CN104047871A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明是有关一种真空泵，防止静叶部与动叶部接触。构成静叶部(70)的分割静叶部(70A)、分割静叶部(70B)包括多个沿圆周方向排列的定子叶片(71)。定子叶片(71)形成为内周侧的叶片高度(hi)小于外周侧的叶片高度(ho)。在定子叶片(71)形成着外周缘(73a)，该外周缘(73a)是向内周侧朝向进气口(15)侧浮升的方向被弯折。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种具有排气部的真空泵(pump)，该排气部包含动叶部与静叶部。

背景技术

涡轮分子泵(turbo-molecular pump)等真空泵是在包含外壳(casing)部件及基底(base)部件的泵容器内，使具有多段地排列的动叶部的转子(rotor)高速旋转，通过动叶部与排列在动叶部的各段之间的静叶部将气体分子从进气口侧输送到排气埠(exhaust port)侧。

各段动叶部具有转子叶片(rotor blade)，各段静叶部具有定子叶片(stator blade)。各静叶部通过配设在静叶部的外周侧的间隔件(spacer)而呈规定的间隔被支撑。静叶部是组合一对半截的环(ring)状部件而形成为一个轮状。也就是说，使半截的环状部件在直径方向上将两个侧端面相互对接而形成一个轮状。转子叶片及定子叶片是相对于转子的旋转面倾斜地形成，且转子叶片与定子叶片是以规定尺寸的间隙而设置(set)。

作为制作静叶部的方法，有通过机械加工而形成的方法及通过塑性加工而形成的方法，通过塑性加工来制作静叶部的方法在成本(cost)方面较为有利。

在通过塑性加工制作静叶部的方法中，以如下方式进行制作：对金属板进行压制(press)加工，把作为内周侧缘部的内周边缘(rim)与作为外周侧缘部的外周边缘连结以规定的倾斜角度沿着圆周方向排列的多个定子叶片来进行制作(例如，参照专利文献1)。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2008-144694号公报

因加工时的不均会导致由间隔件支撑的静叶部中，内周边缘侧相对于外周边缘侧沿转子的轴向(axial)移位。因该移位而导致产生静叶部与动叶部接触的可能性。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的真空泵存在的缺陷，而提供一种新的真空泵，所要解决的技术问题是使其防止静叶部与动叶部接触，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明的优选实施方式提出的真空泵包括：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在动叶部之间，外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在多个静叶部中的至少一个静叶部中，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度，且该静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的方式由间隔件支撑。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

优选为，前述的真空泵，其中所述的静叶部包含内周边缘与外周边缘，定子叶片设置在内周边缘与外周边缘之间，将外周边缘的外周缘从外周边缘向定子叶片的上表面方向以规定的倾斜角度弯折，由此，内周边缘向进气口侧浮升，就降低生产成本的观点来说，所述情况较为优选。

优选为，前述的真空泵，其中在将所述的定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，内周边缘的前端相对于外周缘的浮升高度s满足(ho-hi)>s的关系。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明真空泵至少具有下述优点及有益效果：根据本发明，静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的状态受到支撑。设置在静叶部的定子叶片的外周侧的叶片高度大于内周侧的叶片高度，在定子叶片的内周侧，与作为进气口侧的上段侧的动叶部的间隙大于与下段侧的动叶部的间隙。定子叶片的内周侧以向间隙大的上段侧的动叶部侧移位的状态受到支撑，因此可确实地防止静叶部与动叶部接触。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是作为本发明的真空泵的实施方式的涡轮分子泵的剖视图。

图2是图1中的区域II的放大图。

图3是静叶部的俯视图。

图4是图3中的IV-IV线剖视图。

图5(a)是图3中的区域V的放大立体图，图5(b)是从内周侧方向所视的定子叶片的图，图5(c)是从外周侧方向所视的定子叶片的图。

图6是用来说明静叶部的制造方法的半圆状平板(plate)的俯视图。

图7是用来说明继图6之后的步骤的半圆状平板的俯视图。

图8是图7中的区域VIII的放大图。

图9(a)是冲头(punch)的俯视图，图9(b)是冲头的立体图。

图10(a)是模头(die)的俯视图，图10(b)是模头的立体图。

图11(a)、11(b)是用来说明使用冲头PU及模头DI，通过拉拔加工制作定子叶片的方法的图式，其中图11(a)是沿图3中的XIa-XIa线切断所得的拉拔加工时的剖视图，图11(b)是沿图3中的XIb-XIb线切断所得的拉拔加工时的剖视图。

