JP6241223B2 - 真空ポンプ - Google Patents

Description

この発明は、動翼部と静翼部とで構成された排気部を有する真空ポンプに関する。

ターボ分子ポンプ等の真空ポンプは、ケーシング部材とベース部材とにより構成されるポンプ容器内において、多段に配列された動翼部を有するロータを高速に回転し、動翼部と、動翼部の各段の間に配列された静翼部とにより気体分子を吸気口側から排気ポート側に移送する。

各段の動翼部はロータ翼を有し、各段の静翼部はステータ翼を有する。各静翼部は、静翼部の外周側に配設されたスペーサにより所定の間隔に支持される。静翼部は、一対の半割のリング状部材を組み合わせて１つの輪状に形成される。つまり、半割のリング状部材の径方向における２つの側端面を相互に突き合わせて１つの輪を形成する。ロータ翼およびステータ翼は、ロータの回転面に対して傾斜して形成されており、ロータ翼とステータ翼とは所定寸法の隙間が設けられている。

静翼部を作製する方法としては、機械加工により形成する方法と、塑性加工により形成する方法とがあるが、塑性加工により作製する方法はコスト面で有利である。
塑性加工により作製する方法では、板金をプレス加工して、所定の傾斜角度で円周方向に沿って配列された複数のステータ翼を内周側縁部である内周リムと外周側縁部である外周リムにより連結するように作製する（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−１４４６９４号公報

加工時のばらつきにより、スペーサにより支持された静翼部は、外周リム側に対して内周リム側がロータの軸方向に変位する。この変位により、静翼部が動翼部に接触する可能性が生じる。

本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、多段に配置され、それぞれが複数のロータ翼を有する複数の動翼部と、動翼部の間に配置され、外周リムがスペーサを介して支持され、それぞれが複数のステータ翼を有する複数の静翼部とを有する排気部を備え、複数の静翼部の少なくとも１つの静翼部は、その静翼部に設けた複数のステータ翼の内周側の翼高さが外周側の翼高さより小さく設定され、内周側におけるステータ翼の上面と上段側の動翼部の下面との隙間が、内周側におけるステータ翼の下面と下段側の動翼部の上面との隙間よりも大きい構造において、外周リムがステータ翼の上面方向に所定の傾斜角度で折り曲げられてスペーサで支持されることにより、ステータ翼の内周側が吸気口側に向けて浮き上がり、内周側におけるステータ翼の上面と上段側の動翼部の下面との隙間と、内周側におけるステータ翼の下面と下段側の動翼部の上面との隙間とが均等になる方向に変位されて構成されている。
好ましくは、外周リムに対するステータ翼の内周側の先端の浮き上がり高さｓは、ステータ翼の外周側の翼高さをｈｏ、ステータ翼の内周側の翼高さをｈｉとした場合、（ｈｏ−ｈｉ）＞ｓの関係を満たす。

この発明によれば、静翼部は、その内周側が吸気口側に向けて浮き上がった状態で支持される。静翼部に設けられたステータ翼は、外周側の翼高さが内周側の翼高さより大きく、ステータ翼の内周側では、吸気口側である上段側の動翼部との隙間の方が、下段側の動翼部との隙間より大きい。ステータ翼の内周側が、隙間の大きい上段側の動翼部側に変位した状態で支持されることになるので、動翼部との接触を確実に防止することができる。

この発明に係る真空ポンプの一実施の形態としてのターボ分子ポンプの断面図。 図１における領域IIの拡大図。 静翼部の平面図。 図３におけるＩＶ−ＩＶ線断面図。 （ａ）は図３における領域Ｖの拡大斜視図、（ｂ）はステータ翼を内周側から見た図、（ｃ）はステータ翼を外周側から見た図。 静翼部の製造方法を説明するための半円板プレートの平面図。 図６に続く工程を説明するための半円板プレートの平面図。 図７における領域ＶＩＩＩの拡大図。 （ａ）はパンチの平面図、（ｂ）はパンチの斜視図。 （ａ）はダイの平面図、（ｂ）はダイの斜視図。 パンチＰＵおよびダイＤＩを用いて、絞り加工によりステータ翼を作製する方法を説明するための図であり、（ａ）は図３におけるＸＩａ−ＸＩａ線で切断した絞り加工時における断面図、（ｂ）は図３におけるＸＩｂ−ＸＩｂ線で切断した絞り加工時における断面図。 本発明の静翼部要部における実施形態２の拡大斜視図。 本発明の静翼部要部における実施形態３の拡大斜視図。

