JP2020012467A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の課題は、真空ポンプにおいて、その機能性と、環境の無害性を、特に強い電場、及び／又は磁場の影響の基でも保証することである。【解決手段】この課題は、真空ポンプ（１１１）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのハウジング部分と少なくとも一つのシールド手段を有し、その際、シールド手段が、ポンプ（１１１）の外部に対してポンプ（１１１）の内部の電磁的シールドの為にハウジング部分に形成されていることを特徴とする真空ポンプ（１１１）によって解決される。【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関する。

真空ポンプは様々な作動条件で使用される。これら条件のうちの一つは、例えば、強力な交流磁場を含むことが可能である。これら磁場は、真空ポンプの電子的制御にネガティブに影響し、そしてポンプを通って周囲に至ることも可能である。これは例えば、質量スペクトルメーターにおける、又は他の真空容器における真空ポンプの使用の際に問題になり得る。これは、これに関して比較的厳しい規則、又はガイドラインが存在し、そして比較的低い境界値が守られなければならない環境において、特にそうである。

本発明の課題は、冒頭に記載した形式の真空ポンプにおいて、その機能性と、環境の無害性を、特に強い電場、及び／又は磁場の影響の基でも保証することである。

この課題は、請求項１に記載の真空ポンプによって、特に、少なくとも一つのシールド手段が設けられていることによって解決される。その際、シールド手段は、ポンプ内部をポンプ外部に対して電磁的にシールドするためにハウジング部分に形成されている。

これによって、真空ポンプの外に発生する電場、及び／又は磁場が、真空ポンプの作動を阻害することが無く、そして周囲に無害であり得ることが保証される。更に、真空ポンプの場合によっては内部に発生する可能性がある電場、及び／又は磁場も、効率的にシールドされるので、ポンプの外部の電子的機能要素がこれら場によってその機能において阻害を受けることが無い。

一つの実施形においては、シールド手段は、金属製の材料を含む。これによってシールド性が効率的に改善されることが可能である。別の実施形においては、シールド手段は、銅、及び／又はベリリウムを含む。これらはその電気的伝導性に基づいて特に良好なシールド特性を有する。

別の発展形においては、ハウジング部分は、真空ポンプの第一のハウジング部分を第二のハウジング部分、又は真空ポンプのための接続コンポーネントと接続するためのインターフェースを有する第一のハウジング部分である。その際、シールド手段はインターフェースに設けられている。接続コンポーネントは、例えば真空ポンプの真空容器を形成する、又は含むことが可能である。

シールド手段は、例えば第一の接続部分のみに形成されることが可能であり、又は第一のハウジング部分と一体に形成されていることが可能である。

シールド手段は、ＥＭＶシールを含みうる。これによって、大きな電気的接触面が実現され、それによって特に良好なシールド（シールド性）が実現されることが可能である。シールド手段は、代替的に、又は追加的に薄板要素として、特に銅を含んで形成されていることが可能である。材料オーバーラップ部が上述したインターフェースに設けられていることも可能である。好ましくは、インターフェースは、隙間勘め、特に移行嵌め（中間嵌め、独語：Ｕｅｂｅｒｇａｎｇｓｐａｓｓｕｎｇ）、又はしまり嵌めを設けられていることができない、つまり本発明によってそのような隙間嵌め（独語：Ｓｐｉｅｌｐａｓｓｕｎｇ）、中間ばめ、しまり嵌め（独語：Ｕｅｂｅｒｍａｓｓｐａｓｓｕｎｇ）は、意図して回避される、又は減少されることが可能である。これによってシールド作用がさらに改善される。

代替として、又は追加として、シールド手段が、シールドのためのコーティング、特に金属のコーティングを有することが可能である。シールド手段は、例えばシールドテープ、特に、接着テープ、及び／又はシールドフィルム、例えばポンプを基本的に完全に取り囲む袋を含み得る。

インターフェースは、表面構造化部を有し得る。特に第一のハウジング部分の表面は、表面構造化部を有し得る。これは、第二のハウジング部分、又は接続コンポーネントの表面と係合（介入）するために形成されている。

別の実施形においては、シールド手段は、伝導性のペースト、及び／又は伝導性のエラストマーを含む。これは、好ましくは金属粉を有している。特に、Ｏリング、又は他の長く延伸されたシール要素、例えばシールテープの形式のものが、金属粉を有する基本的に任意の材料からシールド手段として設けられていることが可能である。一般的に、シールド手段は、プラスチック（樹脂）を含み得るし、及び／又は特に容易に変形可能であることが可能である。

