CN104421171A

CN104421171A - 涡轮分子泵

Info

Publication number: CN104421171A
Application number: CN201410334765.9A
Authority: CN
Inventors: 筒井慎吾
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2013-08-30
Filing date: 2014-07-11
Publication date: 2015-03-18
Anticipated expiration: 2034-07-11
Also published as: US9926792B2; US20150063993A1; CN104421171B; JP2015048738A; JP6206002B2

Abstract

本发明提供一种涡轮分子泵，所述涡轮分子泵防止含有铁、铬的零件因处理气体而腐蚀，且不使含有铁、铬的金属粒子倒流到真空室。本发明对气体接触部实施镀镍，所述气体接触部即比从真空排气上游侧数起第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的处理气体所接触的区域。

Description

涡轮分子泵

技术领域

本发明涉及一种涡轮分子泵(Turbo Molecular Pump)。

背景技术

在半导体制造过程中的干式蚀刻(dry etching)或化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)等工艺(process)中，在高真空处理室(process chamber)(以下也称为真空室)内进行处理。在所述处理中，使用例如涡轮分子泵那样的真空泵(vacuum pump)，以排出真空室内的气体而形成一定的高真空度。

在真空室中，使用氯系处理气体(process gas)或氟系处理气体。所述处理气体会使涡轮分子泵内的各零件腐蚀。以往会进行如下处理来防止这种腐蚀。

专利文献1中记载着如下发明，即，对真空室内的气体所接触的部分(外罩(housing)2、定子叶片(stator blade)3、转子(rotor)5、转子叶片6、固定筒8等)实施无电镀镍(electrol essnickel plating)。但是，并未具体地记载涂布(coat)在各零件表面的哪一区域。

专利文献2中有如下记载，即，将在黑色镍合金或黑色铬合金中分散含有微粒子而成之涂层(coating)涂布在内部基材的表面。但是，只列举了旋转叶片体、固定叶片、主体圆筒部的内表面、凸缘(flange)的内表面、间隔物(spacer)、保护网、排气口等各零件作为内部基材的例子，而并未具体地记载涂布在各零件表面的哪一区域。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利实开平01-095595号公报

[专利文献2]日本专利特开2001-193686号公报

发明内容

本发明欲解决的课题

在涡轮分子泵中，有外壳(cas i ng)等需要强度的零件由如SUS304那样的不锈钢(stainless)材料制作的情况。此外，有环形弹簧(ring spring)等要求弹性的零件由弹簧钢钢材(SUP材料)制作的情况。不锈钢材料或弹簧钢钢材中含有铁或铬，如果这些零件被处理气体腐蚀，则会有从所述已被腐蚀的区域排出包含铁或铬的金属粒子(金属微粒(particle))的情况。

解决课题的手段

发明者进行了研究开发，结果关于所述金属粒子的行为获得了如下见解。

在涡轮分子泵中，关于在比从真空排气上游侧(以下记为上游侧)数起第一段转子叶片(以下记为第一段转子叶片)更靠真空排气下游侧(以下记为下游侧)产生的金属粒子，第一段转子叶片将金属粒子甩至下游侧。由此，比第一段转子叶片更靠下游侧产生的金属粒子不会向上游侧流动。但是，有第一段转子叶片将在比第一段转子叶片更靠上游侧产生的金属粒子甩至上游侧的情况。由此，有处于比第一段转子叶片更靠上游侧的金属粒子返回到上游侧，某些情况下会倒流到真空室内的情况。而且，有可能引起金属污染，即，所述金属粒子进入到真空室内，而污染真空室内的半导体晶圆(semiconductor wafer)。因此，只要至少不使位于比第一段转子叶片更靠真空排气上游侧的含有铁、铬的零件腐蚀，则不会引起所述金属污染。