图12是本发明的静叶部主要部分的实施方式2的放大立体图。

图13是本发明的静叶部主要部分的实施方式3的放大立体图。

【主要元件符号说明】

1：涡轮分子泵                4：转子

4A：转子上部                 4B：转子下部圆筒部

5：转子轴(rotor shaft)       6：动叶部

8：间隔件                    9：螺旋定子(screw stator)

9a：螺纹槽(thread groove)部  11：泵容器

12：外壳部件                 13：基底

13a、21：上部法兰(flange)    13a1：突出部

14：中央筒部                 15：进气口

16：排气埠                   16a：排气口

21a：内部上壁部              22：贯通孔

23：下部法兰                 31：径向(radial)磁轴承

32：推力(thrust)磁轴承       33a、33b：径向位移传感器(sensor)

33c：轴向位移传感器          34、36：机械轴承(mechanical bearing)

35：电动机(motor)            38：转子轮盘(rotor disk)

42：密封(seal)部件           70：静叶部

70A、70B：分割静叶部         70H：静叶部主体

70P：半圆状平板              70R：弯折部

71：定子叶片                 71Si：内周侧端部

71So：外周侧端部             72：内周边缘

73：外周边缘                 73a：外周缘

74：外周面                   75：内周侧支撑部

76、76A：外周侧支撑部        76a：区域

77：前端侧部                 78：排气开口

79、82：开口                81：切入线

91、92、93、94：螺钉(bolt)  d、di、do：间隙

DI：模头                    DI1、DI2、PU1、PU2：倾斜部

DI3：模头主体部             DI3a、PU3a：倾斜面

DI3b、PU3b：对接端部        hi、ho：叶片高度

K：切口                     lo、L：长度

PU：冲头                    PU3：冲头主体部

s：浮升高度

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的真空泵其具体实施方式、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

-实施方式1-

以下，参照图式，将涡轮分子泵作为实施方式对本发明的真空泵进行说明。

(真空泵整体构成)

图1是涡轮分子泵1的剖视图，图2是图1中的区域II的放大图。

涡轮分子泵1包括泵容器11，该泵容器11由外壳部件12及固定在外壳部件12的基底13形成。

外壳部件12具有大致圆筒形状，例如可由不锈钢(Steel UseStainless，SUS)形成，在上端部形成着上部法兰21。在外壳部件12的上部法兰21的内侧形成着圆形的进气口15。在上部法兰21，沿着圆周方向大致等间隔形成着供螺钉92插通用的贯通孔22。涡轮分子泵1是将螺钉92插通到上部法兰21的贯通孔22中而安装在半导体制造装置等外部装置。

在泵容器11内，收容着转子4及与转子4的轴芯同轴地安装的转子轴5。转子4与转子轴5通过螺钉91被固定。

转子4包括转子上部4A、及接合在转子上部4A的下表面的转子下部圆筒部4B。转子上部4A以由铝(aluminum)合金形成为例。在转子上部4A，形成为放射状且沿圆周方向排列的多个动叶部6，所述多个动叶部6在转子4的轴向上是呈相间隔地多段排列。动叶部6是相对于动叶部6的旋转面以规定的倾斜角度形成。在动叶部6的各段之间配置着静叶部70。

关于详情将在下文中叙述，静叶部70是将一对具有多个沿着圆周方向排列的定子叶片71(参照图5(a)、图5(b)、图5(c))的半截环状部件组合而形成为一个轮状。各静叶部70由沿着外壳部件12的内周面配置的环形的间隔件8夹持，且呈多段(在图示的例子中为7段)积层。最上段的间隔件8的上表面抵接在外壳部件12的上部法兰21的内面侧的内部上壁部21a，最下段的间隔件8的下表面抵接在设置在基底13的上部法兰13a的上表面的突出部13a1。因此，各静叶部70是在外壳部件12的内部上壁部21a与基底13的上部法兰13a的上表面之间，经由间隔件8被赋予旋转轴方向的力而受到支撑。以此方式，将动叶部6与静叶部70交替地呈多段积层而构成高真空用的叶片排气部。

在转子下部圆筒部4B的外周侧，环状的螺旋定子9通过螺钉94被固定在基底13。在螺旋定子9上形成着螺纹槽部9a。由转子4的转子下部圆筒部4B与螺旋定子9构成低真空用的螺纹槽排气部。

