JP7088688B2 - 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 - Google Patents
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Description
前記制御装置は、
内部に冷却媒体流路が形成された冷却部と、
発熱部品を備え前記冷却部による冷却が可能な電装部品部と、を有し、
前記冷却部には前記電装部品部が熱移動可能に取り付けられ、
前記電装部品部には、前記発熱部品が実装され前記冷却部に固定された回路基板と、前記回路基板及び前記発熱部品を少なくとも部分的に覆うモールド部と、が設けられ、
前記モールド部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であり、
前記冷却媒体流路は、前記冷却部に鋳込まれた冷却管の内部に形成され、
前記冷却管は、前記冷却部から前記電装部品部の側に向かって部分的に突出して露出する露出部を有し、
前記冷却管の露出した部分の断面積は、前記冷却管の断面積の半分より小さく、
前記モールド部が前記露出部に接していることを特徴とする真空ポンプにある。
前記モールド部及び前記貫通部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であることを特徴とする真空ポンプにある。
発熱部品を備え前記冷却部による冷却が可能な電装部品部と、を有し、
前記冷却部には前記電装部品部が熱移動可能に取り付けられ、
前記電装部品部には、前記発熱部品が実装され前記冷却部に固定された回路基板と、前記回路基板及び前記発熱部品を少なくとも部分的に覆うモールド部と、が設けられ、
前記モールド部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であり、
前記冷却媒体流路は、前記冷却部に鋳込まれた冷却管の内部に形成され、
前記冷却管は、前記冷却部から前記電装部品部の側に向かって部分的に突出して露出する露出部を有し、
前記冷却管の露出した部分の断面積は、前記冷却管の断面積の半分より小く、
前記モールド部が前記露出部に接していることを特徴とする真空ポンプの制御装置にある。
しかし、電源回路部33と制御回路部34の配置はこれに限定されず、制御回路部34を下にして上下に配置してもよい。
冷却部は、一般的には冷却管38に流す冷却水により冷却されるが、冷却媒体(冷媒)は冷却水に限定されず、水以外の流体や冷却ガス等の他の冷媒であっても構わない。
11 ポンプ本体
31 電装ケース(制御装置)
33 電源回路部(電装部品部)
34 制御回路部(電装部品部)
36 冷却ジャケット(冷却部)
38 冷却管
38a 冷却媒体流路
40 鉛直部
46 鉛直部の内側面(冷却面)
51 回路基板
55 露出部
62 回路部品(発熱部品)
72 スリット(貫通部)
74 モールド樹脂(モールド部)
Claims (4)
- ポンプ本体と、前記ポンプ本体の外側に配置された制御装置とを備え、
前記制御装置は、
内部に冷却媒体流路が形成された冷却部と、
発熱部品を備え前記冷却部による冷却が可能な電装部品部と、を有し、
前記冷却部には前記電装部品部が熱移動可能に取り付けられ、
前記電装部品部には、前記発熱部品が実装され前記冷却部に固定された回路基板と、前記回路基板及び前記発熱部品を少なくとも部分的に覆うモールド部と、が設けられ、
前記モールド部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であり、
前記冷却媒体流路は、前記冷却部に鋳込まれた冷却管の内部に形成され、
前記冷却管は、前記冷却部から前記電装部品部の側に向かって部分的に突出して露出する露出部を有し、
前記冷却管の露出した部分の断面積は、前記冷却管の断面積の半分より小さく、
前記モールド部が前記露出部に接していることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記回路基板には、前記回路基板を貫通し前記モールド部が入り込む貫通部が形成され、
前記モールド部及び前記貫通部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。 - 前記冷却部が、前記回路基板の、前記発熱部品が実装された側に対して逆側の位置で、前記貫通部に入り込んだ前記モールド部に面していることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 内部に冷却媒体流路が形成された冷却部と、
発熱部品を備え前記冷却部による冷却が可能な電装部品部と、を有し、
前記冷却部には前記電装部品部が熱移動可能に取り付けられ、
前記電装部品部には、前記発熱部品が実装され前記冷却部に固定された回路基板と、前記回路基板及び前記発熱部品を少なくとも部分的に覆うモールド部と、が設けられ、
前記モールド部を介した前記冷却部の側へ熱移動が可能であり、
前記冷却媒体流路は、前記冷却部に鋳込まれた冷却管の内部に形成され、
前記冷却管は、前記冷却部から前記電装部品部の側に向かって部分的に突出して露出する露出部を有し、
前記冷却管の露出した部分の断面積は、前記冷却管の断面積の半分より小さく、
前記モールド部が前記露出部に接していることを特徴とする真空ポンプの制御装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7022265B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP7087418B2 (ja) * | 2018-02-02 | 2022-06-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP7096006B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-07-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
JP7088688B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-06-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
CN214092394U (zh) * | 2020-12-17 | 2021-08-31 | 中山大洋电机股份有限公司 | 一种直流引风机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008244062A (ja) | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kojima Press Co Ltd | 回路基板 |
JP2009270750A (ja) | 2008-05-05 | 2009-11-19 | Golden Sun News Technics Co Ltd | 放熱器に埋め込んだヒートパイプ蒸発部の平坦化法とヒートパイプ付き放熱器 |
JP2011112254A (ja) | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Daikin Industries Ltd | 冷凍装置 |
JP2013100760A (ja) | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Shimadzu Corp | 一体型ターボ分子ポンプ |
JP2014043827A (ja) | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ |
JP2017200314A (ja) | 2016-04-27 | 2017-11-02 | カルソニックカンセイ株式会社 | 電力変換装置 |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07194139A (ja) | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Hitachi Ltd | 電気自動車用インバータの冷却装置 |
IT1288737B1 (it) * | 1996-10-08 | 1998-09-24 | Varian Spa | Dispositivo di pompaggio da vuoto. |
JP3961155B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2007-08-22 | Bocエドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
KR20060061336A (ko) * | 2003-08-08 | 2006-06-07 | 비오씨 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