由此，在本发明中，谋求以如下方式解决。

(1)本发明的优选的实施方式的涡轮分子泵的特征在于包括：外壳，具有进气口及凸缘；转子组装体，收容在外壳内，具有轴(shaft)及转子，所述转子由多个转子叶片形成，所述多个转子叶片用紧固用螺栓(bolt)与轴形成一体；定子叶片，收容在外壳内，与转子叶片对向地配设；以及间隔物，沿着外壳内的周面积层，并将定子叶片固定；并且所述涡轮分子泵在零件的气体接触部实施有耐蚀性处理，所述零件设置在比真空排气上游侧第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧，并且由包含铁、铬的合金制作而成。

(2)在更优选的实施方式中，其特征在于：零件包含平衡板(balanceplate)，该平衡板被紧固用螺栓固定在转子，并且在紧固用螺栓与平衡板的接触面未实施有耐蚀性处理。而且，在转子与平衡板的接触面也可以不实施有耐蚀性处理。

(3)在更优选的实施方式中，其特征在于：零件包含平衡板，该平衡板被紧固用螺栓固定在转子，并且在转子与平衡板的接触面未实施有耐蚀性处理。

(4)在更优选的实施方式中，其特征在于：平衡板具有切削部，该切削部被切削以进行平衡修正，并且在切削部实施有耐蚀性处理。

(5)在更优选的实施方式中，其特征在于：在平衡板中设置有多个螺孔，在任一个螺孔中螺合有用于修正平衡的附加螺栓，零件包含附加螺栓，多个螺孔中的未螺合于附加螺栓螺合的螺孔为气体接触部。

(6)在更优选的实施方式中，其特征在于还包括：保护网，安装在保护网安装部，该保护网安装部设置在外壳的进气口的内表面；以及安装用螺栓，用来固定保护网；零件包含保护网及安装用螺栓，保护网安装部为气体接触部。

(7)在更优选的实施方式中，其特征在于还包括：保护网，安装在保护网安装部，该保护网安装部设置在外壳的进气口的内袁面；以及安装用螺栓，用来固定保护网；零件包含安装用螺栓，保护网安装部为气体接触部。

(8)在更优选的实施方式中，其特征在于还包括：保护网，安装在保护网安装部，该保护网安装部设置在外壳的进气口的内表面；以及环形弹簧，用来固定保护网；零件包含保护网及环形弹簧，保护网安装部为气体接触部。

(9)在更优选的实施方式中，其特征在于还包括：保护网，安装在保护网安装部，该保护网安装部设置在外壳的进气口的内表面；以及环形弹簧，用来固定保护网；零件包含环形弹簧，保护网安装部为气体接触部。

(10)在更优选的实施方式中，其特征在于还包括：保护网，安装在保护网安装部，该保护网安装部设置在外壳的进气口的内表面，保护网被与保护网形成为一体的突起固定，零件包含保护网，保护网安装部为气体接触部。

(11)在更优选的实施方式中，其特征在于：凸缘在进气口的周缘具有O形环槽，O形环槽及凸缘的比O形环槽更靠内周侧的部位被实施有耐蚀性处理。

(12)在更优选的实施方式中，其特征在于：凸缘通过中心环(centerring)固定在真空室，凸缘的比与中心环的接触部更靠内周侧的部位被实施有耐蚀性处理。

发明的效果

根据本发明，能够防止位于比第一段转子叶片更靠真空排气上游侧的不锈钢材料或钢材等腐蚀，并且抑制可能会导致金属污染的含有铁或铬的金属粒子的产生。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本发明的涡轮分子泵的概略图。

