付きボルトを、工具との当たり面で損傷することなく十分な締付力で締め付けることができるという効果を奏する。

（３）ねじステータ２２の上面２２ｄは、ロータシャフト１１に向かって下り勾配の内周側内側傾斜面２２ｄ１および内周側外側傾斜面２２ｄ２を有する。このため、ねじステータ２２の上面２２ｄに入射した気体分子は、ロータシャフト１１側に向かって散乱される確率が高くなり、流路ＧＳに流入した気体分子は、速やかにねじ溝２２ｇに導入される。これにより、流路ＧＳ内における生成物の堆積を抑制することができる。

－第１の実施形態の変形例１－
図５は、第１の実施形態の変形例１を示す図であり、図３に相当する図である。
図５に図示された変形例１では、ざぐり２２ｅ内に配置された六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する構造を有している。つまり、この構造では、六角穴付きボルトの頭部４１の高さ（厚さ）は、ねじステータ２２に設けられたざぐり２２ｅの深さよりも高く（厚く）形成されている。六角穴付きボルトの頭部４１の高さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するか、それよりも低いものである。従って、六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する高さは、規格製品の頭部がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する高さよりも低くなる。すなわち、変形例１に示された構造では、六角穴付きボルトの頭部４１がざぐり２２ｅ内に配置されているため、六角穴付きボルトの頭部４１の上面がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する高さは、ざぐり２２ｅが形成されていない従来の構造よりも小さくなっている。なお、固定用ボルト４０として、その頭部４１の高さが、ＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例１の他の構成は、上述した第１の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

変形例１では、六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する構造である。このため、上述した第１の実施形態に比し、六角穴付きボルトの頭部４１がねじステータ２２の平坦面２２ｄ３から突出する分だけ、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間が小さくなる。しかし、六角穴付きボルトの頭部４１の高さは規格製品と同一またはそれよりも低いため、従来の構造よりも、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間を大きくすることができる。従って、第１の実施形態と同様な効果を奏する。

－第１の実施形態の変形例２－
図６は、第１の実施形態の変形例２を示す図であり、図３に相当する図である。
図６に図示された変形例２では、ねじステータ２２の上面２２ｄにざぐり２２ｅを設けることなく、六角穴付きボルトの頭部４１を、ねじステータ２２の上面２２ｄの平坦面２２ｄ３に当接して固定した構造を有している。この変形例２においては、六角穴付きボルトは、頭部４１の高さ（厚さ）が、ＪＩＳＢ１１７６で規定される六角穴付きボルトよりも低い（薄い）ものが用いられている。なお、頭部４１の外径に対する頭部の高さがＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものであれば、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例２の他の構成は、上述した第１の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

変形例２では、ねじステータ２２を六角穴付きボルトによりベース２０の上面２０ｃに固定する構造において、ＪＩＳＢ１１７６で規定される六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトが用いられている。このため、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合する六角穴付きボルトを用いる従来の構造に比し、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間を大きくすることができる。従って、第１の実施形態と同様な効果を奏する。

－第１の実施形態の変形例３－
図７は、第１の実施形態の変形例３を示す図であり、図３に相当する図である。
図７に図示された変形例３では、ねじステータ２２の上面２２ｄは、その全体がロータシャフト１１に向かって下り勾配の斜面とされており、ロータシャフト１１に直交する平坦面を有していない。また、ねじステータ２２をベース２０の上面２０ｃに固定する六角穴付きボルトは、その頭部４１の全体が、ざぐり２２ｅ内に配置されている。つまり、六角穴付きボルトの頭部４１の高さは、ざぐり２２ｅの最もロータシャフト側の端部位置、すなわち、ざぐり２２ｅの深さが最も浅い位置においても、ざぐり２２ｅの深さよりも薄い。六角穴付きボルトの頭部４１の高さは、ＪＩＳＢ１１７６に適合するか、それよりも低いものである。なお、固定用ボルト４０として、その頭部４１の高さが、ＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
変形例３の他の構成は、上述した第１の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

