JPS5898696A - 分子ポンプのステ−タ - Google Patents
分子ポンプのステ−タInfo
- Publication number
- JPS5898696A JPS5898696A JP19679481A JP19679481A JPS5898696A JP S5898696 A JPS5898696 A JP S5898696A JP 19679481 A JP19679481 A JP 19679481A JP 19679481 A JP19679481 A JP 19679481A JP S5898696 A JPS5898696 A JP S5898696A
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- JP
- Japan
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- stator
- blade
- blades
- discs
- stators
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空ポンプの一種である、分子ポンプにおけ
るステータ（静翼）の構造に関するものである。
るステータ（静翼）の構造に関するものである。
従来のステータの構造をｇＪ１図ないし第４図により説
明する。第１図は縦型分子ポンプの縦断面図、第２図は
組合せ翼の断面図、第３図および第４図は翼形状による
最大排気速度効率および最大圧縮比の関係を示すグラフ
、第５図は従来のステータの一例を示す平面図、第６図
は第５図のＡ部から見た斜視図、第７図は第５図のＢ夜
回である。
明する。第１図は縦型分子ポンプの縦断面図、第２図は
組合せ翼の断面図、第３図および第４図は翼形状による
最大排気速度効率および最大圧縮比の関係を示すグラフ
、第５図は従来のステータの一例を示す平面図、第６図
は第５図のＡ部から見た斜視図、第７図は第５図のＢ夜
回である。
第１図において、分子ポンプの構造は、ロータ２（回転
翼）およびモータ５で駆動部を構成し、該ロータ２の翼
間にステータ３（静翼）を挿入し、該ステータ３の固定
用としてスペーサーリング４を設け、該スペーサーリン
グ４の外伸に外筒ケースｌを設は全体を固定している。
翼）およびモータ５で駆動部を構成し、該ロータ２の翼
間にステータ３（静翼）を挿入し、該ステータ３の固定
用としてスペーサーリング４を設け、該スペーサーリン
グ４の外伸に外筒ケースｌを設は全体を固定している。
流体は上方より侵入し下方に排気される。次に第２図に
おいて、ロータ２とステータ３の関係は、それぞれの翼
の角度が互いに逆になるように交互に設けである。
おいて、ロータ２とステータ３の関係は、それぞれの翼
の角度が互いに逆になるように交互に設けである。
そして１分子ポンプの性能は、ピッチコード比５、＝暑
／ｂ 、と翼角αの関係で決定される。したがって、分
子ポンプの翼の設計法としては、数段の翼列を設ける場
合、吸気口側では排気速度効率を大きくとり分子の通り
抜けを良クシ、排気口側では排気速度効率よりも圧縮比
を大きくし真空度を上げるようにするのが昔通である。
／ｂ 、と翼角αの関係で決定される。したがって、分
子ポンプの翼の設計法としては、数段の翼列を設ける場
合、吸気口側では排気速度効率を大きくとり分子の通り
抜けを良クシ、排気口側では排気速度効率よりも圧縮比
を大きくし真空度を上げるようにするのが昔通である。
このため、第３図および第４図に示すように排気速度効
率な良くするにはＳ、 ＝ １．０ 付近を選定し、
圧縮比を良くするにはＳ、＝Ｏ，Ｓ 付近を選定すれば
良いことがわかる。また、翼角度としては、排気速度効
率を大きくするにはα＝３０〜４０’％圧縮比を大きく
するにはα＝］Ｏ〜２０°とするのが有効であるなど周
知の事実となっている。したがって、翼の配列は吸気ロ
側ｓ、＝ｉ、ｏ、翼角α＝３０〜４０°から除々に形状
を変化させ、排気口側Ｓ、 ＝ ０．５ 、翼角α＝１
０〜２０°にする方が効果的である。第４図に一般的な
ステータの形状を示しているが、これは一枚円板に切れ
目を入れこれを曲げて翼を形成しているものである。機
械加工で行なえば自由なピッチコード比Ｓ、、翼角αに
て製作することができる。
率な良くするにはＳ、 ＝ １．０ 付近を選定し、
圧縮比を良くするにはＳ、＝Ｏ，Ｓ 付近を選定すれば
良いことがわかる。また、翼角度としては、排気速度効
率を大きくするにはα＝３０〜４０’％圧縮比を大きく
するにはα＝］Ｏ〜２０°とするのが有効であるなど周
知の事実となっている。したがって、翼の配列は吸気ロ
側ｓ、＝ｉ、ｏ、翼角α＝３０〜４０°から除々に形状
を変化させ、排気口側Ｓ、 ＝ ０．５ 、翼角α＝１
０〜２０°にする方が効果的である。第４図に一般的な
ステータの形状を示しているが、これは一枚円板に切れ
目を入れこれを曲げて翼を形成しているものである。機
械加工で行なえば自由なピッチコード比Ｓ、、翼角αに
て製作することができる。
しかし、前記ステータ３においては、板厚が薄く、翼枚
数が多いため、ピッチコード比Ｓ、および翼角αを変化
させながら加工する場合１作業が困難であり、かつ、多
大な時間を要し、高価なものとなる。したがって、板を
曲げて製作するのが良好な手段ではあるが、前述の如（
Ｓ、 およびαを除々に変化させていた場合、１枚板
からの形成であα＝１０〜２０°という値のものを製作
するのは不可能であるという欠点があった。また、翼枚
数を多くとる場合、ピッチコード比Ｓ０．翼角αに関係
なく作業的に困難であるという欠点があった。
数が多いため、ピッチコード比Ｓ、および翼角αを変化
させながら加工する場合１作業が困難であり、かつ、多
大な時間を要し、高価なものとなる。したがって、板を
曲げて製作するのが良好な手段ではあるが、前述の如（
Ｓ、 およびαを除々に変化させていた場合、１枚板
