JP5353838B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
(1) 上述の説明では、機構部閉止板122のボルト孔122aの角度ピッチが冷却装置13のねじ孔13hの角度ピッチと同じであるが、本発明はこれに限定されない。たとえば、機構部閉止板122のボルト孔122aの角度ピッチが冷却装置13のねじ孔13hの角度ピッチの2以上の整数倍であっても良く、冷却装置13のねじ孔13hの角度ピッチが機構部閉止板122のボルト孔122aの角度ピッチの2以上の整数倍であっても良い。
(6)上述した各実施の形態および変形例は、それぞれ組み合わせてもよい。
3 ネジ溝排気部 4 ロータ
6 ステータ翼 8 ネジステータ
11 ポンプ本体 13 冷却装置
14 電源装置(制御ユニット) 110,120 ケーシング
121 開口 122 機構部閉止板
130 コネクタ装置 131,132 コネクタ部材
Claims (4)
- 磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、
ポンプ軸心と同軸状態で前記ポンプ本体の下面に取り付けられ、前記ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、
前記ポンプ本体と前記制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタ装置であって、互いに着脱される前記ポンプ本体側の第1のコネクタ部材と前記制御ユニット側の第2のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、
前記ポンプ軸心と同軸状態で前記ポンプ本体の下面に取り付けられ、前記第1のコネクタ部材が設置されたコネクタ取り付け部材とを備え、
前記コネクタ取り付け部材は、前記ポンプ本体と前記制御ユニットとの取り付け位相に応じて、第1の取り付け位相または第2の取り付け位相で前記ポンプ本体の下面に取り付けられることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1のコネクタ部材は、前記ポンプ本体の下面に取り付けられると、前記ポンプ軸心と偏心した位置に設置されることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1または請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体には、前記回転体を取り付けるために下面に開口が設けられており、
前記コネクタ取り付け部材は、前記開口を塞ぐ部材であることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記コネクタ取り付け部材は、前記開口を塞ぐ閉止フランジ状の部材であることを特徴とする真空ポンプ。
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