発展形においては、シールド手段はグリッドとしてインレットフランジに形成されている。これによって、ポンプの内部が、接続される真空容器（この中に例えば強い磁場が引き起こされる）の内部に対してシールドされることが可能である。代替として、又は追加的にシールド手段はグリッドとしてアウトレットフランジに形成されていることが可能である。グリッドを通して、ポンプの内部が、インレット開口部、およびアウトレット開口部のような真空技術的に必要な開口部（これらは比較的大きい可能性があある）においても、外部の電磁的影響に対して効率的にシールドされることが可能である。

別の実施形は、シールド手段が、ハウジング部分とのシールド手段の電気的接触を行うための、少なくとも一つの接触要素を有する点において際立っている。接触要素は、例えば復元可能に形成されていることが可能である。特にシールド手段は、接触要素によって、又は複数（多数）の接触要素によってハウジグ部分に保持されていることが可能である。よって特に、シールド手段を固定するための追加的な固定手段は必要ない。好ましくは、シールド手段は、少なくとも一つの接触要素によって及ぼされる復元力によって、特にインレットフランジ、又はアウトレットフランジの内面に保持されていることが可能である。

別の実施形においては、異なって形成された少なくとも二つの接触要素が設けられている。例えば、接触要素の一方がシールド手段の保持のため、そして他方が、ハウジング部分とのシールド手段の電気的接触のみの為に形成されていることが可能である。基本的に接触要素は例えば、保持機能と接触機能か、単に接触機能のみを有し得る。

異なる接触要素が、異なる方向に延び、特に４５度を超える角度を形成し、又は少なくとも基本的に互いに直角に延びることが有利に意図されていることが可能である。

代替として、又は追加的に、一つの接触要素が、４５度を超える角度で、又は少なくとも基本的に直角にシールド手段の主面に対して延びることが可能である。

一つの発展形に従い、シールド手段は、複数の側面を有し、そして各側面には、少なくとも二つの接触要素、特に複数の接触要素が設けられている。これによって、接触要素によって形成される複数、特に多数の接触点が、作動中、シールド手段とハウジング手段の間に存在することが保証されることが可能である。これによってシールド（シールド性）がさらに改善される。シールド手段には、例えば四つを越える、特に八つを越える接触要素が設けられていることが可能である。これらは特にシールド手段をハウジング部分にも保持する。

シールド手段は、代替として、又は追加的に、ハウジング部分の空所部内に形成されており、及び／又は基本的に平らな態様であることが可能である。シールド手段は、スペース節約的にハウジング領域に取り付けられる、及び／又は固定されることが可能である。

発展形においては、シールド手段はシールド領域と接触領域を有し、その際接触領域は、複数の接触要素を有する。これら接触要素は、互いに間隔をあけており、そしてハウジング部分とのシールド手段の接触の為、シールド領域から突き出している。シールド領域は、これによってそのシールド機能に関して最適化されることが可能である。

シールド要素は、シールド要素が一部材式に形成されているとき、特に簡単に製造及び組付けられることが可能である。例えば、シールド手段は、エッチング、パンチング、及び／又はレーザー切断によって製造されていることが可能である。特にシールド手段は、曲げ部材であることも可能である。よって特に簡単かつ安価なシールド手段の製造が実現されることが可能である。

本発明の別の実施形は、請求項、明細書、および図面に見て取ることができる。

以下に本発明を、有利な実施形に基づき添付の図面を参照しつつ説明する。

先行技術のターボ分子ポンプの斜視図 図１のターボ分子ポンプの下側の図 図２に示された線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図 発明に従う真空ポンプの斜視詳細図 図６の一部の拡大図

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていない真空容器が接続されることが可能である。真空容器からのガスは、ポンプインレット１１５を介して真空容器から吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプ）が接続されていることが可能である。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的、及び／又は電子的コンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３には設けられている。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フローインレット１３３が、特にフローバルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は溢出を受けることが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（洗浄ガス接続部とも称される）が設けられている。これを介して、洗浄ガスが、電動モーター１５（図３参照）をポンプによって搬送されるガスに対して保護するため、モーター室１３７内に取り込まれることが可能である。モーター室内には、真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が収容されることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。

真空ポンプの下側面は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して作動させられることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介して真空容器に固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動させられることが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動させられることが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下に向かってではなく、当該面に向けられて、又は上に向けられて配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。

図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のスクリュー１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの部材が互いに固定されている。例えば、支承部カバー１４５が下側面１４５に固定されている。

下側面１４１には、更に、固定穴１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。

図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環していることが可能である。

図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。

ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。このローターは、回転軸１５１を中心として回転可能なローター軸１５３を有している。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローター軸１５３に固定された複数の半径方向のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステーターディスク１５７を有している。その際、一つのローターディスク１５５とこれに隣接する一つのステーターディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側は、ローターシャフト１５３に設けられるローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。

ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータースリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、ホルベックステータースリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられれていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続される複数のホルベックポンプ段が互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。

ホルベックステータースリーブ１６３、１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１の作動のためのガスをホルベック溝内へと駆り立てる。

ローター軸１５３の回転可能な支承のため、ポンプインレット１１７の領域にローラー支承部１８１、およびポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。

ローラー支承部１８１の領域には、ローター軸１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクは、ローラー支承部１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤を染み込ませてある。

真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。ローラー支承部１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、支承部カバー１４５に囲まれている。

永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１と、ステーター側の支承半部１９３を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５、１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承部間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に設けられている。支承部間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間の磁気的反発力を引き起こす。これは、ローター軸１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローター軸１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。これは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に一つの方向で、キャリア部分２０３と接続される固定リング２０９によって、およびキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、さらばね２１３が設けられていることが可能である。

磁石支承部の内部には、緊急用または安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成するためである。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承部２１５は、潤滑されないローラー支承部として形成されており、そして、ローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全用支承部が作用するに至る半径方向の間隙は、十分大きく寸法取られているので、安全用支承部２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。

真空ポンプ１１１は、ローター１４９を回転駆動するための電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。そのローター軸１５３はモーターステーター２１７を通って延びている。ローター軸１５３の、モーターステーター２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、または埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。ローター１４９の、モーターステーター２１７を通って延びる部分と、モーターステーター２１７との間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介して、モーターステーター２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、磁気的に影響することが可能である。

モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５のために設けられるモーター室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（洗浄ガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モーター１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される読真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。

モーター室１３７を画成する壁部２２１とローターハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモーター室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。

上述した真空ポンプの全ての特徴は、後述する発明にかかる真空ポンプにおいても意図されていることが可能である。つまり発明に係る真空ポンプは、基本的に、上述した真空ポンプの特徴の各コンビネーションを有することが可能である。

図６には、発明に係る真空ポンプ１０が示されている。これは、ハウジング部分を有している。この真空ポンプは、いわゆるスプリットフローターボ分子ポンプとして形成されている。真空ポンプ１０は、二つのインレット１６を有するインレットフランジ１２を有する。両インレット１６は、フランジ１２を介して真空容器（例えば質量スペクトル測定装置の形式のもの）の異なる空間と接続されることが可能である。インレットフランジ１２は、真空ポンプ１０のハウジング部分をこの真空容器と接続するため、又は代替として二つの真空容器と接続するためのインターフェースを形成する。

両インレット１６内には、グリッド２０として形成される各一つのシールド手段が設けられている。各グリッド２０は、平らな態様で、ポンプ１０の内部を真空容器の内部に対してシールドする。

図７には、図６の右側のグリッド２０が拡大して表わされている。グリッド２０は、グリッド構造２６を有している。グリッド構造は、ハニカム構造として形成されている。しかしまた、他のグリッド構造、例えば矩形構造もまた意図されていることが可能である。グリッド構造２６は、縁部２８によって取り囲まれている。この縁部から、複数の接触要素２２および２４が延びている。接触要素２２および２４は、其々、グリッド２０がインレットフランジ１２の内壁１４と接触する電気的な接触部を形成している。

グリッド２０は、シールド領域と、接触領域を有している。その際、接触領域は、グリッド２０においてその縁部領域によって形成されているが、この接触領域には接触要素２２および２４が設けられている。接触要素２２および２４は、互いに間隔をあけており、そしてグリッド２０をハウジング部分と接触させるためシールド領域から突き出している。グリッド２０は、一部部材式に形成されている。様々な形式の接触要素が設けられている。つまり一式の接触要素２２と一式の接触要素２４である。

各接触要素２２は、比較的大きく、かつ舌状、またはタン状に形成されているが、これは接触のみならず、グリッド２０をインレット２０の中に保持するのにも使用される。接触要素２２は、舌部として、又はタン部として形成されている。これは、縁部２８からグリッド２０の主面に対して基本的に垂直に延びている。接触要素２２は、列状に配置されている。その際、一列の接触要素２２は、互いに平行に延び、そして列にわたって互いに一定の間隔を有していいる。

グリッド２０は、金属材料から形成されており、各接触要素２２は、図７に表わされる向きに曲げられる。接触要素２２は、内壁１４の方向の復元力が及ぼされ、それによってグリッドが、一つにはこの内壁１４と電気的に接触し、そして他方ではこの内壁１４に摩擦係合的に保持するように形成されている。グリッド２０をインレット１６内で保持するために、全ての接触要素２２が共に、十分高い保持力を発揮する。接触要素２２は、互いに独立してグリッド２０の主面に対して相対的に偏向可能であるので、グリッド２０は、インレット１６を形成する開口部の寸法に関して、又はこの開口部を画成する内部壁１４（この内部壁と接触要素２２は相互作用する）の延びに関して、場合によっては存在する公差に適合することが可能である。