此外，在图1中，例示了螺纹槽部9a形成在螺旋定子9的构造，但也可以将螺纹槽部9a形成在转子下部圆筒部4B的外周面。

基底13以由铝合金形成为例，在基底13的中央部形成着中央筒部14，该中央筒部14形成着供转子轴5插通的圆柱形的中空部。在中央筒部14的内侧安装着电动机35、径向磁轴承31(两处)、推力磁轴承32(上下一对)、径向位移传感器33a、径向位移传感器33b与轴向位移传感器33c、机械轴承34、机械轴承36及转子轮盘38。

转子轴5由径向磁轴承31(两处)及推力磁轴承32(上下一对)非接触地支撑。转子轴5旋转时的位置是基于由径向位移传感器33a、径向位移传感器33b及轴向位移传感器33c所检测出的直径方向上的位置与轴向上的位置而控制。通过径向磁轴承31、推力磁轴承32而旋转自如地磁悬浮的转子轴5由电动机35高速旋转驱动。通过旋转驱动转子轴5，使连结在转子轴5的转子上部4A进行旋转，从而使所有动叶部6一体地旋转。

机械轴承34、机械轴承36是用于非常情况的机械轴承，在径向磁轴承31、推力磁轴承32不作动时，由机械轴承34、机械轴承36支撑转子轴5。

在基底13设置着排气埠16，在排气埠16设置着排气口16a。

外壳部件12的下部法兰23与基底13的上部法兰13a是介隔密封部件42由螺钉93固定，而构成泵容器11。

如以上说明，实施方式的真空泵是具有排气功能部的真空泵，该排气功能部是在多段地配置的动叶部6之间分别配置由间隔件8支撑的静叶部70而成。

以下，对静叶部70进行详细说明。

(静叶部70的说明)

图3是图1中所图示的静叶部70的俯视图，图4是图3中的IV-IV线剖视图，图5(a)是图3中的区域V的放大立体图，图5(b)是从内周侧方向所视的定子叶片的图，

图5(c)是从外周侧方向所视的定子叶片的图。

静叶部70是由两个作为半截的环状部件的分割静叶部70A、分割静叶部70B组合而成。分割静叶部70A、分割静叶部70B为相同形状。各分割静叶部70A、分割静叶部70B在中央部具有开口79，俯视时为半环状体(以下，为方便起见，也表述为半圆形形状)。分割静叶部70A、分割静叶部70B包括外周边缘73、内周边缘72及多个定子叶片71，所述多个定子叶片71在外周边缘73与内周边缘72之间沿周方向以规定的宽度呈放射状延伸。

(定子叶片71的详细说明)

关于详情将在下文叙述，但该实施方式的定子叶片71是通过拉拔加工而制作。如图4及图5(a)、图5(b)、图5(c)所图示，形成在分割静叶部70A、分割静叶部70B的各定子叶片71在外周边缘73与内周边缘72之间沿周方向以规定的宽度呈放射状延伸，相对于静叶部主体70H以规定的叶片角度倾斜而形成多个排气开口78。也就是说，定子叶片71在静叶部主体70H的面上，在沿半径方向直线延伸的弯折部70R从静叶部主体70H立起而连接，且在与静叶部主体70H为相反侧的前端侧部77侧，定子叶片71从静叶部主体70H分离。定子叶片71的前端侧部77中距离静叶部主体70H的高度，也就是叶片高度形成为在外周侧比在内周侧高。

定子叶片71在俯视时在半径方向上呈细长的矩形形状。该矩形形状由弯折部70R的长边、前端侧部77的长边、外周侧端部71So的短边、及内周侧端部71Si的短边构成。

分割静叶部70A、分割静叶部70B分别包括：内周侧支撑部75，将定子叶片71的内周侧端部71Si连接在内周边缘72；及外周侧支撑部76，将定子叶片71的外周侧端部71So连接在外周边缘73。

内周侧支撑部75是沿定子叶片71的内周侧端部71Si的全长而形成。外周侧支撑部76是对应于定子叶片71的外周侧端部71So的一部分而形成。也就是说，外周侧支撑部76是设置在从定子叶片71的静叶部主体70H弯折的弯曲部70R至前端侧部77的中间，在前端侧设置着切口K。切口K与设置在前端侧部77与静叶部主体70H之间的排气开口78连通。

如上所述，各定子叶片71由连接在外周边缘73的外周侧支撑部76及连接在内周边缘72的内周侧支撑部75支撑，因此具有大的刚性。另外，叶片高度是外周侧大于内周侧，在外周侧端部71So，由于在前端侧部77侧形成着切口K，所以当进行拉拔加工时，可抑制在外周侧支撑部76产生龟裂。

