JP6261507B2

JP6261507B2 - 真空ポンプ用保護ネット、その製造方法および真空ポンプ

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Publication number: JP6261507B2
Application number: JP2014537907A
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Inventors: 正人小亀
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Description

この発明は、真空ポンプ用保護ネット、その製造方法および真空ポンプに関する。

ターボ分子ポンプ等の真空ポンプは、ケーシング部材内に装着された排気構造部により、半導体製造装置等の外部装置の真空処理室内の気体を吸気口から吸気して排気口から排気する。一般的には、真空ポンプの吸気口には、多数の微小な貫通孔が形成された保護ネットが備えられている。保護ネットは、真空処理室から飛来する異物が真空ポンプの内部に侵入して、回転体等の排気構造部の構成部材に衝突するのを防止する。
保護ネットは、真空ポンプが大気突入したときに保護ネットがねじれるように変形し、排気構造部側に向かって膨出する。

変形した保護ネットの部分が排気構造部の回転体に当接すると、保護ネット自体および回転体が損傷するので、保護ネットと回転体との当接を回避する必要がある。しかし、保護ネットを回転体から大きく離間すると真空ポンプが大きくなる。
真空ポンプを大きくすることなく、保護ネットと回転体との当接を回避する構造として、保護ネットの高さを、周縁部から中心部に向かって段状に変化させる構造が知られている。
保護ネットの中心部側を真空処理室側に向けて高くして回転体から離間することにより、保護ネットが変形した場合でも、回転体との接触を防止することができるとされている（例えば、特許文献１参照）。

日本国特開２００９−２０９８２７号公報

上記先行文献に記載された保護ネットでは、段状に形成されているので、保護ネットの厚さが厚くなり、その分、真空ポンプが大型化し、また、ネット領域での吸気抵抗が大きくなってしまう。

本発明の第１の態様による真空ポンプ用保護ネットは、周縁部と、周縁部の内側に、周縁部と同一材料により一体的に形成され、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された全体が平坦な網部とを備え、網部の厚さは周縁部の厚さの半分以下であり、網部の一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、網部の他面は周縁部の他面から凹設しており、さらに、周縁部および網部と同一材料により一体に形成された補強リブを備え、補強リブの一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、補強リブの他面は、周縁部の他面と同一平面にあり、補強リブの側面は、補強リブに隣接する貫通孔のいずれかの側縁と同一平面にある。
本発明の第２の態様による真空ポンプ用保護ネットは、周縁部と、周縁部の内側に、周縁部と同一材料により一体的に形成され、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された全体が平坦な網部とを備え、網部の厚さは周縁部の厚さの半分以下であり、網部の一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、網部の他面は周縁部の他面から凹設しており、さらに、周縁部および網部と同一材料により一体に形成された補強リブを備え、補強リブの一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、補強リブの他面は、周縁部の他面と同一平面にあり、補強リブは、複数の貫通孔の側縁に沿って延出され、幅広部と幅狭部とを有する。
本発明の第３の態様による真空ポンプ用保護ネットの製造方法は、周縁部と、周縁部の内側に一体的に形成され、周縁部の厚さの半分以下の厚さを有し、複数の貫通孔が形成された網部とを備える真空ポンプ用保護ネットの製造方法であって、板状部材の一面側へのエッチングにより、複数の貫通孔を形成する工程と、板状部材の他面側へのエッチングにより、周縁部の内側に凹部を形成する工程と、各エッチングによってエッチングされない部分が周縁部として形成される工程とを有し、板状部材の両面にフォトレジストを塗布する工程と、板状部材の一面側に、周縁部の外周と同じ外周を有し、貫通孔に対応する開口部が形成されたマスクを配する工程と、板状部材の他面側に、周縁部の外周と同じ外周を有し、網部全体に対応する開口部が形成されたマスクを配する工程と、フォトレジストを現像する工程とをさらに有する。
本発明の第４の態様による真空ポンプ用保護ネットの製造方法は、周縁部と、周縁部の内側に一体的に形成され、周縁部の厚さの半分以下の厚さを有し、複数の貫通孔が形成された網部とを備える真空ポンプ用保護ネットの製造方法であって、板状部材の一面側へのエッチングにより、複数の貫通孔を形成する工程と、板状部材の他面側へのエッチングにより、周縁部の内側に凹部を形成する工程と、各エッチングによってエッチングされない部分が周縁部として形成される工程とを有し、板状部材の両面にフォトレジストを塗布する工程と、板状部材の一面側に、周縁部の外周と同じ外周を有し、貫通孔に対応する開口部が形成され、補強リブに対応するマスク部を有するマスクを配する工程と、板状部材の他面側に、周縁部の外周と同じ外周を有し、網部全体に対応する開口部が形成され、補強リブに対応するマスク部を有するマスクを配する工程と、フォトレジストを現像する工程とをさらに有し、各エッチングによってエッチングされない部分が周縁部および補強リブとして形成される。
本発明の第５の態様による真空ポンプは、外部装置から気体を吸気する吸気口および気体を排気する排気口を備えたポンプ容器と、ポンプ容器内における吸気口と排気口との間に設けられた排気構造部と、ポンプ容器の吸気口に設けられた保護ネットとを備え、保護ネットは、周縁部と、周縁部の内側に、周縁部と同一材料により一体的に形成され、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された全体が平坦な網部とを有し、網部の厚さは周縁部の厚さの半分以下であり、網部の一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、網部の他面は周縁部の他面から凹設しており、保護ネットは、網部の他面が排気構造部側に向けて設けられている。

