KR20130139232A - 진공 펌프용의 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프 - Google Patents

Abstract

[과제] 단일매로 필요한 강도를 가지는 보호망으로 함으로써 그 보호망의 비용 저감을 도모하고, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착(止着) 강도를 충분히 높여 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 억제해 펌프 내 기기에의 접촉을 방지하는 것과 더불어 보호망의 낙하를 방지하고, 흡기구의 부위에의 보호망의 부착이 용이하고 또한 탈거도 용이하게 한다.
[해결 수단] 흡기구(4)의 내주부에 오목하게 설치된 고정용 홈(7)에 보호망(12)의 둘레 가장자리부에 형성된 림(12a)을 끼워 넣고, 또한 상기 고정용 홈(7)에 스냅 링(8)을 밀어 넣음으로써 상기 흡기구(4)의 부위에 상기 보호망(12)을 장설하도록 한 진공 펌프용 보호망으로서, 상기 림(12a)의 곳곳에 상기 스냅 링(8)에 걸리는 걸림부(12d)를 상기 림(12a)에 대해 대략 직각으로 세워 설치시켰다.

Description

진공 펌프용의 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프{PROTECTIVE MESH FOR VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP WITH SAME}

본 발명은, 진공 펌프용 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프에 관한 것이며, 특히, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착(止着) 강도를 충분히 높여 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 충분히 억제하는 것이 가능한 진공 펌프용의 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프에 관한 것이다.

종래부터, 터보 분자 펌프를 비롯한 고속 회전형의 진공 펌프에 있어서는, 케이싱 상단부의 플랜지부 내측에 형성되어 있는 흡기구로부터 이물이 펌프 기기 내의 회전체에 침입하지 않도록, 그 흡기구에 이물 침입 방지용 보호망이 장착되어 있다. 상기 플랜지부가 ISO 규격의 플랜지인 경우, 스페이스의 문제로부터, 보호망은 흡기구의 부위에 나사 클램프에 의해 고정될 수 없다. 또, 보호망은, 소정의 강도가 없으면, 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때 펌프 내측으로 휘어 회전 날개 등의 펌프 내 기기에 접촉해 펌프 고장을 일으킬 우려가 있다. 이로 인해, 보호망에는 소정의 강도가 요구되어 있다.

이러한 사정에 있어서, 진공 펌프용 보호망 및 그 보호망의 흡기구의 부위에 대한 고정 구조의 제1의 종래 기술로서는, 예를 들어, 도 6~도 8의 (a), (b)에 도시한 바와 같은 것이 있다. 도 6은, 둘레 가장자리부에 그 둘레 가장자리부에 따른 둘레 가장자리 림(1a)이 형성된 금속망(1)을 도시하고, 도 7은, 둘레 가장자리부의 둘레 가장자리 플레이트부(2a)와 그 둘레 가장자리 플레이트부(2a)의 내측에 걸쳐진 십자 형상의 리브부(2b)를 구비한 금속제의 보강 플레이트(2)를 도시하고 있다. 진공 펌프용 보호망은, 이 다른 부품으로서 형성된 금속망(1)과 보강 플레이트(2)를 중합하고 적당히 스폿 용접을 실시하여, 이 양쪽 부품을 일체로 한 복합 부품에 의해 형성되어 있다.

도 8의 (a), (b)는, 금속망(1)과 보강 플레이트(2)의 복합 부품으로서 형성된 보호망(3)의 흡기구(4)의 부위에 대한 고정 구조를 도시하고 있다. 진공 펌프에 있어서의 케이싱(5) 상부의 플랜지부(6) 내측에는 고리 형상의 고정용 홈(7)이 오목하게 설치되어 있다. 상기의 복합 부품으로 이루어지는 보호망(3)은, 둘레 가장자리 림(1a)과 둘레 가장자리 플레이트부(2a)의 중합부가 고정용 홈(7)에 끼워 넣어지고, 또한 고리 형상의 스냅 링(8)이 밀어 넣어지며, 보호망(3)이 흡기구(4)의 부위에 고정되어 있다. 그 흡기구(4)의 부위에 고정된 보호망(3)의 가까운 하방에 있어서의 진공 펌프 내에는, 로터(9)에 설치된 회전 날개(10)가 구비되어 있다(도 8(a)).