−実施形態１−
以下、図面を参照して本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを一実施の形態として説明する。
（真空ポンプ全体構成）
図１はターボ分子ポンプ１の断面図であり、図２は図１における領域ＩＩの拡大図である。
ターボ分子ポンプ１は、ケーシング部材１２と、ケーシング部材１２に固定されたベース１３とにより形成されたポンプ容器１１を備えている。
ケーシング部材１２は、ほぼ円筒形状を有し、例えば、ＳＵＳにより形成され、上端部に上部フランジ２１が形成されている。ケーシング部材１２の上部フランジ２１の内方には円形状の吸気口１５が形成されている。上部フランジ２１には、円周方向に沿って、ほぼ等間隔にボルト挿通用の貫通孔２２が形成されている。ターボ分子ポンプ１は、上部フランジ２１の貫通孔２２にボルト９２を挿通して、半導体製造装置等の外部装置に取り付けられる。

ポンプ容器１１内には、ロータ４およびロータ４の軸芯に同軸で取り付けられたロータシャフト５が収容されている。ロータ４とロータシャフト５とは、ボルト９１により固定されている。

ロータ４は、ロータ上部４Ａと、ロータ上部４Ａの下面に接合されたロータ下部円筒部４Ｂとを備えている。ロータ上部４Ａは、例えば、アルミニウム合金により形成されている。ロータ上部４Ａには、放射状に形成され、円周方向に配列された複数の動翼部６がロータ４の軸方向に間隔をおいて、複数段に配列されている。動翼部６は、動翼部６の回転
面に対し、所定の傾斜角度で形成されている。動翼部６の各段の間には静翼部７０が配置されている。

詳細は後述するが、静翼部７０は、円周方向に沿って配列された複数のステータ翼７１（図５参照）を有する半割のリング状部材を一対組み合わせて１つの輪状に形成されている。各静翼部７０は、ケーシング部材１２の内周面に沿って配置されたリング形状のスペーサ８により挟持され、多段（図示の例では７段）に積層されている。最上段のスペーサ８は、その上面がケーシング部材１２の上部フランジ２１の内面側の内部上壁部２１ａに当接し、最下段のスペーサ８は、その下面がベース１３の上部フランジ１３ａの上面に設けられた突出部１３ａ１に当接している。このため、各静翼部７０は、ケーシング部材１２の内部上壁部２１ａとベース１３の上部フランジ１３ａの上面との間で、スペーサ８を介して回転軸方向の力を与えられて支持されている。このようにして、動翼部６と静翼部７０とが交互に多段に積層されて高真空用の翼排気部が構成されている。

ロータ下部円筒部４Ｂの外周側には、リング状のねじステータ９がボルト９４によりベース１３に固定されている。ねじステータ９には、ねじ溝部９ａが形成されている。ロータ４のロータ下部円筒部４Ｂとねじステータ９とにより、低真空用のねじ溝排気部が構成されている。
なお、図１においては、ねじ溝部９ａがねじステータ９に形成された構造として例示されているが、ねじ溝部９ａをロータ下部円筒部４Ｂの外周面に形成してもよい。

ベース１３は、例えば、アルミニウム合金により形成され、ベース１３の中央部には、ロータシャフト５を挿通する円形の中空部が形成された中央筒部１４が形成されている。中央筒部１４の内側には、モータ３５、ラジアル磁気軸受３１（２箇所）、スラスト磁気軸受３２（上下一対）、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂとアキシャル変位センサ３３ｃ、メカニカルベアリング３４、３６およびロータディスク３８が取り付けられている。