图2是说明本申请的气体接触部的图。

图3是表示位于转子组装体的真空排气上游侧的紧固部的图。

图4是紧固转子组装体的螺栓周边的放大图。

图5是保护网的安装部及O形环槽的周边放大图。

图6是表示作为转子组装体变形例的变形例1A的图。

图7是表示作为转子组装体变形例的变形例1B的图。

图8是表示作为转子组装体变形例的变形例1C的图。

图9是表示作为关于固定保护网的变形例的变形例2A的图。

图10是表示作为关于固定保护网的变形例的变形例2B的图。

图11是表示作为外壳与间隔物的变形例的变形例3的图。

图12是表示作为凸缘的变形例的变形例4的图。

【主要元件符号说明】

2、35、71、95：螺栓 2a、35a：头部

2b：底座面 2c、35b：轴部

2d：螺纹部 10、10A、10B、10C：转子组装体

12、82：转子 12a、36a：连接部

12b、16d、31、84b：贯通孔 13、83：部

13a、13b：接触面 14、84：轴

14a、30a、70a、82a：螺孔 16、70：平衡板

16a、16b：接触面 16c：切削部

18：圆筒部 20、20a～20d：转子叶片

30、30A、30B：进气口 32、32A、32B、91：安装部

34、34A、34B：保护网 36、36A、84a、200：凸缘

37：O形环槽 38：O形环

40：马达 44、44a～44c：定子叶片

48：螺旋定子

50、50a～50d、51、51a～51c：间隔物

52、52A：外壳 54：基底

56：排气口 60：中心环

62：上部径向电磁铁 64：下部径向电磁铁

66：推力电磁铁 90：环形弹簧

96：螺母 100：涡轮分子泵

E20a：端部 H30B：孔

P34B：突起 T36A：接触部

S36A：凸缘面 S52A：内周面

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的涡轮分子泵其具体实施方式、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

-实施方式-

图1是表示涡轮分子泵100的概略构成的剖视图。涡轮分子泵100在外壳52的进气口30具有凸缘36，该凸缘36用来安装在真空室的凸缘。在凸缘36中形成贯通孔31，在贯通孔31中插通螺栓，从而通过O形环38将凸缘36安装在真空室的凸缘。在凸缘36中设置O形环槽37，O形环38配设在所述O形环槽37。通常来说，必须确保外壳52具有强度，以便能够耐受大气压，而且即便万一产生转子破坏时，也不会被破坏，所述外壳52由SUS304等不锈钢材料制作。进气口30或凸缘36由于为外壳52的一部分，所以由与外壳52相同的材料制作。

在进气口30的安装部32安装着保护网34，以防止杂质侵入涡轮分子泵100。保护网34安装在安装部32，并且利用螺栓35被固定在安装部32。安装部32由于为外壳52的一部分，因此由与外壳52相同的材料制作。保护网34由不锈钢材料或铝合金制作。螺栓35通常使用由不锈钢材料制作而成的螺栓。

在外壳52内设置着转子组装体10且所述转子组装体10自由旋转。涡轮分子泵100是磁悬浮轴承式泵(magnetic bearing type pump)，转子组装体10被上部径向(radial)电磁铁62、下部径向电磁铁64、及推力(thrust)电磁铁66以非接触形式支撑。

转子组装体10包含利用螺栓2紧固成一体的转子12、轴14、及平衡板16。平衡板16是切削方式的平衡板。也就是说，通过切削平衡板16而修正转子组装体10的重心的位置。转子12的材料可以使用铝合金。轴14的材料可以使用S45C等。平衡板16的材料可以使用不锈钢材料。螺栓2优选使用与所接触的部件相同的材料，因此，这里优选使用不锈钢材料。

转子12中设置着多段转子叶片20及圆筒部18。在多段转子叶片20之间，在轴向上设置多段定子叶片44，在圆筒部18的外周侧设置着螺旋定子(screw stator)48。各定子叶片44通过间隔物50配设在基底54上。如果将外壳52固定在基底54上，则所积层的间隔物50夹在基底54与外壳52之间，各定子叶片44被定位。定子叶片44的材料可以使用铝合金。考虑到强度或导热率，间隔物50优选由不锈钢材料或铝合金中的任一种材料制作。例如，在仅由外壳52无法阻止转子12破坏时产生的能量的情况下，间隔物50由高强度的不锈钢材料制作，在用于提高散热性的情况下，间隔物50由铝合金制作。

在基底54中设置排气口56，对排气口56连接前级泵(back pump)。转子组装体10一边因上部径向电磁铁62、下部径向电磁铁64及推力电磁铁66而磁悬浮，一边被马达(motor)40高速旋转驱动，由此，进气口30侧的气体分子被向排气口56侧排出。