この発明によれば、真空ポンプ用保護ネットの網部の厚さが周縁部の厚さの半分またはそれ未満とされ、真空ポンプを大型化することなく、周縁部での取り付け強度を担保しつつ網部での吸気抵抗を低減することができる。

本発明に係る真空ポンプの一実施の形態としてのターボ分子ポンプの断面図。本発明に係る真空ポンプ用保護ネットの説明図であり、（ａ）は、その平面図、（ｂ）は、（ａ）におけるＩＩ_B−ＩＩ_B線断面図。（Ａ）〜（Ｄ）は、真空ポンプ用保護ネットの製造方法の一実施の形態を説明するための図。（Ａ）〜（Ｃ）は、図３に続く工程を説明するための図。真空ポンプ用保護ネットの変形例を示す断面図。本発明に係る真空ポンプ用保護ネットの実施形態２を説明する図であり、（Ａ）は、その平面図、（Ｂ）は、（Ａ）におけるＶＩ_B−ＶＩ_B線断面図。図６（Ａ）における領域ＶＩＩの拡大図。（Ａ）〜（Ｄ）は、実施形態２の真空ポンプ用保護ネットの製造方法の一実施の形態を説明するための図。（Ａ）〜（Ｃ）は、図８に続く工程を説明するための図。補強リブを形成する方法を説明するための図。

--実施形態１-
（真空ポンプ）
以下、図１〜図４を参照して本発明の真空ポンプ用保護ネットおよび真空ポンプの一実施の形態について説明する。
図１は、本発明の真空ポンプの一実施の形態としてのターボ分子ポンプの断面図である。
ターボ分子ポンプ１は、ケーシング部材１２と、ケーシング部材１２に固定されたベース１３とにより形成されたポンプ容器１１を備えている。
ケーシング部材１２は、ほぼ円筒形状を有し、例えば、ＳＵＳにより形成され、上端部に上部フランジ２１が形成されている。ケーシング部材１２の上部フランジ２１の内方には円形状の吸気口１５が形成されている。上部フランジ２１には、円周方向に沿って、ほぼ等間隔にボルト挿通用の貫通孔２２が形成されている。ターボ分子ポンプ１は、上部フランジ２１の貫通孔２２にボルト９２を挿通して、半導体製造装置等の外部装置に取り付けられる。

ポンプ容器１１内には、ロータ４およびロータ４に同軸で取り付けられたロータ軸５が収容されている。ロータ４はアルミニウム合金により形成されている。ロータ４とロータ軸５とは、ボルト９１により固定されている。

