CN106917778A - 真空泵及在其中使用的分割静翼部 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部（11A、11B）相互在圆周方向端部（12a、12a）上抵接而构成为环状；在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

Description

真空泵及在其中使用的分割静翼部

技术领域

本发明涉及被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他腔室的气体排气机构等利用的真空泵及在其中使用的分割静翼部，特别地，涉及通过有效地防止分割静翼部的抵接不良而能够得到良好的排气性能的结构。

背景技术

这种以往的真空泵例如在专利文献1中公开。该文献1的真空泵具备由旋转的动翼部（6）和固定的静翼部（70）将气体移送的涡轮分子部。

并且，该文献1的真空泵的前述静翼部（70）如在该文献1的图3或图4等中公开的那样，通过使两个分割静翼部（70A、70B）抵接而被设定为环状。

此外，各个分割静翼部（70A、70B）具备内外的轮缘（72a、72b、73a、73b）、和被该内外的轮缘支承的多个定子翼（71），并且使该内侧的轮缘（72a、72b）的圆周方向端部抵接。

参照专利文献1的图12，在该文献1的真空泵中，作为前述分割静翼部（70A、70B）的具体的分割静翼部抵接构造，如本申请的图19（a）、图19（b）所示，采用在使两个分割静翼部（70A、70B）抵接的状态下、各个分割静翼部（70A、70B）的圆周方向端部彼此对置的构造。此外，设有在与对置的另一个轮缘之间形成空隙的缺口（S），防止由因加工时的离差而分割静翼部的圆周长变得比设计尺寸长造成的圆周方向端部的重叠或翘曲。进而，在对置的内外轮缘的另一个圆周方向端部设有弯折部（72b3），采用该弯折部（72b3）的正面侧与对置的另一个前述圆周方向端部（72a1）抵接的构造。

但是，由于前述那样的弯折部（72b3）是通过压力下的弯折加工形成的，所以该弯折部（72b3）的根部附近外表面如本申请的图19（a）（b）所示那样为圆弧面SF。因此，当使两个分割静翼部（70A、70B）抵接时，一方的圆周方向端部在与弯折部（72b3）的根部附近外表面（圆弧面SF）抵接后，在圆弧面SF上打滑而如本申请的图19（b）那样潜入到另一方的圆周方向端部的下方。因而，如前面说明的专利文献1的抵接构造那样，在仅设有弯折部（72b3）的结构中，不能有效地防止因圆周方向端部的重叠造成的分割静翼部的抵接不良。如果发生这样的圆周方向端部的重叠，则预先以适于排气的角度设定的定子翼（71）的倾斜角度变化，作为真空泵的排气性能下降，不能得到良好的排气性能。

进而，如果参照专利文献1的图11，则在该文献1中，作为具体的分割静翼部抵接构造，如本申请的图20（a）、图20（b）所示，还公开了在对置的双方的圆周方向端部上设置弯折部（72a3、72b3）、这些弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接的构造。

但是，由于前述那样的弯折部（72a3、72b3）是通过压力下的弯折加工形成的，所以不能避免在弯折部（72a3、72b3）上发生图20（a）那样的弯曲的恢复。因此，在如前述那样弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接的构造中，由于在弯折部（72a3、72b3）上发生的弯曲的恢复，还可能发生以下状况：如图20（a）那样使两个分割静翼部（70A、70B）实际抵接时的抵接尺寸位置（以下称作“实际的抵接尺寸位置”）超过设计上的抵接尺寸位置的容许误差范围。在此情况下，通过使两个分割静翼部（70A、70B）抵接，当弯折部（72a3、72b3）的正面侧相互抵接时，在其抵接部产生设想外的反作用力，会发生某一方或双方的分割静翼部（70A、70B）翘曲等抵接不良，预先以适于排气的角度设定的定子翼（71）的倾斜角度变化，所以作为真空泵的排气性能下降，有可能无法得到良好的排气性能。

另外，以上的说明中的括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。

专利文献1：日本特开2014－173468号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题而做出的，其目的是提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵及在其中使用的静翼部。

为了达到前述目的，本发明是一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述抵接不良防止构造在第1前述分割静翼部的圆周方向端部具备第1弯折部，该第1弯折部的至少一部分与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述抵接不良防止构造还在第2前述分割静翼部的圆周方向端部具备第2弯折部，该第2弯折部的至少一部分与前述第1弯折部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第1弯折部的宽度方向侧部与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第2弯折部的宽度方向侧部与前述第1弯折部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部和前述第2弯折部设在能够进行其宽度方向侧部彼此的抵接的位置。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述抵接不良防止构造具备将使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下的前述分割静翼部的厚度方向的位置偏差矫正的偏差矫正机构。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且该第1弯折部的根部附近外表面与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，在第2前述分割静翼部的圆周方向端部设有第2弯折部，该第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且该第2弯折部的根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部被弯折以使弯曲角度成为不到90度的锐角，至少该第1弯折部的前述根部附近外表面与前述第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第2弯折部被弯折以使弯曲角度成为不到90度的锐角，至少该第2弯折部的前述根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第2弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第1弯折部的前述根部附近外表面在前述第1前述分割静翼部的圆周方向端部的至少厚度范围内包含平坦的面。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述第2弯折部的前述根部附近外表面至少在前述第1弯折部的前述根部附近外表面的范围内包含平坦的面。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述抵接不良防止构造在前述分割静翼部的圆周方向端部具备防止与其他的前述分割静翼部的偏差或重叠的偏差/重叠防止机构。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述分割静翼部设有用来在使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下在前述轮缘的端部形成空隙部的缺口。

在本发明中，如前述那样，在至少一个分割静翼部的圆周方向端部具有防止与其他分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造，所以能够提供一种能够使两个分割静翼部如设计那样精度良好地抵接、能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵及在其中使用的静翼部。

附图说明

图1是应用了本发明的真空泵的整体剖视图。

图2（a）是构成图1的真空泵的静翼部的俯视图，图2（b）是构成该静翼部的两个分割静翼部的俯视图。

图3（a）是有关本发明的真空泵的（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图3（b）是（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图3（c）是图3（b）中的A－A向视剖视图，图3（d）是（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图3（e）是图3（d）中的B－B向视剖视图。

图4（a）是有关本发明的真空泵的（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图4（b）是（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图4（c－1）是图4（b）中的C－C向视剖视图，图4（c－2）是图4（b）中的D－D向视剖视图，图4（d）是（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图4（e－1）是图4（d）中的E－E向视剖视图，图4（e－2）是图4（d）中的F－F向视剖视图。

图5（a）是有关本发明的真空泵的（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图5（b）是（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图5（c－1）是图5（b）中的G－G向视剖视图，图5（c－2）是图5（b）中的H－H向视剖视图，图5（d）是（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图5（e－1）是图5（d）中的I－I向视剖视图，图5（e－2）是图5（d）中的J－J向视剖视图。

图6是有关本发明的真空泵的（1－4）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态）

图7（a）是图3的（1－1）抵接不良防止构造构成为具备偏差矫正机构的例子的（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图7（b）是（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图7（c）是图7（b）中的K－K向视剖视图，图7（d）是（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图7（e）是图7（d）中的L－L向视剖视图。

图8（a）是有关本发明的真空泵的（2－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图8（b）是（2－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

图9（a）是有关本发明的真空泵的（2－2）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图9（b）是（2－2）抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

图10是有关本发明的真空泵的（2－3）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

图11是有关本发明的真空泵的（2－4）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

图12是有关本发明的真空泵的（3－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

图13（a）是有关本发明的真空泵的（4－1）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图13（b－1）是图13（a）中的C－C向视剖视图，图13（b－2）是图13（a）中的D－D向视剖视图，图13（c）是（4－1）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图13（d－1）是图13（c）中的E－E向视剖视图，图13（d－2）是图13（c）中的F－F向视剖视图。

图14（a）是有关本发明的真空泵的（4－2）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图14（b－1）是图14（a）中的G－G向视剖视图，图14（b－2）是图14（a）中的H－H向视剖视图，图14（c）是（4－2）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图14（d－1）是图14（c）中的I－I向视剖视图，图14（d－2）是图14（c）中的J－J向视剖视图。

图15（a）是有关本发明的真空泵的（4－3）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图15（b－1）是图15（a）中的K－K向视剖视图，图15（b－2）是图15（a）中的M－M向视剖视图，图15（c）是（4－3）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图15（d－1）是图15（c）中的N－N向视剖视图，图15（d－2）是图15（c）中的P－P向视剖视图。

图16（a）是有关本发明的真空泵的（4－4）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图16（b）是图16（a）中的Q－Q向视剖视图，图16（c）是（4－4）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图16（d）是图16（c）中的S－S向视剖视图。

图17（a）是有关本发明的真空泵的（4－5）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图17（b）是图17（a）中的T－T向视剖视图，图17（c）是（4－5）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图17（d）是图17（c）中的U－U向视剖视图。

图18（a）是有关本发明的真空泵的（4－6）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图18（b）是图18（a）中的V－V向视剖视图，图18（c）是（4－6）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图18（d）是图18（c）中的W－W向视剖视图，图18（e）是（4－6）抵接不良防止构造中的约束机构的另一实施方式的说明图。

图19（a）是在专利文献1中公开的以往的抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图19（b）是该抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

图20（a）是在专利文献1中公开的以往的抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图20（b）是该抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

具体实施方式

以下，参照附图对用来实施本发明的优选的实施方式详细地说明。

图1是应用了本发明的真空泵的纵剖视图，图2（a）是构成图1的真空泵的静翼部的俯视图，图2（b）是构成该静翼部的两个分割静翼部的俯视图。

图1的真空泵P构成为具备涡轮分子泵部Pt及螺纹槽泵部Ps的复合泵，例如被用作半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他腔室的气体排气机构等，所述涡轮分子泵部Pt由旋转的动翼部A1和固定的静翼部A2移送气体，所述螺纹槽泵部Ps利用螺纹槽B移送气体。

参照图1，该图的真空泵P的外装壳1为将筒状的泵壳1A和有底筒状的泵座1B在其筒轴方向上用紧固螺栓一体地连结的有底圆筒形，泵壳1A的上端部侧作为用来将气体吸入的吸气口2开口，此外，在泵座1B的下端部侧面上，设有用来将气体排出的排气端口3。

吸气口2被用设在泵壳1A上缘的凸缘上的紧固螺栓连接到例如半导体制造装置的处理腔室等呈高真空的腔室Ch上。此外，排气端口3经由未图示的配管及阀连接在辅助泵上。

在泵壳1A内的中央部立设有圆筒状的定子柱4，在定子柱4的内侧中心部设有转子轴5。此外，在定子柱4的内侧设置有磁力轴承6，由该磁力轴承6将转子轴5能够绕其轴心旋转地支承。

在定子柱4的外侧设有转子7，该转子7为具备筒部件7B和端部件7A的构造，所述筒部件7B为将定子柱4的外周面覆盖的形状，所述端部件7A为将该筒部件7B的一端侧盖住的形状。

并且，转子轴5的前端部从定子柱4的一端突出，将这样突出的转子轴5的前端部与转子7的端部件7A连结，由此，转子7成为与转子轴5一体化的构造。

进而，在定子柱4的内侧设有驱动马达8，由该驱动马达8将转子轴5绕其轴心旋转驱动，由此，转子7能够与转子轴5一体地旋转。

另外，在图1的真空泵P中，构成为，转子7的大致上半部分作为涡轮分子泵部Pt发挥功能，该转子7的大致下半部分作为螺纹槽泵部Ps发挥功能。该涡轮分子泵部Pt和螺纹槽泵部Ps具体而言如以下这样构成。

<<涡轮分子泵部Pt的构造说明>>

参照图1，涡轮分子泵部Pt为以下这样的构造：作为将气体从吸气口2朝向排气端口3移送的机构，沿着泵轴心（具体而言是转子7或转子轴5的轴心。以下同样）交替地配置有多个旋转的动翼部A1和固定的静翼部A2。