由于转子组装体10为旋转体，所以构成零件受到离心力而膨胀。其膨胀量(离心力膨胀量)依各零件而异。此外，转子组装体10因旋转而与气体分子等反复碰撞或摩擦而发热。构成零件虽带热则膨胀，但其膨胀量(热膨胀量)也依各零件而异。转子组装体10以外的组装品的热膨胀量也依各零件而异。考虑到这些情况而实施镀镍。

图2是将图1所示的涡轮分子泵100的图示右上方放大而成的图。为了便于说明，将多个转子叶片20从真空排气上游侧起重新标注符号为转子叶片20a、转子叶片20b、转子叶片20c、转子叶片20d、…。同样地，将多个间隔物50从真空排气上游侧起重新标注符号为间隔物50a、间隔物50b、间隔物50c、间隔物50d、…。多个定子叶片44也被从真空排气上游侧起重新标注符号为定子叶片44a、定子叶片44b、定子叶片44c、…。

在图2中，在粗线及影线(hatching)所示的部位实施有镀镍。如上所述，利用涡轮分子泵100从真空室抽真空的气体中包含腐蚀性成分。在本实施方式中，对腐蚀性气体所接触的部位中尤其是粗线及影线所示的气体接触部实施镀镍，而防止产生金属粒子。

使用图2对气体接触部进行说明。另外，对于气体接触部的详细说明，使用以下附图进行说明。所谓“气体接触部”是指“比从真空排气上游侧数起第一段转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的区域中，处理气体所接触的区域”。图2中的气体接触部是粗线及影线所示的区域，也就是比转子叶片20a的真空排气下游侧端部E20a(以下也称为端部E20a)更靠真空排气上游侧的区域。具体来说可以列举：

·转子叶片20a

·形成在转子12的真空排气上游侧的凹部13中的除与平衡板16的接触面13a以外的区域

·平衡板16中的除与凹部13的接触面16a及与螺栓2的底座面2b的接触面16b以外的区域

·螺栓2的除底座面2b以外的头部2a

·连接转子叶片20a与凹部13的连接部12a

·与转子叶片20a对向的间隔物50a的内周面

·进气口30

·保护网34

·保护网34的安装部32(但除螺孔30a以外)

·固定保护网34的螺栓35(但除螺孔30a以外)

·整个O形环槽37

·连接进气口30与O形环槽37的凸缘36的连接部36a等。

此处，凹部13的一部分或平衡板16的一部分区域位于比端部E20a更靠图示下方，但是从作为排气路径的上游、下游的含义来看，该区域位于比端部E20a更靠真空排气上游侧。其原因在于：存在于该区域的表面附近的气体分子等在被排出时，必然会通过端部E20附近。也就是说，气体分子等在被排出时会形成从该区域向端部E20a的流动，因此可知该区域位于比端部E20a更靠真空排气上游侧。由此，该区域也包含在本说明书中的气体接触部。

在本发明的一实施方式中，对所述气体接触部实施镀镍。虽然可以使用无电镀镍也可以使用电解镀镍，但就尺寸精度高低等观点来看，优选使用无电镀镍。

对于具有气体接触部的零件来说，原则上对每个零件实施镀镍。当实施镀敷时，为了只对气体接触部进行镀敷，而事先对其他表面进行遮蔽(masking)。针对每个零件实施镀敷的原因在于：如果以组装品形式实施镀敷，则在构成零件的边界也会形成镀敷层，而因为每个零件的离心力膨胀量或热膨胀量不同，所以有构成零件的边界的镀敷层剥离的情况。

但是，在下述变形例1C所示的转子组装体中，因为构成零件的边界不位于本申请的气体接触部，所以可以对整个转子组装体实施镀敷。详情在变形例1C中进行说明。

另外，因为转子12是由铝合金制作，所以即便不实施耐蚀性处理，也不会产生包含铁或铬的金属粒子。但是，如果对转子12实施耐蚀性处理，则可以防止因处理气体导致的应力腐蚀破裂(stress corrosioncracking)，所以，优选为对转子12也实施耐蚀性处理。此外，在保护网由铝合金制作的情况下也无需实施镀镍，但因同样的理由优选为实施镀镍。