変形例３では、ねじステータ２２を、ターボ排気部ＴＰから気体が導入されるねじ溝排気部ＳＰの導入路において六角穴付きボルトによりベース２０の上面２０ｃに固定する構造において、ねじステータ２２の、ターボ排気部ＴＰから気体が導入される上面２２ｄにざぐり２２ｅを設け、六角穴付きボルトの頭部４１の上面を、ねじステータ２２の上面２２ｄより低くした。このため、ねじステータ２２の上面２２ｄと最下段のロータ翼１２との隙間が、六角穴付きボルトの頭部４１の部分で狭まることはない。よって、変形例３においても、第１の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、変形例３では、ねじステータ２２の上面２２ｄ全面を傾斜面とし、傾斜面の中間に、環状の平坦面を形成する必要は無いので、ねじステータ２２の生産性がよく、コスト低減を図ることができる。

－第２の実施形態－
図８は、本発明の第２の実施形態を示す図であり、図３に相当する図である。
図８に示す第２の実施形態では、ねじステータ２２の上面２２ｄは、全体がロータシャフト１１にほぼ直交する方向に配置された平坦面とされており、ロータシャフト１１に向かって下り勾配の斜面は有していない。また、ねじステータ２２をベース２０に固定する固定用ボルト４０としての六角穴付きボルトは、その頭部４１の下面がねじステータ２２の上面２２ｄ上に固定されている。
六角穴付きボルトは、頭部４１の高さ（厚さ）が、ＪＩＳＢ１１７６で規定される六角穴付きボルトよりも低い（薄い）ものが用いられている。なお、頭部４１の外径に対する頭部の高さがＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものであれば、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
第２の実施形態の他の構成は、上述した第１の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

第２の実施形態では、ねじステータ２２を六角穴付きボルトによりベース２０の上面２０ｃに固定する構造において、ＪＩＳＢ１１７６で規定される六角穴付きボルトよりも、頭部の高さが低いボルトが用いられている。このため、ＪＩＳＢ１１７６で規定される六角穴付きボルトを用いる従来の構造に比し、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間を大きくすることができる。従って、第１の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、第２の実施形態では、ねじステータ２２のフランジ２２ｂの上面２２ｄ全体が平坦面であるので、第１の実施形態氏に比し、ねじステータ２２の生産性がよく、コスト低減を図ることができる。

－第３の実施形態－
図９は、本発明の第３の実施形態を示す図であり、図３に相当する図である。
第３の実施形態は、図８に示された第２の実施形態とは、ねじステータ２２にざぐり２２ｅを設け、固定用ボルト４０の頭部４１をざぐり２２ｅ内に配置した点で相違する。第３の実施形態では、六角穴付きボルトの頭部４１の高さを、ざぐり２２ｅの深さよりも薄くして、六角穴付きボルトの頭部４１全体を、ざぐり２２ｅ内に配置した構造として例示されている。このため、六角穴付きボルトの頭部４１の上面は、ねじステータ２２の上面２２ｄよりも低い位置に配置されている。
六角穴付きボルトは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するもの（規格製品）、あるいは、規格製品に対し、その頭部４１の高さ（厚さ）が低い（薄い）ものである。なお、固定用ボルト４０として、その頭部４１の高さが、ＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
第３の実施形態の他の構成は、上述した第２の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

第３の実施形態では、固定用ボルト４０の頭部４１の上面が、ねじステータ２２の上面２２ｄよりも低い位置に配置されており、ねじステータ２２の上面２２ｄと最下段のロータ翼１２との隙間が、固定用ボルト４０の頭部４１の部分で狭まることはない。このため、第１の実施形態の効果と同様な効果を奏する。

