JP7289627B2 - 真空ポンプ、保護網及び接触部品 - Google Patents
真空ポンプ、保護網及び接触部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7289627B2 JP7289627B2 JP2018204847A JP2018204847A JP7289627B2 JP 7289627 B2 JP7289627 B2 JP 7289627B2 JP 2018204847 A JP2018204847 A JP 2018204847A JP 2018204847 A JP2018204847 A JP 2018204847A JP 7289627 B2 JP7289627 B2 JP 7289627B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective net
- vacuum pump
- rotating body
- exterior body
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
- F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2230/00—Manufacture
- F04C2230/90—Improving properties of machine parts
- F04C2230/91—Coating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/20—Rotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/80—Other components
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D1/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D13/00—Pumping installations or systems
- F04D13/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D13/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
本発明は、真空ポンプの吸気口に設けられる保護網に関し、回転体と保護網の間に、両者が接触し、保護網を保持する部分を設け、例えば、真空ポンプ内で圧力に大きな変化が発生したときなどに、回転体による保護網の巻き込み防止に関する。
ターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの真空ポンプ１では、吸気口４側に、真空ポンプ１内に異物が混入することを防止するための保護網１００が設けられている。
図１６は、この保護網１００及び保護網を吸気口４に設置したところを説明する図である。保護網１００は、６角形の孔が格子状に多数設けられた形状をしており、６角形の互いに向かい合う辺との距離は約５ｍｍである。この図に示すように、この保護網１００を吸気口４に設置することで、真空ポンプ１の内部に、誤って異物が入り込んでしまうことを防止している。
なお、保護網１００の網目の形状や大きさは上記に限定されず、想定される異物の大きさなどに応じて種々のタイプがある。
図１６は、この保護網１００及び保護網を吸気口４に設置したところを説明する図である。保護網１００は、６角形の孔が格子状に多数設けられた形状をしており、６角形の互いに向かい合う辺との距離は約５ｍｍである。この図に示すように、この保護網１００を吸気口４に設置することで、真空ポンプ１の内部に、誤って異物が入り込んでしまうことを防止している。
なお、保護網１００の網目の形状や大きさは上記に限定されず、想定される異物の大きさなどに応じて種々のタイプがある。
ところで、真空ポンプ１の動作中、何らかの事情により、内部の圧力や温度が変化することがある。このとき、保護網１００は、圧力や温度変化の影響を受け、図に点線で示すように、中央部が真空ポンプ１の内部側に変形（撓む）することがある。真空ポンプ１のロータ８は、高速回転しているので、変形した保護網１００と接触し、保護網１００を巻き込んでしまう恐れがある。
ここで、保護網１００の変形（撓み）をより少なくするには、保護網１００自体の厚みを増し、より強固にすることが考えられる。しかしながら、保護網１００の厚みを増すと、真空ポンプ１のコンダクタンスが低下し、真空ポンプ１の排気性能に悪影響を与えてしまうという問題があった。
よって、保護網１００は、なるべく薄くしたいという真空ポンプ１の設計上の要求が存在していた。
ここで、保護網１００の変形（撓み）をより少なくするには、保護網１００自体の厚みを増し、より強固にすることが考えられる。しかしながら、保護網１００の厚みを増すと、真空ポンプ１のコンダクタンスが低下し、真空ポンプ１の排気性能に悪影響を与えてしまうという問題があった。
よって、保護網１００は、なるべく薄くしたいという真空ポンプ１の設計上の要求が存在していた。
そのため、図１６に示す従来の技術では、保護網１００の想定される最大撓み量Ｙを超える隙間Ｘ（Ｘ＞Ｙ）を保護網１００と回転体（シャフト７又はロータ８）の間に設け、保護網１００の巻き込み防止を図っていた。
また、保護網１００の巻き込みを防止する技術については、従来より種々の提案がなされている。
また、保護網１００の巻き込みを防止する技術については、従来より種々の提案がなされている。
特許文献１に開示されている真空ポンプでは、保護網を回転軸に近づくにつれて段階的に回転体との距離は大きくなるようにして、回転体による保護網の巻き込みを防止している。
しかしながら、従来技術に示すように、保護網１００とロータ８の間に隙間Ｘを設けると、結果として真空ポンプ１自体の高さ（長さ）が、増してしまうこととなる。これは、真空ポンプの排気性能を落とさずに、可能な限りコンパクトな真空ポンプを求めるユーザーの要求に反することとなる。
そこで、本発明は、回転体が能動的に保護網を支えることで、両者の間隔を可能な限り近接させ、高さ（長さ）の低い真空ポンプを提供することを目的とする。
請求項１記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記吸気口に設けられた保護網と、前記保護網を前記外装体に固定する固定手段と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプであって、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網が前記回転体に巻き込まれるのを防ぐ、巻き込み防止機構を備え、前記巻き込み防止機構は、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網と前記回転体との間に、両者を接触させて支持する接触支持構造であることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の本願発明では、前記接触支持構造は、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に、球状又はＲ面取り形状を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の本願発明では、前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のシャフトに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の本願発明では、前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のロータに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の本願発明では、前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記形成された球状又はＲ面取り形状に対応した穴を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の本願発明では、前記保護網に設けた穴の形状を、前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状との接触箇所を減らす多角形又は円形を波形化した形状としたことを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の本願発明では、前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状に、摩擦係数を下げるためのコーティングを施したことを特徴とする請求項２から請求項６の何れか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の本願発明では、前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記保護網の網目を形成せず地材を残した平面を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプを提供する。