图3是转子组装体10的转子12的凹部13的周边的放大图。如上所述，转子组装体10是利用螺栓2将转子12、轴14、及平衡板16紧固而构成。图3所示的气体接触部是

·连接转子叶片20a与凹部13的转子12的顶面的连接部12a

·形成在转子12的凹部13中的除与平衡板16的接触面13a以外的区域

·平衡板16中的除与凹部13的接触面16a及与螺栓2的底座面2b的接触面16b以外的区域(也包含下述切削部16c)

·螺栓2的除底座面2b以外的头部2a。

如上所述，对这些气体接触部实施镀镍。但是，仅切削部16c如下述般实施环氧树脂涂装。

图2中虽未示出，但图3所示的平衡板16中示出了切削部16c。为了修正转子组装体10的重心的位置，切削部16c被切削以修正由平衡器(balancer)测定出的不均衡，所述切削部形成在平衡板16的内周面。

组装转子组装体10、修正重心位置、以及有关镀镍的顺序如下所述。如上所述，在只对各零件的气体接触部进行了镀镍之后，组装转子组装体10。在动平衡试验(dynamic balance test)之后，为了修正重心位置，而切削平衡板16的内周面，形成切削部16c。切削部16c成为气体接触部，但并不进行再次镀镍，而对切削部16c实施环氧树脂涂装。

平衡板16的接触面16a与转子12的凹部13的接触面13a相互接触。在接触面16a与接触面13a之间，因离心力膨胀量之差或热膨胀量之差而产生摩擦。在如下述底座面2b与接触面16b之间那样接触面间的摩擦大的情况下，所述摩擦有时也会导致产生镀镍脱落，因此，不必对这种接触面实施镀镍。然而，在接触面16a与接触面13a之间，相对于转子组装体10的紧固力而言接触面16a与接触面13a的面积大，因此，所述摩擦不会大到产生镀镍脱落的程度。根据以上情况，在本实施方式中对接触面16a与接触面13a实施镀镍。由此，无须对接触面16a与接触面13a进行遮蔽，因此，可以降低成本(cost)。另外，因为接触面16a与接触面13a并非气体接触部，所以也可以不实施镀镍。

图4是紧固转子组装体10的螺栓2周边的放大图。螺栓2的头部2a的底座面2b与平衡板16的接触面16b相互接触。在底座面2b与接触面16b之间产生摩擦。相对于转子组装体10的紧固力而言底座面2b与接触面16b的面积小，两者之间产生的摩擦大到会产生镀镍脱落的程度。如果产生镀镍脱落而零件的表面露出，则所述表面被处理气体腐蚀，可能会从所述已被腐蚀的表面排出金属粒子。此外，因为所述镀镍脱落传播到其周边，所以也会有排出金属粒子的区域扩大的问题。由此，根据以上所示的理由，不对底座面2b、及接触面16b实施镀镍。此外，因为螺栓2的轴部2c、平衡板16的贯通孔16d、转子12的贯通孔12b、及轴14的螺孔14a不与处理气体接触，所以不实施镀镍。根据以上情况，螺栓2中除螺栓2的头部2a的底座面2b以外的区域成为气体接触部，因此，对该区域实施镀镍。

图5是保护网34的安装部32周边的放大图。保护网34安装在设置于进气口30的内部的阶差部即安装部32，并且被螺栓35固定。因为保护网34的所有表面可能会成为气体接触部，所以对其所有表面实施镀镍。因为安装部32也可能会成为气体接触部，所以也对安装部32实施镀镍。对于螺栓35，因为头部35a可能会成为气体接触部，所以，对头部35a实施镀镍。此外，因为轴部35b中的除螺合于螺孔30a的部分以外的区域可能会成为气体接触部，所以，对该区域也实施镀镍。也可以对保护网34、螺栓35、及安装部32各自接触的面实施镀镍，原因是与转子组装体10不同，这些零件为静止，而且也不易受到热的影响，不易产生摩擦。但是，不宜在已将这些零件组装的状态下实施镀镍，因此针对每个零件进行镀镍。对形成在凸缘36的O形环槽37实施镀镍。对连接O形环槽37与进气口30的连接部36a也实施镀镍。