또, 도 9는, 진공 펌프용 보호망 및 그 보호망의 흡기구의 부위에 대한 고정 구조의 제2의 종래 기술을 도시하고 있다. 이 종래 기술에서는, 진공 펌프용 보호망(11)이 하나의 부품으로 실현되고, 그 보호망(11)에 있어서의 챙부의 부분이 필요한 각도만큼 경사 형상으로 상승되어 경사 형상 챙부(11a)가 형성되어 있다. 그 경사 형상 챙부(11a)는, 그 높이(h)가 고정용 홈(7)의 감입(嵌入)폭(도 9에 있어서의 상하 방향폭)에 대응한 높이로 형성되고, 스냅 링을 이용하지 않고, 그 경사 형상 챙부(11a)의 부분을 고정용 홈(7)에 밀어 넣음으로써, 그 경사 형상 챙부(11a)가 고정용 홈(7)에 꽉 끼워져 보호망(11)이 흡기구(4)의 부위에 고정되어 있다.

흡기구(4)로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때, 경사 형상 챙부(11a)는, 도 9 중, 가상선으로 도시한 바와 같이 변형 경향이 발생하여 그 경사 형상 챙부(11a) 상측 가장자리부가 고정용 홈(7) 내의 상면에 긴밀히 접해 보호망(11)의 낙하가 방지되는 것과 더불어 그 보호망(11)이 펌프 내측으로 휘는 것이 억제된다.

상기와 같은 진공 펌프용 보호망에 관련하는 종래 기술로서, 예를 들어, 다음과 같은 진공 펌프가 알려져 있다. 이 종래 기술은, 터보 분자 펌프형의 진공 펌프의 기체를 이루는 베이스의 하방 플랜지부에 케이싱 기부가 나사 클램프에 의해 고정되어 있다. 케이싱 중앙부의 회전축의 상단에는 로터가 부착되고, 이 로터에 케이싱의 내주측에 향하여 회전 날개가 일정한 간격을 가지며 방사 형상으로 설치되어 있다. 한편, 케이싱의 내주측에는 링 형상의 스페이서가 적층 형상으로 다단에 배치되고, 각 스페이서 간에 기부가 협지된 고정 날개가 로터측에 향하여 연장 설치되어 있다. 이와 같이 회전 날개와 고정 날개가, 각각 교호로 내측과 외측으로부터 중합하여 터보 기구가 구성되어 있다. 보호망은, 흡기구의 부위에 장착되기 때문에 주위에 고리 형상의 판(링)이 형성되고, 이 고리 형상의 링부가 케이싱 상부의 단부와 최상단 스페이서의 사이에 협지되어 흡기구의 부위에 유지되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

일본국 특허공개 평11-247790호 공보

제1의 종래 기술에 있어서는, 보호망이, 다른 부품으로서 형성된 금속망과 보강 플레이트를 중합시킨 복합 부품에 의해 형성되어 있었기 때문에, 고비용이었다. 또, 흡기구의 부위에 대한 고정 구조가, 금속망측의 둘레 가장자리 림과 보강 플레이트측의 둘레 가장자리 플레이트부를 중합시킨 편평 형상 부분을 고정용 홈에 끼워 넣고, 이 후, 스냅 링을 밀어 넣음으로써 행해지고 있었다. 이로 인해, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도가 불충분해지기 쉽고, 흡기구로부터 펌프 내에 돌입하는 대기의 기세에 따라서는, 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐량이 커져 펌프 내 기기에 접촉할 우려가 있는 것과 더불어, 고정용 홈에 대한 감입부가 어긋나 보호망이 낙하할 우려도 있었다.

제2의 종래 기술에 있어서는, 경사 형상 챙부의 높이(h)를 고정용 홈의 감입폭에 대응한 높이로 형성하고, 이 경사 형상 챙부의 부분을 고정용 홈에 밀어 넣음으로써, 이 경사 형상 챙부를 고정용 홈에 꽉 끼워 보호망을 흡기구의 부위에 고정하도록 하고 있다. 이로 인해, 경사 형상 챙부의 경사 각도 및 높이(h)의 치수 관리 등이 어렵고, 또, 경사 형상 챙부를 홈에 밀어 넣어 이 경사 형상 챙부를 고정용 홈에 꽉 끼우는 작업도 상당한 어려움을 수반하며, 이러한 점으로 고비용을 부르고 있었다.