請求項９記載の本願発明では、前記保護網に設けた穴と、前記形成された球状又はＲ面取り形状との間隔を、前記保護網の網目より小さくしたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１０記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記吸気口に設けられた保護網と、前記保護網を前記外装体に固定する固定手段と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプであって、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網が前記回転体に巻き込まれるのを防ぐ、巻き込み防止機構を備え、前記巻き込み防止機構は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項１１記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプにおいて、前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網であって、前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体によって、巻き込まれるのを防止する巻き込み防止構造を備え、前記巻き込み防止構造は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする保護網を提供する。
請求項１２記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプに設置する接触部品であって、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に設置され、球状又はＲ面取り形状の接触部品を提供する。
請求項２記載の本願発明では、前記接触支持構造は、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に、球状又はＲ面取り形状を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の本願発明では、前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のシャフトに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の本願発明では、前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のロータに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の本願発明では、前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記形成された球状又はＲ面取り形状に対応した穴を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の本願発明では、前記保護網に設けた穴の形状を、前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状との接触箇所を減らす多角形又は円形を波形化した形状としたことを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の本願発明では、前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状に、摩擦係数を下げるためのコーティングを施したことを特徴とする請求項２から請求項６の何れか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の本願発明では、前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記保護網の網目を形成せず地材を残した平面を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプを提供する。
請求項９記載の本願発明では、前記保護網に設けた穴と、前記形成された球状又はＲ面取り形状との間隔を、前記保護網の網目より小さくしたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１０記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記吸気口に設けられた保護網と、前記保護網を前記外装体に固定する固定手段と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプであって、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網が前記回転体に巻き込まれるのを防ぐ、巻き込み防止機構を備え、前記巻き込み防止機構は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項１１記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプにおいて、前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網であって、前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体によって、巻き込まれるのを防止する巻き込み防止構造を備え、前記巻き込み防止構造は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする保護網を提供する。
請求項１２記載の本願発明では、吸気口が形成された外装体と、前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網と、前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプに設置する接触部品であって、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に設置され、球状又はＲ面取り形状の接触部品を提供する。
本発明によれば、回転体側から能動的に保護網を支えることにより、保護網の巻き込みを防止し、両者の間隔をより狭くすることができ、結果として、真空ポンプの高さを低くすることができる。
（ｉ）実施形態の概要
本発明の実施形態に係る真空ポンプ１では、回転体（シャフト７又はロータ８）に、保護網１００が、圧力の変化や温度の変化などの理由により真空ポンプ１側に変形した（撓んだ）場合、能動的に保護網１００を支える機構を設ける。
すなわち、保護網１００と回転体の間隔を開けて巻き込み防止を図るのではなく、両者をより近接させて、保護網１００を能動的に支えることで、巻き込みを防止している。そのため、真空ポンプ１の高さ（長さ）をより低くすることができる。
