KR20210040040A - 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부 - Google Patents

Abstract

[과제] 제조 시의 치수 공차를 약간 느슨하게 해도, 스페이서의 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으며, 또한 진공 펌프의 제조 비용을 내릴 수 있는 구조로 한 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부를 제공한다.
[해결 수단] 외부로부터 기체(G)를 흡입하는 가스 흡기구(16)와 흡입된 기체(G)를 외부에 배기하는 가스 배기구(24)를 갖는 케이싱(11) 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개(26) 및 고정 날개(38)를 갖는 기체 이송 기구(40)를 구비하는 진공 펌프(10)로서, 단쌓기되어 고정 날개(38)를 축방향(M)으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서(39)와, 단쌓기된 복수의 스페이서(39)의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부(11A)와 원통부(11A)의 하부에 장착되는 베이스(11B)를 갖는 케이싱(11)과, 원통부(11A) 내의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 스페이서(39)의 적어도 최상단의 스페이서(39)와 최하단의 스페이서를 동축적으로 유지하고 있는 상부 경방향 위치 결정부(20) 및 하부 경방향 위치 결정부(21)를 구비한다.

Description

진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부

본 발명은, 진공 펌프, 및 당해 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부에 관한 것이며, 특히, 반도체 제조 장치나 분석 장치 등에 사용되는 진공 펌프 및 당해 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부에 관한 것이다.

메모리나 집적회로 등의 반도체 장치의 제조에 있어서, 절연막, 금속막, 반도체막 등의, 성막을 행하는 처리나 에칭을 행하는 처리는, 공기 중의 티끌 등에 의한 영향을 피하기 위해 고진공 상태의 프로세스 챔버 내에서 행하고 있다. 그 프로세스 챔버 내의 배기에는, 예를 들면 터보 분자 펌프 등의 진공 펌프가 사용되고 있다.

이러한 진공 펌프로서는, 외부로부터 기체를 흡입하는 흡기구와 흡입된 기체를 외부에 배기하는 배기구를 갖는 케이싱 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열한 회전 날개 및 고정 날개를 갖는 기체 이송 기구(터보 분자 기구)를 구비하는 진공 펌프가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

도 7~도 9는, 케이싱 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개를 설치한 기체 이송 기구를 구비하는 종래의 진공 펌프의 개략 구조를 설명하는 도면으로, 도 7은 진공 펌프의 수직 단면도, 도 8은 도 7의 H부의 확대도, 도 9는 케이싱 내에서 고정 날개를 소정의 간격으로 상하 방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 스페이서를 설명하는 단면도이다.

우선, 도 7 및 도 8에 나타낸 종래의 진공 펌프(100)에 있어서, 진공 펌프(100)의 외장체를 형성하는 케이싱(101)은, 원통부(102)와, 이 원통부(102)의 하부에 설치된 베이스(103)와 함께 진공 펌프(100)의 하우징을 형성하고 있다. 케이싱(101)의 내부에는, 진공 펌프(100)에 배기 기능을 발휘시키는 구조물인 기체 이송 기구(104)가 수납되어 있다.

이 기체 이송 기구(104)는, 크게 나누어, 회전 가능하게 지지된 회전부(로터부)(105)와, 케이싱(101)에 대해 고정된 고정부(스테이터부)(106)로 구성되어 있다.

기체 이송 기구(104) 중 회전부(105)는, 회전축인 샤프트(107)와, 이 샤프트(107)에 배치된 로터(108)와, 로터(108)에 설치된 복수 장의 회전 날개(109)를 구비한다.

샤프트(107)의 축선 방향 중간 정도에는, 모터부(110)가 설치되고, 스테이터 칼럼(111)에 내포되어 있다. 또한, 스테이터 칼럼(111) 내에는, 샤프트(107)의 모터부(110)에 대해 흡기구(112)측과 배기구(113)측에 각각, 샤프트(107)를 레이디얼 방향(경방향)으로 비접촉으로 지지하기 위한 경방향 자기 베어링 장치(114, 115)가 설치되어 있다. 또, 샤프트(107)의 하단에는, 샤프트(107)를 축선 방향(액시얼 방향)으로 비접촉으로 지지하기 위한 축방향 자기 베어링 장치(116)가 설치되어 있다.

기체 이송 기구(104) 중 고정부(106)는, 케이싱(101)의 내주측에 형성되어 있다. 이 고정부(106)에는, 원통 형상을 한 스페이서(117)와, 이 스페이서(117)에 의해 축선 방향의 간격이 서로 유지되어 있는 복수의 고정 날개(118)가 배치되어 있다. 고정 날개(118)는, 샤프트(107)의 축선(O2)에 대해 직각으로 방사상으로 연장된 원판 형상의 판형 부재이다.

스페이서(117)는, 대략 원통 형상을 한 고정 부재이며, 케이싱(101)의 축방향을 따라 연장되어 있음과 더불어, 고정 날개(118)의 외주면과 주회(周回) 대향하고, 또한 원통부(102)의 내주면에 맞닿는 제1의 경방향 지지부(117a)와, 회전 날개(109)의 외주면과 주회 대향하고, 또한 제1의 경방향 지지부(117a)의 내주면에 맞닿는 제2의 경방향 지지부(117b)를 구비하고 있다.

그리고, 이 진공 펌프(100)의 고정 날개(118)와 스페이서(117)의 조립은, 베이스(103) 상에 회전부(105)를 고정한 후, 우선 베이스(103) 위에 최하단이 되는 고정 날개(118)를 올리고, 이어서 스페이서(117)와 고정 날개(118)를 교대로 순서대로 겹쳐 쌓는다. 이 겹쳐 쌓음에서는, 스페이서(117)는, 제1의 경방향 지지부(117a)의 내주면에 고정 날개(118)를 수용하는 상태에서, 또한, 제2의 경방향 지지부(117b)의 배면(외주면)에 단부(段部)를 형성하고 있는 소경부(117c)의 외주면에, 제1의 경방향 지지부(117a)의 내주면을 끼워맞춤 연결시켜 겹쳐 쌓는다. 또, 동시에 고정 날개(118)와 고정 날개(118) 사이에 회전 날개(109)를 개재시키도록 하고, 이 작업을 반복하면, 회전 날개(109) 및 고정 날개(118)를 축방향으로 교대로 다단 배열한 회전부(105) 및 통형의 고정부(106)를 갖는 기체 이송 기구(104)가 조립 형성된다.