からの形成であα＝１０〜２０°という値のものを製作
するのは不可能であるという欠点があった。また、翼枚
数を多くとる場合、ピッチコード比Ｓ０．翼角αに関係
なく作業的に困難であるという欠点があった。
上記の点に鑑み本発明は、板曲げ作業で製作するステー
タ翼において、所定のピッチコード比Ｓおよび翼角αが
容易に形成できるステータの構造とすることを目的とし
たものである。
タ翼において、所定のピッチコード比Ｓおよび翼角αが
容易に形成できるステータの構造とすることを目的とし
たものである。
本発明は、ステータを２枚の板を重ね合わせて構成し、
各板の製作時にｉける所定のピッチコード比および翼角
を容易に形成できるようにしたことを特徴とするもので
ある。
各板の製作時にｉける所定のピッチコード比および翼角
を容易に形成できるようにしたことを特徴とするもので
ある。
以下、本発明による一実施例を第８図ないし第１２図に
より説明する。第８図および第９図に示すように、まず
、母材となる円板に翼の切欠−を入れる。すなわち、対
応する円板で翼の根元となる位置に互いに反対方向とな
るように斜線で示すような切欠−を入れ、１１５図に示
すステータと同様に、同一方向に板曲げを行ない翼形状
を構成したステータ６および７を製作する。次に第１０
図に示すように、ステータ６および７を根元の切欠きが
向い合うように重ね合せ、ステータ６および７を互いに
回転させて、第１１図および第１２図に示すように組合
せステータを形成する。本実施例のようにすることによ
り、翼ピッチ鳳を従来の１枚ものの半分にすることがで
きるため、圧縮比１里 を高めるために必要な現論的なピッチコード比Ｓ。
より説明する。第８図および第９図に示すように、まず
、母材となる円板に翼の切欠−を入れる。すなわち、対
応する円板で翼の根元となる位置に互いに反対方向とな
るように斜線で示すような切欠−を入れ、１１５図に示
すステータと同様に、同一方向に板曲げを行ない翼形状
を構成したステータ６および７を製作する。次に第１０
図に示すように、ステータ６および７を根元の切欠きが
向い合うように重ね合せ、ステータ６および７を互いに
回転させて、第１１図および第１２図に示すように組合
せステータを形成する。本実施例のようにすることによ
り、翼ピッチ鳳を従来の１枚ものの半分にすることがで
きるため、圧縮比１里 を高めるために必要な現論的なピッチコード比Ｓ。
の値も簡単に得ることが出来る。また、ステータ６．７
も組合せステータを形成することにより、１枚毎の翼枚
数も従来のものに比較し少なくなるために、飯曲げ作業
も容易となるという効果がある。また、翼の根元に切欠
きを入れることによる強度低下については、氷晶は静翼
であるため強度的には全く問題とならない。
も組合せステータを形成することにより、１枚毎の翼枚
数も従来のものに比較し少なくなるために、飯曲げ作業
も容易となるという効果がある。また、翼の根元に切欠
きを入れることによる強度低下については、氷晶は静翼
であるため強度的には全く問題とならない。
以上説明したように本発明によれば、２枚の円板にそれ
ぞれ反対に切欠を設け、翼を曲げることによって形成し
、該円板を重ねて各円板の翼が平行かつ等間隔となるよ
う接合してステータを構成することにより、各円板にお
ける翼の枚数が少なくなるとともにその間隔も広いため
、製作が容易となり、所定のピッチコード比および翼角
を形成できる。
ぞれ反対に切欠を設け、翼を曲げることによって形成し
、該円板を重ねて各円板の翼が平行かつ等間隔となるよ
う接合してステータを構成することにより、各円板にお
ける翼の枚数が少なくなるとともにその間隔も広いため
、製作が容易となり、所定のピッチコード比および翼角
を形成できる。
第１図は縦型分子ポンプの縦断面図、第２図は組合せ翼
の断面図、第３図および第４図は翼形状による最大排気
速度効率および最大圧縮比を示すグラフ、第５図は従来
のステータの平面図、第６図は第５図のＡ部からの斜視
図、第７図は第５図のＢ夜回、第８図および第９図は本
発明にょるステータの一実施例を構成する円板の平面図
、第１０図は本発明によるステータの一実施例の部分拡
大平面図、第１１図は第１θ図のぐ部からの斜視図、第
ν図は第１０図の且夜回である。 ｌｏ・・°゛・外筒ケース、２・・・・・・ロータ、
３．６．７・・・・・・ステータ、４・・・・・・スペ
ーサーリング、５・・・・・・モータ −′Ｊ′１図 業２Ｇ 才３図 １ＦオＪ［− 才４ｔＪ 動部に− ５ｒｚｔ ｒｓｒｓ ｔｑｒｔＪ 崖１０図 ￥１１図 才′２図
の断面図、第３図および第４図は翼形状による最大排気
速度効率および最大圧縮比を示すグラフ、第５図は従来
のステータの平面図、第６図は第５図のＡ部からの斜視
図、第７図は第５図のＢ夜回、第８図および第９図は本
発明にょるステータの一実施例を構成する円板の平面図
、第１０図は本発明によるステータの一実施例の部分拡
大平面図、第１１図は第１θ図のぐ部からの斜視図、第
ν図は第１０図の且夜回である。 ｌｏ・・°゛・外筒ケース、２・・・・・・ロータ、
３．６．７・・・・・・ステータ、４・・・・・・スペ
ーサーリング、５・・・・・・モータ −′Ｊ′１図 業２Ｇ 才３図 １ＦオＪ［− 才４ｔＪ 動部に− ５ｒｚｔ ｒｓｒｓ ｔｑｒｔＪ 崖１０図 ￥１１図 才′２図
Claims (1)
- １ 各ロータの間に配置され、吸気口から排気口にかけ
てそれぞれの翼のピッチコード比および翼角が順次変化
する分子ポンプのステータにおいて、母材となる２枚の
円板の各円板について反対方向でかつ翼の根元となる位
置に切欠きを設け、各円板の翼が対向する方向に該翼を
所定のピッチコード比および翼角に曲げた該各円板を重
ね合せたことを特徴とする分子ポンプのステータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679481A JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679481A JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898696A true JPS5898696A (ja) | 1983-06-11 |
| JPS6143559B2 JPS6143559B2 (ja) | 1986-09-27 |
Family
ID=16363754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19679481A Granted JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898696A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143192U (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-21 | セイコー精機株式会社 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
| JPS62258187A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法 |
| EP1201928A2 (de) * | 2000-10-24 | 2002-05-02 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Scheiben für eine Turbomolekularpumpe |
| JP2005264932A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプおよびそのディスクの製造方法 |
| GB2440947A (en) * | 2006-08-16 | 2008-02-20 | Boc Group Plc | A stator blade made of at least two stacked sheets |
| JP2014159805A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-09-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| JP2020122429A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02133953U (ja) * | 1989-04-15 | 1990-11-07 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55100087U (ja) * | 1978-12-28 | 1980-07-11 |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP19679481A patent/JPS5898696A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55100087U (ja) * | 1978-12-28 | 1980-07-11 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143192U (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-21 | セイコー精機株式会社 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
| JPH0110472Y2 (ja) * | 1984-03-02 | 1989-03-24 | ||
| JPS62258187A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法 |
| EP1201928A2 (de) * | 2000-10-24 | 2002-05-02 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Scheiben für eine Turbomolekularpumpe |
| EP1201928A3 (de) * | 2000-10-24 | 2003-04-16 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Scheiben für eine Turbomolekularpumpe |
| JP2005264932A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプおよびそのディスクの製造方法 |
| GB2440947A (en) * | 2006-08-16 | 2008-02-20 | Boc Group Plc | A stator blade made of at least two stacked sheets |
| JP2014159805A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-09-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| US10161403B2 (en) | 2013-01-22 | 2018-12-25 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
| JP2020122429A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6143559B2 (ja) | 1986-09-27 |
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