根据以上所示的实施方式，发挥如下作用效果。

(1)对涡轮分子泵100的如下零件的气体接触部实施了镀镍，该零件比真空排气上游侧第一段转子叶片20即转子叶片20a的真空排气下游侧的端部E20a更靠真空排气上游侧，并且含有铁或铬。由此，不会在该气体接触部产生因处理气体导致的腐蚀，不会在比端部20a更靠真空排气上游侧产生铁或铬等金属粒子，所述金属粒子不会倒流到真空室。

(2)平衡板16与螺栓2的任一个接触面均未实施镀镍。由此，不会产生镀镍脱落，该镀镍脱落由起因于离心力膨胀量之差或热膨胀量之差的接触面彼此的摩擦所致。

(3)形成于转子12的凹部13与平衡板16的任一个接触面均实施镀镍。相对于转子组装体10的紧固力而言接触面16a与接触面13a的面积并不大，不会产生因该接触区域中的摩擦导致的镀镍脱落。无需进行以不实施镀镍为目的的遮蔽，因此，可以降低遮蔽所对应的成本。

另外，在专利文献1中，对位于比真空排气上游侧第一段转子叶片20即转子叶片20a的真空排气下游侧的端部E20a更靠真空排气下游侧的零件(例如固定筒8)也被无电镀镍覆盖。另一方面，在本发明中，只对本说明书所示的气体接触部实施镀镍以防止金属粒子向真空室倒流。由此，与专利文献1公开的发明相比，本发明可以减少实施镀镍的零件数量。

此外，在专利文献1中，对被覆盖的零件进行了记载，但并未积极地对未覆盖的部位进行记载。另一方面，在本发明中，如上所述还明确示出了考虑到镀镍脱落而不实施镀镍的部位。由此，与专利文献1公开的发明相比，本发明不易产生镀镍脱落。

以下对所述实施方式的变形例进行叙述。对与实施方式相同的部位省略说明。通过对以下所示的气体接触部实施镀镍，可以抑制可能会导致金属污染的含有铁或铬的金属粒子的产生。

-变形例1A-

变形例1A、及下述变形例1B、变形例1C是转子组装体10的变形例。

图6所示的变形例1A的转子组装体10A使用附配重方式的平衡板70，以代替切削方式的平衡板16。也就是说，在平衡板70中，在其周向上形成着多个螺孔(丝锥(tap)部)70a，通过使螺栓螺固在所述螺孔70a而修正转子组装体10A的重心位置。

为了修正重心的位置，在图示左方的螺孔70a中螺固着附配重螺栓71。关于对附配重螺栓71实施镀镍的方法，因为与图4所示的螺栓2同样地仅除底座面以外的头部成为气体接触部，所以对除底座面以外的头部实施镀镍。因为螺固着附配重螺栓71的螺孔并非气体接触部，所以无须实施镀镍。但是，因为是在调整转子组装体10A的重心位置之前，也就是说在判明附配重螺栓71螺固在哪个螺孔70a而变为非气体接触部之前，实施平衡板70的镀镍，所以必须对所有螺孔70a实施镀镍。由此，对螺固着附配重螺栓71的螺孔70a(图示左方)、以及未螺固附配重螺栓71的螺孔70a(图示右方)均实施镀镍。

-变形例1B-

在图7所示的变形例1B的转子组装体10B中，成为省略了实施方式所示的平衡板16的构成。因此，螺栓2与转子12的凹部13接触。变形例1B的螺栓2也与图4所示的螺栓2同样地，因为头部2a中的除底座面2b以外的区域成为气体接触部，所以，对头部2a中的除底座面2b以外的区域实施镀镍。对凹部13的与底座面2b接触的区域以外的区域实施镀镍。