また、保護網１００側にも巻き込み防止の機構を設けるようにしてもよい。
本発明の実施形態に係る真空ポンプ１では、回転体（シャフト７又はロータ８）に、保護網１００が、圧力の変化や温度の変化などの理由により真空ポンプ１側に変形した（撓んだ）場合、能動的に保護網１００を支える機構を設ける。
すなわち、保護網１００と回転体の間隔を開けて巻き込み防止を図るのではなく、両者をより近接させて、保護網１００を能動的に支えることで、巻き込みを防止している。そのため、真空ポンプ１の高さ（長さ）をより低くすることができる。
また、保護網１００側にも巻き込み防止の機構を設けるようにしてもよい。
（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図１５を参照して詳細に説明する。
（真空ポンプ１の構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ１の概略構成例を示した図であり、真空ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、本発明の実施形態では、便宜上、回転翼の直径方向を「径（直径・半径）方向」、回転翼の直径方向と垂直な方向を「軸線方向（または軸方向）」として説明する。
真空ポンプ１の外装体を形成するケーシング（外筒／筐体）２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共に真空ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、真空ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
本実施形態では、この気体移送機構は、回転自在に支持された回転体（ロータ８、回転翼９／ロータ円筒部１０など）と、筐体に対して固定されたステータ部（固定翼３０／ねじ溝排気要素２０など）から構成されている。
また、図示しないが、真空ポンプ１の外装体の外部には、真空ポンプ１の動作を制御する制御装置が専用線を介して接続されている。
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図１５を参照して詳細に説明する。
（真空ポンプ１の構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ１の概略構成例を示した図であり、真空ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、本発明の実施形態では、便宜上、回転翼の直径方向を「径（直径・半径）方向」、回転翼の直径方向と垂直な方向を「軸線方向（または軸方向）」として説明する。
真空ポンプ１の外装体を形成するケーシング（外筒／筐体）２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共に真空ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、真空ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
本実施形態では、この気体移送機構は、回転自在に支持された回転体（ロータ８、回転翼９／ロータ円筒部１０など）と、筐体に対して固定されたステータ部（固定翼３０／ねじ溝排気要素２０など）から構成されている。
また、図示しないが、真空ポンプ１の外装体の外部には、真空ポンプ１の動作を制御する制御装置が専用線を介して接続されている。
ケーシング２の端部には、当該真空ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出した吸気口フランジ２００が形成されている。
この吸気口４の下部には、真空ポンプ１内に、異物が入り込むのを防止するための保護網１００が設けられている。この保護網１００は、ボルト又はスナップリングにより、ケーシング２に固定されている。
また、真空ポンプ１の下流側には、当該真空ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。
この吸気口４の下部には、真空ポンプ１内に、異物が入り込むのを防止するための保護網１００が設けられている。この保護網１００は、ボルト又はスナップリングにより、ケーシング２に固定されている。
また、真空ポンプ１の下流側には、当該真空ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。
回転体は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９、排気口６側に設けられたロータ円筒部（スカート部）１０を備えている。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に対して垂直に放射状に伸びた部材により構成される。
また、ロータ円筒部１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材により構成される。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に対して垂直に放射状に伸びた部材により構成される。
また、ロータ円筒部１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材により構成される。
ステータコラム７００内には、詳細は図示しないが、シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部が設けられている。また、当該モータ部に対して吸気口４側と排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で支持するための径方向磁気軸受装置が設けられている。さらに、シャフト７の下端には、シャフト７をアキシャル方向（軸線方向）に非接触で支持するための軸方向磁気軸受装置が設けられている。
ケーシング（筐体）２の内周側には、固定翼３０が形成されている。そして、固定翼３０は円筒形状をした固定翼スペーサ３５により互いに隔てられて固定されている。
なお、回転翼９と固定翼３０は互い違いに配置され、軸線方向に複数段形成されるが、真空ポンプ１に要求される排出性能を満たすために、必要に応じて任意の数のロータ部品およびステータ部品を設けることができる。
なお、回転翼９と固定翼３０は互い違いに配置され、軸線方向に複数段形成されるが、真空ポンプ１に要求される排出性能を満たすために、必要に応じて任意の数のロータ部品およびステータ部品を設けることができる。
本実施形態に係る真空ポンプ１では、排気口６側にねじ溝排気要素２０（ねじ溝型排気機構）が配設される。ねじ溝排気要素２０のロータ円筒部１０との対向面には、ねじ溝（らせん溝）が形成されている。あるいは、ロータ円筒部１０のねじ溝排気要素２０との対向面にねじ溝が形成される構成であってもよい。
ねじ溝排気要素２０におけるロータ円筒部１０との対向面側（すなわち、真空ポンプ１の軸線に平行な内周面）は、所定のクリアランスを隔ててロータ円筒部１０の外周面と対向しており、ロータ円筒部１０が高速回転すると、真空ポンプ１で圧縮されたガスがロータ円筒部１０の回転に伴ってねじ溝にガイドされながら排気口６側へ送出されるようになっている。すなわち、ねじ溝は、ガスを輸送する流路となっている。
ねじ溝排気要素２０におけるロータ円筒部１０との対向面側（すなわち、真空ポンプ１の軸線に平行な内周面）は、所定のクリアランスを隔ててロータ円筒部１０の外周面と対向しており、ロータ円筒部１０が高速回転すると、真空ポンプ１で圧縮されたガスがロータ円筒部１０の回転に伴ってねじ溝にガイドされながら排気口６側へ送出されるようになっている。すなわち、ねじ溝は、ガスを輸送する流路となっている。
このように、ねじ溝排気要素２０におけるロータ円筒部１０との対向面と、ロータ円筒部１０とが、所定のクリアランスを隔てて対向することにより、ねじ溝排気要素２０の軸線方向側内周面に形成されたねじ溝でガスを移送する気体移送機構を構成している。