ロータ４は、上部側のロータ動翼部４ａと、下部側のロータ円筒部４ｂとの二段構造を有する。ロータ動翼部４ａには、上下方向に間隔をおいて複数段にロータ翼６が形成されている。各段のロータ翼６の間にはステータ翼７が配置されている、各段のステータ翼７は、半割のリングを一対組み合わせて形成されたリング形状とされている。ステータ翼７の外周には、ケーシング部材１２の内周面に沿って、ステータ翼７を挟持するリング形状のスペーサ８が配置されている。ロータ翼６とステータ翼７とが交互に多段に積層されて高真空用の排気構造部が構成されている。

ロータ円筒部４ｂの外周側には、リング状のねじステータ９がボルト９４によりベース１３に固定されている。ねじステータ９には、ねじ溝部９ａが形成されている。ロータ４のロータ円筒部４ｂとねじステータ９とにより、低真空用のねじ溝排気部が構成されている。
なお、図１においては、ねじ溝部９ａがねじステータ９に形成された構造として例示されているが、ねじ溝部９ａをロータ円筒部４ｂの外周面に形成してもよい。

ベース１３は、例えば、アルミニウム合金により形成され、ベース１３の中央部には、ロータ軸５を挿通する円形の中空部が形成された中央筒部１４が形成されている。中央筒部１４の内側には、モータ３５、ラジアル方向の磁気軸受３１（２箇所）、スラスト方向の磁気軸受３２（上下一対）、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂとアキシャル変位センサ３３ｃ、メカニカルベアリング３４、３６およびロータディスク３８が取り付けられている。

ロータ軸５は、ラジアル方向の磁気軸受３１（２箇所）およびスラスト方向の磁気軸受３２（上下一対）によって非接触に支持される。ロータ軸５の回転時の位置は、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂおよびアキシャル変位センサ３３ｃによって検出された径方向の位置と軸方向の位置とに基づいて制御される。磁気軸受３１、３２によって回転自在に磁気浮上されたロータ軸５は、モータ３５により高速回転駆動される。
メカニカルベアリング３４、３６は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはメカニカルベアリング３４、３６によりロータ軸５が支持される。

ベース１３には、排気ポート１６が設けられ、排気ポート１６には、排気口１６ａが設けられている。
ケーシング部材１２の下部フランジ２３とベース１３の上部フランジ１３ａとがシール部材４２を介在してボルト９３により固定され、ポンプ容器１１が構成される。

ケーシング部材１２の上部フランジ２１の内側に形成された吸気口１５を覆うように保護ネット５０が配設されている。保護ネット５０は、上部フランジ２１の内側に形成された段部２５にボルト９５により締結されている。

保護ネット５０は、ロータ４の最上段のロータ翼６から、ロータ軸５の軸方向に所定の距離だけ離間して配置されている。
図２を参照して後述する如く、保護ネット５０は、周縁部５１と、この周縁部５１よりも厚さが薄いネット部（以下、網部５２）とを備えている。網部５２は、ロータ翼６側が周縁部５１から陥没し、その反対面側は、周縁部５１と同一平面となっている。網部５２と周縁部５１との境界部５３は、上部フランジ２１の内側に設けられた段部２５の内周縁とほぼ同一平面となっている。つまり、網部５２は、ほぼ全面が吸気口１５に対応して配置されており、保護ネット５０は、外部装置の真空処理室から吸気する気体の流れが乱されないように配設されている。

ロータ翼６の回転により排気構造部が高真空となり、吸気口１５に配設された保護ネット５０の網部５２を介して、外部装置の真空処理室の気体が排気構造部に吸気される。
排気構造部に吸気された気体は、ロータ円筒部４ｂの回転により、ねじ溝排気部を介して排気ポート１６の排気口１６ａから排出される。
次に、保護ネット５０について説明する。

（保護ネット）
図２は、本発明に係る真空ポンプ用保護ネットの図であり、図２（Ａ）は、その平面図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）におけるＩＩ_B−ＩＩ_B線断面図である。
保護ネット５０は、ほぼ円盤形状を有し、上述した如く、周縁部５１と、周縁部５１の内側に形成された網部５２とを備えている。
周縁部５１および網部５２は、例えば、ＳＵＳ等の材料で一体に形成されており、周縁部５１の厚さは、例えば、５００μｍ程度、網部５２は、例えば、周縁部５１の厚さのほぼ半分の２５０μｍ程度である。