-变形例1C-

在图8所示的变形例1C的转子组装体10C中，设置转子82以代替转子12，设置轴84以代替轴14。此外，未设置平衡板16。转子组装体10C的紧固方法与转子组装体10、转子组装体10A、转子组装体10B的紧固方法大不相同。在轴84形成着凸缘84a。在凸缘84a中形成着贯通孔84b。转子82中在凹部83的背面形成着螺孔82a。螺栓2通过贯通孔84b，且利用轴部2c的螺纹部2d与螺孔82a螺合。由此，将转子82与轴84紧固。

转子组装体10C的紧固部在涡轮分子泵100内位于比转子82的真空上游侧第一段转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气下游侧。因此，变形例1C的螺栓2及其周边不会成为气体接触部，所以，可以不进行镀镍。而且，因为比转子82的真空上游侧第一段转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧无紧固部，也就是说只有转子82的表面位于该真空排气上游侧，所以也可以不对转子组装体10C的每个零件实施镀敷，而以转子组装体10C的状态实施镀镍。在对每个零件实施镀镍的情况下，只有转子组装体10C的转子82具有气体接触部，所以，只要只对转子82的气体接触部实施镀镍即可。

-变形例2A-

变形例2A、及下述变形例2B是关于固定保护网的变形例。

图9所示的变形例2A中的保护网34A安装于设置在外壳52的进气口30A的安装部32A。此外，环形弹簧90通过安装于设置在进气口30A的安装部91而固定保护网34A。与图2的保护网34不同的是，保护网34A中无用来供螺栓通过的安装用贯通孔。此外，如图2所示，在实施方式的进气口30设置着用来与螺栓35螺合的螺孔30a，但在进气口30A未设置螺孔。

保护网34A与实施方式的保护网34同样地，由不锈钢材料或铝合金制作。因为保护网34A的所有表面也均可能成为气体接触部，所以对所有表面实施镀镍。此外，环形弹簧90由弹簧钢钢材(SUP材料)制作，环形弹簧90的所有表面也均可能成为气体接触部，所以，对所有表面实施镀镍。而且，因为进气口30A也成为气体接触部，所以也对进气口30A实施镀镍。由此，对设置在进气口30A的安装部32A及安装部91也实施镀镍。

-变形例2B-

在图10所示的变形例2B的保护网34B中一体地形成着用来固定保护网34B本身的突起P34B。此外，在进气口30B设置着用来安装保护网34B的安装部32B。而且，在进气口30B设置着用来与突起P34B嵌合的孔H30B。由此，在将保护网34B安装在安装部32B的同时，将突起P34B嵌合在孔H30B中，从而保护网34B被固定在安装部32B。

突起P34B必须具有能够固定保护网34B的弹性，因此，保护网34B由不锈钢材料制作。保护网34B的包含突起P34B在内的所有表面也均可能成为气体接触部，所以对所有表面实施镀镍。此外，孔H30B的所有表面也均可能成为气体接触部，所以，也对孔H30B的所有表面实施镀镍。而且，进气口30B也成为气体接触部，所以也对进气口30B实施镀镍。由此，也对设置在进气口30B的安装部32B实施镀镍。

-变形例3-

变形例3是关于外壳及间隔物的变形例。在上述实施方式中，如图2所示，真空排气上游侧第一段转子叶片20即转子叶片20a与间隔物50a对向。另一方面，图11所示的变形例3的外壳52A的内周面与转子叶片20a对向。在如变形例3那样的情况下，可以不对位于真空排气系统的最上游的间隔物51a实施镀镍。但是，因为在外壳52A的内周面与转子叶片20a对向的内周面S52A成为气体接触部，所以对内周面S52A实施镀镍。

-变形例4-

变形例4是关于凸缘的变形例。在所述实施方式中，例如，在图5的凸缘36中形成着O形环槽37。也就是说，在以JIS-VG凸缘等为代表的凸缘中形成着这种O形环槽。另一方面，变形例4中的凸缘36A是以ISO-LF凸缘等为代表的凸缘，未形成O形环槽。如图12所示，使用螺栓95及螺母(nut)96将凸缘36A通过中心环60紧固在真空室等的排气口凸缘200。