고정부(106)의 조립 후에는, 케이싱(101) 내에 회전부(105) 및 고정부(106)를 수납하기 위해, 최상단의 스페이서(117)측의 상방으로부터 케이싱(101)을 씌운다. 이에 의해, 케이싱(101) 내에 기체 이송 기구(104)가 수납된다. 또, 기체 이송 기구(104)를 수납한 케이싱(101)은, 원통부(102) 내의 상부 내주면의 일부에 계단형으로 형성한 위치 결정부(102a)가, 최상부의 스페이서(117)의 상면 및 외주면에 맞닿게 되고, 케이싱(101)과 기체 이송 기구(104)의 축방향(M)의 위치 결정 및 폭방향(스러스트 방향)(R)의 위치 결정이 이루어진다.

한편, 케이싱(101)의 하부는, 베이스(103)의 외주에 형성된 환상 오목홈(103a) 내에 배치된 시일용 O링(119)을 사이에 두고, 원통부(102)의 내주면과 베이스(103)의 외주면 사이에 간극(S1)을 형성하여 맞닿게 된다. 그 후, 원통부(102)와 베이스(103)의 사이를 볼트(120)로 고정하면, 케이싱(101)과 기체 이송 기구(104)가 일체화된다.

그런데, 도 7 및 도 8에 나타낸 진공 펌프(100)와 같이, 스페이서(117)와 고정 날개(118)를 순서대로 겹쳐 쌓아 다단으로 한 고정부(106)의 구조에서는, 도 9에 나타낸 스페이서(117)의 각종의 치수 A, 치수 B, 치수 C의 가공 정밀도가 높지 않으면, 겹쳐 쌓았을 때에, 상측으로 진행됨에 따라 기체 이송 기구(104)의 축선(O2)에 대한 기울기, 즉 경방향(R)의 이동(같은 축도의 어긋남)이 크게 발생한다. 따라서, 가공 시에는, 치수 A, 치수 B, 치수 C의 정밀도를 각각 높게(엄격하게) 할 필요가 있다. 또한, 여기서의 치수 A는 제1의 경방향 지지부(114a)의 내주 치수이며, 치수 B는 스페이서(117)의 외주 치수, 치수 C는 소경부(단부)(114c)의 외주 치수이다.

일본국 특허공개 2008-66327호 공보

상술한 바와 같이, 도 7 및 도 8에 나타낸 진공 펌프(100)에서는, 케이싱(101)에 있어서의 원통부(102)에는, 원통부(102)에 수용한 기체 이송 기구(104)의 고정부(106)를 위치 결정하는 위치 결정부(102a)는, 상부 한 개소에만 설치하고 있다. 그 때문에, 스페이서(117)의 겹쳐 쌓여지는 단수가 증가하면, 단수에 비례하여 고정부(106)측의 경방향(R)의 이동(같은 축도의 어긋남)이 커져, 고정부(106)에 케이싱(101)을 장착하는 작업이 어려워진다. 따라서, 스페이서(117)의 가공 시에 있어서의 치수 공차를 엄격하게 할 필요가 있으므로, 가공이 어렵고, 제조 비용이 높게 되어 있는 문제점이 있었다.

그래서, 제조 시의 치수 공차를 느슨하게 해도, 스페이서의 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으며, 또한 진공 펌프의 제조 비용을 내릴 수 있는 구조로 한 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스를 제공하기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 생기는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구를 갖는 케이싱 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프로서, 단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서와, 적어도 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부와 상기 원통부의 하부에 장착되는 베이스부의, 2부품으로 구성된 상기 케이싱과, 상기 원통부 내의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 적어도 최상단의 스페이서와 최하단의 스페이서를 동축적(同軸的)으로 유지하고 있는 경방향 위치 결정부를 구비하는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한 복수의 스페이서에, 당해 스페이서의 외주를 둘러싸서 케이싱의 원통부를 씌우면, 적어도 흡기구측이 되는 최상단의 스페이서와 배기구측이 되는 최하단의 스페이서가 모두, 원통부 내의 위치 결정부에 의해, 축방향과 경방향(스러스트 방향)이 위치 결정된다. 즉, 다단 배열된 상하 두 개의 스페이서가 위치 결정됨으로써, 다단 배열된 스페이서의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제된다. 이에 의해, 케이싱 및 스페이서의 제조 시에 있어서의 가공 정밀도(공차)를 약간 느슨하게 해도, 경방향의 이동이나 기울기를 억제(경감)하여 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으므로, 케이싱 및 스페이서의 제작 등이 간단하게 되어, 제조 비용을 내릴 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 구성에 있어서, 상기 원통부 내주면의 상측의 경방향 위치 결정부는, 상기 복수의 스페이서의 외주면에 대응하여 설치되고, 상기 원통부 내의 하측의 경방향 위치 결정부는, 상기 베이스부의 측면에 대응하여 설치되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한 복수의 스페이서에, 당해 스페이서의 외주를 둘러싸서 케이싱의 원통부를 씌우면, 상측이 되는 흡기구측에 설치된 원통부 내의 상측의 위치 결정부에 의해, 다단 배열되어 있는 스페이서의 축방향과 경방향의 위치 결정이 이루어진다. 한편, 하측이 되는 배기구측의 스페이서는, 원통부 내의 하측의 위치 결정부가 베이스의 측면에 맞닿음으로써, 그 베이스와 함께 축방향과 경방향의 위치 결정이 이루어진다. 따라서, 이 경우도, 상하 두 개의 스페이서가 축방향과 경방향으로 위치 결정됨으로써, 다단 배열된 스페이서의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제(경감)된다. 이에 의해, 케이싱 및 스페이서의 제조 시에 있어서의 가공 정밀도(공차)를 약간 느슨하게 해도, 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으므로, 케이싱 및 스페이서의 제작 등이 간단하게 되어, 제조 비용을 내릴 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 구성에 있어서, 상기 상측의 경방향 위치 결정부는, 상기 최상단의 스페이서의 외주면에 대응하여 설치되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한 복수의 스페이서는, 그 스페이서의 흡입구측으로부터 당해 스페이서의 외주를 둘러싸서 케이싱을 씌우면, 흡기구측인 최상단에 있어서의 스페이서와 하측이 되는 배기구측의 스페이서가 모두, 케이싱 내에 설치된 상측의 경방향 위치 결정부에 의해, 축방향과 경방향의 위치 결정이 이루어진다. 이에 의해, 케이싱 및 스페이서의 제조 시에 있어서의 가공 정밀도(공차)를 더욱 느슨하게 하는 것이 가능하게 된다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 구성에 있어서, 상기 복수의 스페이서는, 상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 경방향 지지부와, 상기 회전 날개의 외주측에 대향하여 설치되고, 단쌓기된 서로 이웃하는 상기 복수의 스페이서의 상기 경방향 지지부의 내주면에 끼워맞춤 연결하는 스페이서부를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 원통부의 내주면에 맞닿는 하단측의 스페이서 위에 고정 날개와 회전 날개를 순서대로 배치하고, 추가로 상단측의 스페이서를 배치함으로써, 고정 날개와 스페이서와 회전 날개를 교대로 다단 배열할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1, 청구항 2, 청구항 3 또는 청구항 4에 기재된 구성에 있어서, 상기 최상단의 스페이서는, 최상단의 상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 상부 경방향 지지부와, 최상단의 상기 고정 날개의 하측에 배치된 상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 하부 경방향 지지부와, 최상단으로부터 둘째 단의 상기 회전 날개의 외주측에 설치되고, 상기 상부 경방향 지지부와 상기 하부 경방향 지지부를 접속하는 스페이서부를 구비하는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 최상단의 상기 스페이서는, 최상단의 고정 날개와 최상단의 고정 날개의 하측에 배치된 고정 날개의, 상하로 서로 이웃하는 두 개의 고정 날개를 위치 결정하는 구조를 겸하고 있으므로, 스페이서의 전체의 개수를 줄일 수 있어, 더욱 코스트 다운이 가능하게 된다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 기재된 구성에 있어서, 상기 최상단의 스페이서는, 최상단의 상기 고정 날개이며, 추가로, 최상단의 상기 회전 날개의 외주측에 대향하여 설치된 상기 경방향 위치 결정부를 갖는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 최상단의 스페이서는, 최상단의 고정 날개와 회전 날개의 외주측에 대향하여 설치된 경방향 위치 결정부를 일체로 설치하고 있으므로, 최상단의 고정 날개를 별도 형성하지 않아도 되어, 더욱 코스트 다운이 가능하게 된다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 청구항 3에 기재된 구성에 있어서, 상기 베이스부는, 상기 케이싱의 축방향 상측으로 연장되어, 외주면이 상기 하측의 경방향 위치 결정부의 내면에 맞닿는 원통 베이스부와, 상기 원통 베이스부의 하부 외주로부터 외측을 향하여 차양형으로 연장되어 설치되고, 상기 원통부의 하면에 맞닿는 수평 베이스부를 구비하고, 상기 수평 베이스부와 상기 원통부의 하면 사이에, 상기 베이스부와 상기 원통부 사이를 시일하는 O링을 배치하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 시일용 O링을 수평 베이스부와 원통부의 하면 사이에 배치함으로써, 하측의 경방향 위치 결정부를 원통 베이스부의 둘레면에 맞닿게 하기 쉬워져, 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명은, 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구와, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개와, 단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프의 원통부로서, 상기 원통부는, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되고, 상기 원통부 내주면의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 적어도 최상단의 스페이서와 최하단의 스페이서를 동축적으로 유지하고 있는 경방향 위치 결정부를 구비하는 원통부를 제공하는 것에 있다.

이 구성에 의하면, 진공 펌프의 사양 변경에 따라, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한, 복수의 스페이서를 지지 가능하게 케이싱의 형상을 변경할 수 있다. 이에 의해, 스페이서 등의 설계·청소, 관리 재고에 필요로 하는 수고를 경감할 수 있다.

청구항 9에 기재된 발명은, 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구와, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개와, 단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프의 베이스부로서, 상기 베이스부는, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부의 하부에 장착되고, 상기 원통부와 경방향의 위치 결정이 되어 있는 베이스부를 제공하는 것에 있다.

이 구성에 의하면, 진공 펌프의 사양 변경에 따라, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한 복수의 스페이서를 지지 가능하게 베이스부의 형상을 변경할 수 있다. 이에 의해, 스페이서 등의 설계·청소, 관리 재고에 필요로 하는 수고를 경감할 수 있다.

발명에 의하면, 고정 날개와 회전 날개를 교대로 겹쳐 쌓아 다단 배열한 복수의 스페이서에, 당해 스페이서의 외주를 둘러싸서 케이싱을 씌우면, 상측이 되는 흡기구측의 스페이서와 하측이 되는 배기구측의 스페이서가 모두, 케이싱 내에 설치된 위치 결정부에 의해 축방향과 경방향이 위치 결정되므로, 다단 배열된 스페이서의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 양이 억제(경감)된다. 따라서, 케이싱 및 스페이서의 제조 시에 있어서의 가공 정밀도(공차)를 약간 느슨하게 해도, 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으므로, 케이싱 및 스페이서의 제작 등이 간단하게 되어, 제조 비용을 내릴 수 있다.

도 1은, 본 발명의 하나의 실시예로서 나타내는 진공 펌프의 수직 단면도이다.
도 2는, 도 1의 확대도이며, (a)는 도 1의 D부 확대도, (b)는 도 1의 E부 확대도이다.
도 3은, 도 1에 나타낸 진공 펌프에 있어서의 스페이서의 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 제1 변형예로서 나타내는 진공 펌프의 수직 단면도이다.
도 5는, 도 4의 F부 확대도이다.
도 6은, 본 발명의 제2 변형예로서 나타내는 진공 펌프의 수직 단면도이다.
도 7은, 종래의 진공 펌프를 나타내는 수직 단면도이다.
도 8은, 도 7의 H부 확대도이다.
도 9는, 도 7에 나타낸 종래의 진공 펌프에 있어서의 스페이서의 확대 단면도이다.

본 발명은, 제조 시의 치수 공차를 약간 느슨하게 해도, 스페이서의 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으며, 또한 진공 펌프의 제조 비용을 내릴 수 있는 구조로 한 진공 펌프, 및 이 진공 펌프에 이용되는 원통부, 그리고 베이스부를 제공한다는 목적을 달성하기 위해, 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구를 갖는 케이싱 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프로서, 단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서와, 적어도 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부와 상기 원통부의 하부에 장착되는 베이스부의, 2부품으로 구성된 상기 케이싱과, 상기 원통부 내의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 적어도 최상단의 스페이서와 최하단의 스페이서를 동축적으로 위치 결정 유지하고 있는 경방향 위치 결정부를 구비하는 구성으로 한 것에 의해 실현되었다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 실시 형태의 설명의 전체를 통해 같은 요소에는 같은 부호를 붙이고 있다. 또, 상하나 좌우 등의 방향을 나타내는 표현은, 절대적인 것은 아니며, 본 발명의 진공 펌프의 각 부가 그려져 있는 자세인 경우에 적절하지만, 그 자세가 변화했을 경우에는 자세의 변화에 따라 변경하여 해석되어야 하는 것이다.

실시예

도 1은, 본 발명의 하나의 실시예로서 나타내는 진공 펌프(10)의 수직 단면도이다. 도 2는 도 1의 부분 확대도이며, (a)는 도 1의 D부 확대도, (b)는 도 1의 E부 확대도이다.

도 1에 있어서, 진공 펌프(10)는, 진공 펌프(10)의 외장체를 형성하는 케이싱(11)과, 케이싱(11) 내에 회전 가능하게 지지된 로터 샤프트(12)를 갖는 로터(13)와, 로터 샤프트(12)를 회전시키는 구동 모터(14)와, 로터 샤프트(12)의 일부 및 구동 모터(14)를 수용하는 스테이터 칼럼(15)을 구비하고 있다.

케이싱(11)은, 원통부(11A)와, 이 원통부(11A)의 하부에 설치된 베이스(11B)를 갖고, 진공 펌프(10)의 하우징을 형성하고 있다.

케이싱(11)의 원통부(11A)는, 상하가 개구된 통형체로서 형성되어 있으며, 상부 개구를 가스 흡기구(16)로 하고 있다. 또, 상부 개구의 외주에는, 상방 플랜지부(17)가 일체로 형성되고, 하부 개구의 외주에는 하방 플랜지부(18)가 일체로 형성되어 있다. 또, 하방 플랜지부(18)의 하면에는, 시일용 O링(19)을 위치 결정하여 배치하기 위한 환상을 가진 O링용 오목부(18a)가 형성되어 있다. 한편, 원통부(11A)의 내주면측에는, 원통부(11A)의 상부에 상부 경방향 위치 결정부(「상측의 위치 결정부」라고도 한다)(20)가 설치되고, 원통부(11A)의 하부에 하부 경방향 위치 결정부(「하측의 위치 결정부」라고도 한다)(21)가 설치되어 있다.

상부 경방향 위치 결정부(20)는, 원통부(11A)의 내주면(11AC)으로부터 내측에 수평으로 돌출되어 있는 제1의 환상 벽부(20a)와, 이 제1의 환상 벽부(20a)의 내면으로부터 상방을 향하여 수직으로 오목하고, 그 오목한 위치로부터 내측에 수평으로 돌출되어 있는 제2의 환상 벽부(20b)로 이루어진다.

하부 경방향 위치 결정부(21)는, 원통부(11A)에 있어서의 내주면(11AC)의 일부, 즉 하부 내주면을 사용하고 있다.

케이싱(11)의 베이스(11B)는, 케이싱(11)의 축방향 상측으로 연장되어, 외주면(22a)이 원통부(11A)의 하부 경방향 위치 결정부(21)의 내면(내주면(11AC))과 끼워맞춤 연결되는 원통 베이스부(22)와, 원통 베이스부(22)의 하부 외주로부터 외측을 향하여 수평으로 차양형으로 연장되어 설치되고, 원통부(11A)에 있어서의 하방 플랜지부(18)의 하면에 맞닿는 환상을 한 수평 베이스부(23)를 일체로 갖고 있다. 또한, 원통 베이스부(22)의 상부에는, 후술하는 환상을 한 스페이서(39)의 제1의 경방향 지지부(39a)의 하부가 장착되는 소경부(22b)가 설치되어 있다.

그리고, 케이싱(11)은, 원통부(11A)의 하단으로부터 원통 베이스부(22)와 원통부(11A)를 끼워맞춤하면, 도 1에 나타내는 바와 같이 원통부(11A)가 베이스(11B) 상에 재치(載置)된 상태에서 베이스(11B)와 연결된다. 또, 이 연결에서는, 하방 플랜지부(18)와 수평 베이스부(23) 사이에 시일용 O링(19)이 끼워 설치되고, 추가로 하방 플랜지부(18)와 수평 베이스부(23) 사이가 볼트(25)로 고정됨으로써, 원통부(11A)와 베이스(11B)가 일체화되도록 되어 있다.

로터(13)는, 로터 샤프트(12)와, 로터 샤프트(12)의 상부에 고정되어 로터 샤프트(12)의 축선(O1)에 대해 동심원형으로 병설된 회전 날개(26)를 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 10단의 회전 날개(26)가 설치되어 있다.

회전 날개(26)는, 소정의 각도로 경사진 블레이드로 이루어지고, 로터(13)의 상부 외주면에 일체로 형성되어 있다. 또, 회전 날개(26)는, 로터(13)의 축선(O1)의 둘레로 방사상으로 복수 설치되어 있다.

로터 샤프트(12)는, 자기 베어링(27)에 의해 비접촉 지지되어 있다. 자기 베어링(27)은, 레이디얼 전자석(28)과, 액시얼 전자석(29)을 구비하고 있다. 레이디얼 전자석(28) 및 액시얼 전자석(29)은, 도시하지 않는 제어 유닛에 접속되어 있다.

제어 유닛은, 레이디얼 방향 변위 센서(28a) 및 액시얼 방향 변위 센서(29a)의 검출치에 의거하여, 레이디얼 전자석(28), 액시얼 전자석(29)의 여자 전류를 제어함으로써, 로터 샤프트(12)가 소정의 위치로 부상한 상태에서 지지되도록 되어 있다.

로터 샤프트(12)의 상부 및 하부는, 터치다운 베어링(30) 내에 삽입 통과되어 있다. 로터 샤프트(12)가 제어 불능이 되었을 경우에는, 고속으로 회전하는 로터 샤프트(12)가 터치다운 베어링(30)에 접촉함으로써, 진공 펌프(10) 내의 과도한 손상을 방지하도록 되어 있다.

로터(13)는, 보스 구멍(31)에 로터 샤프트(12)의 상부를 삽입 통과한 상태에서, 볼트(32)를 로터 플랜지(33)에 삽입 통과함과 더불어 샤프트 플랜지(34)에 부착시킴으로써, 로터 샤프트(12)에 일체로 장착되어 있다. 이하, 로터 샤프트(12)의 축선 방향을 「축방향(M)」으로 칭하고, 로터 샤프트(12)의 경방향을 「경방향(R)」으로 칭한다.

구동 모터(14)는, 로터 샤프트(12)의 외주에 장착된 회전자(35)와, 회전자(35)를 둘러싸도록 배치된 고정자(36)를 구비하고 있다. 고정자(36)는, 상술한 도시하지 않는 제어 유닛에 접속되어 있으며, 제어 유닛에 의해 로터(13)의 회전이 제어되고 있다.

스테이터 칼럼(15)은, 베이스(11B) 상에 재치된 상태에서, 볼트(37)를 통해 베이스(11B)에 고정되어 있다.

회전 날개(26, 26)의 축방향 근방에는, 고정 날개(38)가 설치되어 있다. 즉, 회전 날개(26)와 고정 날개(38)는, 축방향(M)을 따라 교대로 또한 다단으로 배열되어 있다. 본 실시예에서는, 10단의 고정 날개(38)가 설치되어 있다.

고정 날개(38)는, 환상으로 형성되어 있으며, 회전 날개(26)와는 반대 방향으로 경사진 블레이드와 당해 블레이드의 양단에 연결된 링을 구비하고, 케이싱(11)의 원통부(11A)의 내주면에 단쌓기 설치되어 있는 스페이서(39)에 협지(挾持)되어 축방향(M)과 경방향(R)으로 위치 결정되어 있다. 또, 고정 날개(38)의 블레이드도, 로터(13)의 축선(O1)의 둘레로 방사상으로 복수 설치되어 있다.

또, 베이스(11B)의 원통 베이스부(22)의 외주면에는, 외부로 통하고 있는 가스 배기구(24)가 설치되어 있다. 가스 배기구(24)는, 도시하지 않는 보조 펌프에 연통하도록 접속된다. 진공 펌프(10)는, 회전 날개(26)와 고정 날개(38)의 상호 작용에 의해, 가스 흡기구(16)로부터 흡입된 가스(기체)(G)를 축방향(M)의 상방으로부터 하방으로 이송하여, 가스 배기구(24)로부터 외부로 배기하도록 되어 있다.

최하단의 고정 날개(38)는, 베이스(11B)에 있어서의 원통 베이스부(22)의 소경부(22b) 상에 재치되어 있다. 구체적으로는, 고정 날개(38)의 기단부는, 원통 베이스부(22)와 소경부(22b)의 상면과 스페이서(39)로 협지됨으로써, 축방향(M)과 경방향(R)으로 지지되어 있다.

스페이서(39)는, 대략 원통 형상을 한 고정 부재이며, 케이싱(11)의 축방향을 따라 연장되어 있음과 더불어, 고정 날개(38)의 외주면과 주회 대향하고, 또한 원통부(11A)의 내주면(11AC)과 약간의 간극을 두고 대향하는 제1의 경방향 지지부(39a)와, 회전 날개(26)의 외주면과 주회 대향하고, 제1의 경방향 지지부(39a)의 내주면에 맞닿는 제2의 경방향 지지부(39b)를 구비하고 있다. 또, 제2의 경방향 지지부(39b)의 외주에는, 순서대로 상측에 겹쳐 쌓여지는 스페이서(39)의 제1의 경방향 지지부(39a)의 하부가 장착되는 소경부(단부)(39c)가 형성되어 있다.

또한, 스페이서(39)에 있어서의 소경부(39c)의 경방향에 있어서의 오목량은, 제1의 경방향 지지부(39a)의 경방향의 두께와 대략 동일하고, 상측에 겹쳐 쌓여진 스페이서(39)의 제1의 경방향 지지부(39a)의 하부가 장착되면, 상측에 겹쳐 쌓여진 스페이서(39)의 외주면과 하측의 스페이서(39)의 외주면이 서로 면일(面一)하게 되도록 설정되어 있다. 한편, 스페이서(39)에 있어서의 제1의 경방향 지지부(39a)의 내주면측의 경방향에 있어서의 오목량은, 제2의 경방향 지지부(39b)의 경방향의 두께와 대략 동일하고, 겹쳐 쌓여진 하측의 스페이서(39)의 제2의 경방향 지지부(39b)의 상부가 장착되면, 상측에 겹쳐 쌓여진 스페이서(39)의 내주면과 하측의 스페이서(39)의 내주면이 서로 면일하게 되도록 설정되어 있다. 또, 각 스페이서(39)의 축방향의 높이는, 회전 날개(26) 및 고정 날개(38)의 블레이드의 높이(두께)에 비례를 하여 임의로 설정된다.

