EP1201928A2 - Scheiben für eine Turbomolekularpumpe - Google Patents

Scheiben für eine Turbomolekularpumpe Download PDF

Info

Publication number
EP1201928A2
EP1201928A2 EP01122335A EP01122335A EP1201928A2 EP 1201928 A2 EP1201928 A2 EP 1201928A2 EP 01122335 A EP01122335 A EP 01122335A EP 01122335 A EP01122335 A EP 01122335A EP 1201928 A2 EP1201928 A2 EP 1201928A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
disks
blades
disk
axial direction
disc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP01122335A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1201928B1 (de
EP1201928A3 (de
Inventor
Tobias Stoll
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7660850&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP1201928(A2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP1201928A2 publication Critical patent/EP1201928A2/de
Publication of EP1201928A3 publication Critical patent/EP1201928A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1201928B1 publication Critical patent/EP1201928B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Revoked legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F04D29/544—Blade shapes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2230/00—Manufacture
    • F05D2230/50—Building or constructing in particular ways
    • F05D2230/54—Building or constructing in particular ways by sheet metal manufacturing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2300/00—Materials; Properties thereof
    • F05D2300/10—Metals, alloys or intermetallic compounds
    • F05D2300/17—Alloys
    • F05D2300/171—Steel alloys

Definitions

  • the invention relates to disks for a turbomolecular pump according to the preamble of the 1st claim.
  • a turbomolecular pump is made up of rotor and stator disks, which alternate are arranged one behind the other and have blade rings.
  • the Pumping action is based on the impulses in the blades of the rotor disks Pump direction are transferred to the molecules of the gas to be pumped.
  • the two essential pump properties namely pumping speed and pressure ratio, depend strongly on the speed of the rotor disks.
  • the pumping speed increases linear with the speed and the pressure ratio even exponentially.
  • the rotor speed must be as high as possible his. This places high demands on the blades of the rotor disks their geometry, mechanical strength and stability.
  • Another criterion for optimal pump properties is the optical tightness of the individual slices. This creates a backflow within the disc package prevented in the axial direction.
  • the milled disks are made of aluminum because this material well suited for milling. In many applications, it becomes when using turbomolecular pumps required to pump corrosive gases. Because aluminum is not resistant is against corrosion, the disks produced in this way can only be used after going through an appropriate surface treatment have been made corrosion-resistant. This will make the Buckets more complex and expensive.
  • the disks thus produced by punching and bending out the blades have the serious disadvantage that they are not optically dense. This leads to high backflow losses within the pump.
  • Another disadvantage is that the Total mass of the blades of a disc is relatively large, based on the radial Surface of the support ring. As a result, this is highly stressed by the centrifugal force, what again the speed of the pump and thus its performance is limited.
  • the invention is based on the task, disks for turbomolecular pumps to develop which do not have the disadvantages described above.
  • the disks should consist of corrosion-resistant material and can be produced with little effort and inexpensively.
  • the optical Tightness should be largely guaranteed and the stress caused by centrifugal force should be kept within such limits, within which the pump with maximum Speed can be operated safely.
  • the disks according to the invention make it possible to manufacture them in a corrosion-resistant manner
  • Use materials that make up the gas producing structure by punching slots and unscrewing the blades from the disc plane is formed.
  • the joining of several partial disks leads to the optical one Tightness of the entire disc, causing backflow both inside a disc as well as within the entire disc package can be prevented.
