CN114623089A - 分子泵 - Google Patents

分子泵 Download PDF

Info

Publication number
CN114623089A
CN114623089A CN202210212040.7A CN202210212040A CN114623089A CN 114623089 A CN114623089 A CN 114623089A CN 202210212040 A CN202210212040 A CN 202210212040A CN 114623089 A CN114623089 A CN 114623089A
Authority
CN
China
Prior art keywords
molecular pump
cavity
groove
blades
machine body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210212040.7A
Other languages
English (en)
Inventor
刘小俊
陈涛
李春龙
卓鸿俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Ziniu Yidong Technology Co ltd
Original Assignee
Beijing Ziniu Yidong Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Ziniu Yidong Technology Co ltd filed Critical Beijing Ziniu Yidong Technology Co ltd
Priority to CN202210212040.7A priority Critical patent/CN114623089A/zh
Publication of CN114623089A publication Critical patent/CN114623089A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/705—Adding liquids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2260/00—Function
    • F05D2260/60—Fluid transfer
    • F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

本发明涉及真空泵技术领域，具体公开了一种分子泵，包括：机体，内部具有腔体，所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口，所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口；注入管路，与所述入口连通，以将外部的自清洁剂导入所述腔体内；排出管路，与所述出口连通，以将所述腔体内的残余液体排出。本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路，可以将自清洁剂自注入管路注入机体内，并将机体内的残余液体从排出管路排出机体，起到了清洁机体腔体的作用，延长了分子泵的寿命，减少故障率。

