CN113137402B - 用于涡轮分子式真空泵之转子盖子 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子包含覆盖组件及连结组件，其中覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面，连结组件包含一延伸杆及一硬度及重量调节组件。延伸杆之第一端系连接覆盖组件之底面中心，延伸杆之第二端系朝向远离覆盖组件之方向延伸以邻近旋转轴，硬度及重量调节组件系连接于延伸杆之该第二端与旋转轴之间，藉以降低连结组件与旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少覆盖组件之旋转振动现象。

Description

用于涡轮分子式真空泵之转子盖子

技术领域

本发明是有关于一种盖子，特别是有关于一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子。

背景技术

目前的涡轮分子式真空泵，系可驱动连结于其上之转子以进行真空抽气之制程，转子中心朝涡轮分子式真空泵之方向内凹形成锁附空间，以藉由如螺栓等固定组件组合转子及涡轮分子式真空泵。然而，当涡轮分子式真空泵使用于晶圆或电子基板等蚀刻制程加工时，加工过程中所产生之粉尘颗粒系容易积存于锁附空间，且转子于加工过程中所产生之气流容易使锁附空间中之粉尘颗粒随着气流飘回加工区域，故可能导致加工区域之晶圆或电子基板受到污染。因此，为杜绝锁接室积存粉尘颗粒，美国专利第3908977号系揭示一种转子上方设计有封闭锁接室的转子盖子之产品，其中，转子盖子由外而内穿设有锁固于锁接室底侧之螺栓。惟，螺栓锁固区域还是有少量空间供粉尘颗粒积存，致盖子之阻接并非完美无缺，且螺栓锁固也容易过度摧逼转子盖子，令转子盖子于转子高速旋转后有变形及破裂疑虑。

发明内容

此外，在传统螺栓锁固的技术中，转子盖子高速旋转时，容易产生旋转振动现象，导致转子旋转重心偏移或失去封合效果的问题。若改以延伸自转子盖子下方之螺栓连接锁接室底侧，则转子盖子仍会产生旋转振动现象及/或产生磨损现象。有鉴于此，本发明之一目的就是在提供一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，以克服上述长期存在却无法解决之技术问题。

为达前述目的，本发明提出一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，该涡轮分子式真空泵上方突设有一旋转轴，该旋转轴上套定有一转子，该转子中心下凹有一锁接室，该锁接室中心固接该旋转轴，该转子盖子包含：一覆盖组件，该覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面；以及一连结组件，包含：一延伸杆及一硬度及重量调节组件，该延伸杆之一第一端系连接该覆盖组件之底面中心，该延伸杆之一第二端系朝向远离该覆盖组件之方向延伸以邻近该旋转轴，该硬度及重量调节组件系连接于该延伸杆之该第二端与该旋转轴之间，藉以降低该连结组件与该旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少该覆盖组件之旋转振动现象。

其中，该延伸杆之该第一端系一体连接该覆盖组件之底面中心。

其中，该延伸杆之该第一端系螺接该覆盖组件之底面中心。

其中，该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该延伸杆之该第二端系内凹形成一第二螺孔，该硬度及重量调节组件之该第一端为一第一螺栓，该硬度及重量调节组件之该第二端为一第二螺栓，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓系用以螺接该旋转轴之该第一螺孔，该硬度及重量调节组件之该第二螺栓系用以螺接该延伸杆之该第二螺孔。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓之直径大于该第二螺栓之直径，且该第一螺栓之直径对应于该旋转轴之该第一螺孔之直径，该第二螺栓之直径对应于该延伸杆之该第二螺孔之直径。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系介于1：7～7：1之间。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系为1：7。

其中，该延伸杆之该第二端以及该硬度及重量调节组件之该第一端之直径实质相同。

其中，该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该硬度及重量调节组件系覆盖于该延伸杆之该第二端以共同形成一第一螺栓，藉以螺接该旋转轴之该第一螺孔。