  • this construction allows the individual indexing disks with fewer blades to be equipped as a one-piece disc in order to achieve optical tightness.
  • FIGS. 1-3 With the aid of FIGS. 1-3, the invention is to be illustrated using the example of one made of two partial disks existing disc for mounting on a rotor shaft are explained in more detail.
  • Fig. 1 shows the two pulleys 11 and 12.
  • the blades 31 and 32 arranged at an angle to the disc plane are designed to form a gas-producing structure. Between the blades there are openings in the form of radially extending slots 41 and 42.
  • the two partial disks are combined to form a disk 1 in FIG. 3.
  • the Fig. 2 shows an intermediate stage in which the two partial disks 11 and 12 already close to each other, but not yet connected. 3 are the the two part disks are joined together with the aid of the link plates 51 and 52. It arises thus a disc 1 with the inner support ring 2 and at an angle to the disc plane arranged blades 3. Between these are the openings in Form of radially extending slots 4.
  • the blades 3 are made of the Blades 31, 32 of the dividing discs 11, 12 assembled and designed so that they are in are optically tight in the axial direction.
  • the dividing disks 11, 12 are made of sheet metal bodies formed and the blades 31, 32 are made by punching and then unscrewing generated from the disk plane.
  • rotor disks consisting of two partial disks were shown. Likewise, more than two partial disks can be combined to form an entire disk become. Stator disks can also be used within the scope of the invention be composed of the same kind. The blades are then usually located in the radial direction within the support ring.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Die Erfindung stellt Scheiben (1) für Turbomolekularpumpen vor, die aus einzelnen Teilscheiben (11, 12) bestehen. Diese Teilscheiben sind als Blechkörper ausgebildet, wobei die Schaufeln (31, 32) durch Stanzen und anschließendes Herausdrehen aus der Scheibenebene gebildet wurden. Die Teilscheiben werden so zusammengefügt, dass diese durch die Schaufeln (31, 32) und Schlitze (41, 42) eine gasfördernde Struktur mit optischer Dichtheit bilden. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft Scheiben für eine Turbomolekularpumpe nach dem Oberbegriff des 1. Anspruches.
Eine Turbomolekularpumpe ist aus Rotor- und Statorscheiben aufgebaut, die abwechselnd hintereinander angeordnet sind und Schaufelkränze aufweisen. Die Pumpwirkung beruht darauf, dass durch die Schaufeln der Rotorscheiben Impulse in Pumprichtung auf die Moleküle des zu pumpenden Gases übertragen werden. Die beiden wesentlichen Pumpeigenschaften, nämlich Saugvermögen und Druckverhältnis, hängen stark von der Drehzahl der Rotorscheiben ab. Das Saugvermögen steigt linear mit der Drehzahl an und das Druckverhältnis sogar exponentiell. Um eine optimale Pumpwirkung zu erreichen, muss die Drehzahl des Rotors möglichst hoch sein. Dadurch werden hohe Anforderungen an die Schaufeln der Rotorscheiben betreffend ihrer Geometrie, mechanischen Festigkeit und Stabilität gestellt.
Eine weitere Voraussetzung für optimale Pumpeigenschaften ist eine minimale Dicke der Schaufeln. Neben dem Vorteil eines großen Durchtrittsquerschnittes für das zu pumpende Gas, wodurch das Saugvermögen gesteigert wird, spielen hier Festigkeitsüberlegungen eine Rolle. Wegen der angestrebten hohen Drehzahl muss die Fliehkraft, die auf die Schaufeln, den Schaufelgrund und auf den Innendurchmesser der Rotorscheiben wirkt, auf ein Minimum begrenzt werden.
Ein weiteres Kriterium für optimale Pumpeigenschaften ist die optische Dichtheit der einzelnen Scheiben. Dadurch wird eine Rückströmung innerhalb des Scheibenpaketes in axialer Richtung verhindert.
Bisher sind im wesentlichen zwei Arten von Scheiben für Turbomolekularpumpen bekannt. Die eine ist aus einer massiven Scheiben hergestellt, in welcher zur Scheibenebene schräge, radial verlaufende Schlitze eingefräst sind. Die andere ist aus Blech gefertigt, wobei durch Stanzen und Herausbiegen von Teilen der Scheibenfläche aus der Scheibenebene Schaufeln gebildet werden.
Die gefrästen Scheiben werden aus Aluminium hergestellt, da dieser Werkstoff sich gut zum Fräsen eignet. In vielen Anwendungsfällen wird es beim Einsatz von Turbomolekularpumpen erforderlich, korrosive Gase zu fördern. Da Aluminium nicht beständig gegen Korrosion ist, können die so hergestellten Scheiben in diesen Fällen nur eingesetzt werden, nachdem sie durch eine entsprechende Oberflächenbehandlung korrosionsbeständig gemacht wurden. Dadurch wird die Herstellung der Schaufeln aufwendiger und teurer.