ロータシャフト５は、ラジアル磁気軸受３１（２箇所）およびスラスト磁気軸受３２（上下一対）によって非接触に支持される。ロータシャフト５の回転時の位置は、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂおよびアキシャル変位センサ３３ｃによって検出された径方向の位置と軸方向の位置とに基づいて制御される。磁気軸受３１、３２によって回転自在に磁気浮上されたロータシャフト５は、モータ３５により高速回転駆動される。ロータシャフト５が回転駆動されることにより、ロータシャフト５に連結されたロータ上部４Ａが回転し、すべての動翼部６が一体的に回転する。
メカニカルベアリング３４、３６は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受３１、３２が作動していない時にはメカニカルベアリング３４、３６によりロータシャフト５が支持される。

ベース１３には、排気ポート１６が設けられ、排気ポート１６には、排気口１６ａが設けられている。
ケーシング部材１２の下部フランジ２３とベース１３の上部フランジ１３ａとがシール部材４２を介在してボルト９３により固定され、ポンプ容器１１が構成される。

以上説明したように、実施形態の真空ポンプは、多段に配置された動翼部６間にスペーサ８により支持された静翼部７０がそれぞれ配置されて成る排気機能部を有する真空ポンプである。
以下、詳細に静翼部７０について説明する。

（静翼部７０の説明）
図３は図１に図示された静翼部７０の平面図、図４は図３におけるＩＶ−ＩＶ線断面図
、図５（ａ）は図３における領域Ｖの拡大斜視図、（ｂ）はステータ翼を内周側から見た図、（ｃ）はステータ翼を外周側から見た図である。
静翼部７０は、半割のリング状部材である２つの分割静翼部７０Ａ，７０Ｂを組み合わせて構成されている。分割静翼部７０Ａ，７０Ｂは同一形状である。各分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、中央部に開口７９を有し、平面視で半環状体（以下、便宜上、半円形形状とも表記する）である。分割静翼部７０Ａ，７０Ｂは、外周リム７３と、内周リム７２と、外周リム７３と内周リム７２との間において周方向に所定の幅で放射状に延在する複数のステータ翼７１とを備えている。

（ステータ翼７１の詳細な説明）
詳細は後述するが、この実施形態のステータ翼７１は絞り加工により作製される。図４および図５に図示されるように、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂに形成された各ステータ翼７１は、外周リム７３と内周リム７２との間において周方向に所定の幅で放射状に延在し、静翼部本体７０Ｈに対して所定の翼角度で傾斜して複数の排気開口７８を形成する。すなわち、ステータ翼７１は、静翼部本体７０Ｈの面上において、半径方向に直線的に延在する折り曲げ部７０Ｒにおいて静翼部本体７０Ｈから立ち上がって接続され、静翼部本体７０Ｈと反対側の先端側部７７側において、ステータ翼７１は静翼部本体７０Ｈから切り離されている。ステータ翼７１は、先端側部７７における静翼部本体７０Ｈからの高さ、すなわち翼高さは、内周側よりも外周側において高く形成されている。

ステータ翼７１は、平面視において半径方向に細長い矩形形状を呈している。この矩形形状は、折り曲げ部７０Ｒの長辺と、先端側部７７の長辺と、外周側端部７１Ｓｏの短辺と、内周側端部７１Ｓｉの短辺とにより構成される。
分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、それぞれ、ステータ翼７１の内周側端部７１Ｓｉを内周リム７２に接続する内周側支持部７５と、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏを外周リム７３に接続する外周側支持部７６とを備えている。
内周側支持部７５は、ステータ翼７１の内周側端部７１Ｓｉの全長に亘り形成されている。外周側支持部７６は、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏの一部に対応して形成されている。すなわち、外周側支持部７６は、ステータ翼７１の静翼部本体７０Ｈから折れ曲がる折り曲げ部７０Ｒから先端側部７７の中間まで設けられ、先端側には切欠Ｋが設けられている。切欠Ｋは、先端側部７７と静翼部本体７０Ｈとの間に設けられた排気開口７８に連通している。

上述した如く、各ステータ翼７１は、外周リム７３に接続された外周側支持部７６および内周リム７２に接続された内周側支持部７５により支持されているので大きな剛性を有している。また、翼高さは内周側よりも外周側が大きいが、外周側端部７１Ｓｏには、先端側部７７側に切欠Ｋが形成されているので、絞り加工の際、外周側支持部７６に亀裂が発生するのを抑制することができる。