其中，还包含一治具，该治具之一端系内凹形成一夹持空间，且该夹持空间内设有一夹持组件，其中当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之表面，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转。

其中，该覆盖组件之侧面或顶面为完全曲面，且当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之该完全曲面，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转，其中该夹持组件为板体、杆体或环体。

其中，该覆盖组件之侧面或顶面具有平面区或凹陷区，且当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之该平面区或该凹陷区，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转，其中该夹持组件为板体、杆体或环体。

其中，该涡轮分子式真空泵运转时，该覆盖组件之顶面及底面之旋转振动变化皆小于一目标值。

其中，该目标值为15μm。

其中，该硬度及重量调节组件之一第一端之硬度实质相同于该旋转轴之硬度，该硬度及重量调节组件之一第二端之硬度实质相同于该延伸杆之硬度。

其中，该硬度及重量调节组件之一第一端之硬度实质相同于该旋转轴之硬度，该硬度及重量调节组件之一第二端之硬度实质不同于该延伸杆之硬度。

其中，该转子盖子覆盖该转子之该锁接室时，该转子盖子仅以该连结组件之该硬度及重量调节组件之一第一端连接该旋转轴。

承上所述，依本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，不仅可保持封合涡轮分子式真空泵之锁接室，且藉由具有硬度及重量调节组件之连结组件可产生配重效果，以减少转子盖子之覆盖组件之旋转振动现象，以及藉由降低硬度差异，可减少连结组件连接旋转轴时产生磨损现象。

兹为使钧审对本发明的技术特征及所能达到的技术功效有更进一步的了解与认识，谨佐以较佳的实施例及配合详细的说明如后。

附图说明

图1为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之外观示意图。

图2为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之剖面分解示意图。

图3为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子安装于涡轮分子式真空泵之剖面示意图。

图4为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之侧面完全为曲面之上视示意图。

图5为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之侧面具有平面区之上视示意图。

图6为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之侧面具有凹陷区之上视示意图。

图7为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之夹具为环体之仰视立体示意图。

图8为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之夹具为杆体之仰视立体示意图。

图9为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之夹具为板体之仰视立体示意图。

附图标记说明：

10：转子盖子

20：覆盖组件

22：平面区

24：凹陷区

30：连结组件

32：延伸杆

32a：第一端

32b：第二端

33：第二螺孔

34：硬度及重量调节组件

34a：第一端

34b：第二端

35：第一螺栓

37：第二螺栓

38：夹固区

60：治具

62：夹持空间

64：夹持组件

100：涡轮分子式真空泵

102：旋转轴

104：第一螺孔

110：转子

112：锁接室

具体实施方式

为利了解本发明之技术特征、内容与优点及其所能达成之功效，兹将本发明配合图式，并以实施例之表达形式详细说明如下，而其中所使用之图式，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，未必为本发明实施后之真实比例与精准配置，故不应就所附之图式的比例与配置关系解读、局限本发明于实际实施上的权利范围。此外，为使便于理解，下述实施例中的相同组件系以相同的符号标示来说明。

请一并参阅图1及图2，图1为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之外观示意图，图2为本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子之剖面分解示意图。本发明系一种用于涡轮分子式真空泵100之转子盖子10，如图3所示，涡轮分子式真空泵100之上方突设有旋转轴102。转子110之中心下凹有锁接室112，转子110套接于旋转轴102上，且旋转轴102固接于转子110之锁接室112之中心，藉以使得转子110套定于旋转轴102上。其中旋转轴102可例如藉由螺纹配合或藉由其他组件辅助固定于转子110之锁接室112之中心。其中，旋转轴102之外侧表面例如具有螺纹，则上述其他组件可例如为螺帽，藉由螺帽螺接螺纹之方式将旋转轴102锁固于转子110之锁接室112上。或者，也可以例如藉由螺栓(未绘示)由上而下穿过转子110之锁接室112并螺接于旋转轴102顶面内凹形成之螺孔(未绘示)中。换言之，本发明不限于采用何种方式将旋转轴102固定于转子110之锁接室112，只要使得旋转轴102能够带动转子110转动，即可适用于本发明，且属于本发明请求保护之范围。