Andere Werkstoffe, z. B. hochfester korrosionsbeständiger Stahl, eignen sich wiederum schlecht zum Fräsen. Sie sind aber in Form von Blechen stanz- und verformbar.
Die so durch Stanzen und Herausbiegen der Schaufeln hergestellten Scheiben weisen den gravierenden Nachteil auf, dass sie nicht optisch dicht sind. Dies führt zu hohen Rückströmverlusten innerhalb der Pumpe. Ein weiterer Nachteil ist, dass die Gesamtmasse der Schaufeln einer Scheibe relativ groß ist, bezogen auf die radiale Fläche des Tragringes. Dadurch wird dieser durch die Fliehkraft hoch belastet, was wiederum die Drehzahl der Pumpe und somit ihre Leistungsfähigkeit begrenzt.
Der Erfindung liegt die Aufgabenstellung zugrunde, Scheiben für Turbomolekularpumpen zu entwickeln, welche die oben beschriebenen Nachteile nicht aufweisen. Insbesondere sollen die Scheiben aus korrosionsbeständigem Material bestehen und mit wenig Aufwand und kostengünstig hergestellt werden können. Die optische Dichtheit soll weitgehend gewährleistet sein und die Belastung durch die Fliehkraft soll in solchen Grenzen gehalten werden, innerhalb derer die Pumpe mit maximaler Drehzahl sicher betrieben werden kann.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des 1. Schutzanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 und 3 stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.
Durch die erfindungsgemäßen Scheiben wird es möglich, zu deren Herstellung korrosionsbeständige Materialien zu verwenden, aus denen die gasfördernde Struktur durch Einstanzen von Schlitzen und Herausdrehen der Schaufeln aus der Scheibenebene gebildet wird. Das Zusammenfügen von mehreren Teilscheiben führt zur optischen Dichtheit der gesamten Scheibe, wodurch Rückströmungen sowohl innerhalb einer Scheibe als auch innerhalb des gesamten Scheibenpaketes verhindert werden. Zudem erlaubt diese Konstruktion, die einzelnen Teilscheiben mit weniger Schaufeln auszustatten als eine einstückige Scheibe, um die optische Dichtheit zu erlangen.
Dadurch wird bei Rotorscheiben die Belastung durch Fliehkraft auf den Schaufelgrund und den Tragring auf ein Minimum begrenzt, so dass durch höhere Drehzahl optimale Pumpeigenschaften erreicht werden können. Gegenüber gefrästen Schaufeln besteht der Vorteil, das die gestanzten Schaufeln deutlich dünner sind und so durch einen größeren Durchtrittsquerschnitt bessere Pumpeigenschaften aufweisen. Auch dieser Tatbestand trägt zur geringeren Belastung durch Fliehkraft bei.
Anhand der Figuren 1 - 3 soll die Erfindung am Beispiel einer aus zwei Teilscheiben bestehenden Scheibe zur Montage auf einer Rotorwelle näher erläutert werden.
Fig. 1 zeigt die beiden Teilscheiben 11 und 12. Dabei sind die Tragringe mit 21 und 22 bezeichnet. Die schräg zur Scheibenebene angeordneten Schaufeln 31 und 32 sind so gestaltet, dass sie eine gasfördernde Struktur bilden. Zwischen den Schaufeln befinden sich Öffnungen in Form von radial verlaufenden Schlitzen 41 und 42. Die beiden Teilscheiben werden zu einer Scheibe 1 in Fig. 3 zusammengefügt. Die Fig. 2 zeigt ein Zwischenstadium, in dem die beiden Teilscheiben 11 und 12 schon nahe beieinander, jedoch noch nicht miteinander verbunden sind. In Fig. 3 sind die beiden Teilscheiben mit Hilfe der Fügelaschen 51 und 52 zusammengefügt. Es entsteht somit eine Scheibe 1 mit dem inneren Tragring 2 und den schräg zur Scheibenebene angeordneten Schaufeln 3. Zwischen diesen befinden sich die Öffnungen in Form von radial verlaufenden Schlitzen 4. Die Schaufeln 3 sind derart aus den Schaufeln 31, 32 der Teilscheiben 11, 12 zusammgesetzt und gestaltet, dass sie in axialer Richtung optisch dicht sind. Die Teilscheiben 11, 12 sind aus Blechkörpern gebildet und die Schaufeln 31, 32 werden durch Stanzen und anschließendes Herausdrehen aus der Scheibenebene erzeugt.
In dem Beispiel wurden Rotorscheiben, bestehend aus zwei Teilscheiben, dargestellt. Ebenso können mehr als zwei Teilscheiben zu einer gesamten Scheibe zusammengefügt werden. Auch Statorscheiben können im Rahmen der Erfindung in der gleichen Art zusammengesetzt sein. In der Regel befinden sich dann die Schaufeln in radialer Richtung innerhalb des Tragringes.