특허 문헌 1에 기재의 종래 기술에 있어서는, 케이싱의 내주측에 링 형상의 스페이서가 적층 형상으로 다단에 배치되고, 보호망은, 그 고리 형상의 링부가 최상단 스페이서와 케이싱 상부의 단부와의 사이에 협지되어 흡기구의 부위에 고정되어 있다. 이로 인해, 보호망의 교환시 등으로, 보호망의 탈거가 필요로 해지는 경우는, 베이스의 하방 플랜지부에 대한 케이싱 기부의 나사 클램프를 떼어내고 케이싱을 뽑아내는 등의 상당한 작업을 필요로 한다.

거기서, 단일매로 필요한 강도를 가지는 보호망으로 함으로써 그 보호망의 비용 저감을 도모하고, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도를 충분히 높여 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 억제해 펌프 내 기기에의 접촉을 방지하는 것과 더불어 보호망의 낙하를 방지하고, 흡기구의 부위에 대한 보호망의 부착이 용이하고 또한 탈거도 용이하게 하기 위해서 해결해야 할 기술적 과제가 발생하는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서 제안된 것이며, 청구항 1 기재의 발명은, 진공 펌프에 있어서의 흡기구의 내주부에 오목하게 설치된 고정용 홈에 보호망의 둘레 가장자리부에 형성된 림을 끼워 넣고, 또한 상기 고정용 홈에 스냅 링을 밀어 넣음으로써 상기 흡기구의 부위에 상기 보호망을 장설(張設)하도록 한 진공 펌프용 보호망으로서, 상기 림의 곳곳에 상기 스냅 링에 걸리는 걸림부를 상기 림에 대해 대략 직각으로 세워 설치시킨 진공 펌프용 보호망을 제공한다.

이 구성에 의하면, 림의 곳곳에 그 림에 대해 대략 직각으로 세워 설치된 걸림부가 스냅 링에 걸려 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도가 충분히 강고한 것이 된다. 따라서 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐이 억제됨과 더불어 보호망의 낙하가 방지된다.

청구항 2 기재의 발명은, 청구항 1 기재의 발명에 있어서, 상기 보호망은, 금속망부와, 상기 림의 내측에 걸쳐진 보강용의 리브부를 구비하는 것과 더불어 상기 금속망부와 상기 리브부는 단일매의 부재로 형성되어 있는 진공 펌프용 보호망을 제공한다.

이 구성에 의하면, 보호망을, 금속망부와 보강용의 리브부를 일체로서 형성함으로써 보호망 자신의 강도를 높일 수 있고, 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐이 한층 확실히 억제된다.

청구항 3 기재의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2 기재의 진공 펌프용 보호망을 구비한 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 고정용 홈에 대한 지착 강도가 충분히 강고하고, 또한 보호망 자신의 강도가 높아진 보호망이 흡기구의 부위에 장설되어 있다. 따라서, 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 확실히 억제할 수 있다.

청구항 1 기재의 발명은, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도를 충분히 높일 수 있다. 이 결과, 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 억제할 수 있고, 펌프 내 기기에의 접촉을 방지할 수 있는 것과 더불어 보호망의 낙하를 방지할 수 있다. 또, 림에 대해 대략 직각으로 세워 설치된 걸림부 자신을 고정용 홈에 밀어 넣어 그 걸림부를 고정용 홈에 꽉 끼우는 것은 아니므로, 흡기구의 부위에 대한 보호망의 부착이 용이하고 한편 탈거도 용이하게 되는 이점이 있다.

청구항 2 기재의 발명은, 청구항 1 기재의 발명의 효과에 더해 또한, 보호망을, 다른 부품으로서 형성된 금속망과 보강 플레이트를 중합시킨 복합 부품으로서 형성하는 일 없이, 단일매로 필요한 강도로 함으로써 보호망의 비용 저감을 도모할 수 있는 이점이 있다.

청구항 3 기재의 발명은, 고정용 홈에 대한 지착 강도가 충분히 강고하고, 또한 보호망 자신의 강도도 높아진 보호망이 흡기구의 부위에 장설됨으로써, 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 확실히 억제할 수 있어 보호망이 회전 날개 등의 펌프 내 기기에 접촉하는 것에 의한 펌프 고장을 방지할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예로서 도시하는 진공 펌프의 종단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 펌프용 보호망에 적용되는 보호망의 평면도.
도 3은 도 2의 보호망에 있어서의 걸림부 부분의 확대도이며, (a)는 정면 방향에서 본 사시도, (b)는 측면 방향에서 본 사시도.
도 4는 도 2의 보호망을 고정용 홈에 지착하는 경우에 이용되는 스냅 링의 평면도.
도 5는 도 2의 보호망의 흡기구의 부위에 대한 고정 구조를 일부 생략하여 도시하는 횡단면도.
도 6은 제2의 종래 기술에 있어서의 금속망의 평면도.
도 7은 위와 같은 종래 기술에 있어서의 보강 플레이트의 평면도.
도 8은 위와 같은 종래 기술에 있어서의 보호망의 흡기구의 부위에 대한 고정 구조를 도시하는 도이며, (a)는 고정 구조의 전체를 도시하는 횡단면도, (b)는 도(a)에 있어서의 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 부분을 확대해 도시하는 횡단면도.
도 9는 제2의 종래 기술에 있어서의 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 부분을 도시하는 횡단면도.