本发明之转子盖子10包含覆盖组件20及连结组件30。覆盖组件20系用以覆盖转子110之锁接室112，藉以避免涡轮分子式真空泵100所抽取气体之制程室中的制程粒子沉积或累积在锁接室112中。本发明之转子盖子10之覆盖组件20之顶面形状例如为圆锥形、半球形或平面形，但不限于此。覆盖组件20之侧壁及顶面较佳为光滑曲面，藉以有效地导引气流使其趋于稳定。此外，覆盖组件20之侧壁及顶面不限于完全曲面，亦即覆盖组件20之侧面或顶面也可例如具有平面区或凹陷区。覆盖组件20之底面形状则可例如为圆锥形、半球形或平面形。此外，覆盖组件20之顶面与底面不限于彼此实质对应，而具有相同形状。举例来说，覆盖组件20之顶面与底面也可例如为彼此不对应，而具有不相同形状。换言之，只要转子盖子10能够导引气流且其底面中心能够经由连结组件30连接涡轮分子式真空泵100之旋转轴102，即可适用于本发明，且属于本发明请求保护之范围。

本发明之转子盖子10之连结组件30之两端系用以分别连接转子盖子10之覆盖组件20之底面中心及涡轮分子式真空泵100之旋转轴102之顶面中心，藉以使得覆盖组件20可拆卸覆盖涡轮分子式真空泵100之锁接室112。此外，本发明之转子盖子10之底面可例如具有密封垫圈(未绘示)，当覆盖组件20覆盖转子110之锁接室112时，密封垫圈系位于覆盖组件20与转子110之锁接室112之间，藉以增进气密封合效果。

本发明之一项特色在于，连结组件30包含延伸杆32以及硬度及重量调节组件34。延伸杆32之第一端32a系一体连接或可拆卸式连接覆盖组件20之底面中心。上述之一体连接之方式可例如为一体成形，但不限于此。若延伸杆32之第一端32a系一体成形连接覆盖组件20之底面中心，则延伸杆32与覆盖组件20之材质为相同。若延伸杆32之第一端32a系可拆卸式连接覆盖组件20之底面中心，则延伸杆32与覆盖组件20之材质可为相同或不相同。上述之可拆卸式连接之方式可例如为螺接，但不限于此。连结组件30之两端系经由延伸杆32以及硬度及重量调节组件34分别连接覆盖组件20及旋转轴102。在一实施态样中，延伸杆32之第二端32b系设有硬度及重量调节组件34，其中硬度及重量调节组件34可例如覆盖于延伸杆32之第二端32b以共同形成第一螺栓35，其中连结组件30系以第一螺栓35连接旋转轴102。或者，在另一实施态样中，硬度及重量调节组件34之第二端34b例如经由第二螺栓37连接延伸杆32之第二端32b，硬度及重量调节组件34之第一端34a具有第一螺栓35，其中连结组件30系以第一螺栓35连接旋转轴102。又或者，在又一实施态样中，硬度及重量调节组件34之第二端34b例如经由第二螺栓37螺入延伸杆32之第二端32b之第二螺孔33中，硬度及重量调节组件34之第一端34a具有第一螺栓35，其中连结组件30系以第一螺栓35连接旋转轴102。其中，第一螺栓35可例如具有一夹固区38，夹固区38例如为平面，其中使用者可例如以夹钳夹持此夹固区38，藉以将硬度及重量调节组件34之第二螺栓37螺入延伸杆32之第二端32b之第二螺孔33中。

