CN103939368A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空泵，增大定子叶片的刚性，且抑制因拉拔加工而在定子叶片的外周侧端部产生龟裂。静叶部（70）的静叶部主体（70A）、及多个定子叶片（71）通过拉拔加工而从平板一体地成形。定子叶片（71）中，相对于基端部（72），相反侧的侧端部（73）形成为上升斜率，在外周侧端部（75）及内周侧端部（76）设置着连结定子叶片（71）及静叶部主体（70A）的外周侧支撑部（75S）。在外周侧端部（75），从侧端部（73）至基端部（72）的中间形成着使定子叶片（71）从静叶部主体（70A）分离的切口（75K）。本发明提供的技术方案可以抑制伴随着塑性加工在外周侧支撑部产生龟裂，并且可以增大定子叶片的刚性。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种具有包含动叶部与静叶部的排气部的真空泵（pump）。

背景技术

涡轮分子泵（turbo-molecular pump）等真空泵在泵容器内使具有多段地排列的动叶部的转子（rotor）高速地旋转，通过动叶部、及排列在动叶部的各段之间的静叶部而将气体分子从进气口侧传输到排气埠（exhaustport）侧。

各段动叶部具有转子叶片（rotor blade），各段静叶部具有定子叶片（stator blade）。各静叶部由配设在静叶部外周的间隔片（spacer）以规定的间隔支撑。静叶部将一对分成两半的环状构件组合而形成一个轮状。

转子叶片及定子叶片相对于转子的旋转面倾斜地形成。相对于旋转面的叶片角度通常形成为上段侧大于下段侧。

作为制作静叶部的方法，有通过机械加工而形成的方法、及通过塑性加工而形成的方法，但通过塑性加工而制作的方法在成本（cost）方面有利。例如，在专利文献1的第50段记载着通过塑性加工而制作的次序。所述次序包括以下步骤：（1）准备铝（aluminum）等金属制的圆板状金属板（plate）；（2）在圆板状金属板上通过刻蚀加工而形成多排沿着叶片（blade）部（定子叶片）的轮廓的三条刻线；以及（3）通过压力加工（press working）将叶片部形成为规定的倾斜角度。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2005-105851号公报

发明内容

发明欲解决的课题

所述制作方法根据叶片部的轮廓形状而形成三条刻线，并通过压力加工而使被切入的内侧区域塑性变形（plastic deformation）而形成规定叶片角度的叶片部。叶片部的外周侧端部与内周侧端部从圆板状金属板分离。即，在圆板状金属板与叶片部的外周侧端部之间、及圆板状金属板与叶片部的内周侧端部之间不存在支撑叶片部的构件。因此，叶片部、即定子叶片的刚性小，定子叶片的叶片角度容易变化。

解决课题的手段

本发明适用于包括积层有多段动叶部及静叶部的排气部的真空泵。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。根据本发明的真空泵，其中在经多段地积层的多个静叶部的至少一段静叶部中，设置着多个定子叶片及多个排气开口，所述多个定子叶片在周向上以规定的宽度呈放射状地延伸，且相对于静叶部主体以规定的叶片角度倾斜，所述多个排气开口在径向上细长地形成，并通过多个定子叶片而将气流从上游导向下游。一段静叶部中的多个定子叶片各自在内周端侧通过内周侧支撑部而三维地连接于静叶主体部，在外周端侧通过外周侧支撑部而三维地连接于静叶主体部。在外周侧支撑部的圆周方向前端部设置着切口。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

根据所述的真空泵，其中多个定子叶片各自在俯视下为在径向上细长的大致四边形形状。各个定子叶片包括：内周端部，在内周端侧沿圆周方向延伸；外周端部，在外周端侧沿圆周方向延伸；基端部，连接内周端部的基部与外周端部的基部且沿径向延伸；及侧端部，在周向上与基端部相向且沿径向延伸。内周端部、外周端部、及基端部与静叶部主体连接，侧端部与静叶部主体分离而规定排气开口。在与侧端部交叉的外周端部的前端部设置着切口。