그리고, 이 진공 펌프(10)의 고정 날개(38)와 스페이서(39)의 조립은, 베이스(11B) 상에 회전부인 로터(13)를 설치한 후, 우선 베이스(11B)에 있어서의 원통 베이스부(22)의 소경부(22b) 위에 최하단이 되는 고정 날개(38)를 올리고, 이어서 최하단이 되는 스페이서(39)를 겹쳐 쌓는다. 이 때, 최하단이 되는 스페이서(39)는, 제1의 경방향 지지부(39a) 내에 최하단이 되는 고정 날개(38) 및 소경부(22b)를 내포하는 상태로 하여 장착되고, 소경부(22b)와 제1의 경방향 지지부(39a)를 끼워맞춤 연결시켜, 최하단이 되는 스페이서(39)를 베이스(11B)에 대해 위치 결정한다. 또, 최하단이 되는 스페이서(39)의 배치에 의해, 최하단의 회전 날개(26)가, 이 스페이서(39)에 비접촉의 상태로 내포된다.

이어서, 최종단이 되는 스페이서(39)의 제2의 경방향 지지부(39b) 위에 둘째 단의 고정 날개(38)를 올리고, 이어서 둘째 단이 되는 스페이서(39)를 겹쳐 쌓는다. 이 때, 둘째 단이 되는 스페이서(39)는, 제1의 경방향 지지부(39a) 내에, 최하단이 되는 고정 날개(38) 및 최하단이 되는 스페이서(39)의 제2의 경방향 지지부(39b)를 내포하는 상태로 하고, 최하단이 되는 스페이서(39)의 제2의 경방향 지지부(39b)와 둘째 단이 되는 스페이서(39)의 제1의 경방향 지지부(39a)를 각각 끼워맞춤 연결시켜, 둘째 단이 되는 스페이서(39)를 최하단이 되는 스페이서(39)에 대해 위치 결정한다. 그리고, 둘째 단이 되는 스페이서(39)의 배치에 의해, 최하단의 회전 날개(26)가, 이 스페이서(39)에 비접촉의 상태로 내포된다. 이하, 이 작업을 순서대로 반복함으로써, 회전 날개(26) 및 고정 날개(38)를 축방향으로 교대로 다단 배열한 회전부 및 통형의 고정부를 갖는 기체 이송 기구(40)가 조립 형성된다.

고정 날개(38) 및 스페이서(39)의 조립 후는, 기체 이송 기구(40)를 케이싱(11) 내에 수납하기 위해, 최상단의 스페이서(39)측의 상방으로부터 케이싱(11)을 씌우면, 케이싱(11) 내에 기체 이송 기구(40)가 수납된다. 또한, 케이싱(11)으로의 수납 작업은, 원통부(11A)의 하부 개구로부터 최상단의 스페이서(39)를 끼워 넣는 상태로 하고, 기체 이송 기구(40)를 가이드로 하여 케이싱(11)을 떨어뜨린다. 이 때, 원통부(11A)의 내주면(11AC)이 스페이서(39)의 외주면에 접접(摺接)된 상태로 떨어뜨려진다. 그리고, 최종 위치의 직전까지 끼워 넣어지면, 원통부(11A)의 내주면(11AC)에 설치하고 있는 하부 경방향 위치 결정부(21)가 원통 베이스부(22)의 외주면(22a)에 맞닿게 되고, 기체 이송 기구(40)의 하부측이 베이스(11B)에 대해 위치 결정된다. 또, 케이싱(11)이 대략 최종 위치까지 떨어뜨려지면, 원통부(11A)의 내주면(11AC)에 설치하고 있는 상부 경방향 위치 결정부(20)가 최상단의 스페이서(39)와 대응하고, 제1의 환상 벽부(20a)와 제2의 환상 벽부(20b)에 최상단의 스페이서(39)의 상부가 끼워맞춤 연결되어, 기체 이송 기구(40)의 상부측이 케이싱(11)에 대해 위치 결정된다. 즉, 기체 이송 기구(40)의 상하 두 개의 위치가, 상부 경방향 위치 결정부(20)와 하부 경방향 위치 결정부(21)로 위치 결정되어, 다단 배열된 스페이서(39)의 전체가 경방향(R)으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제(경감)된다.

이와 같이 구성된 진공 펌프(10)는, 상술한 바와 같이 가스 흡기구(16)를 설치하고 있는 케이싱(11)의 상방 플랜지부(17)가, 도시하지 않는 챔버 등의 진공 용기에 장착되고, 베이스(11B)에 설치하고 있는 가스 배기구(24)에 도시하지 않는 보조 펌프가 장착된다. 이 상태에서, 진공 펌프(10)의 구동 모터(14)가 구동되면, 로터(13)와 함께 회전 날개(26)가 고속으로 회전한다. 이에 의해, 가스 흡기구(16)로부터의 기체(G)가 진공 펌프(10) 내에 유입되고, 그 기체(G)가 기체 이송 기구(40) 내를 순서대로 이송되어, 베이스(11B)의 가스 배기구(24)로부터 배기된다. 즉, 진공 용기 내가 진공으로 만들어진다.

따라서, 이 실시예에 있어서의 진공 펌프(10)에서는, 기체 이송 기구(40)의 상하 두 개의 위치가, 상부 경방향 위치 결정부(20)와 하부 경방향 위치 결정부(21)로 위치 결정된 구조를 이루고, 다단 배열된 스페이서(39)의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 것을 억제하는 구조로 하고 있으므로, 다단 배열된 스페이서(39)의 전체가 경방향(R)으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제(경감)된다. 이에 의해, 케이싱(11) 및 스페이서(39)의 제조 시에 있어서의 가공 정밀도(공차)를 약간 느슨하게 해도, 일정한 위치 결정 정밀도를 확보할 수 있으므로, 케이싱(11) 및 스페이서(39)의 제작 등이 간단하게 되어, 제조 비용을 내릴 수 있다. 또한, 기체 이송 기구의 상측 위치만을 위치 결정하고 있는 종래 구조에서는, 제1의 경방향 지지부의 내주 치수 A, 스페이서의 외주 치수 B, 소경부(단부)의 외주 치수 C의 각 공차가 작고 엄격하게 요구되고 있었지만, 본 발명의 경우에서는 종래 구조와 비교하여 약 3할 정도 느슨하게 할 수 있어, 가공이 간략화되어, 제조 비용을 향상시킬 수 있다.