周縁部５１と網部５２とは、一方の面（以下、一面）８１が同一平面にあり、網部５２は全体がほぼ平坦となっている。保護ネット５０は、他方の面（以下、他面）８２側において、網部５２が周縁部５１から陥没した凹状に形成されている。
周縁部５１には、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔５６が形成されている。各貫通孔５６内には、上述した如く、ボルト９５が挿通され、ケーシング部材１２の上部フランジ２１の段部２５に固定される。このように、周縁部５１の貫通孔５６は保護ネット５０の取付部である。

網部５２には、多数の貫通孔５５が形成されている。図２では、網部５２の貫通孔５５は、一部の領域にのみ図示されているが、これは図示の都合であって、貫通孔５５は網部５２の領域全体に間断なく形成されている。
網部５２はハニカム構造を有する。つまり、網部５２の貫通孔５５は、正六角形に形成されている。貫通孔５５は、真空処理室から飛来する異物を遮断または反射する機能を備える必要がある。しかし、同時に、真空ポンプの能力を低下させないために、網部５２を通過する気体に対する吸気抵抗を小さくする必要がある。ハニカム構造は、貫通孔５５の周を最も短くするため、網部５２の強度を確保し、かつ、面積を大きくして吸気抵抗を小さくする。

上記実施形態によれば、保護ネット５０は、薄い円盤形状であり、一面８１および他面８２の全面が平坦であり、かつ、網部５２の厚さは、周縁部５１の厚さの半分程度に形成されている。従って、ターボ分子ポンプ１の軸方向の大きさを大きくすることなく吸気抵抗を低減できる。
なお、保護ネット５０は、図１に図示されるように、網部５２の凹部側をロータ翼６側に向けて配設する方が、この反対側に向けて配設する場合よりもロータ翼６との離間距離を大きくすることができる。しかし、保護ネット５０の厚さが２５０μｍ程度と小さい場合には、保護ネット５０の厚さに対して保護ネット５０の変形量が大きいので、実用上の差異は殆ど無い。
次に、保護ネット５０の製造方法を説明する。

（保護ネットの製造方法）
図３（Ａ）〜（Ｄ）および図４（Ａ）〜（Ｃ）は、保護ネット５０の製造方法の一実施の形態を示す。
図３（Ａ）に図示されるように、周縁部５１の厚さを有するＳＵＳ等の保護ネット形成部材５０ａを準備し、洗浄する。保護ネット形成部材５０ａは円形の板状部材である。
図３（Ｂ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａの一面８１と他面８２との表裏両面にフォトレジスト６６、６７を塗布する。フォトレジスト６６、６７は、ポジ型でも、ネガ型でも差し支えないが、ここではポジ型として説明する。

図３（Ｃ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａの一面８１側にマスク６１を、他面８２側にマスク７１を配置し、各マスク６１、７１上から光を照射してフォトレジスト６６、６７を露光する。
マスク６１は、保護ネット５０の周縁部５１の外周面を直径とする円形形状を有し（つまり、周縁部５１の外周と同じ外周を有し）、かつ、網部５２の貫通孔５５に対応する開口部６２が形成されている。すなわち、マスク６１は、周縁部５１に対応する部分と、網部の貫通孔５５以外の部分に対応する部分とを有する。マスク７１は、保護ネット５０の周縁部５１の外周面を直径とする円形形状を有し（つまり、周縁部５１の外周と同じ外周を有し）、網部５２に対応する開口部７２が形成されている。開口部７２は、マスク６１と同心円状に形成されている。すなわち、マスク６１は、周縁部５１に対応する部分のみ有する。
図３（Ｄ）に図示されるように、フォトレジスト６６、６７を現像する。
フォトレジスト６６には、網部５２の貫通孔５５に対応する開口６６ａが形成され、フォトレジスト６７には、網部５２に対応する開口部６７ａが形成される。