根据所述的真空泵，其中优选的是切口在俯视下为四边形形状，且在圆周方向上较长，在径向上较短。

根据所述的真空泵，其中从确保刚性并且防止龟裂产生的观点而言优选的是，内周侧支撑部设置为内周端部的全长，外周侧支撑部设置为从外周端部的基部至侧端部为止的全长的一部分区域。

根据所述的真空泵，其中切口的长度例如为小于外周端部的长度的一半左右。所述切口的长度优选的是以在三维加工叶片高度高的外周侧支撑部时不会产生龟裂的方式决定。

根据所述的真空泵，其中定子叶片通过拉拔加工（drawing）而形成。

发明的效果

借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点：通过支撑部而将定子叶片的内周侧端部与外周侧端部两者与静叶部主体连接，特别是在叶片高度大的外周侧支撑部，在圆周方向端部设置着切口，因此可以抑制伴随着塑性加工在外周侧支撑部产生龟裂，并且可以增大定子叶片的刚性。

附图说明

图1是作为本发明的真空泵的一实施方式的涡轮分子泵的剖视图。

图2是具有叶片角度及叶片高度大的定子叶片71b～71d的静叶部70b～70d的俯视图。

图3（a）是从外周侧观察图2中的区域III的静叶部70的放大立体图，图3（b）是从内周侧观察定子叶片的图，图3（c）是从外周侧观察定子叶片的图。

图4是用来说明静叶部的制造方法的半圆板状金属板的俯视图。

图5是用来说明图4的后续步骤的半圆板状金属板的俯视图。

图6是图5中的区域VI的放大图。

图7（a）是冲头（punch）的俯视图，图7（b）是冲头的立体图。

图8（a）是冲模（die）的俯视图，图8（b）是冲模的立体图。

图9是用来说明使用冲头PU及冲模DI并通过拉拔加工来制作定子叶片71的方法的图，图9（a）是以图2中的IXa-IXa线切割的拉拔加工时的剖视图，图9（b）是以图2中的IXb-IXb线切割的拉拔加工时的剖视图。

图10是作为本发明的实施方式2的静叶部的剖视图。

【主要元件符号说明】

1：涡轮分子泵                   4：转子

4A：转子上部                    4B：转子下部圆筒部

5：转子轴                       6：动叶部

8：间隔片                       9：螺杆定子

9a：螺纹槽部                    11：泵容器

12：外壳构件                    13：基座

13a：基座的上部凸缘             14：中央筒部

15：进气口                      16：排气埠

16a：排气口                     21：上部凸缘

22：贯通孔                      23：下部凸缘

25：段部                        31、32：磁轴承

33a、33b：径向位移传感器        33c：轴向位移传感器

34、36：机械轴承                35：电机

38：转子盘                      42：密封构件

45：防护网                      70、70a～70g、70H：静叶部

70A：静叶部主体                 70P：圆板状金属板

71、71a～71g、71H：定子叶片     71h：上升斜率部

71i：下降斜率部                 72：基端部

73：侧端部                      74：外周面

75：外周侧端部                  75a：斜线区域

75K：切口                       75S：外周侧支撑部

76：内周侧端部                  76S：内周侧支撑部

78：排气开口                    79：半圆形开口部

81：狭缝                        82：开口

91、92、93、94、95：螺钉        DI：冲模

DI1、DI2、PU1、PU2：倾斜部      DI3：冲模主体部

DI3a、PU3a：倾斜面              DI3b、PU3b：侧端面

L、l₀：长度                     PU：冲头

PU3：冲头主体部                 b：定子叶片的内周侧

c：定子叶片的外周侧

具体实施方式

以下，参照图式，将涡轮分子泵作为一实施方式对本发明的真空泵进行说明。

-真空泵整体构成-

图1是涡轮分子泵1的剖视图。涡轮分子泵1包括由外壳（casing）构件12、及固定在外壳构件12上的基座（base）13形成的泵容器11。

外壳构件12具有大致圆筒形状，例如，根据日本不锈钢标准（Steel UseStainless，SUS）形成，且在上端部形成着上部凸缘（flange）21。在外壳构件12的上部凸缘21的内部形成着圆形的进气口15。在上部凸缘21，沿着圆周方向大致等间隔地形成着用于供螺钉（bolt）插通的贯通孔22。将螺钉92插通于上部凸缘21的贯通孔22，而将涡轮分子泵1安装在半导体制造装置等外部装置。