如图5(a)、图5(b)、图5(c)所示，分割静叶部70A中，外周缘73a，也就是外周边缘73的外周缘的间隔件夹持区域朝向定子叶片71侧被弯折。

图2表示在外壳部件12的内部上壁部21a与基底13的上部法兰13a的上表面之间经由间隔件8支撑静叶部70的外周缘73a的状态。各分割静叶部70A、分割静叶部70B是通过由间隔件8夹持外周缘73a，使内周边缘72侧朝向进气口15侧浮升，换言之，也就是朝向上段侧的动叶部6侧浮升而受到支撑。

如图2所示，分割静叶部70A、分割静叶部70B设定为外周侧的定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙do和外周侧的静叶部主体70H的下表面与下段侧的动叶部6的上表面的间隙d大致相等。如上所述，分割静叶部70A、分割静叶部70B的定子叶片71的叶片高度，是在内周侧的叶片高度hi小于外周侧的叶片高度ho。也就是说，定子叶片71的内周侧的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙di大于外周侧的定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙do。

使各分割静叶部70A、分割静叶部70B的内周边缘72侧浮升，使得静叶部主体70H的下表面与下段侧的动叶部6的上表面的间隙d扩大，且使得定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙di缩小。然而，本来内周侧的定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙di大，且存在裕度。也就是说，使分割静叶部70A、分割静叶部70B的内周侧浮升，使得定子叶片71向定子叶片71与上下段的动叶部6的间隙变得均等的方向移位。因此，可防止分割静叶部70A、分割静叶部70B与动叶部6接触。

如图2所示，在将定子叶片71的外周侧的叶片高度设为ho，将定子叶片71的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，分割静叶部70A、分割静叶部70B中的内周侧相对于静叶部主体70H的外周缘73a的浮升高度s满足

(ho-hi)>s

的关系。只要满足该条件，那么定子叶片71的内周侧的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙di就不会小于外周侧的定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙do，可确实地防止与动叶部6的接触。

(分割静叶部的制造方法)

接下来，参照图6～图11，对分割静叶部70A、分割静叶部70B的制造方法进行说明。

分割静叶部70A与分割静叶部70B是通过相同的制造方法而制作。此处，以分割静叶部70A为代表，说明其制造方法。

该制造方法包括如下步骤：准备半圆状平板70P；在半圆状平板70P上形成放射状的切入线81；在半圆状平板70P的放射状切入线81的最外周部沿周方向形成开口82；通过拉拔加工形成定子叶片71；及将半圆状平板70P的外周缘73a弯折。

首先，准备内周侧设置着半圆形开口79的金属制半圆形部件即半圆状平板70P。半圆状平板70P的原材料可使用铝合金、不锈钢等。

如图6所示，在半圆状平板70P呈放射状形成多条直线状的切入线81。切入线81可通过压制加工或蚀刻(etching)加工而形成。切入线81在拉拔加工后成为前端侧部77。

接着，如图7所示，在各切入线81的外周侧的端部形成沿着半圆状平板70P的外周面74的大致呈矩形的开口82。通过压制加工形成开口82是较有效率的作法，但也可以通过蚀刻加工形成开口82。开口82在拉拔加工后成为切口K。

然后，利用模头与冲头对半圆状平板70P通过拉拔加工形成定子叶片71。以下，参照图8～图11对拉拔加工进行详细说明。

图8是图7中的区域VIII的放大图。图8中，以影线(hatching)表示的区域76a是通过拉拔加工而成为连接静叶部主体70H与外周边缘73的外周侧支撑部76的区域。开口82的长度lo理想的是小于定子叶片71的外周侧端部71So整体长度L的一半。

图9(a)是冲头的俯视图，图9(b)是冲头的立体图，图10(a)是模头的俯视图，图10(b)是模头的立体图。另外，图11(a)、图11(b)是用来说明使用冲头PU及模头DI，通过拉拔加工形成定子叶片71的方法的图式，图11(a)是沿图3中的XIa-XIa线剖切所得的拉拔加工时的剖视图，图11(b)是沿图3中的XIb-XIb线剖切所得的拉拔加工时的剖视图。