図４（Ａ）に図示されるように、マスク６１、７１を剥離する。
図４（Ｂ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａを表裏両面からエッチング液によりエッチングする。保護ネット形成部材５０ａは、一面８１側から、フォトレジスト６６の開口６６ａから浸漬するエッチング液によりエッチングされる。また、他面８２側から、フォトレジスト６７の開口６７ａから浸漬するエッチング液によりエッチングされる。保護ネット形成部材５０ａは、フォトレジスト６７の開口６７ａから浸漬するエッチング液により、網部５２に対応する領域が、周縁部５１の外周と同心円状の凹部が形成されるようにエッチングされる。

保護ネット形成部材５０ａを表裏両面からエッチングするエッチング速度は、同一である。このため、保護ネット形成部材５０ａが半分の厚さになった時点で、フォトレジスト６６の開口６６ａから浸漬するエッチング液が保護ネット形成部材５０ａの厚さを貫通し、網部５２の貫通孔５５が形成される。
この時点で、エッチングを終了する。そして、図４（Ｃ）に図示されるように、フォトレジスト６６、６７を剥離する。この後、周縁部５１に貫通孔５６を形成する。これにより、周縁部５１と、周縁部５１の内側に複数の貫通孔５５が形成され、周縁部５１の厚さの半分の厚さを有する網部５２とが一体に形成された保護ネット５０が形成される。
以上説明した第１実施形態における保護ネットの製造方法は、円形の板状部材を準備する準備工程と、板状部材の外周部に所定幅の周縁部をエッチングにより形成するとともに、周縁部の内側に、周縁部の厚さの半分またはそれ未満の厚さを有し、複数の貫通口を有する窪んだ網部をエッチングにより形成する形成工程とを有する。
また、上記形成工程では、板状部材の一面側からのエッチングにより、周縁部の内側に円形の凹部を形成すると共に、板状部材の他面側からのエッチングにより、円形の凹部内に板状部材の厚さ方向に貫通する複数の前記貫通孔を形成する。

（変形例）
図４（Ｂ）の工程において、フォトレジスト６６の開口６６ａから浸漬するエッチング液が保護ネット形成部材５０ａの厚さを貫通した後も、そのまま、エッチングを継続する。このようにすると、フォトレジスト６７の開口６７ａから浸漬するエッチング液により、保護ネット形成部材５０ａの網部５２に対応する領域がさらにエッチングされ、薄くなる。
図５は、このようにして、網部５２の厚さを、周縁部５１の厚さの半分よりも薄くした保護ネット５０を示す。
このように、保護ネット５０の網部５２の厚さは、周縁部５１の厚さの半分以下の任意の厚さとすることができる。
なお、エッチング液のエッチング速度は等方性であるので、エッチング深さを大きくする場合には、それに対応する貫通孔５５の幅の増大を見込んでおく必要がある。

上記一実施の形態によれば、保護ネット５０は、全体が平坦な網部５２を備えるので、全体の厚さが薄くなり、その分、真空ポンプの小型化が可能となる。また、網部５２の厚さは、周縁部５１の厚さの半分またはそれ以下とされている。このため、網部５２の貫通孔５５を通過する気体の吸気抵抗を低減することができる。

--実施形態２-
本発明の実施形態２を、図６〜１０を参照して説明する。
図６（Ａ）は、本発明に係る真空ポンプ用保護ネットの実施形態２の平面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）におけるＶＩ_B−ＶＩ_B線断面図であり、図７は、図６（Ａ）における領域ＶＩＩの拡大図である。
実施形態２における保護ネット５０Ａが、実施形態１の保護ネット５０と相違する点は、網部５２に補強リブ５８を設けた点である。以下、実施形態１との相違点を主に実施形態２を説明することとし、実施形態１と同様な点は、対応する部材に同一の符号を付して説明を省略する。

補強リブ５８は、網部５２の中心を通る、＋字形状に形成されており、周縁部５１および網部５２と、ＳＵＳ等により一体に形成されている。補強リブ５８の一面および他面は、それぞれ、周縁部５１の一面８１および他面８２と同一面上にある。すなわち、補強リブ５８の高さ（厚さ）は、保護ネット５０Ａの周縁部５１の厚さと同一である。補強リブ５８は、一面８１側において網部５２に一体化されている。
補強リブ５８により、網部５２のねじれなどに対する強度が大きくなる。補強リブ５８は、とくに、網部５２の厚さを薄くした図５に示した保護ネット５０に適用して好適である。