为了避免涡轮分子式真空泵100高速旋转时，转子盖子10因重心太高而产生晃动或摆动等旋转振动现象，因此覆盖组件20及连结组件30较佳为选用铝或铝合金等轻质材料。涡轮分子式真空泵100之旋转轴102则通常为不锈钢或镀镍等耐腐蚀性及高硬度材料，但是因为铝或铝合金之硬度低于不锈钢，因此铝或铝合金材质之延伸杆32若直接螺接不锈钢或镀镍材质之旋转轴102，则容易产生损耗或崩牙等磨损现象。所以，本发明之另一项特色在于连结组件30具有延伸杆32及硬度及重量调节组件34，其中延伸杆32较佳为铝或铝合金等重量较轻但硬度较低之材料构成，硬度及重量调节组件34则较佳为由镀镍金属(例如镀镍铝或镀镍铝合金)或不锈钢等高硬度材料构成，因此本发明可同时避免覆盖组件20产生旋转振动现象以及避免连结组件30产生损耗或崩牙等磨损现象。其中，硬度及重量调节组件34与延伸杆32之长度比之范围系介于，但不限于，1：7～7：1之间，且较佳为1：7。本发明之连结组件30之硬度及重量调节组件34系连接于延伸杆32之第二端32b与旋转轴102之间，藉以降低连结组件30之延伸杆32与旋转轴102之间的硬度差异，以及提供配重效果可减少覆盖组件20在高速旋转时产生振动现象。

以硬度及重量调节组件34螺接延伸杆32之实施例为例，其中本发明之硬度及重量调节组件34之第一端34a系可拆卸式连接涡轮分子式真空泵100之旋转轴102，硬度及重量调节组件34之第二端34b则系可拆卸式设于延伸杆32之第二端32b。举例而言，涡轮分子式真空泵100之旋转轴102之顶端系内凹形成第一螺孔104，转子盖子10之延伸杆32之第二端32b系内凹形成一第二螺孔33，硬度及重量调节组件34之第一端34a为第一螺栓35，硬度及重量调节组件34之第二端34b为第二螺栓37。硬度及重量调节组件34之第一螺栓35系用以螺接旋转轴102之第一螺孔104，硬度及重量调节组件34之第二螺栓37系用以螺接延伸杆32之第二螺孔33。其中，硬度及重量调节组件34之第一螺栓35与延伸杆32之长度比之范围系为介于约1：7～约7：1之间，且较佳为约1：7。

其中，本发明之连结组件30例如为柱状杆体。举例而言，延伸杆32之直径例如为实质相同于硬度及重量调节组件34之直径，藉以有效避免增加连结组件30之重量。硬度及重量调节组件34之第一螺栓35之直径例如实质大于第二螺栓37之直径，且第一螺栓35之直径对应于旋转轴102之第一螺孔104之直径，第二螺栓37之直径对应于延伸杆32之第二螺孔33之直径。其中，延伸杆32之第二端32b及硬度及重量调节组件34之第一端34a之直径例如实质相同。

由于硬度及重量调节组件34系以第一端34a螺接旋转轴102之顶端内凹所形成之第一螺孔104，因此硬度及重量调节组件34之第一端34a之硬度较佳为近似于旋转轴102之硬度，且更佳为实质相同，藉以降低延伸杆32与旋转轴102之间的硬度差异。硬度及重量调节组件34系以第二端34b可拆卸式螺接延伸杆32之第二端32b，因此硬度及重量调节组件34之第二端34b之硬度较佳为近似于延伸杆32之硬度，且更佳为实质相同，藉以减少硬度及重量调节组件34与延伸杆32之间的硬度差异。惟本发明不限于此，硬度及重量调节组件34之第二端34b之硬度也可不相同于，例如大于或者小于，延伸杆32之第二端32b之硬度，只要硬度及重量调节组件34之第一端34a之硬度近似或相同于旋转轴102之硬度，即可降低连结组件30与旋转轴102之间的硬度差异，减少磨损现象产生。同理，本发明之硬度及重量调节组件34也可以替换为其他物理特性，例如刚性、体积、密度或、热膨胀性或磁性等之调节组件，以降低连结组件30与旋转轴102之间的物理特性差异。