なお、ガスが吸気口４側へ逆流する力を低減させるために、このクリアランスは小さければ小さいほど好ましい。
また、ねじ溝排気要素２０に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
そして、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて次第に浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて徐々に圧縮されるようになっている。
上述した構成により、真空ポンプ１は、当該真空ポンプ１が固定（配設）される装置内の真空排気処理を行うことができる。
なお、ガスが吸気口４側へ逆流する力を低減させるために、このクリアランスは小さければ小さいほど好ましい。
また、ねじ溝排気要素２０に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
そして、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて次第に浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて徐々に圧縮されるようになっている。
上述した構成により、真空ポンプ１は、当該真空ポンプ１が固定（配設）される装置内の真空排気処理を行うことができる。
（実施形態１：回転体（シャフト７又はロータ８）の接触箇所を抵抗の小さい形状とする実施形態）
図２は、シャフト７の保護網１００との接触箇所を抵抗の小さい形状とする実施形態を説明するための図である。
図２に示す実施形態では、保護網１００が変形し、シャフト７と接触する際、接触するシャフト７の先端部を抵抗の小さい形状とし、保護網１００を支えて、巻き込みを防止している。
図２（ａ）では、シャフト７の先端部７２を球状にしている。図２（ｂ）では、シャフト７の先端部７４をＲ面取り形状にしている。
図２は、シャフト７の保護網１００との接触箇所を抵抗の小さい形状とする実施形態を説明するための図である。
図２に示す実施形態では、保護網１００が変形し、シャフト７と接触する際、接触するシャフト７の先端部を抵抗の小さい形状とし、保護網１００を支えて、巻き込みを防止している。
図２（ａ）では、シャフト７の先端部７２を球状にしている。図２（ｂ）では、シャフト７の先端部７４をＲ面取り形状にしている。
図３は、ロータ８の保護網１００との接触箇所を抵抗の小さい形状とする実施形態を説明するための図である。
図３に示す実施形態では、保護網１００が変形し、ロータ８と接触する際、ロータ８の接触部分を抵抗の小さい形状とし、保護網１００を支えて、巻き込みを防止している。
図３（ａ）では、ロータ８の接触部８２を球状にしている。図３（ｂ）では、ロータ８の接触部８４をＲ面取り型にしている。このような形状を形成するには、ロータ８を加工してもよいが、当該形状のリング状の部材をロータ８に取り付けることで形成してもよい。
図３に示す実施形態では、保護網１００が変形し、ロータ８と接触する際、ロータ８の接触部分を抵抗の小さい形状とし、保護網１００を支えて、巻き込みを防止している。
図３（ａ）では、ロータ８の接触部８２を球状にしている。図３（ｂ）では、ロータ８の接触部８４をＲ面取り型にしている。このような形状を形成するには、ロータ８を加工してもよいが、当該形状のリング状の部材をロータ８に取り付けることで形成してもよい。
（実施形態２：保護網１００に穴を開け、回転体に接触して支える形状を設けた実施形態）
図４は、保護網１００に穴を開け、回転体に接触して支える形状を設けた実施形態を説明するための図である。
この実施形態では、保護網１００のシャフト７の突起部７５又はロータ８の突起部８５に接触する箇所に予め穴を開けておき、保護網１００が変形すると、保護網１００の穴と直ちにシャフト７の突起部７５又はロータ８の突起部８５が接触し、保護網１００の変形を支える。
図４（ａ）は、シャフト７にテーパー状の突起部７５を設け、保護網１００の穴に接触させて支える例を示した図である。
図４（ｂ）は、ロータ８にテーパー状の突起部８５を設け、保護網１００の穴に接触させて支える例を示した図である。
このような形状を形成するには、ロータ８を加工してもよいが、当該形状のリング状の部材をロータ８に取り付けることで形成してもよい。
この実施形態では保護網１００と回転体をより近接させることができるので、更に真空ポンプの高さ（長さ）を低くすることができる。
この実施形態では、保護網１００と回転体の隙間を１０ｍｍ程度短縮することができる。よって、真空ポンプ１の高さが３５０ｍｍであった場合、高さを３４０ｍｍとすることができる。
図４は、保護網１００に穴を開け、回転体に接触して支える形状を設けた実施形態を説明するための図である。
この実施形態では、保護網１００のシャフト７の突起部７５又はロータ８の突起部８５に接触する箇所に予め穴を開けておき、保護網１００が変形すると、保護網１００の穴と直ちにシャフト７の突起部７５又はロータ８の突起部８５が接触し、保護網１００の変形を支える。
図４（ａ）は、シャフト７にテーパー状の突起部７５を設け、保護網１００の穴に接触させて支える例を示した図である。
図４（ｂ）は、ロータ８にテーパー状の突起部８５を設け、保護網１００の穴に接触させて支える例を示した図である。
このような形状を形成するには、ロータ８を加工してもよいが、当該形状のリング状の部材をロータ８に取り付けることで形成してもよい。
この実施形態では保護網１００と回転体をより近接させることができるので、更に真空ポンプの高さ（長さ）を低くすることができる。
この実施形態では、保護網１００と回転体の隙間を１０ｍｍ程度短縮することができる。よって、真空ポンプ１の高さが３５０ｍｍであった場合、高さを３４０ｍｍとすることができる。
図５は、実施形態２において、シャフト７の突起部（先端）の形状を保護網１００と接触した際、抵抗が小さくなるような形状とした例を示した図である。
図５（ａ）は、シャフト７の突起部７５をテーパー形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図５（ｂ）は、シャフト７の突起部７６を球状の形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図５（ｃ）は、シャフト７の突起部７７をＲ面取り形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図５（ａ）は、シャフト７の突起部７５をテーパー形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図５（ｂ）は、シャフト７の突起部７６を球状の形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図５（ｃ）は、シャフト７の突起部７７をＲ面取り形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、シャフト７で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図６は、実施形態２において、ロータ８の突起部の形状を保護網１００と接触した際、抵抗が小さくなるような形状とした例を示した図である。
図６（ａ）は、ロータ８の突起部８５をテーパー形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、ロータ８で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図６（ｂ）は、ロータ８の突起部８６をＲ面取り形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、ロータ８で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図６（ａ）は、ロータ８の突起部８５をテーパー形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、ロータ８で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
図６（ｂ）は、ロータ８の突起部８６をＲ面取り形状として、保護網１００の穴と接触した際、両者間の抵抗を軽減し、ロータ８で保護網１００を支え、巻き込みを防止している。
（実施形態３：実施形態１及び実施形態２において、回転体の接触箇所（接触部及び突起部）を別部材で構成する実施形態）
図７は、実施形態１の回転体の接触箇所（接触部）及び実施形態２の接触箇所（突起部）を別部材で構成する実施形態を説明する図である。
図７（ａ）は、図２（ａ）に示した実施形態１のシャフト７の先端部７２（一体形成）を別部材７８で構成した例を示した図である。
図７（ｂ）は、図４（ａ）に示した実施形態２のシャフト７の突起部７５（一体形成）を別部材７９で構成した例を示した図である。
図７（ｃ）は、図３（ａ）に示した実施形態１のロータ８の接触部８２（一体形成）を別部材８９で構成した例を示した図である。
このように、回転体の先端部又突起部を別部材で構成することで、従来製品への後付けで本発明を実施できるという効果がある。
図７は、実施形態１の回転体の接触箇所（接触部）及び実施形態２の接触箇所（突起部）を別部材で構成する実施形態を説明する図である。
図７（ａ）は、図２（ａ）に示した実施形態１のシャフト７の先端部７２（一体形成）を別部材７８で構成した例を示した図である。
図７（ｂ）は、図４（ａ）に示した実施形態２のシャフト７の突起部７５（一体形成）を別部材７９で構成した例を示した図である。
図７（ｃ）は、図３（ａ）に示した実施形態１のロータ８の接触部８２（一体形成）を別部材８９で構成した例を示した図である。
このように、回転体の先端部又突起部を別部材で構成することで、従来製品への後付けで本発明を実施できるという効果がある。
（実施形態４：実施形態１から実施形態３において、保護網１００と接触する部分に摩擦係数を下げる処理を行う実施形態）
図８（ａ）は、実施形態１の図２（ａ）で示した例において、シャフト７の先端部７２にコーティングを施して、接触時の摩擦係数を下げた例を示した図である。このコーティングの例としては、メッキ、ＰＶＤ（Physical vapor deposition)コーティング、ＣＶＤ（Chemical vapor deposition)コーティングなどがあげられる。
図８（b）は、実施形態２の図５（ａ）で示した例において、シャフト７の突起部７５にコーティングを施して、接触時の摩擦係数を下げた例を示した図である。
このように、接触時の摩擦係数を下げることで、両者の接触時に滑り易くなり、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
上記の例では、接触部分にコーティングを施す例を示したが、接触部分に焼き入れを施して硬度を上げることで、より保護網１００の巻き込みを防止するようにしてもよい。
なお、保護網１００の接触部分にコーティング施すようにしてもよい。また、シャフト７の突起部７５および保護網１００の接触部分双方にコーティング施すようにしてもよい。
図８（ａ）は、実施形態１の図２（ａ）で示した例において、シャフト７の先端部７２にコーティングを施して、接触時の摩擦係数を下げた例を示した図である。このコーティングの例としては、メッキ、ＰＶＤ（Physical vapor deposition)コーティング、ＣＶＤ（Chemical vapor deposition)コーティングなどがあげられる。
図８（b）は、実施形態２の図５（ａ）で示した例において、シャフト７の突起部７５にコーティングを施して、接触時の摩擦係数を下げた例を示した図である。
このように、接触時の摩擦係数を下げることで、両者の接触時に滑り易くなり、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
上記の例では、接触部分にコーティングを施す例を示したが、接触部分に焼き入れを施して硬度を上げることで、より保護網１００の巻き込みを防止するようにしてもよい。
なお、保護網１００の接触部分にコーティング施すようにしてもよい。また、シャフト７の突起部７５および保護網１００の接触部分双方にコーティング施すようにしてもよい。
（実施形態５：保護網１００の接触部分を平面とする実施形態）
図９は、実施形態１の図２（ａ）に示した例において、更に保護網１００にシャフト７の先端部７２と接触する部分を平面１０２とした例を示した図である。
ここで、平面とするとは、保護網１００の６角形の網目を形成せず、地材をそのまま残すことを意味する（非網部）。
図９（ａ）に示す例では、シャフト７の先端部７２と接触する箇所に６角形の網目を形成せず、地材を残して平面１０２としている（非網部）。
このように、保護網１００の接触する部分に平面１０２を設けることで、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
図９は、実施形態１の図２（ａ）に示した例において、更に保護網１００にシャフト７の先端部７２と接触する部分を平面１０２とした例を示した図である。
ここで、平面とするとは、保護網１００の６角形の網目を形成せず、地材をそのまま残すことを意味する（非網部）。
図９（ａ）に示す例では、シャフト７の先端部７２と接触する箇所に６角形の網目を形成せず、地材を残して平面１０２としている（非網部）。
このように、保護網１００の接触する部分に平面１０２を設けることで、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
図１０は、実施形態１の図３（ａ）に示した例において、更に保護網１００にロータ８の先端部８２と接触する部分を平面１０４とした例を示した図である。
図１０（ａ）に示す例では、ロータ８の先端部８２と接触する箇所に６角形の網目を形成せず、地材を残して平面１０４としている（非網部）。この平面１０４は、ロータ８（先端部８２）の回転に対応して、円周状になっている。
このように、保護網１００の接触する部分に平面１０４を設けることで、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
図１０（ａ）に示す例では、ロータ８の先端部８２と接触する箇所に６角形の網目を形成せず、地材を残して平面１０４としている（非網部）。この平面１０４は、ロータ８（先端部８２）の回転に対応して、円周状になっている。
このように、保護網１００の接触する部分に平面１０４を設けることで、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
（実施形態６：実施形態２において、接触する保護網１００側の穴の形状を接触箇所を減らす形状とする実施形態）
図１１（ａ）は、図４（ａ）に示した例において、接触する保護網１００側の形状を略四角形（１０６）（非網部）とした例を示した図である。
図１１（ｂ）は、図４（ａ）に示した例において、接触する保護網１００側の形状を略四角形の４辺が内側へ窪んだ形状（１０８）（非網部）とした例を示した図である。
図１１に示すように、保護網１００に接触するシャフト７の突起部７５が、水平断面の形状が円形であるので、接触する保護網１００側の形状を円形でない形状とすることで、円形とした場合に比べて、接触箇所を減らすことができ、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
穴の形状としては、多角形や円形を波形化した形状でもよい。
図１１（ａ）は、図４（ａ）に示した例において、接触する保護網１００側の形状を略四角形（１０６）（非網部）とした例を示した図である。
図１１（ｂ）は、図４（ａ）に示した例において、接触する保護網１００側の形状を略四角形の４辺が内側へ窪んだ形状（１０８）（非網部）とした例を示した図である。
図１１に示すように、保護網１００に接触するシャフト７の突起部７５が、水平断面の形状が円形であるので、接触する保護網１００側の形状を円形でない形状とすることで、円形とした場合に比べて、接触箇所を減らすことができ、より保護網１００の巻き込みを防止できる。
穴の形状としては、多角形や円形を波形化した形状でもよい。
（実施形態７：保護網１００側に、保護網１００の変形時に回転体と接触する部分を設けた実施形態）