도 4는, 도 1에 나타낸 진공 펌프의 제1 변형예로서 나타내는 진공 펌프(10)의 수직 단면도이다. 도 4에 나타내는 제1 변형예는, 최상단의 스페이서(139)를 변형한 것이며, 다른 구성은 도 1 및 도 2에 나타낸 진공 펌프(10)와 동일하므로, 동일한 구성 부분은 동일 부호를 붙이고 중복 설명을 생략한다.

도 4에 나타내는 환상을 한 최상단의 스페이서(139)는, 최상단의 고정 날개(38)(38a)의 외주면과 당해 최상단의 고정 날개(38a)의 바로 하측의 고정 날개, 즉 위로부터 두 번째의 고정 날개(38)(38b)의 외주면과 두 번째의 회전 날개(26a)의 외주면 사이에 배치되어 있다. 그 최상단의 스페이서(139)는, 최상단의 고정 날개(38)(38a)와 위로부터 두 번째의 고정 날개(38)(38b)의 축방향의 간격을 유지하는 스페이서부(139d)와, 스페이서부(139d)의 하면 외주 가장자리로부터 축방향 하측으로 수직으로 연장되는 하부 경방향 지지부로서의 제1의 경방향 지지부(139a)와, 스페이서부(139d)의 상면 외주 가장자리로부터 축방향 상측으로 수직으로 연장되는 상부 경방향 지지부로서의 제2의 경방향 지지부(139b)로 이루어진다.

그리고, 최상단의 스페이서(139)는, 제1의 경방향 지지부(139a)가 위로부터 두 번째의 고정 날개(38b)를 내포하고, 동일하게 위로부터 두 번째의 회전 날개(26)를 스페이서부(139d)가 내포하는 상태로 하고, 위로부터 두 번째의 스페이서(39)의 소경부(단부)(139c)에 끼워맞춤 연결시켜, 최상단의 스페이서(139)를 위로부터 두 번째의 스페이서(39)에 겹쳐 쌓아 위치 결정한다. 이어서, 최상단의 스페이서(139)의 스페이서부(139d)의 상면에 최종단의 고정 날개(38a)를 올리고, 그 후, 케이싱(11)의 원통부(11A)를 씌우도록 하고 있다.

또, 원통부(11A)를 씌운 상태에서는, 원통부(11A)의 내주면(11AC)에 설치하고 있는 상부 경방향 위치 결정부(20)가 최상단의 스페이서(139)와 대응하고, 제1의 환상 벽부(20a)에 최상단의 스페이서(139)의 상부가 맞닿아 끼워맞춤됨과 더불어, 제2의 환상 벽부(20b)에 최종단의 스페이서(139)의 상면이 맞닿게 되고, 기체 이송 기구(40)의 상부측이 케이싱(11)에 대해 위치 결정된다. 한편, 케이싱(11)의 하부 경방향 위치 결정부(21)는, 원통 베이스부(22)의 외주면(22a)에 맞닿게 되고, 기체 이송 기구(40)의 하부측을 베이스(11B)에 대해 위치 결정한다.

따라서, 이 제1의 변형예로서 나타낸 진공 펌프(10)도, 기체 이송 기구(40)의 상하 두 개의 위치가, 상부 경방향 위치 결정부(20)와 하부 경방향 위치 결정부(21)로 위치 결정되어, 다단 배열된 스페이서(39)의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제된다. 이에 의해, 이 변형예의 구조에서는, 최상단의 회전 날개(26)에 주회 대향하는 스페이스를 생략하는 것이 가능하게 되고, 도 1에 나타낸 진공 펌프(10)와 비교하여 부품 점수가 적게 되어, 제조 비용의 경감이 가능하게 된다.

도 6은, 도 1 및 도 2에 나타낸 진공 펌프의 제2 변형예로서 나타내는 진공 펌프(10)의 수직 단면도이다. 도 6에 나타내는 제2 변형예는, 최상단의 스페이서(239)와 최상단의 고정 날개(238)를 일체화한 것이며, 다른 구성은 도 1 및 도 2와 동일하므로, 동일한 구성 부분은 동일 부호를 붙이고 중복 설명을 생략한다.

도 6에 나타내는 환상을 한 최상단의 스페이서(239)는, 환상을 한 부재이며, 당해 최상단의 스페이서(239)의 내주면으로부터 축선(O1)을 향하여 대략 수평으로 연장되는 상태로 하여, 최상단의 고정 날개(238)가 일체로 설치되어 있다. 또, 스페이서(239)의 하부에는, 위로부터 두 번째의 스페이서(39)의 제2의 경방향 지지부(39b)와 끼워맞춤 연결하는 제1의 경방향 지지부(239a)가 설치되고, 상부에는 상부 경방향 위치 결정부(20)의 제1의 환상 벽부(20a) 및 제2의 환상 벽부(20b)와 맞닿아 위치 결정 결합되는 경방향 위치 결정부로서의 제2의 경방향 지지부(239b)가 설치되어 있다.

그리고, 최상단의 스페이서(239)는, 제2의 경방향 지지부(239b)가 최상단의 회전 날개(26)를 내포하는 상태로 하고, 제1의 경방향 지지부(239a)를 위로부터 두 번째의 스페이서(39)의 소경부(단부)(39c)에 끼워맞춤 연결시켜, 당해 최상단의 스페이서(239)를 위로부터 두 번째의 스페이서(39)에 겹쳐 쌓아 위치 결정한다. 그 후, 케이싱(11)의 원통부(11A)를 씌우도록 하고 있다.

또, 케이싱(11)의 원통부(11A)를 씌운 상태에서는, 원통부(11A)의 내주면(11AC)에 설치하고 있는 상부 경방향 위치 결정부(20)가 최상단의 스페이서(239)와 대응하고, 제1의 환상 벽부(20a)에 최상단의 스페이서(239)의 상부가 끼워맞춤 연결됨과 더불어, 제2의 환상 벽부(20b)에 제2의 경방향 지지부(239b)의 상면이 맞닿게 되고, 기체 이송 기구(40)의 상부측이 케이싱(11)에 대해 위치 결정된다. 한편, 케이싱(11)의 하부 경방향 위치 결정부(21)는, 원통 베이스부(22)의 외주면(22a)에 맞닿게 되고, 기체 이송 기구(40)의 하부측을 베이스(11B)에 대해 위치 결정한다.