藉此，在涡轮分子式真空泵100之旋转轴102高速运转的过程中，本发明之转子盖子10不仅可保持封合涡轮分子式真空泵100之锁接室112，且由于转子盖子10之连结组件30具有硬度及重量调节组件34，因此可藉由硬度及重量调节组件34产生配重效果，以减少转子盖子10之覆盖组件20之旋转振动现象，以及藉由降低硬度差异，以减少连结组件30连接旋转轴102时产生磨损现象。

其中，硬度及重量调节组件34与延伸杆32之拆卸方向系例如为相反于旋转轴102之转动方向，硬度及重量调节组件34与延伸杆32之装设方向系例如为相同于旋转轴102之转动方向，藉此可避免旋转轴102转动时，转子盖子10产生偏移现象。同理，硬度及重量调节组件34与旋转轴102之拆卸方向系例如为相反于旋转轴102之转动方向，硬度及重量调节组件34与旋转轴102之装设方向系例如为相同于旋转轴102之转动方向，藉此可避免旋转轴102转动时，转子盖子10产生偏移现象。惟上述拆卸及装设方向仅为举例，并非用以限定本发明。

换言之，本发明之转子盖子10可降低连结组件30与旋转轴102之间因材质硬度差异所可能产生的损耗或崩牙等磨损现象，以及藉由重量调配，例如降低连结组件30之重心高度，可减少涡轮分子式真空泵100之旋转轴102高速运转时，转子盖子10之覆盖组件20产生旋转振动现象，且例如使得覆盖组件20之顶面及底面之振动变化皆可小于一目标值。在实际运作时，当旋转轴102之转速达到约27,660rpm～27,780rpm时，上述之目标值可约为15μm。

此外，本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子10更包含治具60。治具60系用以夹持转子盖子10之覆盖组件20，藉由转动治具60即可带动覆盖组件20旋转。治具60之一端系内凹形成夹持空间62，且夹持空间62具有夹持组件64。当使用者以治具60覆盖转子盖子10，且当覆盖组件20置于治具60之夹持空间62之中时，治具60之夹持组件64可固持覆盖组件20之表面，因此藉由顺时针或逆时针旋转治具60即可带动转子盖子10旋转，以将转子盖子10装设至旋转轴102上或者拆卸下转子盖子10。其中，夹持组件64例如为板体、杆体或环体。此外，夹持组件64可例如固定式或可拆卸式设于治具60之夹持空间62中，又或者夹持组件64也可例如可复位式设于治具60之夹持空间62中。举例来说，夹持组件64可例如为藉由弹簧之弹力或夹持组件64自身之弹力而可复位式设于治具60之夹持空间62中，藉以固持覆盖组件20之表面。

其中，覆盖组件20之侧面或顶面可完全为曲面，亦即不具备平面区或凹陷区(见图4)。又或者，覆盖组件20之侧面或顶面之曲面上可进一步具有平面区22(见图5)或凹陷区24(见图6)。当覆盖组件20置于治具60之夹持空间62中时，夹持组件64系用以固持覆盖组件20之平面区22或凹陷区24，藉由转动治具60以带动转子盖子10旋转。其中，夹持组件64例如为板体(见图9)、杆体(见图8)或环体(见图7)。举例而言，夹持组件64可为设于治具60之夹持空间62之内侧表面之板体、杆体或环体，其中板体、杆体或环体之材质例如为橡胶或金属，金属例如为铝、铝合金或不锈钢等。治具60藉由橡胶材质之板体、杆体或环体之紧固力，可迫紧覆盖组件20之侧壁，以便带动转子盖子10旋转。或者，夹持空间62之内侧表面之板体、杆体或环体之形状可例如对应于覆盖组件20之侧壁之曲面上的平面区22或凹陷区24，藉此治具60之夹持组件64可紧贴覆盖组件20之曲面上的平面区22或凹陷区24，以便带动转子盖子10旋转。

综上所述，本发明之用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，不仅可保持封合涡轮分子式真空泵之锁接室，且藉由具有硬度及重量调节组件之连结组件可产生配重效果，以减少转子盖子之覆盖组件之旋转振动现象，以及藉由降低硬度差异，可减少连结组件连接旋转轴时产生磨损现象。

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明之精神与范畴，而对其进行之等效修改或变更，均应包含于后附之申请专利范围中。

Claims (15)

1.一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该涡轮分子式真空泵上方突设有一旋转轴，该旋转轴上套定有一转子，该转子中心下凹有一锁接室，该锁接室中心固接该旋转轴，该转子盖子包含：

一覆盖组件，该覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面；以及

一连结组件，包含：一延伸杆及一硬度及重量调节组件，该延伸杆之一第一端系连接该覆盖组件之底面中心，该延伸杆之该第一端与该覆盖组件之材质为相同，当该覆盖组件覆盖该转子之该锁接室时，该延伸杆之一第二端系于该锁接室中朝向远离该覆盖组件之方向延伸而邻近该旋转轴，该硬度及重量调节组件系可拆卸式螺接于该延伸杆之该第二端与该旋转轴之间，该硬度及重量调节组件之一第一端螺接该旋转轴，该硬度及重量调节组件之该第一端之硬度实质相同于该旋转轴之硬度，该硬度及重量调节组件之一第二端螺接该延伸杆之该第二端，该硬度及重量调节组件之该第二端之硬度实质相同于该延伸杆之硬度，藉以降低该连结组件之该延伸杆与该旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少该覆盖组件之旋转振动现象。

2.如权利要求1所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该延伸杆之该第一端系一体连接该覆盖组件之底面中心。

3.如权利要求1所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该延伸杆之该第一端系螺接该覆盖组件之底面中心。

4.如权利要求2或3所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该延伸杆之该第二端系内凹形成一第二螺孔，该硬度及重量调节组件之该第一端为一第一螺栓，该硬度及重量调节组件之该第二端为一第二螺栓，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓系用以螺接该旋转轴之该第一螺孔，该硬度及重量调节组件之该第二螺栓系用以螺接该延伸杆之该第二螺孔。

5.如权利要求4所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓之直径大于该第二螺栓之直径，且该第一螺栓之直径对应于该旋转轴之该第一螺孔之直径，该第二螺栓之直径对应于该延伸杆之该第二螺孔之直径。

6.如权利要求4所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系介于1：7～7：1之间。

7.如权利要求4所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系为1：7。

8.如权利要求4所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该延伸杆之该第二端以及该硬度及重量调节组件之该第一端之直径实质相同。

9.如权利要求2或3所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，其中该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该硬度及重量调节组件系覆盖于该延伸杆之该第二端以共同形成一第一螺栓，藉以螺接该旋转轴之该第一螺孔。

10.如权利要求1所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，还包括一治具，该治具之一端系内凹形成一夹持空间，且该夹持空间内设有一夹持组件，其中当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之表面，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转。

11.如权利要求10所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该覆盖组件之侧面或顶面为完全曲面，且当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之该完全曲面，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转，其中该夹持组件为板体、杆体或环体。

12.如权利要求10所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该覆盖组件之侧面或顶面具有平面区或凹陷区，且当该覆盖组件置于该治具之该夹持空间之中时，该夹持组件系固持该覆盖组件之该平面区或该凹陷区，藉由转动该治具以带动该转子盖子旋转，其中该夹持组件为板体、杆体或环体。

13.如权利要求1所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该涡轮分子式真空泵运转时，该覆盖组件之顶面及底面之旋转振动变化皆小于一目标值。

14.如权利要求13所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该目标值为15μm。

15.如权利要求1所述的用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，其特征在于，该转子盖子覆盖该转子之该锁接室时，该转子盖子仅以该连结组件之该硬度及重量调节组件之该第一端连接该旋转轴。