図１２（ａ）は、保護網１００が変形した際、ロータ８と接触する箇所に接触突起部１１０を設けた例を示した図である。
図１２（ｂ）は、保護網１００が変形した際、シャフト７と接触する箇所に接触突起部１１２を設けた例を示した図である。
この接触突起部１１０、１１２は、型や工具等を用いて、保護網１００を変形させることで形成する。
このように、保護網１００に接触突起部１１０、１１２（非網部）を設けることで、保護網１００が変形したときに、回転体と接触突起部１１０、１１２が接触することで、保護網１００を支え、保護網１００の巻き込みを防止できる。
図１２（ａ）は、保護網１００が変形した際、ロータ８と接触する箇所に接触突起部１１０を設けた例を示した図である。
図１２（ｂ）は、保護網１００が変形した際、シャフト７と接触する箇所に接触突起部１１２を設けた例を示した図である。
この接触突起部１１０、１１２は、型や工具等を用いて、保護網１００を変形させることで形成する。
このように、保護網１００に接触突起部１１０、１１２（非網部）を設けることで、保護網１００が変形したときに、回転体と接触突起部１１０、１１２が接触することで、保護網１００を支え、保護網１００の巻き込みを防止できる。
図１３（ａ）は、保護網１００が変形した際、ロータ８と接触する箇所に溶接突起部１１４を設けた例を示した図である。
図１３（ｂ）は、保護網１００が変形した際、シャフト７と接触する箇所に溶接突起部１１６を設けた例を示した図である。
この溶接突起部１１４、１１６（非網部）は、保護網１００とは、別部品を溶接等で接合させて形成する。
このように、保護網１００に溶接突起部１１４、１１６を設けることで、保護網１００が変形したときに、回転体と溶接突起部１１４、１１６が接触することで、保護網１００を支え、保護網１００の巻き込みを防止できる。
この実施形態７に示す例は、例えば実施形態１に示す真空ポンプ１の回転体側に施す処理と併用してもよい。
図１３（ｂ）は、保護網１００が変形した際、シャフト７と接触する箇所に溶接突起部１１６を設けた例を示した図である。
この溶接突起部１１４、１１６（非網部）は、保護網１００とは、別部品を溶接等で接合させて形成する。
このように、保護網１００に溶接突起部１１４、１１６を設けることで、保護網１００が変形したときに、回転体と溶接突起部１１４、１１６が接触することで、保護網１００を支え、保護網１００の巻き込みを防止できる。
この実施形態７に示す例は、例えば実施形態１に示す真空ポンプ１の回転体側に施す処理と併用してもよい。
（実施形態８：実施形態２において、保護網１００に穴を開ける際、保護網１００の穴とシャフト７の突起部７５又はロータ８の突起部８５との間隔を保護網１００の網目より小さくする実施形態）
図１４は、図５（ａ）に示した例のシャフト７の突起部７５と保護網１００の穴との関係をより詳細に示した図である。図１４（ａ）は、保護網１００の網目を示している。
図１５は、図１４のＡで示した箇所の拡大図である。
図１５に示す、シャフト７の突起部７５と保護網１００との間隔Ｗを保護網１００の網目より小さく設定する。
こうすることで、保護網１００に穴を開けても、異物が混入することを防止できる。すなわち、全体に保護網１００が存在するのと同様の効果を得ることができる。
図１４は、図５（ａ）に示した例のシャフト７の突起部７５と保護網１００の穴との関係をより詳細に示した図である。図１４（ａ）は、保護網１００の網目を示している。
図１５は、図１４のＡで示した箇所の拡大図である。
図１５に示す、シャフト７の突起部７５と保護網１００との間隔Ｗを保護網１００の網目より小さく設定する。
こうすることで、保護網１００に穴を開けても、異物が混入することを防止できる。すなわち、全体に保護網１００が存在するのと同様の効果を得ることができる。
なお、本発明の実施形態および各変形例は、必要に応じて各々を組み合わせる構成にしてもよい。
以上、保護網１００の網目の形状は、６角形のものとして説明したが、これに限定されず、他の多角形や丸形のものであっても同様の効果を得ることは言うまでもない。
以上、保護網１００の網目の形状は、６角形のものとして説明したが、これに限定されず、他の多角形や丸形のものであっても同様の効果を得ることは言うまでもない。
また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができる。そして、本発明が当該改変されたものに及ぶことは当然である。
１ 真空ポンプ
２ ケーシング（外筒）
３ ベース
４ 吸気口
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ ロータ円筒部
２０ ねじ溝排気要素（ねじ溝ステータ）
３０ 固定翼
３５ 固定翼スペーサ
７２、７４ 先端部
８２、８４ 接触部
７５、７６、７７ 突起部
７８、７９、 別部材
８５、８６ 突起部
８９ 別部材
１００ 保護網
１０２、１０４ 平面
１１０、１１２ 接触突起部
１１４、１１６ 溶接突起部
２００ 吸気口フランジ
７００ ステータコラム
２ ケーシング（外筒）
３ ベース
４ 吸気口
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ ロータ円筒部
２０ ねじ溝排気要素（ねじ溝ステータ）
３０ 固定翼
３５ 固定翼スペーサ
７２、７４ 先端部
８２、８４ 接触部
７５、７６、７７ 突起部
７８、７９、 別部材
８５、８６ 突起部
８９ 別部材
１００ 保護網
１０２、１０４ 平面
１１０、１１２ 接触突起部
１１４、１１６ 溶接突起部
２００ 吸気口フランジ
７００ ステータコラム
Claims (12)
- 吸気口が形成された外装体と、
前記吸気口に設けられた保護網と、
前記保護網を前記外装体に固定する固定手段と、
前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプであって、
前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網が前記回転体に巻き込まれるのを防ぐ、巻き込み防止機構を備え、
前記巻き込み防止機構は、前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網と前記回転体との間に、両者を接触させて支持する接触支持構造であることを特徴とする真空ポンプ。
- 前記接触支持構造は、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に、球状又はＲ面取り形状を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
- 前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のシャフトに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
- 前記球状又はＲ面取り形状を、前記回転体のロータに設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
- 前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記形成された球状又はＲ面取り形状に対応した穴を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプ。
- 前記保護網に設けた穴の形状を、前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状との接触箇所を減らす多角形又は円形を波形化した形状としたことを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ。
- 前記回転体に形成された球状又はＲ面取り形状に、摩擦係数を下げるためのコーティングを施したことを特徴とする請求項２から請求項６の何れか１項に記載の真空ポンプ。
- 前記保護網の前記回転体と接触する箇所に、前記保護網の網目を形成せず地材を残した平面を設けたことを特徴とする請求項２、請求項３又は請求項４に記載の真空ポンプ。