補強リブ５８は、図７に図示されるように、補強リブ５８に隣接する網部５２の貫通孔５５の側縁５５ａに沿って延出されている。補強リブ５８に隣接する貫通孔５５も、他の領域における貫通孔５５と同一の形状、正六角形を有している。すなわち、補強リブ５８の両側面は、隣接する貫通孔５５の側縁５５ａと同一面にあり、貫通孔５５の側縁５５ａの形状に倣って、幅広部と幅狭部とを有する形状に形成されている。このため、補強リブ５８を設けても、補強リブ５８によって貫通孔５５の形状が変わることがなく、異物を遮断する保護ネット５０の能力が低下することはない。
なお、図６においても、実施形態１の場合と同様に、貫通孔５５は網部５２の領域全体に間断なく形成されているが、図示の都合上、領域ＶＩＩ内にのみ図示されている。また、補強リブ５８は、網部５２の領域全体において、領域ＶＩＩ内と同様に形成されている。

（実施形態２の保護ネットの製造方法）
図８（Ａ）〜（Ｄ）、図９（Ａ）〜（Ｃ）および図１０を参照して、保護ネット５０Ａの製造方法の一実施の形態を示す。
図８（Ａ）に図示されるように、周縁部５１の厚さを有するＳＵＳ等の保護ネット形成部材５０ａを準備し、洗浄する。
図８（Ｂ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａの一面８１と他面８２の表裏両面にフォトレジスト６６、６７を塗布する。フォトレジスト６６、６７は、ポジ型でも、ネガ型でも差し支えないが、ここではポジ型として説明する。

図８（Ｃ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａの一面８１側にマスク６１Ａを、他面８２側にマスク７１Ａを配置し、各マスク６１Ａ、７１Ａ上から光を照射してフォトレジスト６６、６７を露光する。
マスク６１Ａには、網部５２の貫通孔５５に対応する開口部６２が形成されている。また、マスク６１Ａには、補強リブ５８を形成するための、補強リブ形成用マスク部６８が形成されている。
マスク７１には、網部５２に対応する開口部７２が形成されている。また、マスク７１Ａには、補強リブ５８を形成するための、補強リブ形成用マスク部７８が形成されている。

図１０は、マスク６１Ａの平面図を示す。マスク６１Ａのマスク部は、保護ネット形成部材５０ａの貫通孔５５を除く領域全体、すなわち、周縁部５１に対応する領域および補強リブ５８に対応する領域および網部５２の貫通孔５５に対応する領域以外の領域に形成されている。なお、図１０においても、貫通孔５５および補強リブ形成用マスク部６８は、領域ＶＩＩの外側における網部５２の領域全体に、領域ＶＩＩ内と同様に形成されている。
平面図は図示しないが、マスク７１Ａの補強リブ形成用マスク部７８は、補強リブ形成用マスク部６８と同一形状に形成されている。

図８（Ｄ）に図示されるように、フォトレジスト６６、６７を現像する。
フォトレジスト６６には、網部５２の貫通孔５５に対応する開口６６ａが形成されると共に、補強リブ形成用マスク部６８に対応する補強リブ形成用レジスト部６９が形成される。
フォトレジスト６７には、網部５２に対応する開口部６７ａが形成されると共に、補強リブ形成用マスク部７８に対応する補強リブ形成用レジスト部７９が形成される。

図９（Ａ）に図示されるように、マスク６１Ａ、７１Ａを剥離する。
図９（Ｂ）に図示されるように、保護ネット形成部材５０ａを表裏両面からエッチング液によりエッチングする。保護ネット形成部材５０ａは、一面８１側から、フォトレジスト６６の開口６６ａから浸漬するエッチング液によりエッチングされる。また、他面８２側から、フォトレジスト６７の開口６７ａから浸漬するエッチング液によりエッチングされる。