各接触要素２４は、比較的小さいが、同様に復元可能に形成されており、詳しく言うと舌部として、またはタン部として形成されており、これは、縁部２８からグリッド２０の主面に対して基本的に並行に、かつ内部壁１４に対して垂直に延びている。これら接触要素２４は、インレットフランジ１６、又はグリッド２０の各角部領域においてのみ設けられており、その際、内部壁１４は、各角部領域において半径を有している。グリッド２０は、各角部領域において凹んでおり、その際、接触要素２４は起立して形成されている。角部領域の接触要素２４は、よって基本的に一つの平面内に延びており、しかし互いに並行ではなく、好ましくは半径中心点において公差する各方向に延びている。

接触領域２４は、（図７において上から）グリッド２０を挿入する際、内部壁１４によってグリッド２０の主面に対して上に向かって曲げられ、そしてこれによって生じる内部壁１４への復元力が接触を保証するような長さで寸法決めされている。

この発明に係るポンプは、例えば冒頭に記載したような別のシールド手段を設けられていることが可能である。

１０ 真空ポンプ
１２ インレットフランジ
１４ 内壁
１６ インレット
２０ グリッド
２２ 接触要素
２４ 接触要素
２６ グリッド構造
２８ 縁部
１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モーター
１２７ アクセサリー接続部
１２９ データインターフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ フローインレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モーター室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 支承部カバー
１４７ 固定穴
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ローター
１５１ 回転軸
１５３ ローターシャフト
１５５ ローターディスク
１５７ ステーターディスク
１５９ スペーサーリング
１６１ ローターハブ
１６３ ホルベックロータースリーブ
１６５ ホルベックロータースリーブ
１６７ ホルベックステータースリーブ
１６９ ホルベックステータースリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ ローラー支承部
１８３ 永久磁石支承部
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ローター側の支承半部
１９３ ステーター側の支承半部
１９５ リングマグネット
１９７ リングマグネット
１９９ 支承部間隙
２０１ 担持部分
２０３ 担持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ さらばね
２１５ 緊急用または安全用支承部
２１７ モーターステーター
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール

Claims (15)

1. 真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのハウジング部分と少なくとも一つのシールド手段（２０）を有し、その際、シールド手段（２０）が、ポンプ（１０）の外部に対してポンプ（１０）の内部の電磁的シールドの為にハウジング部分に形成されていることを特徴とする真空ポンプ（１０）。
2. シールド手段（２０）が、金属材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ（１０）。
3. シールド手段（２０）が、銅、および／またはベリリウムを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ（１０）。
4. ハウジング部分が、第一のハウジング部分であり、そして、第一のハウジング部分を真空ポンプの第二のハウジング部分に接続するための、又は真空ポンプ（１０）の接続要素と接続するための少なくとも一つのインターフェースを有し、その際シールド手段（２０）がインターフェースに設けられていることを特徴とする請求項１から３の一項に記載の真空ポンプ。
5. シールド手段がグリッド（２０）としてインレットフランジ（１２）に、及び／又はアウトレットフランジに形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
6. シールド手段（２０）が、ハウジング部分とシールド手段（２０）の電気的接触のための少なくとも一つの接触要素（２２，２４）を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
7. 接触要素（２２，２４）が、復元可能に形成されていることとする請求項６に記載の真空ポンプ（１０）。
8. シールド手段（２０）が、一つの接触要素によって、又は複数の接触要素（２２）によってハウジング部分に保持されていることを特徴とする請求項６または７に記載の真空ポンプ（１０）。
9. 異なって形成された少なくとも二つの接触要素（２２，２４）が設けられていることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
10. 異なる接触要素（２２，２４）が、異なる方向に延び、特に４５度を超える角度を形成し、又は少なくとも基本的に互いに直角に延びることを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ（１０）。
11. 少なくとも一つの接触要素（２２）が、シールド手段（２０）の主面に対して４５度を超える角度で、又は少なくとも基本的に直角に延びることを特徴とする請求項６から１０の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
12. シールド手段（２０）が、ハウジング手段の空所部内に配置されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
13. シールド手段（２０）が基本的に平坦な態様であることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
14. シールド手段（２０）が、シールド領域と接触領域を有し、これが複数の接触要素（２２，２４）を有し、これらが互いに間隔をあけ、およびハウジング部分とシールド手段（２０）の接触のためにハウジング領域から突き出していることを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
15. シールド手段（２０）が一部部材式に形成されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。