动翼部A1由一体地形成在转子7的外周面上的多个旋转翼9构成，这些多个旋转翼9以泵轴心为中心在泵径向上以放射状设置。此外，多个旋转翼9都呈以最适于气体分子的排气的角度倾斜的形状。

参照图2（a）、图2（b），静翼部A2通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘（在图2（a）、图2（b）的例子中是内外两个轮缘12、13）和具有与该轮缘一体形成的多个叶片10的多个分割静翼部11（11A、11B）相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状。另外，多个叶片10也与前面说明的旋转翼9同样以放射状配置。

另外，以下为了说明的方便，将构成一方的分割静翼部11A的内侧的轮缘12的圆周方向端部12a称作“第1圆周方向端部12a”，将构成另一方的分割静翼部11B的内侧的轮缘12的圆周方向端部12b称作“第2圆周方向端部12b”。

作为在泵轴心方向及泵径向（与泵轴心正交的方向。以下同样）上将分割静翼部11定位固定的方式，在图1的真空泵P中，采用沿着泵壳1A的内周面将多个间隔件17堆积层叠、使外侧的轮缘13夹在层叠的间隔件17之间的方式。

在借助前述那样的定位固定方式将多个分割静翼部11配置安设在真空泵P内的状态下，多个叶片10都预先设定为以最适于气体分子的排气的角度倾斜。

另外，在真空泵P的组装时，在使两个分割静翼部11抵接的状态下，在第1圆周方向端部12a与第2圆周方向端部12b上下重叠、或内侧的轮缘12发生翘曲等、分割静翼部11的抵接精度较差、发生了分割静翼部11的抵接不良的情况下，有可能关于多个叶片10预先设定的最优的角度没有被反映而导致真空泵P的排气性能的下降。因此，为了在真空泵P中得到良好的排气性能，提高分割静翼部11的抵接精度、防止抵接不良是重要的。

根据以上的观点，在图1的真空泵P中，在至少一个分割静翼部11（11A或11B）的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a或第2圆周方向端部12b），设有防止与其他的前述分割静翼部11（11A或11B）的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a或第2圆周方向端部12b）的抵接不良的构造（以下称作“抵接不良防止构造”）。该抵接不良防止构造的详细情况后述。

<<涡轮分子泵部Pt的动作说明>>

在图1的真空泵P中，借助驱动马达8的起动，转子轴5、转子7及多个旋转翼9一体地旋转。此时，在涡轮分子泵部Pt中，最上层的旋转翼9对从吸气口2入射的气体分子赋予朝下方向（从吸气口2朝向排气端口3的方向）的动量。具有该朝下方向的动量的气体分子被叶片10向下层的旋转翼9侧送入。通过将以上那样的向气体分子的动量的赋予和送入动作在动翼部A1和静翼部A2的各层反复多层地进行，将吸气口2侧的气体分子以朝向转子7的下游（在图1中是转子7的下方）依次转移的方式排出。

<<螺纹槽泵部Ps的构造说明>>

参照图1，螺纹槽泵部Ps由转子7的大致下半部分和位于该转子7的外周面侧的螺纹槽定子14形成螺纹槽流路15，经过螺纹槽流路15将气体排出。具体而言，在图1的真空泵P中，转子7的大致下半部分被圆筒形的螺纹槽定子14包围，借助形成在该螺纹槽定子14的内周面上的螺纹槽B和转子7的外周面，在该转子7的外周面侧设置螺纹槽流路15。

螺纹槽流路15的入口（上游端侧）连通到涡轮分子泵部Pt的下游侧，该螺纹槽流路15的出口（下游端侧）经过泵内排气流路16连通到排气端口3。

作为螺纹槽流路15的其他实施方式，例如可以采用将螺纹槽定子14的螺纹槽B省略、在转子7的外周面上形成这样的螺纹槽B的结构，或在转子7的外周面和螺纹槽定子14的内周面的双方上形成螺纹槽B的结构，此外，也可以采用在转子7的外周面的一部分或螺纹槽定子14的内周面的一部分上形成螺纹槽B的结构。

在由前述那样的构造构成的螺纹槽泵部Ps中，借助螺纹槽B和转子7的外周面处的拖拽效应，将气体在压缩的同时移送，所以螺纹槽B的深度设定为，在螺纹槽流路15的入口侧（距吸气口2较近的流路开口端）最深，在其出口侧（距排气端口3较近的流路开口端）最浅。

<<螺纹槽泵部的动作说明>>

在图1的真空泵P中，借助涡轮分子泵部Pt的排气动作，气体分子到达螺纹槽流路15的入口侧。到达的气体分子向螺纹槽流路15流入，借助由转子7的旋转带来的效应、即转子7的外周面和螺纹槽B处的拖拽效应，在被从过渡流压缩为粘性流的同时朝向泵内排气流路16。并且，到达了泵内排气流路16的气体分子的粘性流被未图示的辅助泵从排气端口3向外装壳1的外侧排出。

<<抵接不良防止构造的详细情况>>

（1－1）抵接不良防止构造

图3（a）是有关本发明的真空泵的（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图3（b）是（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图3（c）是图3（b）中的A－A向视剖视图，图3（d）是（1－1）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图3（e）是图3（d）中的B－B向视剖视图。另外，前述每个俯视图都对应于图2的A部的内侧的轮缘12附近。

在图1的真空泵P中，在使图2（b）所示的两个分割静翼部11（11A、11B）如图2（a）那样抵接的状态下，采用各个分割静翼部11（11A、11B）的圆周方向端部（以下，将第1分割静翼部11A的圆周方向端部12a称作“第1圆周方向端部12a”，将第2分割静翼部11B的圆周方向端部12b称作“第2圆周方向端部12b”）彼此对置的构造，以及图3（b）至图3（e）所示的（1－1）抵接不良防止构造。

前述（1－1）抵接不良防止构造如图3（b）至图3（e）所示，为以下这样的构造：第1圆周方向端部12a具备第1弯折部19A，该第1圆周方向端部12a及第1弯折部19A的宽度方向侧部CP的一部分与第2圆周方向端部12b抵接。在该构造中，第1弯折部19A被向其表面或背面和轮缘12的表面或背面的交线与静翼部A2的半径方向正交的方向弯折。

在如图2（a）那样使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接的状态下，构成各个分割静翼部11的外侧的轮缘13的圆周方向端部13a彼此也对置，但设定为在其圆周方向端部13a之间形成有空隙部Ga，所以外侧的轮缘13的圆周方向端部13a彼此不会相互抵接。另外，前述空隙部Ga在使分割静翼部11（11A、11B）抵接的状态下，由设在内外轮缘12、13的一方的轮缘的圆周方向端部上的缺口Ki形成。

即使在采用了该（1－1）抵接不良防止构造的情况下，也由于第1弯折部19A通过压力等下的弯折加工形成，所以不能避免在第1弯折部19A发生弯曲的恢复。

但是，在该（1－1）抵接不良防止构造中，如前述那样，在使两个分割静翼部11抵接的状态下，主要是第1圆周方向端部12a与第2圆周方向端部12b抵接，所以在第1弯折部19A发生的弯曲的恢复不会给第1弯折部19A的宽度方向侧部的抵接尺寸位置L1带来影响。在构造上几乎没有因这样的弯曲的恢复而第1弯折部19A的宽度方向侧部的抵接尺寸位置L1与设计上的抵接尺寸位置L0不同那样的不良状况。

因而，在该（1－1）抵接不良防止构造中，即使在第1弯折部19A发生弯曲的恢复，也能够使两个分割静翼部11（11A、11B）如设计那样精度良好地抵接，能够有效地防止因分割静翼部11的抵接不良造成的真空泵的排气性能下降，能得到良好的排气性能。

进而，在该（1－1）抵接不良防止构造中，当使两个分割静翼部11抵接时，即使第1圆周方向端部12a相对于第2圆周方向端部12b的上下方向位置稍稍偏差，如果该偏差量在第1弯折部的高度h范围内，则第2圆周方向端部12b也抵接在第1弯折部19A的宽度方向侧部CP的一部分上，所以第1圆周方向端部12a潜入到第2圆周方向端部12b的下方的情况变少。

因而，该（1－1）抵接不良防止构造还能够防止因前述那样的潜入而第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b在上下方向上重叠造成的分割静翼部的抵接不良，在这一点上对于得到良好的排气性能也是优选的。

（1－2）抵接不良防止构造

图4（a）是有关本发明的真空泵的（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图4（b）是（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图4（c－1）是图4（b）中的C－C向视剖视图，图4（c－2）是图4（b）中的D－D向视剖视图。此外，图4（d）是（1－2）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图4（e－1）是图4（d）中的E－E向视剖视图，图4（e－2）是图4（d）中的F－F向视剖视图。另外，前述每个俯视图都对应于图2的A部的内侧的轮缘12附近。

在前述（1－1）抵接不良防止构造中，在第1圆周方向端部12a上设有第1弯折部19A，但除此以外，还可以采用以下这样的构造：如图4（b）至图4（e）所示，第2圆周方向端部12b具备第2弯折部19B、该第2圆周方向端部12b及第2弯折部19B的宽度方向侧部CP的一部分与第1圆周方向端部12a抵接。在该构造中，第2弯折部19B被向其表面或背面和轮缘12的表面或背面的交线与静翼部A2的半径方向正交的方向弯折。

在前述（1－2）抵接不良防止构造中，除了能得到与前述（1－1）抵接不良防止构造同样的作用效果以外，进而，在使两个分割静翼部11抵接时，比前述（1－1）抵接不良防止构造更稳定，能够防止第2圆周方向端部12b潜入到第1圆周方向端部12a的下方、或因这样的的潜入而双方的圆周方向端部12a、12b在上下方向上重叠所造成的分割静翼部的抵接不良。这是因为，即使第2圆周方向端部12b相对于第1圆周方向端部12a的上下方向位置稍稍偏差，如果该偏差量在第2弯折部19B的高度h的范围内，则第2弯折部19B的宽度方向侧部CP的一部分也与第1圆周方向端部12a抵接。

（1－3）抵接不良防止构造

图5（a）是有关本发明的真空泵的（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图5（b）是（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图5（c－1）是图5（b）中的G－G向视剖视图，图5（c－2）是图5（b）中的H－H向视剖视图。此外，图5（d）是（1－3）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图5（e－1）是图5（d）中的I－I向视剖视图，图5（e－2）是图5（d）中的J－J向视剖视图。另外，前述每个俯视图都对应于图2的A部的内侧的轮缘12附近。

在如前述（1－2）抵接不良防止构造那样具备第1弯折部19A和第2弯折部19B的结构的情况下，既可以为这两个弯折部19A、19B向相同方向弯折的构造，也可以作为该（1－3）抵接不良防止构造，如图5（b）至图5（e－2）所示那样为这两个弯折部19A、19B向相反的方向弯折的构造。在该构造的情况下也能得到与前述（1－2）同样的作用效果。

（1－4）抵接不良防止构造

此外，在如前述（1－2）抵接不良防止构造那样具备第1弯折部19A和第2弯折部19B的结构的情况下，作为（1－4）抵接不良防止构造，也可以如图6所示那样构成为，第1弯折部19A和第2弯折部19B设在以下这样的位置：不仅有由第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b进行的抵接，还能够进行其宽度方向侧部CP彼此的抵接。在该结构的情况下，也能得到与前述（1－2）抵接不良防止构造同样的作用效果。

（1－5）抵接不良防止构造

前述（1－1）至（1－4）抵接不良防止构造作为将使两个分割静翼部11抵接时的分割静翼部的厚度方向的位置偏差矫正的机构，可以具备图7（a）至图7（e）所示的偏差矫正机构20。

图7（a）是作为图3的（1－1）抵接不良防止构造具备偏差矫正机构的例子而构成的（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之前的状态），图7（b）是（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接前的状态），图7（c）是图7（b）中的K－K向视剖视图。图7（d）是（1－5）抵接不良防止构造的俯视图（形成弯折部之后的状态及抵接后的状态），图7（e）是图7（d）中的L－L向视剖视图。

参照图7（a）至图7（e），该（1－5）抵接不良防止构造中的偏差矫正机构20为在第1弯折部19A的宽度方向侧部CP（参照图3（b））上设置突出部21、在该突出部21上形成锥22的构造，该锥22形成为，朝向第1弯折部19A的根部倾斜。

当使两个分割静翼部11对接时，例如在第2圆周方向端部12b相对于第1圆周方向端部12a的上下方向位置稍稍偏差等、在两个分割静翼部11之间发生了分割静翼厚度方向的位置偏差的情况下，通过另一方的分割静翼部11的圆周方向端部12b与前面说明的突出部21的锥22抵接、并且沿着该锥22向一方的分割静翼部11的第1圆周方向端部12a方向滑动移动，将这样的分割静翼厚度方向的位置偏差矫正。

另外，本偏差矫正机构20如前述（1－2）至（1－4）抵接不良防止构造那样，也可以设在第1圆周方向端部12a的第1弯折部19A和第2圆周方向端部12b的第2弯折部19B两者上。

此外，在具备第1弯折部19A和第2弯折部19B的结构的情况下，既可以为这两个弯折部19A、19B向相同方向弯折的构造，也可以为如图5（b）至图5（e－2）所示那样这两个弯折部19A、19B向相反的方向弯折的构造。

在这些结构的情况下也能够得到与前述（1－5）抵接不良防止构造同样的作用效果，但进而在设为向相反的方向弯折的构造的情况下，相对于前述（1－5）抵接不良防止构造，不论在哪侧发生厚度方向的位置偏差都能得到将位置偏差矫正的效果。

（2－1）抵接不良防止构造

图8（a）是有关本发明的真空泵的（2－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图8（b）是（2－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

在该（2－1）抵接不良防止构造中，如图8（a）所示，在使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接的状态下，在采用各个分割静翼部11的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a、第2圆周方向端部12b）彼此对置的构造、以及在第1圆周方向端部12a设有第1弯折部19A这些方面与前述（1－1）至（1－5）抵接不良防止构造也是共通的，其以外的构造如以下这样不同。

即，在图8（a）的抵接不良防止构造中，第1弯折部19A的正面侧S朝向第2圆周方向端部12b的方向。即，第1弯折部19A被向其表面或背面和轮缘12的表面或背面的交线与静翼部2A的半径方向平行的方向弯折，并且为该第1弯折部19A的根部附近外表面S1与第2圆周方向端部12b抵接的构造。

并且，作为得到前述那样的抵接的机构，在图8（a）的（2－1）抵接不良防止构造中，调节第1弯折部19A的弯曲角度（第1弯折部19A与内侧的轮缘12之间的角度）。例如，将该弯曲角度设定为不到90度的锐角。

第1弯折部19A的根部附近以外的外表面S2因第1弯折部19A的弯曲的恢复而较大地移位。相对于此，第1弯折部19A的根部附近外表面S1因这样的弯曲的恢复带来的移位比较小。

另外，在因前述那样的弯曲的恢复而较大地移位的第1弯折部19A的根部附近以外的外表面S2与第2圆周方向端部12b抵接的情况下，如在段落0008中说明的那样，在该圆周方向端部12b附近等处内侧的轮缘12翘曲等，从而不能使两个分割静翼部11如设计那样精度良好地抵接。

相对于此，在如（2－1）抵接不良防止构造那样为第1弯折部19A的根部附近外表面S1作为抵接部与第2圆周方向端部12b抵接的结构的情况下，即使在第1弯折部19A发生弯曲的恢复，由于第1弯折部19A的根部附近外表面S1的移位（由弯曲的恢复带来的移位）如前述那样较小，所以也能够使两个分割静翼部11如设计那样精度良好地抵接。

（2－2）抵接不良防止构造

图9（a）是有关本发明的真空泵的（2－2）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态），图9（b）是（2－2）抵接不良防止构造的说明图（抵接后的状态）。

在前述（2－1）抵接不良防止构造中，在第1圆周方向端部12a设有第1弯折部19A，但除此以外，还可以采用在第2圆周方向端部12b设置第2弯折部19B的结构，以及该第2弯折部19B被向其表面或背面和轮缘12的表面或背面的交线与静翼部2B的半径方向平行的方向弯折、并且该第2弯折部19B的根部附近外表面S1与第1弯折部19A的根部附近外表面S1抵接的结构。借助这样的结构也能够得到与前述（2－1）抵接不良防止构造同样的作用效果。

（2－3）抵接不良防止构造

图10是有关本发明的真空泵的（2－3）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

在采用前述（2－1）或（2－2）抵接不良防止构造的情况下，也可以如该（2－3）抵接不良防止构造那样，采用第1弯折部19A的根部附近外表面S1作为抵接面而形成为平坦的面的结构。被弯折加工后的第1弯折部19A的根部附近外表面S1如图10中用虚线表示那样通常为圆弧面，但在该（2－3）抵接不良防止构造中，将其根部附近外表面S1形成为平坦的面。

关于前述那样的平坦的面的形成可以考虑各种情况。例如，也可以通过对第1弯折部19A的根部附近外表面S1实施研磨、磨削等机械加工而事后设定，此外，也可以通过在将第1弯折部19A弯折加工时使用的模具中将与该第1弯折部19A的根部附近外表面S1对应的模面做成平坦的面，而与弯折加工同时形成。

在如图10中用虚线表示那样第1弯折部19A的根部附近外表面S1是圆弧面的情况下，第2圆周方向端部12b与该圆弧面抵接。因此，第2圆周方向端部12b沿着圆弧面滑动移动，容易潜入到第1圆周方向端部12b的下方，所以容易发生因双方的圆周方向端部12a、12b在上下方向上重叠造成的分割静翼部11的抵接不良。

相对于此，在如该（2－3）抵接不良防止构造那样、第1弯折部19A的根部附近外表面S1被形成为平坦的面的情况下，第2圆周方向端部12b与平坦的面抵接，所以不易发生前述那样的因与圆弧面抵接造成的第2圆周方向端部12b的滑动移动、或由此第2圆周方向端部12b潜入到第1圆周方向端部12b的下方的现象，所以能够有效地防止因双方的圆周方向端部12a、12b在上下方向上重叠造成的分割静翼部的抵接不良。

（2－4）抵接不良防止构造

图11是有关本发明的真空泵的（2－4）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

在前述（2－3）抵接不良防止构造中，将第1弯折部19A的根部附近外表面S1作为抵接面形成为平坦的面，但除此以外，在如前述（2－2）抵接不良防止构造那样具备第2弯折部19B的结构的情况下，还可以如该（2－4）抵接不良防止构造那样，将第2弯折部19B的根部附近外表面S1作为抵接面而形成为平坦的面。在此情况下，也能够得到与前述（2－3）抵接不良防止构造同样的作用效果。

（3－1）抵接不良防止构造

图12（a）、图12（b）是有关本发明的真空泵的（3－1）抵接不良防止构造的说明图（抵接前的状态）。

在（3－1）抵接不良防止构造中，虽省略详细的图示，但例如在图8（a）所示的构造、即在使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接的状态下，在各个分割静翼部11的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a、第2圆周方向端部12b）彼此对置的构造、以及在第1圆周方向端部12a设有第1弯折部19A、第1弯折部19A的正面侧朝向第2圆周方向端部12b的方向这些方面，与前面说明的（2－1）至（2－4）抵接不良防止构造也是共通的，其以外的构造如以下这样不同。

参照图12（a）、图12（b），在该（3－1）抵接不良防止构造中，第1弯折部19A的根部附近外表面S1由不超过第1圆周方向端部12a的厚度t的圆弧面RS（R1、R2）和与其连续的平坦的面FS构成，该平坦的面FS形成为与第2圆周方向端部12b的抵接面。

关于得到前述那样的不超过厚度t的圆弧面RS的方式可以考虑各种情况。作为该方式的具体例，在图12（a）的例子中，采用以下方式：第1弯折部19A的根部附近外表面S1最初为超过第1圆周方向端部12a的厚度t的比较大的圆弧面R1（RS），对该圆弧面R1（RS）将图12（a）中的用双点划线表示的部分用机械加工除去，由此将该圆弧面R1（RS）在中途中断，进行设定以使中断的圆弧面R1（RS）的末端成为厚度t以下。另外，在该方式中，圆弧面R1（RS）的曲率在机械加工的前后不变化。

作为得到前述那样的不超过厚度t的圆弧面RS的方式的具体例，在图12（b）的例子中，采用以下方式：第1弯折部19A的根部附近外表面S1为超过第1圆周方向端部12a的厚度t的比较大的曲率的圆弧面R2（RS），对该圆弧面R2（RS）将图12（b）中的用双点划线表示的部分用机械加工除去，由此使该圆弧面R2（RS）成为曲率较小的圆弧面。

在该（3－1）抵接不良防止构造中，如前述那样，在第1圆周方向端部12a的厚度t范围内，在第1弯折部19A的根部附近外表面S1上作为抵接面而存在平坦的面FS，以及第2圆周方向端部12b与该平坦的面FS抵接，由此第2圆周方向端部12b难以潜入到第1圆周方向端部12a的下方，所以能够有效地防止因双方的圆周方向端部12a、12b在上下方向上重叠造成的分割静翼部11的抵接不良。

更优选的是，通过进行设定以使圆弧面R1（RS）的末端成为厚度t的一半以下，能够更有效地防止因双方的圆周方向端部12a、12b在上下方向上重叠造成的分割静翼部11的抵接不良。

（4－1）抵接不良防止构造

图13（a）是有关本发明的真空泵的（4－1）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图13（b－1）是图13（a）中的C－C向视剖视图，图13（b－2）是图13（a）中的D－D向视剖视图，图13（c）是（4－1）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图13（d－1）是图13（c）中的E－E向视剖视图，图13（d－2）是图13（c）中的F－F向视剖视图。

参照图13（a）至图13（d－2），在该（4－1）抵接不良防止构造中，与前述（1－1）抵接不良防止构造等同样，采用在使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接的状态下、各个分割静翼部11的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a、第2圆周方向端部12b）彼此对置的构造，并且除此以外，还在该分割静翼部11的抵接部上设有防止分割静翼部11的偏差及重叠的机构（以下称作“偏差/重叠防止机构30”）。

（4－1）抵接不良防止构造中的偏差/重叠防止机构30由设在第1圆周方向端部12a的板体31构成，在板体31上设有从第1圆周方向端部12a向斜上方延伸的形状的倾斜部31A，以使得当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，该板体31被配置到第2圆周方向端部12b的上表面上。

另外，在（4－1）抵接不良防止构造中，当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面作为定位面发挥功能而接触。此时，由于第1圆周方向端部12a的板体31被配置在第2圆周方向端部12b的上表面上，所以即使在其抵接后在第2圆周方向端部12b与第1圆周方向端部12a之间发生上下方向的偏差，第2圆周方向端部12b也不会重叠到第1圆周方向端部12a之上，能够有效地防止因这样的分割静翼部11的重叠造成的抵接不良。

当如前述那样使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，板体31如前述那样被配置在第2圆周方向端部12b的上表面上，但此时，如果发生因板体31的倾斜部31A与第2圆周方向端部12b接触造成的干涉，则定位面（第1圆周方向端部12a的端面与第2圆周方向端部12b的端面）彼此的接触变得困难，所以作为避免这样的干涉的机构，在第2圆周方向端部12b上在与板体31的倾斜部31A对应的位置处设有缺口部31B。

（4－2）抵接不良防止构造

图14（a）是有关本发明的真空泵的（4－2）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图14（b－1）是图14（a）中的G－G向视剖视图，图14（b－2）是图14（a）中的H－H向视剖视图，图14（c）是（4－2）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图14（d－1）是图14（c）中的I－I向视剖视图，图14（d－2）是图14（c）中的J－J向视剖视图。

在前述（4－1）抵接不良防止构造中，作为偏差/重叠防止机构30而在第1圆周方向端部12a设有板体31，但除了该板体（以下称作“第1板体31”）以外，在（4－2）抵接不良防止构造中，作为同样的偏差/重叠防止机构30，在第1圆周方向端部12a还设有第2板体32。

在第2板体32上设有从第1圆周方向端部12b向斜下方延伸的形状的倾斜部32A，以使得当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时,第2板体32被配置到第2圆周方向端部12b的下表面上。

此外，当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，第1板体31和第2板体32相互不重叠，所以这些板体31、32在第1圆周方向端部12a的宽度方向上配置在不对置的不同的位置。

在该（4－2）抵接不良防止构造中，在使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面也作为定位面发挥功能而接触。此时，第1板体31被配置到第2圆周方向端部12b的上表面上，并且第2板体32被配置到第2圆周方向端部12b的下表面上。因此，即使在其抵接后在第2圆周方向端部12b与第1圆周方向端部12a之间发生上下方向的偏差，第2圆周方向端部12b也不会重叠在第1圆周方向端部12a的上方或重叠在其下方，能够有效地防止因这样的分割静翼部的重叠造成的抵接不良。

当如前述那样使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，第2板体32如前述那样被配置到第2圆周方向端部12b的下表面上，但此时，如果发生因第2板体32的倾斜部32A与第2圆周方向端部12b接触造成的干涉，则定位面（第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面）彼此的接触变得困难，所以作为避免这样的干涉的机构，与（4－1）分割静翼部的构造同样，在第2圆周方向端部12b上在与第2板体32的倾斜部32A对应的位置处设有缺口部32B。

（4－3）抵接不良防止构造

图15（a）是有关本发明的真空泵的（4－3）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图15（b－1）是图15（a）中的K－K向视剖视图，图15（b－2）是图15（a）中的M－M向视剖视图，图15（c）是（4－3）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图15（d－1）是图15（c）中的N－N向视剖视图，图15（d－2）是图15（c）中的P－P向视剖视图。

在前述（4－2）抵接不良防止构造中，作为偏差/重叠防止机构30的具体的结构，采用第1板体31和第2板体32在第1圆周方向端部12a的宽度方向上被配置在不对置的不同的位置处的结构，但作为与其不同的偏差/重叠防止机构的具体的结构，（4－3）抵接不良防止构造构成为，在使两个分割静翼部抵接时，这样的两个板体（第1板体31和第2板体32）能够重叠，并且，（4－3）抵接不良防止构造通过将两板体31、32的重叠部分从其上下方向用约束机构40约束，能够有效地防止因第2圆周方向端部12b重叠在第1圆周方向端部12a的上方或重叠在其下方造成的分割静翼部11的抵接不良。

该（4－3）抵接不良防止构造中的约束机构40为以下这样的构造：通过立设在第1圆周方向端部12a的销体41与形成在第2圆周方向端部12b的凹部42卡合，将第1板体31与第2板体32的重叠部分从其上下方向约束。另外，也可以将销体41立设在第2圆周方向端部12b，在第1圆周方向端部12a形成凹部42。

在该（4－3）抵接不良防止构造的约束机构40中，仅有前面说明的约束的功能，没有将第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b定位的功能。在该（4－3）抵接不良防止构造中，使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时的第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位也与前述（4－1）或（4－2）抵接不良防止构造相同，通过使第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面作为定位面接触来进行。

（4－4）抵接不良防止构造

图16（a）是有关本发明的真空泵的（4－4）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图16（b）是图16（a）中的Q－Q向视剖视图，图16（c）是（4－4）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图16（d）是图16（c）中的S－S向视剖视图。

在该（4－4）抵接不良防止构造中，通过对前面说明的约束机构40追加定位功能，能够将由借助前述的定位面（第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面）的接触进行的第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位省略。即，在该（4－4）抵接不良防止构造中，将约束销41的外周面和凹部42的内表面设定为定位面，并且当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，该设定的定位面彼此接触，由此进行两个分割静翼部11（11A、11B）的定位。

由此，在该（4－4）抵接不良防止构造中，通过对约束机构40追加定位功能，能够有效地防止因第2圆周方向端部12b重叠在第1圆周方向端部12a的上方或重叠在其下方造成的分割静翼部11的抵接不良，并有效地进行定位面的定位。

（4－5）抵接不良防止构造

图17（a）是有关本发明的真空泵的（4－5）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图17（b）是图17（a）中的T－T向视剖视图，图17（c）是（4－5）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图17（d）是图17（c）中的U－U向视剖视图。

该（4－5）抵接不良防止构造也与前述（4－4）抵接不良防止构造同样，通过对约束机构40追加定位功能，能够将由使前述的定位面（第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面）彼此接触进行的第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位省略，但该约束机构40的具体的结构如以下这样不同。

即，该（4－5）抵接不良防止构造的约束机构40为以下这样的构造：在第1圆周方向端部12a的端面上形成槽43，在第2圆周方向端部12b的端面上形成突起44，并且当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，该突起44嵌到槽43中。

并且，在该（4－4）抵接不良防止构造中，槽43的边缘部43A和突起44的根部周边部44A分别被设定为定位面，并且，当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，突起44被嵌入到槽43中，通过它们的定位面接触，进行两个分割静翼部11（11A、11B）的定位，具体而言进行第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位。

另外，虽然没有图示，但也可以不将槽43的边缘部43A和突起44的根部周边部44A分别设定为定位面，而如（4－3）抵接不良防止构造那样用第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b进行定位。

（4－6）抵接不良防止构造

图18（a）是有关本发明的真空泵的（4－6）抵接不良防止构造的俯视图（抵接前的状态），图18（b）是图18（a）中的V－V向视剖视图，图18（c）是（4－6）抵接不良防止构造的俯视图（抵接后的状态），图18（d）是图18（c）中的W－W向视剖视图，图18（e）是（4－6）抵接不良防止构造的约束机构的另一实施方式的说明图。

该（4－6）抵接不良防止构造也与前述（4－4）抵接不良防止构造同样，通过对约束机构40追加定位功能，能够省略由使前述的定位面（第1圆周方向端部12a的端面和第2圆周方向端部12b的端面）彼此接触进行的第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位，但该约束机构40的具体的结构如以下这样不同。

即，该（4－6）抵接不良防止构造的约束机构40为将上部件45和下部件46用连结部件47一体地连结的构造，并且，构成为，当使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接时，在该上部件45与下部件46之间插入第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b。

并且，在该（4－6）抵接不良防止构造中，第1圆周方向端部12a的端面、第2圆周方向端部12b的端面、以及连结部件47的外表面被设定为定位面，在上部件45与下部件46之间插入第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b，并使双方的圆周方向端部12a、12b的端面（定位面）与连结部件47的外表面（定位面）接触，由此进行第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b的定位。如前述那样被插入的双方的圆周方向端部12a、12b被上部件45和下部件46约束，所以有效地防止因第2圆周方向端部12b重叠在第1圆周方向端部12a的上方或重叠在其下方造成的分割静翼部11的抵接不良。

作为前面说明的（4－6）抵接不良防止构造中的约束机构40的另一实施方式，例如图18（e）所示，也可以构成为，通过在上部件45的内表面或下部件46的内表面上形成锥48，使得容易将第1及第2圆周方向端部12a、12b插入到上部件45与下部件46之间。此外，锥48既可以如图18（e）那样从上部件45或下部件46的内表面的中途设置，也可以设在其内表面整体上。

另外，虽然没有图示，但也可以不将连结部件47的外表面设定为定位面，而如（4－3）抵接不良防止构造那样用第1圆周方向端部12a和第2圆周方向端部12b进行定位。

本发明并不限定于以上说明的实施方式，在本发明的技术思想内能够由在本领域中具有通常的知识的人进行许多变形。

例如，在前述实施方式中，利用内外的轮缘12、13中的一方的轮缘，具体而言利用内侧的轮缘12的圆周方向端部（第1圆周方向端部12a、第2圆周方向端部12b）作为抵接端，但代之，虽然图示省略，关于另一方的轮缘，具体而言关于利用外侧的轮缘13的圆周方向端部作为抵接端的结构，也可以应用前述抵接不良防止构造。

在前述实施方式中，对利用内外的轮缘12、13中的一方的轮缘、具体而言利用内侧的轮缘12的圆周方向端部作为抵接端、在另一方的轮缘具体而言在外侧的轮缘13的圆周方向端部侧设定空隙的结构例进行了说明，但并不限定该空隙的有无。例如，即使没有空隙，也能够发挥能够稳定抵接的本发明的效果。

以上说明的各实施方式也可以组合使用。

在前述实施方式中，对通过使两个分割静翼部11（11A、11B）抵接而静翼部A2被设定为环状的结构例进行了说明，但并不限定于此，本发明对例如通过使3个或4个分割静翼部等2个以上的分割静翼部抵接而将静翼部A2被设定为环状的结构例也能够应用。

在前述实施方式中，使用具备涡轮分子泵部Pt及螺纹槽泵部Ps的复合泵进行了说明，但也可以用在仅具备涡轮分子泵部Pt的全翼泵中。

附图标记说明

1外装壳；1A泵壳；1B泵座；2吸气口；3排气端口；4定子柱；5转子轴；6磁力轴承；7转子；7A端部件；7B筒部件；8驱动马达；9旋转翼；10叶片；11分割静翼部；11A第1分割静翼部；11B第2分割静翼部；12内侧的轮缘；12a内侧的轮缘的圆周方向端部（第1圆周方向端部）；12b内侧的轮缘的圆周方向端部（第2圆周方向端部）；13外侧的轮缘；14螺纹槽定子；15螺纹槽流路；16泵内排气流路；17间隔件；19A第1弯折部； 19B第2弯折部；20偏差矫正机构；21突出部；22锥；30偏差/重叠防止机构；31板体（第1板体）；31A倾斜部；31B缺口部；32板体（第2板体）；32A倾斜部；32B缺口部；40约束机构；41销体；42凹部；43槽；43A槽的边缘部；44突起；44A突起的根部周边部；45上部件；46下部件；47连结部件；48锥；A1动翼部；A2静翼部；B螺纹槽；Ch腔室；CP宽度方向侧部；Ga空隙部；Ki缺口；P真空泵；Pt涡轮分子泵部；Ps螺纹槽泵部；S弯折部的正面侧；S1弯折部的根部附近外表面；L0设计上的抵接尺寸位置；L1实际的抵接尺寸位置；h第1弯折部的高度。

Claims (18)

1.一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，

在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造在第1前述分割静翼部的圆周方向端部具备第1弯折部，该第1弯折部的至少一部分与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造还在第2前述分割静翼部的圆周方向端部具备第2弯折部，该第2弯折部的至少一部分与前述第1弯折部抵接。

4.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第1弯折部的宽度方向侧部与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

5.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第2弯折部的宽度方向侧部与前述第1弯折部抵接。

6.如权利要求3或5所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部和前述第2弯折部设在能够进行其宽度方向侧部彼此的抵接的位置。

7.如权利要求1～6中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造具备将使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下的前述分割静翼部的厚度方向的位置偏差矫正的偏差矫正机构。

8.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且该第1弯折部的根部附近外表面与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

9.如权利要求2或8所述的真空泵，其特征在于，

在第2前述分割静翼部的圆周方向端部设有第2弯折部，该第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向平行的方向弯折，并且该第2弯折部的根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

10.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部被弯折以使弯曲角度成为不到90度的锐角，至少该第1弯折部的前述根部附近外表面与前述第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。

11.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部被弯折以使弯曲角度成为不到90度的锐角，至少该第2弯折部的前述根部附近外表面与前述第1弯折部的根部附近外表面抵接。

12.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。

13.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部的前述根部附近外表面形成为平坦的面。

14.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，

前述第1弯折部的前述根部附近外表面在前述第1前述分割静翼部的圆周方向端部的至少厚度范围内包含平坦的面。

15.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

前述第2弯折部的前述根部附近外表面至少在前述第1弯折部的前述根部附近外表面的范围内包含平坦的面。

16.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接不良防止构造在前述分割静翼部的圆周方向端部具备防止与其他的前述分割静翼部的偏差或重叠的偏差/重叠防止机构。

17.如权利要求1～16中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述分割静翼部设有用来在使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下在前述轮缘的端部形成空隙部的缺口。

18.在权利要求1～17的任一项中所述的真空泵中使用的前述分割静翼部。