図５に図示されるように、分割静翼部７０Ａは、外周縁７３ａ、すなわち外周リム７３の外周縁のスペーサ挟持領域がステータ翼７１側に向けて折曲されている。
図２は、静翼部７０の外周縁７３ａを、ケーシング部材１２の内部上壁部２１ａとベース１３の上部フランジ１３ａの上面との間で、スペーサ８を介して支持した状態を示している。各分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、外周縁７３ａをスペーサ８により挟持されることにより、内周リム７２側が、吸気口１５側、換言すれば、上段側の動翼部６側に向けて浮き上がって支持されている。

図２に示されるように、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、外周側におけるステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｏと、外周側における静翼部本体７０Ｈの下面と下段側の動翼部６の上面との隙間ｄとが、ほぼ等しくなるように設定されている。上述した如く、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂのステータ翼７１の翼高さは、内周側の翼高さｈ
ｉの方が外周側の翼高さｈ０よりも小さい。つまり、ステータ翼７１の内周側の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｉは、外周側におけるステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄ０より大きい。

各分割静翼部７０Ａ、７０Ｂの内周リム７２側を浮き上がらせることは、静翼部本体７０Ｈの下面と下段側の動翼部６の上面との隙間ｄを拡げ、ステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｉを狭めることになる。しかし、もともと、内周側におけるステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｉは大きく、余裕がある。つまり、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂの内周側を浮き上がらせることは、ステータ翼７１を、ステータ翼７１と上下段の動翼部６との隙間が均等になる方向に変位させることになる。このため、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂと動翼部６との接触を防止することができる。

図２に図示されるように、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂにおける静翼部本体７０Ｈの外周縁７３ａに対する内周側の浮き上がり高さｓは、ステータ翼７１の外周側の翼高さをｈｏ、ステータ翼７１の内周側の翼高さをｈｉとした場合、
（ｈｏ−ｈｉ）＞ｓ
の関係を満たすようにする。この条件を満たす限り、ステータ翼７１の内周側における上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｉが、外周側におけるステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄ０より小さくなることは無く、動翼部６との接触を確実に防止することができる。

（分割静翼部の製造方法）
次に、図６〜図１１を参照して、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂの製造方法について説明する。
分割静翼部７０Ａと７０Ｂとは、同一の製造方法により作製される。ここでは、分割静翼部７０Ａを代表として、その製造方法を説明する。
この製造方法は、半円板プレート７０Ｐを準備する工程と、半円板プレート７０Ｐに放射状の切込み線８１を形成する工程と、半円板プレート７０Ｐの放射状切込み線８１の最外周部に周方向に開口８２を形成する工程と、ステータ翼７１を絞り加工で形成する工程と、半円板プレートＰの外周縁７３ａを折曲する工程とを備えている。

先ず、内周側に半円形の開口７９が設けられた金属製の半円形部材である半円板プレート７０Ｐを準備する。半円板プレート７０Ｐの素材はアルミニウ合金、ステンレス鋼等を使用することができる。
図６に図示されるように、半円板プレート７０Ｐに複数の直線状の切込み線８１を放射状に形成する。切込み線８１は、プレス加工あるいはエッチング加工により形成することができる。切込み線８１は、絞り加工後に先端側部７７となるものである。

次に、図７に示すように、各切込み線８１の外周側の端部に半円板プレート７０Ｐの外周面７４に沿うほぼ矩形状の開口８２を形成する。開口８２は、プレス加工により形成すると効率的であるが、エッチング加工により形成してもよい。開口８２は、絞り加工後に切欠きＫとなる。

そして、ダイとパンチにより半円板プレート７０Ｐからステータ翼７１を絞り加工する。以下、図８〜図１１を参照して絞り加工について詳細に説明する。

図８は図７における領域ＶＩＩＩの拡大図である。図８において、ハッチングで示す領域７６ａは、絞り加工により、静翼部本体７０Ｈと外周リム７３とを接続する外周側支持部７６となる領域である。開口８２の長さｌｏは、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏ全体の長さＬの半分未満とすることが望ましい。