Description

分子泵
技术领域
本发明涉及真空泵技术领域，具体公开了一种分子泵。
背景技术
分子泵是根据分子动量传输原理而设计的真空泵，能获得10Pa的超高真空设备，在半导体制造、薄膜制备、聚变技术和质谱分析等工业领域有着广泛的应用。其抽气原理是在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面携带气体分子或传递动量给气体分子，使气体分子产生定向运动并逐级压缩，从而实现抽气的目的。
分子泵属于高速旋转机械，其是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
目前市场上存在各式各样的分子泵，但是传统的分子泵在使用过程中，腔体里有一些副产物聚合物流进泵体，附着在扇叶和轴承上，时间长了会破坏分子泵的动平衡，甚至会出现卡死现象。再加上分子泵安装空间很狭小，拆装难度很大，每次更换需要机台宕机12小时及以上。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种分子泵，旨在解决上述至少一个技术问题。
为实现上述目的，本发明提出了一种分子泵，包括：
机体，内部具有腔体，所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口，所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口；
注入管路，与所述入口连通，以将外部的自清洁剂导入所述腔体内；
排出管路，与所述出口连通，以将所述腔体内的残余液体排出。
另外，本发明的上述分子泵还可以具有如下附加的技术特征。
根据本发明的一个实施例，还包括：
喷嘴，设置在所述注入管路的出口处，且所述喷嘴设置在所述入口处。
根据本发明的一个实施例，所述注入管路内的自清洁剂选自无水酒精或者N2。
根据本发明的一个实施例，所述无水酒精的流量为100-150sccm，所述N2的流量为500-550sccm。
根据本发明的一个实施例，所述机体包括：
柱状外壳，所述入口开设在所述外壳上，所述出口开设在所述外壳的底部；
叶轮，设置在所述外壳内；
主轴，所述主轴的上端部设置于所述外壳的中心位置；
辅助轴承，设置在所述主轴的两端；
动片组，设置在所述外壳的内壁上；
静片固定环；
静片组，通过所述静片固定环固定在两层动片组之间；
驱动系统，所述主轴的下端部设置于所述驱动系统的中心位置，所述驱动系统用于驱动所述主轴的转动。
根据本发明的一个实施例，所述外壳上设有进气口，所述进气口上罩设有防护网，所述外壳的上端部设有第一凹槽，所述防护网的外圆周设置在第一凹槽内。
根据本发明的一个实施例，所述防护网呈半球状，且所述防护网朝所述主轴的方向凹陷。
根据本发明的一个实施例，所述外壳的上端部设有第二凹槽，所述第二凹槽的直径大于第一凹槽的直径，所述第二凹槽设有密封圈，所述外壳的上端部外壁罩设有盖板，所述盖板位于所述防护网的上方。
根据本发明的一个实施例，所述动片组上设有一组动轮叶，所述静片组上设有一组定轮叶，所述动轮叶和定轮叶上下间隔设置，所述动轮叶和定轮叶上均设有一组叶片，所述叶片倾斜设置。
根据本发明的一个实施例，所述驱动系统选自磁悬浮电机。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路，可以将自清洁剂自注入管路注入机体内，并将机体内的残余液体从排出管路排出机体，起到了清洁机体腔体的作用，延长了分子泵的寿命，减少故障率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1本发明一个实施例中分子泵的截面图。
附图标记：
分子泵100、注入管路10、排出管路11、外壳12、入口120、出口121、进气口122、第一凹槽123、第二凹槽124、叶轮13、主轴14、辅助轴承15、动片组16、静片固定环17、静片组18、驱动系统19、喷嘴20、防护网21、密封圈22、盖板23。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
下面参照图1描述本发明一些实施例中的一种分子泵100。
如图1所示，本发明的实施例提供了一种分子泵100，该分子泵100包括：机体、注入管路10以及排出管路11，其中，机体包括柱状外壳12、叶轮13、主轴14、辅助轴承15、动片组16、静片固定环17、静片组18、驱动系统19，其中，主轴14带动整个分子泵100的转子旋转，柱状外壳12的内部具有腔体，外壳12的侧壁开设有与腔体连通的入口120，外壳12的底部端面开设有腔体连通的出口121，叶轮13设置在外壳12内，主轴14的上端部设置于外壳12的中心位置，辅助轴承15设置在主轴14的两端，动片组16设置在外壳12的内壁上，静片组18通过静片固定环17固定在两层动片组16之间，静片组18不随动片组16转动。
进一步地，驱动系统19用于驱动主轴14的转动，驱动系统优选为磁悬浮电机。主轴14的下端部设置于驱动系统19的中心位置，驱动系统19用于驱动主轴14的转动。
本实施例中的入口120开设在外壳12的侧壁的顶部，注入管路10与入口120连通，以将外部的自清洁剂导入腔体内，排出管路11与出口121连通，以将腔体内的残余液体排出。具体地，注入管路10、排出管路11均为KF16尺寸的自清洁管路。可以使用软件设置定期将无水酒精通入注入管路10，速度控制在100-150sccm,让分子泵100的动片组16以60rpm低速运转，动片组16运转的同时令无水酒精和其叶面接触，废液通过排出管路11排出，起到清洁效果。清洁完成后，关闭无水酒精流入。切换到N2以500-550sccm的流速从注入管路10流入，分子泵100的动片组16同样保持60rpm低速运转，直到分子泵100内的残余液体全部被带走。
需要说明的是，也可以通过人工定期将无水酒精通入注入管路10。
本实施例通过在机体上设置注入管路以及排出管路，可以将自清洁剂自注入管路注入机体内，并将机体内的残余液体从排出管路排出机体，起到了清洁机体腔体的作用，延长了分子泵的寿命，减少故障率。
进一步地，在本实施例中，该分子泵100还包括设置在注入管路10出口处的喷嘴20，且喷嘴20设置在入口120处。具体地，无水酒精(或异丙醇等高纯度有机溶剂)会以雾状形式进入外壳12内，这样利于增大清洁面积，提高洁净效果。
在本实施例中，外壳12上设有进气口122，进气口122上罩设有防护网21，外壳12的上端部设有第一凹槽123，防护网21的外圆周设置在第一凹槽123内。
继续参照图1，防护网21呈半球状，且防护网21朝主轴14的方向凹陷。
进一步地，外壳12的上端部设有第二凹槽124，第二凹槽124的直径大于第一凹槽123的直径，第二凹槽124设有密封圈22，外壳12的上端部外壁罩设有盖板23，盖板23位于防护网21的上方。
此外，动片组16上设有一组动轮叶，静片组18上设有一组定轮叶，动轮叶和定轮叶上下间隔设置，动轮叶和定轮叶上均设有一组叶片，叶片倾斜设置。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种分子泵，其特征在于，包括：
机体，内部具有腔体，所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口，所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口；
注入管路，与所述入口连通，以将外部的自清洁剂导入所述腔体内；
排出管路，与所述出口连通，以将所述腔体内的残余液体排出。
2.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，还包括：
喷嘴，设置在所述注入管路的出口处，且所述喷嘴设置在所述入口处。
3.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述注入管路内的自清洁剂选自无水酒精或者N2。
4.如权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述无水酒精的流量为100-150sccm，所述N2的流量为500-550sccm。
5.如权利要求1-4任一项所述的分子泵，其特征在于，所述机体包括：
柱状外壳，所述入口开设在所述外壳上，所述出口开设在所述外壳的底部；
叶轮，设置在所述外壳内；
主轴，所述主轴的上端部设置于所述外壳的中心位置；
辅助轴承，设置在所述主轴的两端；
动片组，设置在所述外壳的内壁上；
静片固定环；
静片组，通过所述静片固定环固定在两层动片组之间；
驱动系统，所述主轴的下端部设置于所述驱动系统的中心位置，所述驱动系统用于驱动所述主轴的转动。
6.如权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述外壳上设有进气口，所述进气口上罩设有防护网，所述外壳的上端部设有第一凹槽，所述防护网的外圆周设置在第一凹槽内。
7.如权利要求6所述的分子泵，其特征在于，所述防护网呈半球状，且所述防护网朝所述主轴的方向凹陷。
8.如权利要求6所述的分子泵，其特征在于，所述外壳的上端部设有第二凹槽，所述第二凹槽的直径大于第一凹槽的直径，所述第二凹槽设有密封圈，所述外壳的上端部外壁罩设有盖板，所述盖板位于所述防护网的上方。
9.如权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述动片组上设有一组动轮叶，所述静片组上设有一组定轮叶，所述动轮叶和定轮叶上下间隔设置，所述动轮叶和定轮叶上均设有一组叶片，所述叶片倾斜设置。
10.如权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述驱动系统选自磁悬浮电机。
CN202210212040.7A 2022-03-04 2022-03-04 分子泵 Pending CN114623089A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210212040.7A CN114623089A (zh) 2022-03-04 2022-03-04 分子泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210212040.7A CN114623089A (zh) 2022-03-04 2022-03-04 分子泵