본 발명은, 단일매로 필요한 강도를 가지는 보호망으로 함으로써 이 보호망의 비용 저감을 도모하고, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도를 충분히 높여 흡기구로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 펌프 내측으로의 휘어짐을 억제하고 펌프 내 기기에의 접촉을 방지함과 더불어 보호망의 낙하를 방지하며, 흡기구의 부위에 대한 보호망의 부착이 용이하고 또한 탈거도 용이하게 하는 목적을 달성하기 위해서, 진공 펌프에 있어서의 흡기구의 내주부에 오목하게 설치된 고정용 홈에 보호망의 둘레 가장자리부에 형성된 림을 끼워 넣고, 또한 상기 고정용 홈에 스냅 링을 밀어 넣음으로써 상기 흡기구의 부위에 상기 보호망을 장설하도록 한 진공 펌프용 보호망으로서, 상기 림의 곳곳에 상기 스냅 링에 걸리는 걸림부를 상기 림에 대해 대략 직각으로 세워 설치함으로써 실현되었다.

[실시예 1]

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 또한, 도 4 및 도 5에 있어서, 상기 도 8의 (a), (b)에 있어서의 구성요소와 동일 내지 균등한 것은, 상기와 동일한 부호로서 도시하고, 중복된 설명을 생략 한다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 펌프의 종단면도이다.

도 1에 있어서, 진공 펌프(100)는, 흡기구(110)와 배기구(120)를 가지는 하우징(130)을 구비하고 있다. 이 하우징(130) 내에는, 상부에 터보 분자 펌프부(140)와, 그 하방에 원통형의 나사 홈 펌프부(150)가 설치되어 있음과 더불어, 그 터보 분자 펌프부(140) 내와 그 나사 홈 펌프부(150) 내를 통과하고 상기 흡기구(110)와 상기 배기구(120)를 연통하여 이루어지는 배기 경로(240)가 형성되어 있다.

상기 배기 통로(240)는, 보다 구체적으로는, 상기 터보 분자 펌프부(140)의 후술하는 서로 대향하고 있는 로터(170)의 외주면과 상기 하우징(130)의 내주면과의 사이의 간극, 및 상기 나사 홈 펌프부(150)의 후술하는 원통 로터(210)의 외주면과 스테이터(230)의 내주면과의 사이의 간극을 서로 연통시키는 것과 더불어, 상기 터보 분자 펌프부(140)측의 간극 상단측을 상기 흡기구(110)에 연통시키고, 또한, 상기 나사 홈 펌프부(150)측의 간극 하단측을 상기 배기구(120)에 연통하여 형성되어 있다.

상기 터보 분자 펌프부(140)는, 회전축(160)에 고정되어 설치된 알루미늄 합금제의 로터(170)의 외주면에 돌출되어 설치된 다수의 회전 날개(180, 180…)와, 상기 하우징(130)의 내주면에 돌출되어 설치된 다수의 고정 날개(190, 190…)의 조합으로 이루어진다.

상기 나사 홈 펌프부(150)는, 상기 터보 분자 펌프부(140)에 있어서의 로터(170)의 하단부의 원통 로터(210)와, 이 원통 로터(210)의 외주와 소(小)간극을 가지고 대향하며, 이 소간극과 함께 상기 배기 경로(240)의 일부를 형성하여 이루어지는 나사 홈(220)이 설치된 스테이터(230)로 이루어진다. 이 나사 홈(220)은, 하방으로 이동함에 따라 깊이가 얕아지게 하여 형성되어 있다. 또, 이 스테이터(230)는, 상기 하우징(130)의 내면에 고정되어 있다. 그리고, 상기 나사 홈(220)의 하단은 상기 배기 경로(240)의 최하류측에 있어서 상기 배기구(120)에 연통된다.