図９（ａ）はパンチの平面図であり、図９（ｂ）はパンチの斜視図であり、図１０（ａ）はダイの平面図であり、図１０（ｂ）はダイの斜視図である。また、図１１（ａ）、図１１（ｂ）は、パンチＰＵおよびダイＤＩを用いて、絞り加工によりステータ翼７１を形成する方法を説明するための図であり、図１１（ａ）は図３におけるＸＩａ−ＸＩａ線で切断した絞り加工時における断面図であり、図１１（ｂ）は図３におけるＸＩｂ−ＸＩｂ線で切断した絞り加工時における断面図である。

図９（ａ）、（ｂ）、図１１（ａ）、（ｂ）に図示されるように、パンチＰＵは、ステータ翼７１の外周側支持部７６を形成するための、外周リム７３からステータ翼７１の下面側に向かって突設する傾斜部ＰＵ１を有する。また、ステータ翼７１の内周側支持部７５を形成するための、内周リム７２からステータ翼７１の下面側に向かって突設する傾斜部ＰＵ２を有する。パンチＰＵは、各ステータ翼７１の静翼部本体７０Ｈの折り曲げ部７０Ｒから先端側部７７に向かって突設するとともに、内周リム７２から外周リム７３に向かって上り勾配に形成されている傾斜面ＰＵ３ａを有するパンチ本体部ＰＵ３を備えている。また、パンチ本体部ＰＵ３における先端側部７７に対応する位置には、ロータシャフト５の軸方向とほぼ平行な突合端部ＰＵ３ｂが形成されている。突合端部ＰＵ３ｂは、ステータ翼７１の先端側部７７を静翼部本体７０Ｈから分離するためのものである。

図１０（ａ）、（ｂ）、図１１（ａ）、（ｂ）に図示されるように、ダイＤＩは、ステータ翼７１の外周側支持部７６を形成するための、外周リム７３からステータ翼７１の上面側に向かって凹設する傾斜部ＤＩ１を有する。また、ステータ翼７１の内周側支持部７５を形成するための、内周リム７２からステータ翼７１の上面側に向かって凹設する傾斜部ＤＩ２を有する。ダイＤＩは、各ステータ翼７１の静翼部本体７０Ｈの折り曲げ部７０Ｒから先端側部７７に向かって凹設するとともに、内周リム７２から外周リム７３に向かって下り勾配に形成されている傾斜面ＤＩ３ａを有するダイ本体部ＤＩ３を備えている。また、ダイ本体部ＤＩ３における先端側部７７に対応する位置には、ロータシャフト５の軸方向とほぼ平行な突合端部ＤＩ３ｂが形成されている。側端部ＤＩ３ｂは、ステータ翼７１の先端側部７７を静翼部本体７０Ｈから分離するためのものである。

ダイＤＩ１上に半円板プレート７０Ｐをセットし、パンチＰＵを矢印方向に押し出して半円板プレート７０Ｐを絞り加工し、ステータ翼７１を作製する。この絞り加工において、図８の斜線の領域７６ａに３次元的な塑性流動が生じて外周側支持部７６が形成される。領域７６ａが塑性変形することにより、開口８２が平面形状から翼高さ方向に３次元的に変形して切欠きＫが形成される。
また、半円板プレート７０Ｐに形成した切込み線８１が先端側端部７７となるように折り曲げ部７０Ｒ（図６参照）から静翼部本体７０Ｈが傾斜状に立ち上げられてステータ翼７１が形成される。立ち上げられたステータ翼７１の先端側部７７と静翼部本体７０Ｈとの間の空間は、排気開口７８（図５参照）となる。また、ステータ翼７１の外周側部に形成された切り欠きＫは、排気開口７８に連続して繋がって形成される。