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114623089A true CN114623089A (zh) 2022-06-14

Family

ID=81900397

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210212040.7A Pending CN114623089A (zh) 2022-03-04 2022-03-04 分子泵

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114623089A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11247790A (ja) * 1998-03-04 1999-09-14 Shimadzu Corp 真空ポンプ
US20020076317A1 (en) * 2000-12-18 2002-06-20 Applied Materials, Inc. Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity
US20080236629A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-02 Tokyo Electron Limited Cleaning method for turbo molecular pump
US20150204353A1 (en) * 2012-09-26 2015-07-23 Masahito Kogame Vacuum pump protection net, method for manufacturing the same, and vacuum pump

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11247790A (ja) * 1998-03-04 1999-09-14 Shimadzu Corp 真空ポンプ
US20020076317A1 (en) * 2000-12-18 2002-06-20 Applied Materials, Inc. Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity
US20080236629A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-02 Tokyo Electron Limited Cleaning method for turbo molecular pump
US20150204353A1 (en) * 2012-09-26 2015-07-23 Masahito Kogame Vacuum pump protection net, method for manufacturing the same, and vacuum pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100590318C (zh) 具有第一级涡轮风扇和第二级涡轮分子泵的超高速率真空泵系统
CN113202764B (zh) 液封式真空泵
WO2010013351A1 (ja) スクロール流体機械
US6179573B1 (en) Vacuum pump with inverted motor
CN114623089A (zh) 分子泵
CN108869339A (zh) 一种涡轮分子泵
EP1108145B1 (en) Self-propelled vacuum pump
WO1995028571A1 (fr) Pompe moleculaire
CN108591082A (zh) 一种轴向推力自平衡型多级离心鼓风机
CN215213746U (zh) 一种涡轮管道泵
CN101344099B (zh) 电动送风机及装载它的电吸尘器
CN205260304U (zh) 多级大流量滑片泵
CN207500153U (zh) 一种真空泵
CN210623116U (zh) 一种基于盘式电机结构的旋涡式氢循环泵
CN208236647U (zh) 一种真空泵及其多级真空泵
CN107762896B (zh) 一种真空泵
JP2585420B2 (ja) ターボ真空ポンプ
CN110080992A (zh) 一种贴片式行波压电离心泵及其驱动方法
TW202117189A (zh) 渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件
TW202029865A (zh) 具有分叉分子泵之飛輪
CN112814927B (zh) 涡轮分子泵及其防尘式转子元件
CN217632947U (zh) 水陆两栖双吸自平衡多级泵
US6729863B2 (en) Rotary pump having high and low pressure ports in the housing cover
CN216518844U (zh) 连接装置及真空泵
CN108397389A (zh) 一种真空泵及其多级真空泵

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination