JP2006299968A - 異物侵入防止板、回転真空ポンプおよび真空システム - Google Patents
異物侵入防止板、回転真空ポンプおよび真空システム Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 目標とする開口率を達成しつつ、回転真空ポンプへの異物の流入を確実に阻止することができる異物侵入防止板の提供。
【解決手段】 異物侵入防止板30の開口300を扁平な矩形や扁平な六角形とすることにより、目標とする開口率を確保しつつ、Oリング等の異物の流入を防止することができる。開口300が矩形の場合には、目標開口率がα、梁300aの部分の幅寸法がtで、開口300の短辺の寸法bをOリングの直径よりも小さく設定し、開口300の長辺の寸法aを「a>t/{R/α(R+t)−1}」のように設定する。また、開口300が六角形の場合には、開口300の狭い方の幅寸法bに対して、長辺の寸法aを次式のように設定する。a>[αt(b+t)tan(θ/4)+{α(b+t)2−b2}/2tan(θ/2)]/{b−α(b+t)}
【選択図】 図4
【解決手段】 異物侵入防止板30の開口300を扁平な矩形や扁平な六角形とすることにより、目標とする開口率を確保しつつ、Oリング等の異物の流入を防止することができる。開口300が矩形の場合には、目標開口率がα、梁300aの部分の幅寸法がtで、開口300の短辺の寸法bをOリングの直径よりも小さく設定し、開口300の長辺の寸法aを「a>t/{R/α(R+t)−1}」のように設定する。また、開口300が六角形の場合には、開口300の狭い方の幅寸法bに対して、長辺の寸法aを次式のように設定する。a>[αt(b+t)tan(θ/4)+{α(b+t)2−b2}/2tan(θ/2)]/{b−α(b+t)}
【選択図】 図4
Description
本発明は、回転真空ポンプに用いられる異物侵入防止板、およびその異物侵入防止板を備えた回転真空ポンプおよび真空システムに関する。
半導体製造装置にターボ分子ポンプ等の高速回転形の真空ポンプを搭載する場合、半導体ウエハの破片や装置から脱落したボルト等の部品などの異物がポンプ内に侵入するのを防止するために、ポンプの吸気口に保護ネットを配設するのが一般的である(例えば、特許文献1参照)。このような保護ネットには、金網や、多数の正方形や正六角形の開口を形成した金属板などが用いられている。
ところで、ポンプの吸気口にこのような保護ネットを設けると、ポンプの排気速度が低下することが知られており、低下の程度は開口率に依存している。そのため、異物の侵入を防止するために開口寸法を小さくすると、開口率が低下して排気速度も低下してしまい、逆に、開口率を大きくすると異物が通過しやすくなってしまうという欠点があった。
請求項1の発明は、ステータに対してロータを高速回転して気体を排気する回転真空ポンプの吸気口に装着され、回転真空ポンプへの異物の流入を防止する異物侵入防止板であって、扁平形状の開口を複数形成したことを特徴とする。
請求項2の発明では、請求項1に記載の異物侵入防止板において、開口の形状を扁平な矩形とし、目標とする開口率をαおよび開口の周囲を囲む梁部材の幅をtとし、開口の短辺の長さbを異物最小寸法よりも小さく設定したときに、開口の長辺の長さaを次式のように設定するようにした。
a>t/{b/α(b+t)−1}
請求項3の発明では、請求項1に記載の異物侵入防止板において、開口の形状を、互いに平行な一対の辺の長さaを他の辺の長さbよりも長くした扁平な六角形とし、目標とする開口率をαおよび開口の周囲を囲む梁部材の幅をtとし、辺の長さbを異物最小寸法よりも小さく設定したときに、長さaを次式のように設定するようにした。
請求項4の発明に係る回転真空ポンプは、請求項1〜3のいずれか一項に記載の異物侵入防止板を備えたことを特徴とする。
請求項5の発明に係る真空システムは、請求項1〜3のいずれか一項に記載の異物侵入防止板を、回転真空ポンプの吸気口に接続される配管中に備えたことを特徴とする。
請求項2の発明では、請求項1に記載の異物侵入防止板において、開口の形状を扁平な矩形とし、目標とする開口率をαおよび開口の周囲を囲む梁部材の幅をtとし、開口の短辺の長さbを異物最小寸法よりも小さく設定したときに、開口の長辺の長さaを次式のように設定するようにした。
a>t/{b/α(b+t)−1}
請求項3の発明では、請求項1に記載の異物侵入防止板において、開口の形状を、互いに平行な一対の辺の長さaを他の辺の長さbよりも長くした扁平な六角形とし、目標とする開口率をαおよび開口の周囲を囲む梁部材の幅をtとし、辺の長さbを異物最小寸法よりも小さく設定したときに、長さaを次式のように設定するようにした。
請求項5の発明に係る真空システムは、請求項1〜3のいずれか一項に記載の異物侵入防止板を、回転真空ポンプの吸気口に接続される配管中に備えたことを特徴とする。