Claims (3)

  1. Scheiben (1) für eine Turbomolekularpumpe, welche mit einem Tragring (2) sowie mit in einer ringförmigen Zone schräg zur Scheibenebene angeordneten Schaufeln (3) versehen sind und so Öffnungen in Form von radial verlaufenden Schlitzen (4) zwischen den Schaufeln aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus mehreren in axialer Richtung zusammengefügten Teilscheiben (11, 12) bestehen und diese so zusammengefügt sind, dass jeweils die Schaufeln (31, 32) einer Teilscheibe die Schlitze (41, 42) der folgenden Teilscheibe ganz oder teilweise abdecken.
  2. Scheiben nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilscheiben (11, 12) so zusammengefügt werden, dass sie in axialer Richtung optisch dicht sind.
  3. Scheiben nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilscheiben (11, 12) als Blechkörper ausgebildet sind und die Schaufeln (31, 32) durch Stanzen und anschließendes Herausdrehen aus der Scheibenebene gebildet wurden.
EP01122335A 2000-10-24 2001-09-19 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe Revoked EP1201928B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10052637.3A DE10052637B4 (de) 2000-10-24 2000-10-24 16.02.2001 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe
DE10052637 2000-10-24

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1201928A2 true EP1201928A2 (de) 2002-05-02
EP1201928A3 EP1201928A3 (de) 2003-04-16
EP1201928B1 EP1201928B1 (de) 2006-11-08

Family

ID=7660850

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01122335A Revoked EP1201928B1 (de) 2000-10-24 2001-09-19 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20020098088A1 (de)
EP (1) EP1201928B1 (de)
JP (1) JP4056725B2 (de)
DE (2) DE10052637B4 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008151770A1 (de) * 2007-06-11 2008-12-18 Wilo Ag Laufrad aus flächigem material
CN102062121A (zh) * 2010-09-16 2011-05-18 格兰富水泵(苏州)有限公司 轴流式叶轮
EP3032106A1 (de) * 2014-12-08 2016-06-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006020081A1 (de) * 2006-04-29 2007-10-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe
GB2440947A (en) * 2006-08-16 2008-02-20 Boc Group Plc A stator blade made of at least two stacked sheets
US8221098B2 (en) * 2009-03-09 2012-07-17 Honeywell International Inc. Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor
TWI424121B (zh) * 2010-12-10 2014-01-21 Prosol Corp 渦輪分子泵浦之葉片結構改良
DE102014114326A1 (de) 2014-10-02 2016-04-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe sowie Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe
EP3051140B1 (de) * 2015-01-29 2018-01-10 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorscheibe für eine vakuumpumpe

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3477381A (en) * 1966-12-30 1969-11-11 Pfeiffer Vakuumtechnik Turbo-molecular pump
GB1275386A (en) * 1970-04-10 1972-05-24 Balzers Patent Beteilig Ag Disc for a molecular vacuum pump
US3748055A (en) * 1970-07-15 1973-07-24 W Becker Rotor and stator wheel construction for a turbo molecular pump
US4309143A (en) * 1976-11-29 1982-01-05 Kernforschungsanlage Julich Gmbh Vane-disk type turbomolecular pump and etching method of manufacture of vane disks
JPS5898696A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Hitachi Ltd 分子ポンプのステ−タ

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1071275B (de) * 1959-12-17
DE2717366B2 (de) * 1977-04-20 1979-10-11 Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik-Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Laufrad für eine Turbomolekularpumpe