フォトレジスト６７の開口６７ａから浸漬するエッチング液によりエッチングされて、保護ネット形成部材５０ａが半分の厚さになった時点で、フォトレジスト６６の開口６６ａから浸漬するエッチング液が保護ネット形成部材５０ａの厚さを貫通し、網部５２の貫通孔５５が形成される。フォトレジスト６６、６７には、それそれ、補強リブ形成用レジスト部６９、７９が形成されているので、保護ネット形成部材５０ａには補強リブ５８が形成される。つまり、周縁部５１、網部５２および補強リブ５８が一体に形成された保護ネット５０Ａが形成される。

この時点で、エッチングを終了し、図９（Ｃ）に図示されるように、フォトレジスト６６、６７を剥離する。これにより、周縁部５１と、周縁部５１の内側に複数の貫通孔５５が形成され、周縁部５１の厚さの半分の厚さを有する網部５２と、補強リブ５８とが一体に形成された保護ネット５０Ａが形成される。
なお、実施形態２に保護ネット５０Ａについても、図５に図示されるように、網部５２の厚さを周縁部５１の厚さの半分よりも薄く形成することができる。

上記実施形態２においても、保護ネット５０Ａは、全体が平坦な網部５２を備えているで、全体の厚さが薄くなり、その分、真空ポンプの小型化が可能となる。また、網部５２の厚さは、周縁部５１の厚さの半分またはそれ以下とされており、網部５２の貫通孔５５を通過する気体の吸気抵抗を低減することができる。さらに、網部５２を補強する補強リブ５８が、一体に形成されているので、強度を大きくすることができる。

なお、上記各実施形態において、網部５２に形成する貫通孔５５を、平面視で正六角形として例示したが、この形状に限られるものではなく、円形あるいは他の多角形状に形成してもよい。

網部５２の貫通孔５５は、エッチングによらず、プレスあるいは機械加工により形成してもよい。
周縁部５１の取り付け貫通孔５６は、網部５２を形成する際に同様のフォトリソグラフィーにより形成してもよいし、機械加工により形成してもよい。

補強リブ５８は、＋字形状として例示した。しかし、網部５２の中心から、周縁部に向かって放射状に延出する多数のリブを設けてもよい。また、放射状のリブ同士を連結する円周状の接続用リブを設けてもよい。

上記実施形態では、タービン翼排気部とねじ溝排気部とを有するターボ分子ポンプの場合で例示した。しかし、ねじ溝排気部を有していない全翼タイプのターボ分子ポンプあるいは、モータ３５、磁気軸受３１、３２、変位センサ３３ａ〜３３ｃ等を制御する制御装置を、ポンプ容器１１に一体に取り付けたターボ分子ポンプにも適用することが可能である。さらに、本発明は、ターボ分子ポンプに限らず、同様の軸受構造を有する真空ポンプ、例えば、ドラッグポンプ等の真空ポンプにも適用することができる。

その他、本発明は、発明の趣旨の範囲内で種々変形して適用することが可能であり、要は、周縁部と、周縁部の内側に形成された平坦な網部とが同一材料により一体に形成され、網部の厚さは周縁部の厚さの半分またはそれ未満であり、網部の一面は、周縁部の一面と同一平面にあり、網部の他面は周縁部の他面から窪んで形成されているものであればよい。

Claims

周縁部と、
前記周縁部の内側に、前記周縁部と同一材料により一体的に形成され、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が形成された全体が平坦な網部とを備え、
前記網部の厚さは前記周縁部の厚さの半分以下であり、前記網部の一面は、前記周縁部の一面と同一平面にあり、前記網部の他面は前記周縁部の他面から凹設しており、
さらに、前記周縁部および前記網部と同一材料により一体に形成された補強リブを備え、前記補強リブの一面は、前記周縁部の前記一面と同一平面にあり、前記補強リブの他面は、前記周縁部の前記他面と同一平面にあり、
前記補強リブに隣接する前記貫通孔は正六角形であり、前記補強リブの側面は、前記補強リブに隣接する前記貫通孔のいずれかの側縁と同一平面にあり、かつ、前記補強リブは、隣接する複数の前記貫通孔の側縁に沿って延出され、隣接する複数の前記貫通孔の側縁の形状に倣った幅広部と幅狭部とを有する、真空ポンプ用保護ネット。