如图9(a)、图9(b)、图11(a)、图11(b)所图示般，冲头PU具有倾斜部PU1，该倾斜部PU1用来形成定子叶片71的外周侧支撑部76，且从外周边缘73朝向定子叶片71的下表面侧突出设置。另外，所述冲头PU具有倾斜部PU2，该倾斜部PU2用来形成定子叶片71的内周侧支撑部75，且从内周边缘72朝向定子叶片71的下表面侧突出设置。冲头PU包括冲头主体部PU3，该冲头主体部PU3从各定子叶片71的静叶部主体70H的弯折部70R朝前端侧部77突出设置，并且具有从内周边缘72朝向外周边缘73形成为上升梯度的倾斜面PU3a。另外，在冲头主体部PU3中与前端侧部77相对应的位置形成着与转子轴5的轴向大致平行的对接端部PU3b。对接端部PU3b用来将定子叶片71的前端侧部77从静叶部主体70H分离。

如图10(a)、图10(b)、图11(a)、图11(b)所示，模头DI具有倾斜部DI1，该倾斜部DI1用来形成定子叶片71的外周侧支撑部76，且从外周边缘73朝向定子叶片71的上表面侧凹陷设置。另外，所述模头DI具有倾斜部DI2，该倾斜部DI2用来形成定子叶片71的内周侧支撑部75，且从内周边缘72朝向定子叶片71的上表面侧凹陷设置。模头DI具备模头主体部DI3，该模头主体部DI3从各定子叶片71的静叶部主体70H的弯折部70R朝向前端侧部77凹陷设置，并且具有从内周边缘72朝向外周边缘73形成为下降梯度的倾斜面DI3a。另外，在模头主体部DI3中与前端侧部77相对应的位置形成着与转子轴5的轴向大致平行的对接端部DI3b。对接端部DI3b用来将定子叶片71的前端侧部77从静叶部主体70H分离。

在模头DI1上设置半圆状平板70P，将冲头PU沿箭头方向挤出，且对半圆状平板70P进行拉拔加工，而制作定子叶片71。在该拉拔加工中，在图8的斜线区域76a产生三维塑性流动而形成外周侧支撑部76。通过使区域76a塑性变形，从而使开口82由平面形状向叶片高度方向产生三维变形而形成切口K。

另外，以形成在半圆状平板70P的切入线81成为前端侧部77的方式，使静叶部主体70H从弯折部70R(参照图6)呈倾斜状立起而形成定子叶片71。立起的定子叶片71的前端侧部77与静叶部主体70H之间的空间成为排气开口78(参照图5(a)、图5(b)、图5(c))。另外，形成在定子叶片71的外周侧部的切口K是连通排气开口78而形成。

其后，通过压制加工，将静叶部主体70H的外周缘73a朝向定子叶片71侧弯曲。由此，形成分割静叶部70A、分割静叶部70B。

通常，定子叶片71的上表面与上段侧的动叶部6的下表面的间隙do及静叶部主体70H的下表面与下段侧的动叶部6的上表面的间隙d为0.5mm～1.0mm左右。另外，定子叶片71中的外周侧的叶片高度ho与内周侧的叶片高度hi的差(ho-hi)为1.5mm～2.0mm左右。外周缘73a的弯折角度是设定为让定子叶片71的内周侧的浮升量不超过1.5mm～2.0mm的角度。

如以上说明，根据上述的实施方式，发挥下述效果。

在本发明的真空泵中，静叶部70以其内周侧朝向转子轴5的轴向上方侧，换言之，就是朝着进气口15侧浮升的方式支撑外周缘73a，使静叶部70以浮升的状态受到支撑。设置在静叶部70的定子叶片71，其外周侧的叶片高度ho大于内周侧的叶片高度hi，在定子叶片71的内周侧，与作为进气口15侧的上段侧的动叶部6的间隙di大于与下段侧的动叶部6的间隙d。由于在定子叶片71的内周侧是以向间隙di大的上段侧的动叶部6侧移位的状态而受到支撑，因此可确实地防止与动叶部6的接触。

分割静叶部70A的外周缘73a是将通过塑性加工的金属板弯折而成。因此，生产性良好，在成本方面有利。

-实施方式2-

图12是本发明的静叶部主要部分的实施方式2的剖视图。

在实施方式2中，与实施方式1不同的方面如下所述。

在分割静叶部70A中，连接定子叶片71与外周边缘73的外周侧支撑部76A与内周侧支撑部75同样地是沿定子叶片71的外周侧端部71So的全长而形成。也就是说，不具备实施方式1中所形成的用来将前端侧部77从外周侧支撑部76分离的切口K。