－第４の実施形態－
図１０は、本発明の第４の実施形態を示す図であり、図３に相当する図である。
図１０に図示された第４の実施形態では、第３の実施形態とは、固定用ボルト４０としての六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の上面２２ｄよりも突出する構造である点で相違する。
つまり、この構造では、六角穴付きボルトの頭部４１の高さ（厚さ）は、ねじステータ２２に設けられたざぐり２２ｅの深さよりも高く（厚く）形成されている。六角穴付きボルトの頭部４１の高さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するか、それよりも低いものである。従って、六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の上面２２ｄから突出する高さは、規格製品の頭部がねじステータ２２の上面２２ｄから突出する高さよりも低くなる。
すなわち、第４の実施形態に示された構造では、六角穴付きボルトの頭部４１がざぐり２２ｅ内に配置されているため、六角穴付きボルトの頭部４１の上面がねじステータ２２の上面２２ｄから突出する高さは、ざぐり２２ｅが形成されていない従来の構造よりも小さくなっている。なお、固定用ボルト４０として、その頭部４１の高さが、ＪＩＳＢ１１７６の規定よりも低いものを用いる場合、一部の部位の寸法はＪＩＳＢ１１７６の規定と異なるものであってもよい。但し、この場合においても、固定用ボルト４０の締付力を確保するため、六角穴４２の深さは、ＪＩＳＢ１１７６の規定に適合するものであることが望ましい。
第４の実施形態の他の構成は、上述した第２、第３の実施形態と同様であり、同一の部材に同一の符号を付して説明を省略する。

第４の実施形態では、六角穴付きボルトの頭部４１の上部がねじステータ２２の上面２２ｄから突出する構造である。このため、上述した第３の実施形態に比し、六角穴付きボルトの頭部４１がねじステータ２２の上面２２ｄから突出する分だけ、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間が小さくなる。しかし、六角穴付きボルトの頭部４１の高さは規格製品と同一またはそれよりも低いため、従来の構造よりも、六角穴付きボルトの頭部４１と最下段のロータ翼１２との隙間を大きくすることができる。従って、第１の実施形態と同様な効果を奏する。

なお、上記各実施形態において、固定用ボルト４０は、その頭部４１の高さ以外は、ＪＩＳ（日本工業規格）に適合するものとして説明した。しかし、固定用ボルト４０は、その頭部４１の高さ以外は、ＩＳＯ規格（国際標準化機構）、ＡＮＩＳＩ規格（アメリカ）、ＧＢ規格（中国）、ＫＳ規格（韓国）、ＤＩＮ規格（ドイツ）等の使用国（生産国、販売国を含む）または国際機構の規格に適合するものとしてもよい。

上述した各実施例はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施例での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。

１ターボ分子ポンプ（真空ポンプ）
１０ロータ
１１ロータシャフト
１２ロータ翼
１３ロータ円筒部
２０ベース
２０ｃ上面
２１固定翼
２２ねじステータ
２２ｄ上面
２２ｄ１内周側内側傾斜面
２２ｄ２内周側外側傾斜面
２２ｄ３平坦面
２２ｅざぐり
２２ｇねじ溝
４０固定用ボルト（六角穴付きボルト）
４１頭部
４２六角穴
ＧＳ流路（導入路）
ＳＰねじ溝排気部
ＴＰターボ排気部

Claims

ベースと、
前記ベースに回転可能に設けられたロータシャフトと、
多段に配列されたロータ翼とロータ円筒部を有し、前記ロータシャフトに取付けられたロータと、
前記ロータ翼間に配置され、前記ロータ翼と共にターボ排気部を構成する固定翼と、
前記ロータ円筒部と共にねじ溝排気部を構成するステータと、
前記ステータを、前記ターボ排気部から気体が導入される前記ねじ溝排気部の導入路において前記ベースの上面に固定する六角穴付きボルトとを備え、
前記ステータの上面にざぐりが設けられ、
前記六角穴付きボルトの頭部が前記ざぐり内に配置され、前記六角穴付きボルトの頭部の上面が前記ステータの上面とほぼ面一であり、
前記ステータの上面には、内周側内側傾斜面と、内周側外側傾斜面と、前記内周側内側傾斜面と前記内周側外側傾斜面との間に配置された平坦面とが形成されており、
前記内周側内側傾斜面および前記内周側外側傾斜面は、前記ロータシャフトに向かって下り勾配に形成されており、
前記平坦面は、前記ロータシャフトに直交する方向に環状に形成されており、
前記六角穴付きボルトの頭部の上面は前記平坦面の上面とほぼ面一である、真空ポンプ。