또, 상기 회전축(160)의 중간부에는, 모터 하우징(250) 내에 설치된 인덕션 모터 등의 고주파 모터(260)의 모터 로터(260a)가 고정되어 있다. 이 회전축(160)은, 자기베어링으로 지지되고, 상부 및 하부에 보호 베어링(270, 270)이 설치되어 있다.

다음에, 도 1에 도시하는 진공 펌프의 동작에 대해 설명한다. 상기 고주파 모터(260)의 구동에 의해 상기 흡기구(110)로부터 유입한 기체는, 분자류 혹은 거기에 가까운 중간류 상태로 있고, 그 기체 분자는 상기 터보 분자 펌프부(140)의 회전하는 상기 회전 날개(180, 180…)와 상기 하우징(130)으로부터 돌출되어 설치된 상기 고정 날개(190, 190···)의 작용보다, 하방향으로 운동량이 부여되어, 이 회전 날개(180, 180…)의 고속 회전에 수반해 하류측으로 기체가 압축 이동한다.

또, 압축 이동된 기체는, 상기 나사 홈 펌프부(150)에 있어서, 회전하는 상기 원통 로터(210)와, 소간극을 가지고 형성된 상기 스테이터(230)에 따라 하류로 이동함에 따라서 깊이가 얕아지는 상기 나사 홈(220)에 안내되도록 하고, 점성류 상태까지 압축되면서 상기 배기 통로(240) 내를 흘러, 상기 배기구(120)로부터 배출된다.

다음에, 본 실시예에 따른 진공 펌프용 보호망의 구성을 설명한다. 도 2 내지 도 4에 있어서, 본 실시예에 있어서의 보호망(12)은, 1매의 금속판에 에칭 처리를 실시함으로써, 둘레 가장자리부에 림(12a)을 구비한 금속망부(12b)와 상기 림(12a)의 내측에 걸쳐진 보강용의 십자 형상의 리브부(12c)가 일체가 된 단일매로 형성되어 있다. 금속망부(12b)에는, 예를 들어 벌집 형상으로 다수의 육각 구멍이 천공되어 있다.

상기 림(12a)의 곳곳에는, 후술하는 스냅 링에 걸리는 걸림부(12d)가, 도 3의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 그 림(12a)에 대해 대략 직각으로 세워 설치되어있다. 걸림부(12d)는, 상기 에칭 처리의 경우에, 림(12a)으로부터 외방으로 돌출한 돌출부를 형성하고, 이 돌출부를 림(12a)에 대해 대략 직각으로 접어 구부림으로써 형성되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 걸림부(12d)는, 보호망(12)의 둘레 가장자리부에, 2개를 1조로 한 4조가 각각 같은 간격을 두고 형성되어 있다.

도 4는, 스냅 링(8)을 도시하고 있다. 스냅 링(8)은, 일부가 끊어져, 그 절결부(8a)에 적당한 간극이 형성되어 있다.

다음에, 도 5를 이용하여 상기 서술한 바와 같이 구성된 진공 펌프용 보호망의 흡기구의 부위에 대한 고정 및 작용을 설명한다. 림(12a)의 외측 가장자리에는, 그 림(12a)에 대해, 대략 직각으로 걸림부(12d)가 세워 설치되어 있다. 이러한 림(12a)을 흡기구(4)의 내주부에 오목하게 설치된 고정용 홈(7)에 끼워 넣고, 또한 그 고정용 홈(7)에 스냅 링(8)을 밀어 넣는다.

이때, 스냅 링(8)은, 그 절결부(8a)의 부분에 형성되어 있는 간극이 감축 하도록 고정용 홈(7)에 밀어 넣어짐으로써 확개 경향이 발생하고, 이 확개 경향이 걸림부(12d)를, 또한 밀어 넣듯이 작용하여 이 걸림부(12d)를 구비한 림(12a)이, 고정용 홈(7)에 강고하게 지착된다. 이러한 걸림부(12d)를 구비한 림(12a) 부분의 고정용 홈(7)에 대한 지착 상태에 의해 보호망(12)이 흡기구(4)의 부위에 고정된다.

또, 보호망(12)은, 금속망부(12b)와 보강용의 리브부(12c)가 일체로 형성되어 있음으로써 보호망(12) 자신도 강도가 높아져 있다. 따라서 흡기구(4)로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때 보호망(12)의 펌프 내측으로의 휘어짐이 충분히 억제됨과 더불어 보호망(12)의 낙하가 방지된다.