本発明によれば、目標とする開口率を確保しつつ、回転真空ポンプへの異物の流入を確実に阻止することができる。
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図1は本発明による異物侵入防止板が装着された回転真空ポンプを示したものであり、磁気軸受式ターボ分子ポンプにおけるポンプ本体1の概略構成を示す断面図である。図1に示した磁気軸受式ターボ分子ポンプは5軸制御型磁気軸受を備えており、ベース5には、ラジアル磁気軸受を構成する電磁石51,52とアキシャル磁気軸受を構成する電磁石53とが設けられている。
また、ベース側には、ラジアル方向の変位センサを構成するラジアル変位センサ71,72と、アキシャル方向の変位センサを構成するアキシャル変位センサ73とが設けられている。27,28は非常用のメカニカルベアリングであり、ロータ4が磁気浮上していないときには、ロータ4はこれらのメカニカルベアリング27,28により支持される。その場合、メカニカルベアリング27はロータ4のラジアル方向の運動を拘束し、メカニカルベアリング28はラジアル方向およびアキシャル方向の運動を拘束する。
回転体は、モータロータ3が組み込まれたシャフト2と複数段の回転翼21が形成されたロータ4とから成る。ロータ4は回転体の回転軸を構成するシャフト2に固定されている。一方、モータロータ3に対向するように、ベース側にはモータステータ6が設けられている。
ベース5上には、ロータ4に対するステータである各回転翼21に対して交互に配設される固定翼23が、軸方向(図示上下方向)に複数段設けられている。シャフト2およびロータ4から成る回転体を電磁石51,52,53により非接触支持しつつ回転駆動することによって、ポンプ作用が発生する。ベース5に設けられたレセプタクル25には、ポンプ本体1とそれを駆動制御するコントローラ(不図示)とを接続するケーブルが接続される。
ケーシング20に設けられた吸気口フランジ200には異物侵入防止板30が装着されている。異物侵入防止板30は、ポンプ本体1内に装置側から異物が落下するのを防止するために設けられているものであり、前述したようにシリコンウエハの破片やボルトなどがポンプ内に入るのを防止している。
ところで、ターボ分子ポンプを半導体装置の真空チャンバに装着する場合には、一般的に、ポンプとチャンバとの間にゲートバルブや自動圧力調整(APC)バルブ等の真空バルブが設けられる。バルブの弁体にはシール材としてOリングを用いることが多いが、開閉動作の繰り返しや高温環境での使用によって、Oリングが脱落したり破断したりする場合がある。
例えば、図2の符号Aで示すように、Oリングが破断して長手方向が横向きになるような姿勢で異物侵入防止板30上に落下した場合は、異物侵入防止板30によりOリングのポンプへの流入を防止することができる。しかし、符号Bで示すように、Oリングが垂直に垂れ下がるように脱落した場合、Oリングの断面が円形であるためにOリングが開口300を通過しやすくなり、ポンプ内に侵入する危険性があった。本実施の形態は、開口率の低下を抑えつつ、Oリングの断片の侵入を防止するようにしたものである。
図3は異物侵入防止板30の平面図である。異物侵入防止板30は、例えば、ステンレス板材にエッチング加工を施して多数の開口300を形成したものである。開口300は、異物侵入防止板30の外周領域に設けられたリング部分301の内側全域に形成されている。図3に示す例では、異物を通過させることなく開口率を向上させるために、正六角形を横長の扁平形状に変形したものを開口300の形状としている。
なお、開口300の形状は扁平形状であれば正六角形を扁平形状としたもに限らず、六角形を扁平にしたものや長方形であってもかまわないが、開口率を最も大きく設定できる形状は正六角形を扁平形状としたものである。
次に、開口300の寸法の設定方法について説明する。ここでは、図4に示すような長方形の開口300と六角形を扁平形状としたものについて説明する。図4(a)は開口300が長方形の場合を説明する図であり、開口300の周囲を囲んでいる梁300aの部分の幅寸法をt、開口300の長辺の寸法をa、開口300の短辺の寸法をbとする。開口率を計算する場合、梁300aの中心線により形成される二点鎖線L1で囲まれた矩形領域を考えれば良い。開口率αは式(1)で与えられる。
α=ab/(a+t)(b+t) …(1)
α=ab/(a+t)(b+t) …(1)
式(1)を寸法aについて解くと、式(2)のようになる。ここで、Oリングが異物侵入防止板30を通過しないようにするためには、短い方の幅寸法bをOリングの最小寸法である直径Rよりも小さく設定すれば良い。このように設定されたbの値と目標とする開口率αの値とを式(2)に代入すれば、寸法aが決定される。
a=αt/{b/(b+t)−α}
=t/{b/α(b+t)−1} …(2)
a=αt/{b/(b+t)−α}
=t/{b/α(b+t)−1} …(2)
すなわち、直径RのOリングが異物侵入防止板を通過しないようにしつつ、開口率をαより大きくするためには、幅寸法aを式(3)を満足するような値とすれば良い。
a>t/{R/α(R+t)−1} …(3)
a>t/{R/α(R+t)−1} …(3)
図4(b)は開口300が扁平な六角形の場合を説明する図である。梁300aの幅寸法をt、扁平な六角形状開口300の長辺の寸法をa、開口300の狭い方(図示上下方向)の幅寸法をbとする。開口率を考える場合、梁300aの中心線により形成される二点鎖線L2で囲まれた六角形領域を考えれば良い。開口率αは式(4)で与えられる。
例えば、図4(a)に示す長方形の開口300に設定した場合と、従来のような正方形の保護ネットの場合について比較する。ここでは、t=0.3mmとし、通過を阻止すべきOリングの径寸法を3.53mmとする。また、目標とする開口率αを0.8879とする。短辺寸法bをOリングの径寸法と同じ3.53mmとすると、式(2)からa≒7.9mmが得られる。
一方、開口が正方形である保護ネットの場合、開口率αは次式(6)で得られるので、t=0.3mm、a=3.53mmとすると、α≒0.85となり、0.8879よりも小さくなってしまう。仮にα=0.8879とすると、a≒4.9mmとなり径寸法=3.53mmのOリング断片が容易に通過してしまう。
α=a2/(a+t)2 …(6)
α=a2/(a+t)2 …(6)
また、開口300を扁平な正六角形とした場合(θ=120度)、t=0.3mm、b=3.53mm、α=0.8879とすると、a≒7.1mmとなる。すなわち、扁平な矩形よりも長手方向の寸法を小さくすることができる。長手方向の寸法を上述した矩形の場合と同じa=7.9mmとした場合には、開口率はα≒0.90となって扁平矩形の場合よりも大きくなる。
上述した実施の形態では、ターボ分子ポンプを例に説明したが、本発明の異物侵入防止板はターボ分子ポンプに限らずドラッグポンプ等の高速回転真空ポンプにも適用することができる。また、上述した例では、異物侵入防止板30をターボ分子ポンプの吸気口フランジ200に装着して用いたが、装置とターボ分子ポンプとの間に配管が設けられる場合には、その配管に固定して使用することも可能である。
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、固定翼23はステータを、梁300aは梁部材をそれぞれ構成する。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
1 ポンプ本体
4 ロータ
21 回転翼
23 固定翼
30 異物侵入防止板
300 開口
300a 梁
4 ロータ
21 回転翼
23 固定翼
30 異物侵入防止板
300 開口
300a 梁
Claims (5)
- ステータに対してロータを高速回転して気体を排気する回転真空ポンプの吸気口に装着され、前記回転真空ポンプへの異物の流入を防止する異物侵入防止板であって、
扁平形状の開口を複数形成したことを特徴とする異物侵入防止板。 - 請求項1に記載の異物侵入防止板において、
前記開口の形状を扁平な矩形とし、目標とする開口率をαおよび前記開口の周囲を囲む梁部材の幅をtとし、前記開口の短辺の長さbを異物最小寸法よりも小さく設定したときに、前記開口の長辺の長さaを次式のように設定したことを特徴とする異物侵入防止板。
a>t/{b/α(b+t)−1} - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の異物侵入防止板を備えたことを特徴とする回転真空ポンプ。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の異物侵入防止板を、回転真空ポンプの吸気口に接続される配管中に備えたことを特徴とする真空システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005123807A JP2006299968A (ja) | 2005-04-21 | 2005-04-21 | 異物侵入防止板、回転真空ポンプおよび真空システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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- 2005-04-21 JP JP2005123807A patent/JP2006299968A/ja active Pending
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