따라서, 이 제2의 변형예로서 나타낸 진공 펌프(10)도, 기체 이송 기구(40)의 상하 두 개의 위치가, 상부 경방향 위치 결정부(20)와 하부 경방향 위치 결정부(21)로 위치 결정되어, 다단 배열된 스페이서(39)의 전체가 경방향으로 이동하거나 기울거나 하는 것이 억제된다. 또, 이 제2의 변형예의 구조에서는, 최상단의 스페이서(239)와 최상단의 고정 날개(238)를 일체화하고 있으므로, 도 1에 나타낸 진공 펌프(10)의 경우와 비교하여 부품 점수가 적게 되어, 제조 비용의 경감이 가능하게 된다.

또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 한 여러 가지의 개변을 이룰 수 있으며, 본 발명이 당해 개변된 것에 이르는 것은 당연하다.

10: 진공 펌프 11: 케이싱(하우징)
11A: 원통부 11AC: 내주면
11B: 베이스 12: 로터 샤프트
13: 로터 14: 구동 모터
15: 스테이터 칼럼 16: 가스 흡기구
17: 상방 플랜지부 18: 하방 플랜지부
18a: O링용 오목부 19: O링
20: 상부 경방향 위치 결정부 20a: 제1의 환상 벽부
20b: 제2의 환상 벽부 21: 하부 경방향 위치 결정부
22: 원통 베이스부 22a: 외주면
22b: 소경부 23: 수평 베이스부
24: 가스 배기구 25: 볼트
26: 회전 날개 27: 자기 베어링
28: 레이디얼 전자석 28a: 레이디얼 방향 변위 센서
29: 액시얼 전자석 29a: 액시얼 방향 변위 센서
30: 터치다운 베어링 31: 보스 구멍
32: 볼트 33: 로터 플랜지
34: 샤프트 플랜지 35: 회전자
36: 고정자 37: 볼트
38: 고정 날개 38a: 최상단의 고정 날개
38b: 위로부터 두 번째의 고정 날개 39: 스페이서
39a: 제1의 경방향 지지부 39b: 제2의 경방향 지지부
39c: 소경부(단부) 139: 스페이서
139a: 제1의 경방향 지지부(하부 경방향 지지부)
139b: 제2의 경방향 지지부(상부 경방향 지지부)
139d: 스페이서부 238: 최상단의 고정 날개
239: 최상단의 스페이서
239a: 제1의 경방향 지지부(하부 경방향 지지부)
239b: 제2의 경방향 지지부(상부 경방향 지지부 또한 경방향 위치 결정부)
40: 기체 이송 기구 M: 축방향
R: 경방향 G: 기체
O1: 축선

Claims (9)

1. 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구를 갖는 케이싱 내에, 축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프로서,
   단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서와,
   적어도 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부와 상기 원통부의 하부에 장착되는 베이스부의, 2부품으로 구성된 상기 케이싱과,
   상기 원통부 내의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 적어도 최상단의 스페이서와 최하단의 스페이서를 동축적(同軸的)으로 유지하고 있는 경방향 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 원통부 내주면의 상측의 경방향 위치 결정부는, 상기 복수의 스페이서의 외주면에 대응하여 설치되고,
   상기 원통부 내주면의 하측의 경방향 위치 결정부는, 상기 베이스부의 측면에 대응하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 상측의 경방향 위치 결정부는, 상기 최상단의 스페이서의 외주면에 대응하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
   상기 복수의 스페이서는,
   상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 경방향 지지부와,
   상기 회전 날개의 외주측에 대향하여 설치되고, 단쌓기된 서로 이웃하는 상기 복수의 스페이서의 상기 경방향 지지부의 내주면에 끼워맞춤 연결하는 스페이서부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 청구항 1, 청구항 2, 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
   상기 최상단의 스페이서는,
   최상단의 상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 상부 경방향 지지부와,
   최상단의 상기 고정 날개의 하측에 배치된 상기 고정 날개의 외주면과 상기 원통부의 내주면 사이에 배치되는 하부 경방향 지지부와,
   최상단으로부터 둘째 단의 상기 회전 날개의 외주측에 설치되고, 상기 상부 경방향 지지부와 상기 하부 경방향 지지부를 접속하는 스페이서부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
   상기 최상단의 스페이서는, 최상단의 상기 고정 날개이며, 추가로, 최상단의 상기 회전 날개의 외주측에 대향하여 설치된 상기 경방향 위치 결정부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
   상기 베이스부는,
   상기 케이싱의 축방향 상측으로 연장되어, 외주면이 상기 하측의 경방향 위치 결정부의 내면에 맞닿는 원통 베이스부와,
   상기 원통 베이스부의 하부 외주로부터 외측을 향하여 차양형으로 연장되어 설치되고, 상기 원통부의 하면에 맞닿는 수평 베이스부를 구비하고,
   상기 수평 베이스부와 상기 원통부의 하면 사이에, 상기 베이스부와 상기 원통부 사이를 시일하는 O링을 배치하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
8. 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구와,
   축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개와,
   단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프의 원통부로서,
   상기 원통부는, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되고,
   상기 원통부 내주면의 상하 두 개의 위치에 각각 설치되어, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 적어도 최상단의 스페이서와 최하단의 스페이서를 동축적으로 유지하고 있는 경방향 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 원통부.
9. 외부로부터 기체를 흡입하기 위한 흡기구와 흡입된 상기 기체를 외부에 배기하기 위한 배기구와,
   축방향으로 교대로 다단 배열된 회전 날개 및 고정 날개와,
   단쌓기되어 상기 고정 날개를 축방향으로 위치 결정하고 있는 환상을 한 복수의 스페이서를 갖는 터보 분자 기구를 구비하는 진공 펌프의 베이스부로서,
   상기 베이스부는, 단쌓기된 상기 복수의 스페이서의 외주를 둘러싸서 배치되는 원통부의 하부에 장착되고,
   상기 원통부와 경방향의 위치 결정이 되어 있는 것을 특징으로 하는 베이스부.

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