상기 서술한 바와 같이, 걸림부(12d)는, 보호망(12)의 둘레 가장자리부에, 2개를 1조로 한 4조가 각각 같은 간격을 두고 형성되고, 이 4조의 부분의 걸림부(12d)가 스냅 링(8)으로 밀어 넣어져 고정용 홈(7)에 지착되어 있다. 또, 걸림부(12d) 자신을 고정용 홈(7)에 밀어 넣어 그 걸림부(12d)를 고정용 홈(7)에 꽉 끼워 지착되어 있는 것이 아니라, 걸림부(12d)를 스냅 링(8)으로 밀어 넣어 지착하고 있으므로, 스냅 링(8)의 부착 또는 탈거만으로 흡기구(4)의 부위에 대한 보호망(12)의 부착 및 탈거가 용이해진다.

상기 서술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 펌프용 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프에 있어서는, 보호망(12)을, 다른 부품으로서 형성된 금속망과 보강 플레이트를 중합시킨 복합 부품으로서 형성하는 일 없이, 단일매로 금속망부(12b)와 보강용의 십자 형상의 리브부(12c)를 일체로 형성하여 필요한 강도로 함으로써 보호망(12)의 비용 저감을 도모할 수 있다.

고정용 홈(7)에 대한 보호망(12)의 지착 강도를 충분히 높일 수 있다. 이 결과, 흡기구(4)로부터 펌프 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망(12)의 펌프 내측으로의 휘어짐을 억제할 수 있고, 보호망(12)이 회전 날개 등의 펌프 내 기기에 접촉하는 것에 의한 펌프 고장을 방지할 수 있음과 더불어 보호망(12)의 낙하를 방지할 수 있다.

림(12a)에 대해 대략 직각으로 세워 설치된 걸림부(12d) 자신을 고정용 홈(7)에 밀어 넣어 그 걸림부(12d)를 고정용 홈(7)에 꽉 끼우는 것은 아니므로, 흡기구(4)의 부위에 대한 보호망(12)의 부착이 용이하고 또한 탈거도 용이해진다.

또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한 여러 가지의 개변을 이룰 수 있고, 그리고, 본 발명이 그 개변된 것에도 영향을 끼치는 것은 당연하다.

[산업상의 이용 가능성]

단일매로 필요한 강도를 가지는 보호망으로 함으로써 그 보호망의 비용 저감을 도모하며, 고정용 홈에 대한 보호망의 지착 강도를 충분히 높여 흡기구로부터 기체 흡입 기구 내에 대기가 돌입했을 때의 보호망의 기체 흡입 기구 내측으로의 휘어짐을 억제하고 기체 흡입 기구 내 기기에의 접촉을 방지함과 더불어 보호망의 낙하를 방지하며, 흡기구의 부위에 대한 보호망의 부착이 용이하고 또한 탈거도 용이해지는 것이 불가결한 기체 흡입 기구 전반에 널리 적용하는 것이 가능하다.

1 금속망 2 보강 플레이트
3 보호망(종래) 4 흡기구
5 케이싱 6 플랜지부
7 고정용 홈 8 스냅 링
9 로터 10 회전 날개
11 보호망(종래) 12 보호망
12a 림 12b 금속망부
12c 리브부 12d 걸림부
100 진공 펌프 110 흡기구
120 배기구 130 하우징
140 터보 분자 펌프부 150 나사 홈 펌프부
160 회전축 170 로터
180 회전 날개 190 고정 날개
210 원통 로터 220 나사 홈
230 스테이터 240 배기 통로
250 모터 하우징 260 고주파 모터
260a 모터 로터 270 보호 베어링

Claims (3)

1. 진공 펌프에 있어서의 흡기구의 내주부에 오목하게 설치된 고정용 홈에 보호망의 둘레 가장자리부에 형성된 림을 끼워 넣고, 또한 상기 고정용 홈에 스냅 링을 밀어 넣음으로써 상기 흡기구의 부위에 상기 보호망을 장설(張設)하도록 한 진공 펌프용 보호망으로서,
   상기 림의 곳곳에 상기 스냅 링에 걸리는 걸림부를 상기 림에 대해 대략 직각으로 세워 설치한 것을 특징으로 하는 진공 펌프용의 보호망.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 보호망은, 금속망부와, 상기 림의 내측에 걸쳐진 보강용의 리브부를 구비하는 것과 더불어 상기 금속망부와 상기 리브부는 단일매의 부재로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프용의 보호망.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 진공 펌프용 보호망을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
   

Images