- 前記保護網に設けた穴と、前記形成された球状又はＲ面取り形状との間隔を、前記保護網の網目より小さくしたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の真空ポンプ。
- 吸気口が形成された外装体と、
前記吸気口に設けられた保護網と、
前記保護網を前記外装体に固定する固定手段と、
前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプであって、
前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記保護網が前記回転体に巻き込まれるのを防ぐ、巻き込み防止機構を備え、
前記巻き込み防止機構は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする真空ポンプ。
- 吸気口が形成された外装体と、
前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプにおいて、
前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網であって、
前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体によって、巻き込まれるのを防止する巻き込み防止構造を備え、
前記巻き込み防止構造は、前記保護網の前記回転体と接触する部分に設けられた、地材を残した非網部であることを特徴とする保護網。
- 吸気口が形成された外装体と、
前記吸気口に設けられ、固定手段により前記外装体に固定された保護網と、
前記外装体内に、回転体を具備する気体移送機構とを備えた真空ポンプに設置する接触部品であって、
前記保護網が前記外装体の軸方向に撓んで変形した際、前記回転体の前記保護網と接触する箇所に設置され、球状又はＲ面取り形状の接触部品。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018204847A JP7289627B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、保護網及び接触部品 |
| CN201980068956.6A CN112840130B (zh) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | 真空泵、保护网及接触零件 |
| US17/287,301 US20210355966A1 (en) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | Vacuum pump, protective net, and contact part |
| PCT/JP2019/041795 WO2020090633A1 (ja) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | 真空ポンプ、保護網及び接触部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018204847A JP7289627B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、保護網及び接触部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020070746A JP2020070746A (ja) | 2020-05-07 |
| JP7289627B2 true JP7289627B2 (ja) | 2023-06-12 |
Family
ID=70464098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018204847A Active JP7289627B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、保護網及び接触部品 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20210355966A1 (ja) |
| JP (1) | JP7289627B2 (ja) |
| CN (1) | CN112840130B (ja) |
| WO (1) | WO2020090633A1 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001059496A (ja) | 1999-06-14 | 2001-03-06 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
| WO2008139614A1 (ja) | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Shimadzu Corporation | 真空ポンプ |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0343551Y2 (ja) * | 1988-02-16 | 1991-09-12 | ||
| JPH02196192A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-08-02 | Matsushita Seiko Co Ltd | 扇風機 |
| JP2978339B2 (ja) * | 1992-09-21 | 1999-11-15 | 株式会社日立製作所 | 真空ポンプ |
| JPH0975643A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-25 | Duskin Co Ltd | 換気扇用フィルタ装着具、および換気扇へのフィルタ装着方法 |
| DE19804768B4 (de) * | 1998-02-06 | 2006-08-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe |
| JPH11247790A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-14 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| US20030017047A1 (en) * | 1998-06-25 | 2003-01-23 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP4504102B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2010-07-14 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
| DE102005052792B4 (de) * | 2004-11-24 | 2017-12-14 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Splitterschutz für Vakuumpumpe mit schnelldrehendem Rotor |
| TW200914302A (en) * | 2007-09-27 | 2009-04-01 | Univ Chung Hwa Med Technology | Involution-proof device for large vehicle |
| JP5397385B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2014-01-22 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ、ターボ分子ポンプおよび保護ネット |
| EP2472120B1 (en) * | 2009-08-28 | 2022-11-30 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump and member used for vacuum pump |