この後、プレス加工により、静翼部本体７０Ｈの外周縁７３ａをステータ翼７１側に向けて折り曲げる。これにより、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂが形成される。
通常、ステータ翼７１の上面と上段側の動翼部６の下面との隙間ｄｏおよび静翼部本体７０Ｈの下面と下段側の動翼部６の上面との隙間ｄは、０．５〜１．０ｍｍ程度である。また、ステータ翼７１における外周側の翼高さｈｏと内周側の翼高さｈｉとの差（ｈｏ−ｈｉ）は１．５〜２．０ｍｍ程度である。外周縁７３ａの折曲角度は、ステータ翼７１の内周側における浮き上がり量が、１．５〜２．０ｍｍを超えない角度にする。

以上説明した通り、上記一実施の形態によれば下記の効果を奏する。
本発明による真空ポンプでは、静翼部７０は、その内周側が、ロータシャフト５の軸方向上方側、換言すれば、吸気口１５側に向けて浮き上がるように外周縁７３ａが支持されており、静翼部７０は、浮き上がった状態で支持される。静翼部７０に設けられたステータ翼７１は、外周側の翼高さｈ０が内周側の翼高さｈｉより大きく、ステータ翼７１の内周側では、吸気口１５側である上段側の動翼部６との隙間ｄｉの方が、下段側の動翼部６との隙間ｄより大きい。ステータ翼７１の内周側は、隙間ｄｉの大きい上段側の動翼部６側に変位された状態で支持されることになるので、動翼部６との接触を、確実に防止することができる。

分割静翼部７０Ａの外周縁７３ａは、塑性加工である板金により折曲するようにした。従って、生産性が良く、コスト面で有利である。

−実施形態２−
図１２は、本発明の静翼部要部における実施形態２の断面図である。
実施形態２において、実施形態１と異なる点は、下記の通りである。
分割静翼部７０Ａにおいて、ステータ翼７１と外周リム７３とを接続する外周側支持部７６Ａは、内周側支持部７５と同様に、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏの全長に亘り形成されている。すなわち、実施形態１に形成されていた先端側部７７を外周側支持部７６から分離するための切欠きＫを備えていない。

外周側支持部７６Ａの翼高さが余り高くない場合には、ステータ翼７１の先端側部７７を外周側支持部７６から分離するための切欠きＫを設けずとも、外周側支持部７６Ａに亀裂が生じることがない。このため、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏの全長に亘り外周側支持部７６Ａを設けて、剛性をより高めることができる。

実施形態２においても、分割静翼部７０Ａの外周縁７３ａは、その内周側に対して、ステータ翼７１側に向けて折曲されている。このため、実施形態１と同様に、ステータ翼７１の内周側は、隙間ｄｉの大きい上段側の動翼部６側に変位された状態で支持されることになるので、動翼部６との接触を、確実に防止することができる。
その他は、実施形態１と同様であり、対応する構成に同一の符号を付して説明を省略する。

−実施形態３−
図１３は、本発明の静翼部要部における実施形態３の断面図である。
実施形態３において、実施形態１とは次の点で相違する。
分割静翼部７０Ａにおいて、ステータ翼７１の外周側端部７１Ｓｏと外周リム７３とを接続する外周側支持部７６、およびステータ翼７１の内周側端部７１Ｓｉと内周リム７２とを接続する内周側支持部７５を備えていない。すなわち、各ステータ翼７１の内・外周側端部７１Ｓｉ、７１Ｓｏは、それぞれ、全長に亘り、内・外周リム７２、７３とは分離されている。

ステータ翼７１の静翼部本体７０Ｈからの翼高さが余り高くない場合には、内・外周側支持部７５、７６を設ける必要が無い。
これにより、金型を安価にし、かつ、生産効率を高くすることができる。

実施形態３においても、分割静翼部７０Ａの外周縁７３ａは、その内周側に対して、ステータ翼７１側に向けて折曲されている。このため、実施形態１と同様に、ステータ翼７１の内周側は、隙間ｄｉの大きい上段側の動翼部６側に変位された状態で支持されることになるので、動翼部６との接触を、確実に防止することができる。
その他は、実施形態１と同様であり、対応する構成に同一の符号を付して説明を省略す
る。

なお、静翼部７０の外周縁７３ａを、内周側において吸気口１５側に向けて浮き上がるように折曲するのは、ロータシャフト５の軸方向に多段に配設された静翼部７０の中の少なくとも１段だけでよい（２段でも、３段でも、全段でもよい）。