在泵容器11内收容着转子4及同轴安装在转子4的轴芯的转子轴（rotor shaft）5。转子4与转子轴5由螺钉91固定。

转子4包括转子上部4A、及与转子上部4A的下表面接合的转子下部圆筒部4B。转子上部4A例如由铝合金形成。在转子上部4A，在与上下方向（轴向）正交的方向（水平方向）上，多个动叶部6在轴向上隔着间隔呈放射状地排列成多段。各动叶部6具有转子叶片。在多个动叶部6的各段之间配置着具有定子叶片71的静叶部70。静叶部70为将分成两半的一对环组合而形成的环形状。各静叶部70由沿着外壳构件12的内周面配置的环形状的间隔片8夹持，动叶部6与静叶部70交替地多段地积层而构成高真空用叶片排气部。

在转子下部圆筒部4B的外周侧，环状的螺杆定子（screw stator）9通过螺钉94而固定在基座13上。在螺杆定子9形成着螺纹槽部9a。由转子4的转子下部圆筒部4B与螺杆定子9构成低真空用螺纹槽排气部。

另外，在图1中，螺纹槽部9a是作为形成在螺杆定子9上的构造而例示，但也可以将螺纹槽部9a形成在转子下部圆筒部4B的外周面上。

基座13例如由铝合金形成，在基座13的中央部形成着中央筒部14，所述中央筒部14形成有供转子轴5插通的圆形的中空部。在中央筒部14的内侧安装着电机35、径向（radial direction）的磁轴承31（两处）、推力方向（thrust direction）的磁轴承32（上下一对）、径向位移传感器（radial displacement sensor）33a、33b及轴向位移传感器（axialdisplacement sensor）33c、机械轴承（mechanical bearing）34、36及转子盘（rotor disk）38。

转子轴5由径向的磁轴承31（两处）及推力方向的磁轴承32（上下一对）非接触地支撑。转子轴5在旋转时的位置是基于由径向位移传感器33a、33b及轴向位移传感器33c检测出的径向的位置及轴向的位置而被控制。通过磁轴承31、32而旋转自如地磁悬浮的转子轴5由电机35高速旋转驱动。

机械轴承34、36为应急用机械轴承，当磁轴承不动作时，由机械轴承34、36支撑转子轴5。

在基座13设置着排气埠16，在排气埠16设置着排气口16a。

外壳构件12的下部凸缘23与基座13的上部凸缘13a隔着密封（seal）构件42由螺钉93固定，而构成泵容器11。

以覆盖形成于外壳构件12的上部凸缘21的内侧的进气口15的方式配设着防护网45。防护网45通过螺钉95而紧固在形成于上部凸缘21的内侧的段部25。

-静叶部70的说明-

在图1所图示的例子中，静叶部70从上方向下方形成有符号70a～70g所示的七段。在最上部的静叶部70a中形成着定子叶片71a，在从上方起第二个静叶部70b中形成着定子叶片71b，以下，从上方起第三～第七个静叶部70c～70g中分别形成着定子叶片71c～71g。如上所述，各段的定子叶片71a～71g分别呈以转子轴5的轴芯为中心的放射状排列。

定子叶片71a～71g相对于与转子旋转轴正交的面方向的倾斜角度、所谓的叶片角度是最上段的定子叶片71a最大，定子叶片71b～71d次之，定子叶片71e～71g最小。以下，将定子叶片71b～71d称为叶片角度与叶片高度大的定子叶片，将定子叶片71e～71g称为叶片角度与叶片高度小的定子叶片。

在本发明的一实施方式中，定子叶片71a通过机械加工而制作，定子叶片71b～71g通过拉拔加工而制作。

如以下所说明般，通过拉拔加工而制作的定子叶片71b～71g分类为叶片角度及叶片高度大的定子叶片71b～71d、与叶片角度及叶片高度小的定子叶片71e～71g，这些定子叶片为不同形状。

以下，参阅图2及图3（a）、图3（b）、图3（c），对叶片角度及叶片高度大的定子叶片71b～71d进行说明。

图2是具有叶片角度及叶片高度大的定子叶片71b～71d的静叶部70b～70d的俯视图，图3（a）是从外周侧观察图2中的区域III的静叶部70的放大立体图，图3（b）是从内周侧观察定子叶片的图，图3（c）是从外周侧观察定子叶片的图。

如果参阅图2、图3（a）、图3（b）、图3（c），那么在本发明的定子叶片71b～71g中，定子叶片71的内周侧端部76与外周侧端部75通过支撑部76S、75S而与静叶部主体70A连接。如上所述，越靠近最上段，叶片角度及叶片高度越大，其中，容易在叶片角度与叶片高度大的定子叶片71b～71d的外周侧端部75的支撑部75S产生龟裂。因此，在叶片角度及叶片高度大的定子叶片71b～71d中，特别是在外周侧端部75的支撑部75S的前端侧预先形成切口75K来防止龟裂产生。与外周侧端部75相比，内周侧端部76的叶片高度低，因此，无需在其内周侧支撑部76S形成切口75K。

另外，在叶片角度及叶片高度小的定子叶片71e～71g的外周侧端部75的支撑部75S不易产生伴随拉拔加工的龟裂，因此，无需在外周侧支撑部75形成切口75K。

在以下的说明中，以静叶部70为静叶部70b～70d的代表，以定子叶片71为定子叶片71b～71d的代表。此外，静叶部70是组合一对半圆形的构件而构成为环状，但在以下的说明中是将半圆形的构件作为静叶部70。

静叶部70具有内周侧设置着半圆形开口部79的半圆形状，例如由铝合金形成。静叶部70包括在周向上以规定的宽度呈放射状地延伸的多个定子叶片71。如图4及图5所示，定子叶片71是通过拉拔加工将呈放射状地形成着多条刻线81及开口82的半圆板状金属板70P从静叶部主体70A以规定的叶片角度倾斜设置。此外，在静叶部70，通过定子叶片71的拉拔加工而形成着多个排气开口78。各排气开口78是一种通路，其在径向上细长地形成，且将气流从定子叶片71的上游导向下游。

如果参阅图2及图3（a）、图3（b）、图3（c），那么定子叶片71在俯视下呈大致四边形形状。大致四边形形状的定子叶片71由以下四条边构成：构成外周侧端部75的第1边、构成内周侧端部76的第2边、构成基端部72的第3边、及构成侧端部73的第4边。而且，详细而言，在构成外周侧端部75的第1边，在其侧端部73侧形成着切口75K。从这个意义上来说，定子叶片71的俯视形状为大致四边形形状。

定子叶片71相对于静叶部主体70A在周向上形成为上升斜率，且具有规定的叶片角度。即，定子叶片71在沿半径方向直线延伸的基端部72从静叶部主体70A立起地连接，在与基端部72为相反侧的侧端部73侧，定子叶片71从静叶部主体70A分离。

定子叶片71的外周侧端部75沿着静叶部主体70A的外周面74形成为圆弧状或直线状。在将外周侧端部75制成圆弧状的情况下，优选的是制成与外周面74为同心圆的圆弧。定子叶片71的内周侧端部76沿着半圆形开口部79形成为圆弧状或直线状。在将内周侧端部76制成圆弧状的情况下，优选的是制成与半圆形开口部79为同心圆的圆弧。定子叶片71的外周侧端部75的高度高于内周侧端部76的高度。

如果参阅图3（a）、图3（b）、图3（c），那么在各定子叶片71的外周侧端部75形成着外周侧支撑部75S。定子叶片71通过拉拔加工而形成，定子叶片71通过外周侧支撑部75S在外周侧与静叶部主体70A三维地连结。

外周侧支撑部75S只设置为定子叶片71的外周侧端部75的全长，即定子叶片的全宽的一部分。换言之，从定子叶片71的基端部72形成至基端部72与侧端部73的中间部。而且，在从所述中间部至侧端部73之间设置切口75K，外周侧支撑部75S的侧端部73侧因所述切口75K而从静叶部主体70A分离。切口75K的长度优选的是小于从定子叶片71的基端部72至侧端部73为止的长度的一半。

另外，切口75K在俯视下为四边形形状，且在圆周方向上长，在径向上短。

此外，在定子叶片71的内周侧端部76，遍及从基端部72至侧端部73的全长形成着内周侧支撑部76S。定子叶片71通过拉拔加工而形成，定子叶片71通过内周侧支撑部76S而在内周侧与静叶部主体70A三维地连结。

内周侧端部76、外周侧端部75、及基端部72与静叶部主体70A连接，侧端部73与静叶部主体70A分离。

如此，各定子叶片71通过设置在外周侧端部75的外周侧支撑部75S及设置在内周侧端部76的内周侧支撑部76S而与静叶部主体70A连结，因此具有大的刚性。此外，虽然外周侧的叶片高度大于内周侧，但由于在外周侧端部75形成着切口75K，因此可以抑制拉拔加工时在外周侧支撑部75S产生龟裂。

-静叶部70的制造步骤-

接下来，参阅图4～图8，说明静叶部70的制造方法。

所述制造方法包括以下步骤：准备半圆板状金属板70P；在半圆板状金属板70P形成放射状的刻线81；在半圆板状金属板70P的放射状刻线81的最外周部沿周向形成开口82；以及通过拉拔加工而形成定子叶片71。

首先，准备在内周侧设置着半圆形开口部79的金属制半圆形构件即半圆板状金属板70P。半圆板状金属板70P的原材料可以使用铝合金、不锈钢（stainless steel）等。

如图4所图示般，在半圆板状金属板70P呈放射状地形成着多个直线状的狭缝（slit）81。狭缝81的半径方向的长度成为定子叶片71的半径方向的长度。狭缝81可以通过压力加工或刻蚀加工而形成。狭缝81的边缘部在拉拔加工后成为侧端部73。

其次，如图5所示，在各狭缝81的外周侧的端部形成沿半圆板状金属板70P的外周面74的大致矩形状的开口82。开口82如果通过压力加工而形成则有效率，但也可以通过刻蚀加工而形成。开口82在拉拔加工后成为切口75K。

然后，通过冲模与冲头而从半圆板状金属板70P拉拔加工定子叶片71。以下，参阅图6～图8，对拉拔加工详细地进行说明。

图6是图5中的区域VI的放大图。在图6中，斜线阴影（hatching）所示的区域75a是通过拉拔加工而成为连结静叶部主体70A与外周侧端部75的外周侧支撑部75S的区域。开口82的长度l0理想的是小于定子叶片71的外周侧端部75的长度L的一半。

图7（a）是冲头的俯视图，图7（b）是冲头的立体图，图8（a）是冲模的俯视图，图8（b）是冲模的立体图。此外，图9（a）、图9（b）是用来说明使用冲头PU及冲模DI并通过拉拔加工而制作定子叶片71的方法的图，图9（a）是以图2中的IXa-IXa线切割的拉拔加工时的剖视图，图9（b）是以图2中的IXb-IXb线切割的拉拔加工时的剖视图。

如图7（a）、图7（b）、图9（a）所图示般，冲头PU包括：倾斜部PU1，用来形成定子叶片71的外周侧支撑部75S，且从外周侧端部75侧朝向内周侧端部76侧上升；及倾斜部PU2，用来形成定子叶片71的内周侧支撑部76S，且从内周侧端部76侧朝向外周侧端部75侧上升。冲头PU包括冲头主体部PU3，所述冲头主体部PU3具有从各定子叶片71的基端部72朝向侧端部73上升的倾斜面PU3a。此外，如图7（a）、图7（b）、图9（b）所图示般，在冲头主体部PU3中与侧端部73对应的位置形成着与转子轴5的轴向大致平行的侧端面PU3b。侧端面PU3b用来使定子叶片71的侧端部73从基端部72分离。

如图8（a）、图8（b）、图9（a）所图示般，冲模DI包括：倾斜部DI1，用来形成定子叶片71的外周侧支撑部75S，且从外周侧端部75侧朝向内周侧端部76侧下降；及倾斜部DI2，用来形成定子叶片71的内周侧支撑部76S，且从内周侧端部76侧朝向外周侧端部75侧下降。冲模DI包括冲模主体部DI3，所述冲模主体部DI3具有从各定子叶片71的基端部72朝向侧端部73下降的倾斜面DI3a。此外，如图8（a）、图8（b）、图9（b）所图示般，在冲模主体部DI3中与侧端部73对应的位置形成着与转子轴5的轴向大致平行的侧端面DI3b。侧端部DI3b用来使定子叶片71的侧端部73从基端部72分离。

在冲模DI上安装半圆板状金属板70P，将冲头PU向箭头方向挤压而拉拔加工半圆板状金属板70P，从而制作定子叶片71。在所述拉拔加工中，在图6的斜线区域75a产生三维的塑性流动而形成外周侧支撑部75S。斜线区域75a塑性变形，由此，开口82从平面形状在叶片高度方向上三维地变形而形成切口75K。

如以上所说明般，根据所述一实施方式，发挥以下效果。

（1）在本发明的真空泵中，通过拉拔加工而制作多段静叶部70中的至少一个静叶部70，即叶片角度大且外周部的叶片高度大的静叶部70b～70d。因此，与通过机械加工而制作静叶部的情况相比，可以减少真空泵的成本。

（2）静叶部70通过如图8所示般利用冲模DI与冲头PU冲压并拉拔加工圆板状金属板70P，而通过外周侧支撑部75S及内周侧支撑部76S将定子叶片71的外周侧端部75及内周侧端部76与静叶部主体70A连接。因此，可增大定子叶片71的刚性。

（3）在叶片高度变大的外周侧端部75的支撑部75S，在与基端部72相向的侧端部73至基端部72的中间部之间设置着切口75K，因此，即便在叶片角度大且叶片高度大至大于等于规定值的情况下，也可以防止当拉拔加工时在外周侧支撑部75S产生龟裂。

（4）通常，在通过拉拔加工而形成外周侧支撑部75S的情况下，如果使外周侧支撑部75S的半径方向上的倾斜角度大（使其陡峭），则会产生龟裂，因此，为了不产生龟裂而使倾斜角度小（使其平缓）。如果使设置在定子叶片71的外周侧端部75侧的外周侧支撑部75S的半径方向上的倾斜角度小（使其平缓），则外周侧支撑部75S的长度变长，因此，作为定子叶片71的排气功能而起作用的半径方向的长度变小。相对于此，在本发明的一实施方式中，在定子叶片71的外周侧端部75侧设置着开口82，因此，即便增大倾斜角，也可以抑制在拉拔部产生龟裂。如此，可以增大外周侧支撑部75S的半径方向上的倾斜角度，因此可提高排气性能。

（5）通常，在定子叶片71的叶片角度或叶片高度大的情况下，如果通过一次拉拔加工而形成定子叶片71的外周侧端部75的外周侧支撑部75S，则容易产生龟裂。因此，进行多次拉拔加工以不使龟裂产生。相对于此，在本发明的一实施方式中是在定子叶片71的外周侧端部75的侧端部73侧形成开口82而进行拉拔加工，因此，即便在定子叶片71的叶片角度或叶片高度大的情况下，也可以不产生龟裂地通过一次拉拔加工将外周侧支撑部75S形成为所需形状。因此，加工作业变得有效率。

图10是表示静叶部的实施方式2的剖视图。

在实施方式2中的静叶部70H中，定子叶片71H包括下降斜率部71i及上升斜率部71h。即，定子叶片71H从连接于静叶部主体70A的基端部72起形成下降斜率部71i，在下降斜率部71i的前端侧形成上升斜率部71h。

在这种定子叶片71H的外周侧端部形成着所述外周侧支撑部75S、与切口75K。

另外，在所述一实施方式中，将最上段的定子叶片71a作为通过机械加工而制作的定子叶片进行了说明。但是，也可以增加通过机械加工而制作的定子叶片71的段数。此外，也可以通过拉拔加工而制作所有定子叶片71。

在所述一实施方式中，说明了定子叶片71b～71d在其外周侧支撑部75S形成着切口75K，定子叶片71e～71g在其外周侧支撑部75S未形成切口75K的情况。但是，可以任意地改变在外周侧支撑部75S形成切口75K的定子叶片与在外周侧支撑部75S形成切口75K的定子叶片的段数之比，此外，也可以将所有定子叶片71a～71g的全部制成在外周侧端部75形成切口75K的定子叶片。

在所述一实施方式中，说明了只在定子叶片71的外周侧支撑部75S形成切口75K，在内周侧端部76的内周侧支撑部76S未形成切口75K的情况。但是，在内周侧端部76也可以形成切口。

在所述一实施方式中，作为真空泵例示了包括叶片排气部及螺纹槽排气部的复合型涡轮分子泵。但是，本发明也可以应用于只包括叶片排气部的真空泵。

除此以外，本发明可以在发明的主旨范围内进行各种变形而应用。即，本发明可应用于各种形式的真空泵，它们包括积层着多段动叶部及静叶部的排气部，且具有以下构成。即，在经多段地积层的多个静叶部中的至少一段静叶部设置着多个定子叶片、及在径向上细长地形成的排气开口。各个定子叶片在周向上以规定的宽度呈放射状地延伸，且相对于静叶部主体以规定的叶片角度倾斜，排气开口是通过多个定子叶片将气流从上游导向下游的开口。多个定子叶片各自在内周端侧通过内周侧支撑部而三维地连接于静叶主体部，且在外周端侧通过外周侧支撑部而三维地连接于静叶主体部。在外周侧支撑部的圆周方向前端部设置着切口。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种真空泵，包括积层着多段动叶部及静叶部的排气部，其特征在于：

在经多段地积层的多个所述静叶部的至少一段所述静叶部中，设置着多个定子叶片及多个排气开口，

所述多个定子叶片在周向上以规定的宽度呈放射状延伸，且相对于静叶部主体以规定的叶片角度倾斜，

所述多个排气开口在径向上细长地形成，且通过所述多个定子叶片将气流从上游导向下游，且

一段所述静叶部中的多个定子叶片各自

在内周端侧通过内周侧支撑部而三维地连接于所述静叶主体部，

在外周端侧通过外周侧支撑部而三维地连接于所述静叶主体部，且

在所述外周侧支撑部的圆周方向前端部设置着切口。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述多个定子叶片各自在俯视下为在径向上细长的四边形形状，且包括：

内周端部，在所述定子叶片的内周端侧沿圆周方向延伸；

外周端部，在所述定子叶片的外周端侧沿圆周方向延伸；

基端部，连接所述内周端部的基部与所述外周端部的基部，且沿径向延伸；以及

侧端部，在周向上与所述基端部相向且沿径向延伸；

所述内周端部、外周端部、及基端部与所述静叶部主体连接，所述侧端部与所述静叶部主体分离而规定所述排气开口，且

与所述侧端部交叉的所述外周端部的前端部设置着所述切口。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：

所述切口在俯视下为四边形形状，且在圆周方向上较长，在径向上较短。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述内周侧支撑部设置为所述内周端部的全长，所述外周侧支撑部设置为从所述外周端部的基部至所述侧端部为止的全长的一部分区域。

5.根据权利要求2至4中任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：

所述切口的长度小于所述外周端部的长度的一半。

6.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：所述定子叶片通过拉拔加工而形成。