在外周侧支撑部76A的叶片高度不太高的情况下，即便不设置用来将定子叶片71的前端侧部77从外周侧支撑部76分离的切口K，也不会在外周侧支撑部76A产生龟裂。因此，沿定子叶片71的外周侧端部71So的全长而设置外周侧支撑部76A，可进一步提高刚性。

在实施方式2中，分割静叶部70A的外周缘73a也相对于其内周侧朝向定子叶片71侧被弯折。因此，与实施方式1同样地，定子叶片71的内周侧是以向间隙di大的上段侧的动叶部6侧移位的状态而受到支撑，因此可确实地防止与动叶部6的接触。

此外，与实施方式1相同，对相对应的结构标示为相同符号并省略说明。

-实施方式3-

图13是本发明的静叶部主要部分的实施方式3的剖视图。

在实施方式3中，在如下方面与实施方式1不同。

在分割静叶部70A中，不包括连接定子叶片71的外周侧端部71So、外周边缘73连接的外周侧支撑部76、连接定子叶片71的内周侧端部71Si，及与内周边缘72连接的内周侧支撑部75。也就是说，各定子叶片71的内周侧端部71Si、外周侧端部71So分别遍及全长而与内周边缘72、外周边缘73分离。

在定子叶片71距离静叶部主体70H的叶片高度不太高的情况下，无需设置内周侧支撑部75、外周侧支撑部76。

由此，可使模具廉价且使生产效率提高。

在实施方式3中，分割静叶部70A的外周缘73a也相对于其内周侧朝向定子叶片71侧被弯折。因此，与实施方式1同样地，由于定子叶片71的内周侧是以向间隙di大的上段侧的动叶部6侧移位的状态而受到支撑，因此可确实地防止与动叶部6的接触。

此外，与实施方式1同样，对相对应的结构标示相同符号并省略说明。

另外，将静叶部70的外周缘73a以在内周侧朝向进气口15侧浮升的方式弯折，可以只在沿转子轴5的轴向多段地配设的静叶部70中的至少1段(也可以为两段、三段或整段)。

如上所述，静叶部70，也就是在沿轴向上多段地配设的静叶部70，是形成为上段侧的叶片高度高于下段侧的叶片高度的态样。

因此，如实施方式1～实施方式3所示，也可以将静叶部70设为每一段不同。例如，可从上段朝向下段侧依序排列实施方式1、实施方式2、实施方式3中的静叶部70。另外，静叶部70也可以是使最上段的定子叶片71a通过机械加工而制作。

在所述的实施方式中，例示了由间隔件8夹持最上段的静叶部70的构造，但也可以由外壳部件12的内部上壁部21a支撑最上段的静叶部70的上表面。另外，例示了由设置在基底13的上部法兰13a的突出部13a1支撑最下段的静叶部70的下表面的构造，但也可以在基底13的上部法兰13a搭载间隔件8，由该间隔件8支撑最下段的静叶部70的下表面。

也可以通过机械加工制作分割静叶部70A、分割静叶部70B的一部分或整体。特别是，由间隔件8支撑的静叶部70的外周缘73a也可以通过研削等方式以相对于静叶部主体70H倾斜的角度形成。

另外，分割静叶部70A、分割静叶部70B可并非半截，只要分割成多个即可。

在所述的实施方式中，作为真空泵，以具备叶片排气部与螺纹槽排气部的复合型涡轮分子泵进行了例示。但是，本发明也可以应用于只具备叶片排气部的真空泵。

此外，本发明可在发明主旨的范围内进行各种变形而应用。也就是说，本发明只要为如下真空泵即可：具备由动叶部及静叶部构成的排气部，静叶部是包含多个定子叶片，所述定子叶片在静叶部主体沿圆周方向排列，且外周侧的叶片高度大于内周侧的叶片高度，至少一个静叶部以内周侧朝向进气口侧浮升的方式支撑外周缘。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种真空泵，其特征在于包括排气部，该排气部包含：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在所述动叶部之间，静叶部的外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；

在所述多个静叶部的至少一个静叶部，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度；

该静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的方式由所述间隔件支撑。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述静叶部包含内周边缘与所述外周边缘，所述定子叶片设置在所述内周边缘与所述外周边缘之间；

将所述外周边缘的外周缘从所述外周边缘向所述定子叶片的上表面方向以规定的倾斜角度弯折，由此，所述内周边缘向所述进气口侧浮升。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

在将所述定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将所述定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，所述内周边缘的前端相对于所述外周缘的浮升高度s满足如下关系：

(ho-hi)>s。