| US9759221B2 (en) * | 2010-06-24 | 2017-09-12 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| JP5796948B2 (ja) * | 2010-11-09 | 2015-10-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| KR101868647B1 (ko) * | 2010-11-24 | 2018-06-18 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프용의 보호망 및 그것을 구비한 진공 펌프 |
| US9016995B1 (en) * | 2013-08-02 | 2015-04-28 | Ronald John Janowicz, Sr. | Self-countersinking fastener |
| JP6206002B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-10-04 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| DE102013222905A1 (de) * | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Antriebs- und Steuereinrichtung für eine Vakuumpumpe, Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Herstellen einer Steuerplatine für eine Vakuumpumpe |
-
2018
- 2018-10-31 JP JP2018204847A patent/JP7289627B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-24 US US17/287,301 patent/US20210355966A1/en active Pending
- 2019-10-24 CN CN201980068956.6A patent/CN112840130B/zh active Active
- 2019-10-24 WO PCT/JP2019/041795 patent/WO2020090633A1/ja active Application Filing
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001059496A (ja) | 1999-06-14 | 2001-03-06 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
| WO2008139614A1 (ja) | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Shimadzu Corporation | 真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2020070746A (ja) | 2020-05-07 |
| US20210355966A1 (en) | 2021-11-18 |
| CN112840130A (zh) | 2021-05-25 |
| WO2020090633A1 (ja) | 2020-05-07 |
| CN112840130B (zh) | 2024-03-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101407757B1 (ko) | 회전축과 고정 쉘 사이의 누설 감소용 축 시일 | |
| CN108474383B (zh) | 真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子 | |
| US9771940B2 (en) | Vacuum pump | |
| US8109744B2 (en) | Turbo vacuum pump | |
| CN108474391B (zh) | 离心压缩机 | |
| KR102200110B1 (ko) | 모터 | |
| CN104421171A (zh) | 涡轮分子泵 | |
| JP2018035684A (ja) | 真空ポンプ | |
| KR20140014319A (ko) | 터보 분자 펌프 및 로터의 제조 방법 | |
| CN108930656B (zh) | 真空排气装置、真空泵及真空阀 | |
| EP3592982B1 (en) | A bearing arrangement for a drive shaft of a turbo-machine, and a turbo-machine including such a bearing arrangement | |
| KR100724048B1 (ko) | 터보 분자 펌프 | |
| JP7289627B2 (ja) | 真空ポンプ、保護網及び接触部品 | |
| JP6706553B2 (ja) | 真空ポンプ及び該真空ポンプに搭載される回転翼、反射機構 | |
| JP2016522369A (ja) | 軸受を冷却するための内部換気を伴う電磁軸受アセンブリ | |
| JP2003506631A (ja) | ターボ分子真空ポンプのためのステータリング | |
| US6589009B1 (en) | Turbo-molecular pump | |
| US8221052B2 (en) | Turbo-molecular pump | |
| EP3614004B1 (en) | Motor and manufacturing method of the same | |
| US20030017047A1 (en) | Turbo-molecular pump | |
| JP7480604B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP5047026B2 (ja) | ターボ型真空ポンプ | |
| JP7424007B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP5434684B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| EP3951186A1 (en) | Vacuum pump and seal member for use in vacuum pump |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190809 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211018 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221026 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221212 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230206 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230227 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230508 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230531 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7289627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |