JP2006144783A - 高速回転ロータを有する真空ポンプのフランジと結合可能な破損防止装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、真空ポンプがそれにより外部空間から磁気減結合される、真空ポンプにより使用される破損防止装置に関するものである。真空ポンプの吸込フランジ開口を覆う破損防止装置の構造部分を、高い相対透磁率係数μrを有する材料から製作することが提案される。
【選択図】図1
Description
本発明による破損防止装置は、材料の選択により、ポンプを異物から保護するのみならず、同時に、ポンプを、吸込開口を通って流入する磁界から遮蔽するように働き、他方で、例えば磁気軸受により発生されることがある漂遊磁界のポンプからの流出を阻止する。これにより、真空ポンプの高速回転ロータをポンプ・ハウジングと共に周囲の磁界から遮蔽し、且つロータ内における渦電流の形成を十分に抑制することが可能となる。当該手段により、存在するポンプを遮蔽すること、即ち、その製作後においても高磁界を有する設置位置へ適合させることもまた可能となる。本発明による破損防止装置により、さらに、磁気軸受により発生される漂遊磁界のポンプからの流出を阻止することが可能である。真空ポンプの吸込開口を覆うために僅かな量の材料が必要であるにすぎないので、この方法は、特にロータの全てを特殊材料から製作することに比較してコスト的に有利である。
有利な設計においては、構造部分4は25000より大きい相対透磁率係数μrを有する材料から製作されている。この高い透磁率係数は、構造部分4をより小さい軸方向厚さで製作し、これにより排出されるべきガスに対する流動抵抗を低く保持することを可能にする。
有利な設計においては、破損防止装置1を真空ポンプ2と結合したときに接触する表面7、8および16は特定の一定摩擦係数を有している。したがって、反復された組立および分解後においても、破損防止装置1と真空ポンプ2との確実な結合を保証することが可能である。さらに、表面7、8および16に、特定の一定摩擦係数を有するコーティングが設けられていてもよい。
2 真空ポンプ
3 ロータ
4 構造部分(網状構造部分)
5 吸込フランジ
6 心出しリング
7、8、16 表面
9 外側リング
10、11 羽根
12 エラストマー・リング
15 真空室フランジ
17 磁石
18 クランプねじ
20 良導電性材料層
Claims (11)
- 真空ポンプ(2)の吸込フランジ(5)開口を覆う少なくとも1つの構造部分(4)を含む、高速回転ロータ(3)を有する真空ポンプ(2)の吸込フランジ(5)と結合可能な破損防止装置(1)において、
少なくとも1つの構造部分(4)が、1000より大きい相対透磁率係数μrを有する材料から製作されていることを特徴とする高速回転ロータを有する真空ポンプの吸込フランジと結合可能な破損防止装置。 - それが心出しリング(6)を有することを特徴とする請求項1の破損防止装置。
- 構造部分(4)が、10000より大きい相対透磁率係数μrを有する材料から製作されていることを特徴とする請求項1の破損防止装置。
- 構造部分(4)が、25000より大きい相対透磁率係数μrを有する材料から製作されていることを特徴とする請求項1の破損防止装置。
- 材料が、少なくとも70%組成のニッケルおよび少なくとも10%組成の鉄を含有する合金であることを特徴とする請求項1の破損防止装置。
- 材料がMu−Metallであることを特徴とする請求項4の破損防止装置。
- 開口を覆う構造部分(4)が、良導電性材料からなる層(20)を有することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかの破損防止装置。
- 表面(7、8、16)が特定の一定摩擦係数を有することを特徴とする請求項1ないし7のいずれかの破損防止装置。
- 表面(7、8、16)に、特定の一定摩擦係数を有するコーティングが設けられていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかの破損防止装置。
- 真空ポンプが分子ポンプであることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかの破損防止装置。
- 分子ポンプがターボ分子真空ポンプであることを特徴とする請求項10の破損防止装置。
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