上述した通り、静翼部７０は、軸方向に多段に配設された静翼部７０は、上段側の方が、下段側よりも翼高さが高く形成されている。
このため、実施形態１〜３に示した静翼部７０を段毎に異なるものとしてもよい。例えば、上段から下段側に向けて、順に、実施形態１、実施形態２、実施形態３の静翼部７０を配列することができる。また、最上段のステータ翼７１ａを機械加工により作製された静翼部７０としてもよい。

上記一実施の形態では、最上段の静翼部７０をスペーサ８により挟持する構造として例示したが、最上段の静翼部７０の上面をケーシング部材１２の内部上壁部２１ａで支持するようにしてもよい。また、最下段の静翼部７０の下面をベース１３の上部フランジ１３ａに設けた突出部１３ａ１により支持する構造として例示したが、ベース１３の上部フランジ１３ａにスペーサ８を搭載し、このスペーサ８により最下段の静翼部７０の下面を支持するようにしてもよい。

分割静翼部７０Ａ、７０Ｂの一部あるいは全体を機械加工により作製するようにしてもよい。特に、スペーサ８により支持される静翼部７０の外周縁７３ａは、研削などにより静翼部本体７０Ｈに対して傾斜する角度に形成してもよい。
また、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、半割でなく、複数に分割されたものであればよい。

上記一実施の形態では、真空ポンプとして翼排気部とねじ溝排気部を備えた複合型のターボ分子ポンプで例示した。しかし、本発明は、翼排気部のみを備える真空ポンプにも適用することができる。

その他、本発明は、発明の趣旨の範囲内において、種々、変形して適用することが可能である。すなわち、本発明は、動翼部と静翼部とにより構成された排気部を備え、静翼部は、静翼部本体に円周方向に配列され、外周側の翼高さが内周側の翼高さより大きい複数のステータ翼を有し、少なくとも静翼部の１つは、内周側が吸気口側に向けて浮き上がるように外周縁が支持されているものであればよい。

１ ターボ分子ポンプ
４ ロータ
６ 動翼部
８ スペーサ
１１ ポンプ容器
１２ ケーシング部材
１３ ベース部材
７０ 静翼部
７０Ａ、７０Ｂ 分割静翼部
７０Ｈ 静翼部本体
７０Ｐ 半円板プレート
７０Ｒ 折り曲げ部
７１ ステータ翼
７１Ｓｉ 内周側端部
７１Ｓｏ 外周側端部
７２ 内周リム
７３ 外周リム
７３ａ 外周縁
７５ 内周側支持部
７６ 外周側支持部
７７ 先端側部
ＤＩ ダイ
ＰＵ パンチ

Claims (2)

1. 多段に配置され、それぞれが複数のロータ翼を有する複数の動翼部と、前記動翼部の間に配置され、外周リムがスペーサを介して支持され、それぞれが複数のステータ翼を有する複数の静翼部とを有する排気部を備え、
   前記複数の静翼部の少なくとも１つの静翼部は、その静翼部に設けた複数のステータ翼の内周側の翼高さが外周側の翼高さより小さく設定され、
   内周側におけるステータ翼の上面と上段側の動翼部の下面との隙間が、内周側におけるステータ翼の下面と下段側の動翼部の上面との隙間よりも大きい構造において、
   前記外周リムが前記ステータ翼の上面方向に所定の傾斜角度で折り曲げられて前記スペーサで支持されることにより、前記ステータ翼の内周側が吸気口側に向けて浮き上がり、内周側におけるステータ翼の上面と上段側の動翼部の下面との隙間と、内周側におけるステータ翼の下面と下段側の動翼部の上面との隙間とが均等になる方向に変位されて構成されている、真空ポンプ。
2. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記外周リムに対する前記ステータ翼の内周側の先端の浮き上がり高さｓは、前記ステータ翼の外周側の翼高さをｈｏ、前記ステータ翼の内周側の翼高さをｈｉとした場合、
   （ｈｏ−ｈｉ）＞ｓ
   の関係を満たす真空ポンプ。
   

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