JP2005320905A (ja) * | 2004-05-10 | 2005-11-17 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
US7079396B2 (en) * | 2004-06-14 | 2006-07-18 | Sun Microsystems, Inc. | Memory module cooling |
CN2713642Y (zh) * | 2004-06-21 | 2005-07-27 | 华孚科技股份有限公司 | 热管散热器 |
US7289327B2 (en) * | 2006-02-27 | 2007-10-30 | Stakick Group L.P. | Active cooling methods and apparatus for modules |
US7106595B2 (en) * | 2004-09-15 | 2006-09-12 | International Business Machines Corporation | Apparatus including a thermal bus on a circuit board for cooling components on a daughter card releasably attached to the circuit board |
EP1811175B1 (en) * | 2004-10-15 | 2011-10-05 | Edwards Japan Limited | Damper and vacuum pump |
JP2006344503A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Boc Edwards Kk | 端子構造及び真空ポンプ |
JP4749054B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2011-08-17 | エドワーズ株式会社 | ターボ分子ポンプ、およびターボ分子ポンプの組み立て方法 |
DE102006016405B4 (de) * | 2006-04-07 | 2024-08-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Antriebsgerät |
US7957134B2 (en) * | 2007-04-10 | 2011-06-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method having evaporative cooling for memory |
US7755897B2 (en) * | 2007-12-27 | 2010-07-13 | Fu Zhun Precision Industry (Shen Zhen) Co., Ltd. | Memory module assembly with heat dissipation device |
EP2314877B1 (en) * | 2008-07-14 | 2018-08-22 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
KR101750572B1 (ko) * | 2009-08-21 | 2017-06-23 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
CN102782837B (zh) * | 2010-03-08 | 2015-08-12 | 国际商业机器公司 | 液态双列直插存储模块冷却设备 |
WO2011111209A1 (ja) | 2010-03-11 | 2011-09-15 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP5353838B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2013-11-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
KR101848529B1 (ko) | 2010-10-19 | 2018-04-12 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
JP5778166B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-09-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2012077246A1 (ja) | 2010-12-07 | 2012-06-14 | 三菱電機株式会社 | 電力変換回路内蔵モーター、この電力変換回路内蔵モーターを搭載した流体ポンプ、この流体ポンプを搭載した空気調和機、給湯器、電力変換回路内蔵モーターを搭載した機器 |
JP6735526B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2020-08-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US20150257249A1 (en) * | 2014-03-08 | 2015-09-10 | Gerald Ho Kim | Heat Sink With Protrusions On Multiple Sides Thereof And Apparatus Using The Same |
JP2017153339A (ja) | 2016-02-25 | 2017-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 機器ユニット |
DE102016206406A1 (de) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | Bühler Motor GmbH | Pumpenmotor mit einem Spalttopf |
JP6884553B2 (ja) * | 2016-11-04 | 2021-06-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法 |
JP6855845B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2021-04-07 | 日本電産トーソク株式会社 | モータ及び電動オイルポンプ |
US10233943B2 (en) * | 2017-04-05 | 2019-03-19 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump control device |
JP7022265B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
CN107659056A (zh) * | 2017-11-07 | 2018-02-02 | 肇庆高新区虎鲨电子技术有限公司 | 发电系统 |
JP7087418B2 (ja) * | 2018-02-02 | 2022-06-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP7088688B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-06-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
JP7096006B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-07-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
-
2018
- 2018-02-16 JP JP2018025854A patent/JP7088688B2/ja active Active
-
2019
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- 2019-02-08 US US16/967,892 patent/US11821440B2/en active Active
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008244062A (ja) | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kojima Press Co Ltd | 回路基板 |
JP2009270750A (ja) | 2008-05-05 | 2009-11-19 | Golden Sun News Technics Co Ltd | 放熱器に埋め込んだヒートパイプ蒸発部の平坦化法とヒートパイプ付き放熱器 |
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