JP2005291040A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ベース25の下側部分には駆動制御ユニット収納スペース250を形成し、その駆動制御ユニット収納スペース250に駆動制御ユニット回路251が収納された駆動制御ユニットシャーシ252を配設する。駆動制御ユニットシャーシ252は電磁ノイズ遮断用のケースであり、周囲のベース25に対して電気に絶縁されている。磁気軸受系と駆動制御ユニット回路251との間の電源ラインおよび信号ライン、および、モータ系と駆動制御ユニット回路251との間の電源ラインおよび信号ラインには、それぞれノイズフィルタ258が設けられている。駆動制御ユニット回路251の入力ラインには、ラインフィルタ256が設けられている。
【選択図】 図1
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースを、ポンプユニットの金属製ベース部材の一部で形成したものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、第1および第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースの一方を電圧性ノイズ遮蔽ケースとし、他方を電流性ノイズ遮蔽ケースとしたものである。
図5は、図1に示したターボ分子ポンプ1の変形例を示したものである。駆動制御ユニットシャーシ252およびラインフィルタ256は、電磁ノイズ遮断用の外部シャーシ260内に収納されている。外部シャーシ260は、ターボ分子ポンプ1のベース25の底面にボルト261を用いて固定されている。駆動制御ユニットシャーシ252は電気絶縁性の支持部材262によって外部シャーシ260に固定されている。
4 ロータ
5,312 磁気軸受系
25 ベース
51〜53 電磁石
250 駆動制御ユニット収納スペース
251 駆動制御ユニット回路
252 駆動制御ユニットシャーシ
254,255 コネクタ
256 ラインフィルタ
258 ノイズフィルタ
260 外部シャーシ
301 AC/DCコンバータ
302 インバータ/モータドライバ
303 磁気軸受ドライバ
Claims (3)
- 真空排気を行うポンプユニットと、前記ポンプユニットの駆動および制御を行う駆動制御ユニットとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記駆動制御ユニットが収納される第1の電磁ノイズ遮蔽用ケースと、
前記第1の電磁ノイズ遮蔽用ケースが電気的絶縁状態で収納され、前記ポンプユニットに固定される第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースと、
前記第1の電磁ノイズ遮蔽用ケースと前記第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースとの間に配設され、前記駆動制御ユニットの入力ライン中に設けられるノイズ遮断用ラインフィルタと、
前記第1の電磁ノイズ遮蔽用ケースと前記ポンプユニットとの間に配設され、前記駆動制御ユニットと前記ポンプユニットとの間の駆動制御ライン中に設けられるノイズフィルタとを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースを、前記ポンプユニットの金属製ベース部材の一部で形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第1および第2の電磁ノイズ遮蔽用ケースの一方を電圧性ノイズ遮蔽ケースとし、他方を電流性ノイズ遮蔽ケースとしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004105076A JP4211658B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004105076A JP4211658B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005291040A true JP2005291040A (ja) | 2005-10-20 |
JP4211658B2 JP4211658B2 (ja) | 2009-01-21 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004105076A Expired - Fee Related JP4211658B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4211658B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007278278A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 駆動装置を有する真空ポンプ |
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EP3561306A1 (de) * | 2018-07-20 | 2019-10-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
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2004
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US8961105B2 (en) | 2010-07-07 | 2015-02-24 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
JP2016118200A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
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JP4211658B2 (ja) | 2009-01-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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