如果以上述方式紧固凸缘36A，则凸缘36A通过凸缘36A的接触部T36A与中心环60接触。在凸缘36A中，比接触部T36A更靠内周侧的凸缘面S36A成为气体接触部，因此对凸缘面S36A实施镀镍。

另外，在变形例4中，利用螺栓及螺母紧固凸缘，但在适当变更了凸缘的形状之后，可以利用单爪钳(single claw clamp)紧固，也可以利用双爪钳(double claw clamp)紧固，以代替螺栓及螺母。

在以上实施方式中，对气体接触部实施镀镍，但除镀镍以外，也可以实施如下耐蚀性处理。例如，如果是由不锈钢材料制作而成的零件，则可以实施铝合金蒸镀或环氧树脂涂装等。此外，也可以使氟树脂包含在无电镀镍液中进行镀镍。

另外，在专利文献2中，使用的是镀黑镍或镀黑铬，但在本发明中，因如下原因而不使用镀黑镍或镀黑铬。原因在于，在实施镀黑镍或镀黑铬的过程中包含蚀刻(etching)过程，因所述蚀刻过程会在镀敷表面形成非常细微的凹凸。所述非常细微的凹凸会成为金属粒子而从镀敷表面排出，成为真空室的污染源。

以上说明仅为一例，发明并不受所述实施方式任何限定。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims

1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：

外壳，具有进气口及凸缘；

转子组装体，收容在所述外壳内，具有轴及转子，所述转子由多个转子叶片形成，所述多个转子叶片利用紧固用螺栓与所述轴形成为一体；

定子叶片，收容在所述外壳内，与所述转子叶片对向地配设；以及

间隔物，沿着所述外壳内的周面积层，且固定所述定子叶片；并且

所述涡轮分子泵在零件的气体接触部实施有耐蚀性处理，所述零件设置在比真空排气上游侧第一段的所述转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧，并且由包含铁、铬的合金制作而成。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述零件包括平衡板，所述平衡板被所述紧固用螺栓固定在所述转子，并且

在所述紧固用螺栓与所述平衡板的接触面未实施有所述耐蚀性处理。

3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：

在所述转子与所述平衡板的接触面未实施有所述耐蚀性处理。

4.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于：

5.根据权利要求2至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述平衡板具有切削部，所述切削部被切削以进行平衡修正，并且

在所述切削部实施有所述耐蚀性处理。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于：

在所述平衡板中设置有多个螺孔，在任一个螺孔中螺合有用于修正平衡的附加螺栓，并且

所述零件包括所述附加螺栓，

所述多个螺孔中的未螺合于所述附加螺栓的螺孔为气体接触部。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：

保护网，安装在保护网安装部，所述保护网安装部设置在所述外壳的所述进气口的内表面；以及

安装用螺栓，用来固定所述保护网；并且

所述零件包括所述保护网及所述安装用螺栓，

所述保护网安装部为气体接触部。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：

安装用螺栓，用来固定所述保护网；并且

所述零件包含所述安装用螺栓，

所述保护网安装部为气体接触部。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：

环形弹簧，用来固定所述保护网；并且

所述零件包括所述保护网及所述环形弹簧，

所述保护网安装部为气体接触部。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：

环形弹簧，用来固定所述保护网；并且

所述零件包括所述环形弹簧，

所述保护网安装部为气体接触部。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括：

保护网，安装在保护网安装部，所述保护网安装部设置在所述外壳的所述进气口的内表面，并且

所述保护网被与所述保护网形成为一体的突起固定，

所述零件包括所述保护网，

所述保护网安装部为气体接触部。

12.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述凸缘在所述进气口的周缘具有O形环槽，并且

所述O形环槽及所述凸缘的比所述O形环槽更靠内周侧的部位被实施有所述耐蚀性处理。

13.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述凸缘通过中心环固定在真空室，并且

所述凸缘的比与所述中心环的接触部更靠内周侧的部位被实施有所述耐蚀性处理。