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3477381A (en) * 1966-12-30 1969-11-11 Pfeiffer Vakuumtechnik Turbo-molecular pump
GB1275386A (en) * 1970-04-10 1972-05-24 Balzers Patent Beteilig Ag Disc for a molecular vacuum pump
US3748055A (en) * 1970-07-15 1973-07-24 W Becker Rotor and stator wheel construction for a turbo molecular pump
US4309143A (en) * 1976-11-29 1982-01-05 Kernforschungsanlage Julich Gmbh Vane-disk type turbomolecular pump and etching method of manufacture of vane disks
JPS5898696A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Hitachi Ltd 分子ポンプのステ−タ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 007, no. 199 (M-240), 3. September 1983 (1983-09-03) & JP 58 098696 A (HITACHI SEISAKUSHO KK), 11. Juni 1983 (1983-06-11) *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008151770A1 (de) * 2007-06-11 2008-12-18 Wilo Ag Laufrad aus flächigem material
CN102062121A (zh) * 2010-09-16 2011-05-18 格兰富水泵(苏州)有限公司 轴流式叶轮
CN102062121B (zh) * 2010-09-16 2013-03-27 格兰富水泵(苏州)有限公司 液体轴流式叶轮
EP3032106A1 (de) * 2014-12-08 2016-06-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002161889A (ja) 2002-06-07
EP1201928B1 (de) 2006-11-08
DE50111402D1 (de) 2006-12-21
DE10052637A1 (de) 2002-05-02
EP1201928A3 (de) 2003-04-16
JP4056725B2 (ja) 2008-03-05
DE10052637B4 (de) 2021-03-11
US20020098088A1 (en) 2002-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60203563T2 (de) Zentripetale Abblasvorrichtung
EP1731766B1 (de) Statorscheibe für Turbomolekularpumpe
EP0856108B1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit zwischeneinlass
DE8204681U1 (de) Kupplungsscheibe
DE10052637B4 (de) 16.02.2001 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe
DE102009021620B4 (de) Vakuumpumpe
DE3722164C2 (de) Turbomolekularpumpe
DE102007051988A1 (de) Turbomolekularpumpe
EP1918588B1 (de) Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe
EP1850011B1 (de) Rotor- oder Statorscheibe für eine Molekularpumpe
DE10331932A1 (de) Turbomolekularpumpe
DE102011017339A1 (de) Kreiselpumpe
EP1580435B2 (de) Turbomolekularpumpe
DE102007027455A1 (de) Turbolader mit wenigstens einem Einstellteil zum Einstellen eines Spalts an einem Laufrad
DE102011121223A1 (de) Turboverdichter
DE102007009996A1 (de) Elektromotor
DE102010052659A1 (de) Turbomolekularpumpe
DE2926135C2 (de) Laufrad einer einflutigen, zentripetal durchströmten Radialturbine
DE2050555A1 (de) Scheibe für eine Turbomolekular-Vakuumpumpe
DE10203648B4 (de) Rotor-und Statorscheiben für eine Turbomolekularpumpe
DE1428238B2 (de) Scheibe fuer eine turbo molekularpumpe
WO2009027260A1 (de) Radialverdichterlaufrad
DE102019006665A1 (de) Einschaufelrad
EP1164294B1 (de) Gasreibungspumpe
DE102013114576A1 (de) Statorscheibe

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: 7F 04D 29/32 B

Ipc: 7F 04D 29/54 B

Ipc: 7F 04D 19/04 A

17P Request for examination filed

Effective date: 20030905

AKX Designation fees paid

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061108

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REF Corresponds to:

Ref document number: 50111402

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20061221

Kind code of ref document: P

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20070207

NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
ET Fr: translation filed
PLBI Opposition filed

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

26 Opposition filed

Opponent name: EDWARDS LIMITED

Effective date: 20070704

PLAX Notice of opposition and request to file observation + time limit sent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS2

PLAF Information modified related to communication of a notice of opposition and request to file observations + time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSCOBS2

PLBB Reply of patent proprietor to notice(s) of opposition received

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNOBS3

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070930

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070930

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20110906

Year of fee payment: 11

PLAB Opposition data, opponent's data or that of the opponent's representative modified

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009299OPPO

R26 Opposition filed (corrected)

Opponent name: EDWARDS LIMITED

Effective date: 20070704

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R064

Ref document number: 50111402

Country of ref document: DE

Ref country code: DE

Ref legal event code: R103

Ref document number: 50111402

Country of ref document: DE

RDAF Communication despatched that patent is revoked

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNREV1

RDAG Patent revoked

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009271

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: PATENT REVOKED

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20120817

Year of fee payment: 12

27W Patent revoked

Effective date: 20120522

GBPR Gb: patent revoked under art. 102 of the ep convention designating the uk as contracting state

Effective date: 20120522

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R107

Ref document number: 50111402

Country of ref document: DE

Effective date: 20121227

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20120831

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20120927

Year of fee payment: 12